JP5901444B2 - 液体吐出ヘッド - Google Patents
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- 239000007788 liquid Substances 0.000 title claims description 117
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 160
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 49
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 29
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 27
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 27
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 27
- 230000008569 process Effects 0.000 description 27
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 23
- 230000010287 polarization Effects 0.000 description 14
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 14
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 11
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 10
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 9
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 8
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 8
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 7
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 7
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 6
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 6
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 6
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 6
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 5
- 230000008859 change Effects 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 4
- 229920000052 poly(p-xylylene) Polymers 0.000 description 4
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N Dichloromethane Chemical compound ClCCl YMWUJEATGCHHMB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 3
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 3
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 3
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 3
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 3
- 238000000608 laser ablation Methods 0.000 description 3
- HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N lead zirconate titanate Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[O-2].[Ti+4].[Zr+4].[Pb+2] HFGPZNIAWCZYJU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052451 lead zirconate titanate Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007650 screen-printing Methods 0.000 description 3
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 2
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 2
- MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N chlorobenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1 MVPPADPHJFYWMZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007772 electroless plating Methods 0.000 description 2
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 2
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 2
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 2
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- 229920002545 silicone oil Polymers 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- 239000006061 abrasive grain Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 1
- 230000015556 catabolic process Effects 0.000 description 1
- 150000008280 chlorinated hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 1
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 1
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 1
- 238000002788 crimping Methods 0.000 description 1
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005323 electroforming Methods 0.000 description 1
- 229920006332 epoxy adhesive Polymers 0.000 description 1
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 238000003754 machining Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 description 1
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 description 1
- 238000007639 printing Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012916 structural analysis Methods 0.000 description 1
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 1
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 1
- -1 triazine thiol Chemical class 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
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-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1607—Production of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/1609—Production of print heads with piezoelectric elements of finger type, chamber walls consisting integrally of piezoelectric material
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/14—Structure thereof only for on-demand ink jet heads
- B41J2/14201—Structure of print heads with piezoelectric elements
- B41J2/14274—Structure of print heads with piezoelectric elements of stacked structure type, deformed by compression/extension and disposed on a diaphragm
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1631—Manufacturing processes photolithography
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1632—Manufacturing processes machining
- B41J2/1634—Manufacturing processes machining laser machining
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1642—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by CVD [chemical vapor deposition]
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- B41J2/01—Ink jet
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- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
- B41J2/1643—Manufacturing processes thin film formation thin film formation by plating
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
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- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/164—Manufacturing processes thin film formation
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
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- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
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- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
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Description
図5は、第1の圧電基板の加工工程を示すフローチャートである。図6は、後述の溝加工を施した状態の第1の圧電基板を示す平面図である。図7は、第1の圧電基板の加工工程を示す概略斜視図である。図6の第1の圧電基板501には、5つの個別液室307(および空気室308)に対応する溝が5セット配置されているが、図7には、そのうちの1セットのみの斜視図を示し、以下、第1の圧電基板の加工工程は、その1セットのみの場合について説明する。
図9は、第2の圧電基板の加工工程を示すフローチャートである。図10は、後述の溝加工を施した状態の第2の圧電基板を示す平面図である。図11は、第2の圧電基板の加工工程を示す概略斜視図である。図10の第2の圧電基板502には、空気室308に対応する溝が5セット配置されているが、図11には、そのうちの1セットのみの斜視図を示し、以下、第2の圧電基板の加工工程は、その1セットのみの場合について説明する。
次に、第3の基板510および第4の基板511を加工する。第3の基板510および第4の基板511の大きさは、例えば、10mm×10mm×3mmである。本実施形態では、第3の基板510および第4の基板511には、溝やパターンは形成されていないが、図13に示すように、第4の基板511には、溝が形成されていてもよい。その場合、積層体の最下層の第2の圧電基板502の代わりに、この溝が形成された第4の基板511が用いられる。また、図13に示す第4の基板511の場合、特に電極を形成する必要はない。
次に、第1の圧電基板501および第2の圧電基板502の積層工程を行う。図14は、この積層工程を示す概略斜視図である。
次に、インクジェットヘッド303の個別液室307が開口する両端面806,807(図3参照)を研磨により平坦にする。研磨には、砥粒を用いることができる。後述の電極形成工程のために、研磨後の表面粗さRaは0.4μm程度であるが好ましい。また、オリフィスプレート304や後方絞りプレート302(図2参照)を精度良く貼りつけるために、各端面806,807の平面度は10μm以内、端面806,807間の平行度は30μm以内であることが好ましい。
次に、図15から図17を参照して、前端面電極形成工程について説明する。
次に、後端面電極形成工程を行い、インクジェットヘッド303の後端面807に、各個別液室307に設けられたSIG電極からの引き出し配線(SIG)816を形成する。図18は、その引き出し配線(SIG)816を示す斜視図である。引き出し配線(SIG)816は、後端面807の上端面808側に形成された実装配線接続部(SIG)814に接続されており、後に示す工程により、第1のFPC310(図1および図2参照)に接続される。
次に、後方絞りプレート302をインクジェットヘッド303の後端面807に接着する後方絞りプレート接着工程を行う。図20は、後方絞りプレート302の、個別液室307に対応する箇所の平面図および側断面図である。図21は、後方絞りプレート302と、インクジェットヘッド303と、オリフィスプレート304との接合における位置関係を示す概略斜視図である。
次に、個別液室307の内壁に形成された電極の表面と、空気室308の内壁に形成された電極の表面と、電極配線(引き出し配線)の表面とに絶縁膜を形成する。ただし、引き出し配線のうち、FPCに接続される部分、つまり実装配線接続部814,815には絶縁膜を形成しない。そのために、それらの部分には、絶縁膜成膜時にテープなどでマスクを施しておく。
次に、オリフィスプレート304をインクジェットヘッド303の前端面806に接着するオリフィスプレート接着工程を行う。図22は、オリフィスプレート302の、個別液室307に対応する箇所の上面図および側断面図である。
次に、FPCを電極からの引き出し配線に圧着する配線実装工程を行う。具体的には、図23に示すように、インクジェットヘッド303の後端面807に引き出された引き出し配線(SIG)と、上端面808に引き出された引き出し配線(GND)とに、第1のFPC310と第2のFPC311とをそれぞれ圧着する。圧着には、異方性導電フィルム(ACF)を用いることができる。圧着条件として、圧着温度は150℃、圧着圧力は3MPa、圧着時間は10秒程度が適当である。圧着後、FPCと引き出し配線との接合部付近を接着剤で補強する。
その後、例えば、SUS基板から機械加工によって形成した、インク供給口305を有する共通液室301を準備する。そして、図1および図2に示すように、接着剤を用いて、共通液室301を後方絞りプレート302に接合する共通液室接着を行う。
503 第1の溝
505 第1の電極(SIG)
512 第5の電極(SIG)
Claims (4)
- 液体を吐出するための吐出口にそれぞれ連通し、該吐出口から吐出される液体を貯留するための筒状の複数の圧力室であって、該各圧力室を構成する壁部が圧電部材で形成され、該圧電部材の変形により前記吐出口から液体を吐出させる複数の圧力室と、前記各圧力室の周囲に該圧力室から間隔をおいて配置された複数の空間部と、を有する液体吐出ヘッドであって、
圧電部材から形成された第1の基板と、圧電部材から形成された第2の基板とが交互に積層された積層体を有し、
前記第1の基板の一方の面には、第1の方向に延び、前記第2の基板と共に前記圧力室を構成する複数の第1の溝と、該第1の溝と交互に配置され、前記第2の基板と共に前記空間部を構成する複数の第2の溝とが形成され、前記第2の基板の、前記第1の基板の前記一方の面に接する面とは反対側の面には、前記第1の方向に延び、前記第1の基板と共に前記空間部を構成する複数の第3の溝が形成され、
前記第1の基板の前記第1の溝には、該第1の溝の内面から該第1の溝の両外側にまで延びる内面電極が形成され、前記第2の基板の、前記第1の基板の前記一方の面に接する面には、前記第1の溝に対向する位置に、前記第1の方向に延びる対向電極が形成され、
前記第1の方向と前記積層体の積層方向とに垂直な第2の方向において、前記内面電極の幅W1と、前記対向電極の幅W2と、前記第1の溝の幅WPとが、
WP<W2<W1
の関係を満たす、液体吐出ヘッド。 - 前記第3の溝が、前記第1の溝に対向する位置に形成され、
前記第3の溝の内面に形成された電極は、前記第2の方向の幅が、前記内面電極の前記幅よりも大きい、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。 - 前記第2の基板が、前記積層方向に分極されている、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
- 前記第1の基板と前記第2の基板との間の前記第2の方向に沿った位置ずれ量をδとすると、前記内面電極の前記幅と、前記対向電極の前記幅と、前記第1の溝の前記幅とが、
WP+2δ<W2<W1−2δ
の関係を満たす、請求項1に記載の液体吐出ヘッド。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012140705A JP5901444B2 (ja) | 2012-06-22 | 2012-06-22 | 液体吐出ヘッド |
US13/916,696 US8807713B2 (en) | 2012-06-22 | 2013-06-13 | Liquid ejection head |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012140705A JP5901444B2 (ja) | 2012-06-22 | 2012-06-22 | 液体吐出ヘッド |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014004716A JP2014004716A (ja) | 2014-01-16 |
JP5901444B2 true JP5901444B2 (ja) | 2016-04-13 |
Family
ID=49774098
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012140705A Expired - Fee Related JP5901444B2 (ja) | 2012-06-22 | 2012-06-22 | 液体吐出ヘッド |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8807713B2 (ja) |
JP (1) | JP5901444B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5930866B2 (ja) * | 2012-06-22 | 2016-06-08 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
JP6161411B2 (ja) * | 2012-06-22 | 2017-07-12 | キヤノン株式会社 | 液体吐出装置の製造方法 |
JP6410528B2 (ja) | 2014-08-29 | 2018-10-24 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドとそれを用いたヘッドユニット |
JP6407032B2 (ja) | 2015-01-08 | 2018-10-17 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置 |
PL3274174T3 (pl) * | 2015-03-23 | 2022-09-26 | Leonhard Kurz Stiftung & Co. Kg | Sposób i urządzenie do nakładania folii |
JP7118716B2 (ja) | 2018-04-17 | 2022-08-16 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
JP7150500B2 (ja) * | 2018-07-04 | 2022-10-11 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドおよび液体吐出ヘッドの製造方法 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6345057A (ja) * | 1986-08-13 | 1988-02-26 | Fuji Electric Co Ltd | インクジエツト記録ヘツド |
JPH04286650A (ja) * | 1991-03-15 | 1992-10-12 | Brother Ind Ltd | 液滴噴射装置 |
JPH05254132A (ja) * | 1992-03-11 | 1993-10-05 | Tokyo Electric Co Ltd | インクジェットプリンタヘッドの製作方法 |
JPH05254130A (ja) * | 1992-03-11 | 1993-10-05 | Tokyo Electric Co Ltd | インクジェットプリンタヘッドの製作方法 |
US6722035B1 (en) * | 1995-11-02 | 2004-04-20 | Brother Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of manufacturing an ink ejecting device wherein electrodes formed within non-ejecting channels are divided and electrodes formed within ejecting channels are continuous |
JPH09220807A (ja) * | 1996-02-20 | 1997-08-26 | Ricoh Co Ltd | インクジェットプリンタヘッド及びその製作方法 |
JP2000062165A (ja) * | 1997-07-03 | 2000-02-29 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法 |
JP2001063045A (ja) * | 1999-08-26 | 2001-03-13 | Brother Ind Ltd | インク噴射装置およびその製造方法 |
JP4622359B2 (ja) * | 2004-07-22 | 2011-02-02 | コニカミノルタホールディングス株式会社 | インクジェットヘッドの製造方法 |
JP2007168319A (ja) | 2005-12-22 | 2007-07-05 | Fuji Xerox Co Ltd | 液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び液滴吐出ヘッド製造方法 |
JP4208000B2 (ja) * | 2006-08-18 | 2009-01-14 | 富士フイルム株式会社 | インクジェットプリンタヘッド |
JP5599036B2 (ja) | 2010-04-13 | 2014-10-01 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
US8636349B2 (en) | 2010-07-28 | 2014-01-28 | Canon Kabushiki Kaisha | Liquid ejection head and liquid ejection apparatus |
JP5839944B2 (ja) * | 2010-12-24 | 2016-01-06 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
JP6128820B2 (ja) | 2011-12-22 | 2017-05-17 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド |
JP6039263B2 (ja) * | 2012-06-22 | 2016-12-07 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッド及び液体吐出ヘッドの製造方法 |
-
2012
- 2012-06-22 JP JP2012140705A patent/JP5901444B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-06-13 US US13/916,696 patent/US8807713B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US8807713B2 (en) | 2014-08-19 |
US20130342614A1 (en) | 2013-12-26 |
JP2014004716A (ja) | 2014-01-16 |
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|
A621 | Written request for application examination |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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R151 | Written notification of patent or utility model registration |
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