JP5681952B2 - 塗布装置 - Google Patents
塗布装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5681952B2 JP5681952B2 JP2012123822A JP2012123822A JP5681952B2 JP 5681952 B2 JP5681952 B2 JP 5681952B2 JP 2012123822 A JP2012123822 A JP 2012123822A JP 2012123822 A JP2012123822 A JP 2012123822A JP 5681952 B2 JP5681952 B2 JP 5681952B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- pressure receiving
- receiving portion
- bar
- stage
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Description
また、前記始端受圧部が前記基板の一方の端部から前記基板の移動方向の長さの15%以上25%以内の位置に設けられ、前記終端受圧部が前記基板の他方の端部から前記基板の移動方向の長さの15%以上25%以内の位置に設けられることが好ましい。
また、前記固定受圧部として、前記始端受圧部と前記終端受圧部との間に、前記始端受圧部および前記終端受圧部より前記ステージからの最大高さが高い1または複数の中央受圧部をさらに有しても良い。
(実施の形態1)
まず、実施の形態1における塗布装置について、図1〜図3を用いて説明する。
図1,図2において、102は基板103を保持,搬送するステージである。101はテージ102に設置された基板103上にコート液104を基板103の幅方向に必要な量だけ供給する供給部である。本実施の形態1では、供給部101としてシリンジ105の先端に供給針106を取付けたディスペンサーを用いる例を示す。
次に、実施の形態2における塗布装置について、図4〜図6を用いて説明する。
図4は実施の形態2における塗布装置を示す斜視図、図5は実施の形態2における塗布装置を示す断面図である。また、図6は実施の形態2における受圧部の構成例を示す図である。
102 ステージ
103 基板
104 コート液
105 シリンジ
106 供給針
107 指示部材
108 ボールネジ
109 バー
110 始端
111 終端
112 チャック
113 バーヘッド
114 エアシリンダ
115 外側
116 ローラ
117 ブラケット
118 中央部
119 塗布膜
120 受圧部
201 供給部
202 ステージ
203 基板
204 コート液
205 シリンジ
206 供給針
207 指示部材
208 ボールネジ
209 バー
210 始端
211 終端
212 チャック
213 バーヘッド
214 エアシリンダ
215 コート液
216 始端押圧バー
217 始端押圧ブラケット
218 終端押圧バー
219 終端押圧ブラケット
220 始端受圧部
221 終端受圧部
222 受圧部
Claims (6)
- 基板を載置するステージと、
前記基板上にコート液を供給する供給部と、
前記基板上を一定方向に移動して前記コート液を引伸ばすバーと、
前記基板の前記移動方向の一方の端部を前記ステージに押圧する第1の押圧バーと、
前記基板の他方の端部を前記ステージに押圧する第2の押圧バーと、
前記ステージ上で前記基板の下部に配置される前記第1の押圧バーと平行な棒状の固定受圧部と
から構成されることを特徴とする塗布装置。 - 前記固定受圧部が始端受圧部と終端受圧部とからなることを特徴とする請求項1記載の塗布装置。
- 前記始端受圧部が前記基板の一方の端部から前記基板の移動方向の長さの15%以上25%以内の位置に設けられ、前記終端受圧部が前記基板の他方の端部から前記基板の移動方向の長さの15%以上25%以内の位置に設けられることを特徴とする請求項2記載の塗布装置。
- 前記始端受圧部および前記終端受圧部の前記ステージからの最大高さが前記基板の移動方向の長さの0.8%以上1.2%以内であることを特徴とする請求項3記載の塗布装置。
- 前記固定受圧部として、前記始端受圧部と前記終端受圧部との間に、前記始端受圧部および前記終端受圧部より前記ステージからの最大高さが高い1または複数の中央受圧部をさらに有することを特徴とする請求項4記載の塗布装置。
- 前記固定受圧部が、前記第1の押圧バーおよび前記第2の押圧バーの間で前記ステージ上に設けられる1つの中央受圧部であることを特徴とする請求項1記載の塗布装置。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012123822A JP5681952B2 (ja) | 2012-05-31 | 2012-05-31 | 塗布装置 |
CN201310205694.8A CN103447193B (zh) | 2012-05-31 | 2013-05-29 | 涂布装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012123822A JP5681952B2 (ja) | 2012-05-31 | 2012-05-31 | 塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013248551A JP2013248551A (ja) | 2013-12-12 |
JP5681952B2 true JP5681952B2 (ja) | 2015-03-11 |
Family
ID=49730261
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012123822A Expired - Fee Related JP5681952B2 (ja) | 2012-05-31 | 2012-05-31 | 塗布装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5681952B2 (ja) |
CN (1) | CN103447193B (ja) |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6516664B2 (ja) * | 2015-12-16 | 2019-05-22 | 株式会社Screenホールディングス | 基板保持装置、塗布装置、基板保持方法 |
CN106405947A (zh) * | 2016-10-27 | 2017-02-15 | 宁波视睿迪光电有限公司 | 液晶透镜膜及液晶透镜膜制造方法 |
JP7301385B2 (ja) * | 2020-10-23 | 2023-07-03 | 株式会社井元製作所 | 塗工機 |
CN114236657B (zh) * | 2021-12-30 | 2022-10-14 | 广东欧迪明光电科技股份有限公司 | 一种阻隔有害蓝光功能的量子点光扩散板的生产工艺 |
Family Cites Families (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0414152Y2 (ja) * | 1984-12-19 | 1992-03-31 | ||
JPS6394570U (ja) * | 1986-12-08 | 1988-06-18 | ||
JP2644457B2 (ja) * | 1995-03-10 | 1997-08-25 | 中外炉工業株式会社 | ダイコータによるガラス基板への塗布方法 |
JP2001246303A (ja) * | 2000-03-09 | 2001-09-11 | Graphtec Corp | 液体コーティング装置 |
JP2002079165A (ja) * | 2000-09-11 | 2002-03-19 | Honen Corp | 液体の塗装装置及び塗装方法 |
JP4268809B2 (ja) * | 2003-01-22 | 2009-05-27 | 三菱樹脂株式会社 | 塗布装置及びそれを用いる塗布方法 |
JP2009039661A (ja) * | 2007-08-09 | 2009-02-26 | Shibaura Mechatronics Corp | ペースト塗布装置及びペースト塗布方法 |
RU2372997C1 (ru) * | 2007-09-10 | 2009-11-20 | Нитиха Ко., Лтд. | Способ нанесения покрытия на стеновую панель |
JP4495752B2 (ja) * | 2007-11-06 | 2010-07-07 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置及び塗布装置 |
KR20090104745A (ko) * | 2008-03-31 | 2009-10-06 | 스미또모 가가꾸 가부시끼가이샤 | 코팅 방법 및 코팅 장치 |
JP2011045800A (ja) * | 2009-08-25 | 2011-03-10 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗工装置および塗工方法、並びに、塗膜付きウェブ状基材の製造方法 |
-
2012
- 2012-05-31 JP JP2012123822A patent/JP5681952B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2013
- 2013-05-29 CN CN201310205694.8A patent/CN103447193B/zh not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN103447193B (zh) | 2015-11-18 |
JP2013248551A (ja) | 2013-12-12 |
CN103447193A (zh) | 2013-12-18 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6491917B2 (ja) | 貼付装置 | |
KR102190644B1 (ko) | 두 대향 변이 굽은 변인 3d유리에 사용되는 필름 접착 장치 및 필름 접착 방법 | |
JP5681952B2 (ja) | 塗布装置 | |
JP6203628B2 (ja) | 微細パターン形成方法 | |
CN106004000B (zh) | 剥离装置 | |
KR20130047590A (ko) | 접착 장치 및 접착 방법 | |
JP2013022760A (ja) | フィルム貼付装置 | |
JP4513960B2 (ja) | スリットコート式塗布装置及びスリットコート式塗布方法 | |
JP5619057B2 (ja) | 塗布装置 | |
TWI611927B (zh) | 薄膜黏著裝置 | |
JP4403592B2 (ja) | 塗布装置、および、基板の製造方法、ならびに、これを用いたカラーフィルターの製造装置および製造方法 | |
TWI653095B (zh) | Curved substrate holding tray | |
KR20210012110A (ko) | 곡면형 플렉서블 디스플레이 제조용 라미네이터 | |
CN212587457U (zh) | 一种封装基板平整度矫正装置 | |
KR102353024B1 (ko) | Oled 패널용 스크린 타입 라미네이터 및 이를 이용한 라미네이팅 방법 | |
WO2017166964A1 (zh) | 触摸屏填缝工艺方法 | |
JP5123406B2 (ja) | 貼合装置及び貼合方法 | |
KR101191995B1 (ko) | 롤 코팅 방식의 필름 고정 장치 및 방법, 및 이를 구비한 필름 코팅 장치 및 방법 | |
JP3587765B2 (ja) | 配向剤塗布方法および塗布装置 | |
KR101623147B1 (ko) | 유리판용 백패드 부착 시스템의 백패드 공급 장치 | |
KR101600606B1 (ko) | 유리판용 백패드 부착 장치 | |
CN115502054A (zh) | 一种适用于金属掩模板的涂布装置及涂布方法 | |
JP2014121807A (ja) | テープ貼付装置及びテープ付ワークの製造方法 | |
JP2002334891A (ja) | 接着剤の転写ピンユニット及び転写方法 | |
JPH04105537U (ja) | ダイボンデイング装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140415 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140502 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20141009 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20141015 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141118 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141216 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5681952 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |