JP5619057B2 - 塗布装置 - Google Patents
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Description
また、前記加圧手段がバネであり、前記バネが前記保持加圧手段を加圧する荷重は前記バネのバネ定数と前記バネの変形量の積であり、前記バネ定数を最小に前記バネの変形量を最大にしても良い。
また、前記バーによって掻き拡げられた前記塗布液の膜厚が、隣接する前記ワイヤと前記基板とでできる隙間の体積で決まっても良い。
(実施の形態1)
図1は実施の形態1における塗布装置の構成を示す斜視図である。
バーの表面には、コート液を所定の膜厚で掻き拡げるために溝が形成されている。図2では、バーの軸心に巻きつけたワイヤの隙間を溝として機能させる構成場合の例である。
図2に示すように、バー109は芯材202と、芯材202の全長にわたって隙間なく巻きつけられたワイヤ201とで構成され、ワイヤ201どうしと基板203とでできる空間204を溝として用いる。バー109で基板103を加圧しながらバー109を基板103の長手方向に移動させることにより、空間204をコート液が通過し、所定の膜厚でコート液が基板全体に拡げられる。例えば、芯材202として直径3mmのジュラルミンを用い、ワイヤ201として直径25μmのステンレスワイヤを用いたバー109によって掻き拡げることにより、膜厚5μmの塗布膜を形成することができる。
図3は実施の形態1における複数のチャックの作用を説明する概略図であり、独立した加圧手段で凹凸のある基板表面に沿うように加圧されたバーの模式図を示す。ここで、図3(a)はバーに対するチャックの配置を示す図であり、図3(b)は基板の反りに応じたチャックの作用を説明する図である。
次に、図4を用いてチャックの構成例について説明する。
図4において、110はシャフトネジ402を介してシャフト403に連結されたチャックであり、チャック110の先端に設けられたスリット404をチャックネジ405で締め付けることで基板103に接するバー109を保持することができる。408は所定の間隔でバーヘッド111内に設けられたブッシュであり、シャフト403を上下動作可能なように支持している。加圧手段410は、シャフト403の上側端面に端面ネジ411で固定された端面板412と、バーヘッドの蓋413に設けられたズレ防止凹部414の間に設置される。加圧手段410として、例えば、圧縮バネを用いることができ、ブッシュ408の端面板412に荷重を印加することでバー109を基板103に加圧する。加圧手段410がバネである場合、バネが保持加圧手段を加圧する荷重はバネのバネ定数と前記バネの変形量の積となる。この場合、バネ定数を最小にし、バネの変形量を最大にするようにバネを設けることが好ましい。
なお、実施の形態1においては、搬送する手段としてステージを用いて基板103を搬送したが、基板103を固定し、バー103、保持加圧手段、昇降手段を搬送しても同じ効果が得られる。
以上のように、バーヘッド111から複数のチャック110に一括して荷重を印加し、
一定間隔に並べられたチャック110を介してバー109に荷重を印加してバー109を基板103に圧接させ、さらに、各チャック110内に加圧手段410を設けることにより、基板103に反りや凹凸があったとしても、加圧手段410で反りや凹凸に応じた荷重調整ができるため、容易かつ、精度良く均一にコート液104を塗布することができる。
図5は実施の形態2におけるバーの構成を説明する要部断面図であり、本実施の形態2の基板に沿って加圧されたバーの拡大断面図を示す。
102 ステージ
103 基板
104 コート液
105 シリンジ
106 供給針
107 支持部材
108 ボールネジ
109 バー
110 チャック
111 バーヘッド
112 エアシリンダ
201 ワイヤ
202 芯材
204 空間
402 シャフトネジ
403 シャフト
404 スリット
405 チャックネジ
408 ブッシュ
410 加圧手段
411 端面ネジ
412 端面板
413 蓋
414 ズレ防止凹部
501 芯材
502 ワイヤ
504 空間
Claims (7)
- 基板に塗布液を供給する塗布手段と、
芯材の表面に溝が形成されてなり、前記基板の塗布表面に配置され前記塗布液を掻き拡げるコータと、
前記コータの両端およびその間に長手方向に所定の間隔で設けられ前記コータを保持する複数の保持加圧手段と、
前記複数の保持加圧手段と接続され、前記保持加圧手段を介して前記コータを重力方向に加圧する昇降手段と、
前記昇降手段に設けられ、それぞれの前記保持加圧手段を独立して加圧する複数の加圧手段と
を有することを特徴とする塗布装置。 - 前記コータのヤング率と断面2次モーメントの積を最小にすることを特徴とする請求項1記載の塗布装置。
- 前記コータのヤング率と前記断面2次モーメントの積を最小にすることを特徴とする請求項2記載の塗布装置。
- 前記加圧手段がバネであり、前記バネが前記保持加圧手段を加圧する荷重は前記バネのバネ定数と前記バネの変形量の積であり、前記バネ定数を最小に前記バネの変形量を最大にすることを特徴とする請求項1〜請求項4のいずれかに記載の塗布装置。
- 前記コータが、
円筒状またはパイプ形状の前記芯材と、
前記芯材の表面に巻かれたワイヤと
からなるバーであることを特徴とする請求項1〜請求項5のいずれかに記載の塗布装置。 - 前記バーによって掻き拡げられた前記塗布液の膜厚が、隣接する前記ワイヤと前記基板とでできる隙間の体積で決まることを特徴とする請求項6記載の塗布装置。
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