JP2008282986A - 電子部品の実装装置及び実装方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体チップ4を基板Wに実装する実装装置であって、
基板W上面に半導体チップを供給保持する供給ツール1と、半導体チップを供給ツールによって保持した状態で、基板の下面に外周面を圧接させながら転動して半導体チップを基板の上面に実装する加圧ローラ18を具備する。
【選択図】 図1
Description
基板の上面に上記電子部品を供給保持する供給ツールと、
上記電子部品を上記供給ツールによって保持した状態で、上記基板の下面に外周面を圧接させながら転動して上記電子部品を上記基板の上面に実装する加圧ローラと
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置にある。
上記基板の上面に供給ツールによって上記電子部品を供給する供給手段と、
この供給手段よりも上記基板の搬送方向の下流側に配置され上記供給手段によって供給された上記電子部品を上記基板の上面に保持した状態で、上記基板の下面に外周面を圧接させながら加圧ローラを転動させて上記電子部品を上記基板に実装する実装手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置にある。
基板の上面に上記電子部品を供給する工程と、
供給された上記電子部品を保持した状態で、上記基板の下面に加圧ローラを外周面を圧接させながら転動させて上記電子部品を上記基板の上面に実装する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法にある。
図1乃至図5はこの発明の第1の実施の形態を示し、図1に示す実装装置は供給ツール1を備えている。この供給ツール1はたとえば耐熱性を有し、比較的硬質なゴムなどの弾性材料によって形成されていて、下端面が平坦な保持面2に形成されている。
Claims (8)
- 電子部品を基板に実装する実装装置であって、
基板の上面に上記電子部品を供給保持する供給ツールと、
上記電子部品を上記供給ツールによって保持した状態で、上記基板の下面に外周面を圧接させながら転動して上記電子部品を上記基板の上面に実装する加圧ローラと
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。 - 転動する上記加圧ローラが上記基板の下面に対して次第に強く圧接するようガイドするカム体を有することを特徴とする請求項1記載の電子部品の実装装置。
- 上記加圧ローラが上記基板の下面を転動するときに、上記供給ツールが上記基板に上記電子部品を加圧する加圧力を次第に増大させる制御手段を有することを特徴とする請求項1記載の電子部品の実装装置。
- 所定方向に搬送される基板に電子部品を実装する実装装置であって、
上記基板の上面に供給ツールによって上記電子部品を供給する供給手段と、
この供給手段よりも上記基板の搬送方向の下流側に配置され上記供給手段によって供給された上記電子部品を上記基板の上面に保持した状態で、上記基板の下面に外周面を圧接させながら加圧ローラを転動させて上記電子部品を上記基板に実装する実装手段と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装装置。 - 上記基板の下面に上記加圧ローラを転動させるとき、上記基板の上面に供給された上記電子部品を加圧保持専用の加圧治具によって加圧保持すること特徴とする請求項4記載の電子部品の実装装置。
- 電子部品を基板に実装する実装方法であって、
基板の上面に上記電子部品を供給する工程と、
供給された上記電子部品を保持した状態で、上記基板の下面に加圧ローラを外周面を圧接させながら転動させて上記電子部品を上記基板の上面に実装する工程と
を具備したことを特徴とする電子部品の実装方法。 - 上記電子部品を上記基板の上面に実装するとき、上記加圧ローラが上記基板の下面に加える加圧力を次第に増大させることを特徴とする請求項6記載の電子部品の実装方法。
- 上記電子部品を上記基板の上面に実装するとき、上記電子部品に加える加圧力を次第に増大させながら、上記加圧ローラを外周面を上記基板の下面に圧接させて転動させながら水平に駆動することを特徴とする請求項6記載の電子部品の実装方法。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016157461A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 新電元工業株式会社 | 接合装置、接合方法及び加圧ユニット |
WO2016157464A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 新電元工業株式会社 | 伝達部材及び加圧ユニット |
WO2016157465A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 新電元工業株式会社 | 加圧ユニット |
WO2023015126A1 (en) * | 2021-08-04 | 2023-02-09 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for minimizing voids for chip on wafer components |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000315697A (ja) * | 1999-03-03 | 2000-11-14 | Hitachi Ltd | 半導体素子の分離方法およびその装置並びに半導体素子の搭載方法 |
JP2000349136A (ja) * | 1999-06-01 | 2000-12-15 | Lintec Corp | 粘着材の貼付装置及び貼付方法 |
JP2005191073A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Elpida Memory Inc | マウント方法及び装置 |
JP2006080394A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Murata Mfg Co Ltd | シート貼り付け装置及びシート貼り付け方法 |
JP2006165188A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Canon Machinery Inc | ダイボンダー用コレット |
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000315697A (ja) * | 1999-03-03 | 2000-11-14 | Hitachi Ltd | 半導体素子の分離方法およびその装置並びに半導体素子の搭載方法 |
JP2000349136A (ja) * | 1999-06-01 | 2000-12-15 | Lintec Corp | 粘着材の貼付装置及び貼付方法 |
JP2005191073A (ja) * | 2003-12-24 | 2005-07-14 | Elpida Memory Inc | マウント方法及び装置 |
JP2006080394A (ja) * | 2004-09-10 | 2006-03-23 | Murata Mfg Co Ltd | シート貼り付け装置及びシート貼り付け方法 |
JP2006165188A (ja) * | 2004-12-06 | 2006-06-22 | Canon Machinery Inc | ダイボンダー用コレット |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2016157461A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 新電元工業株式会社 | 接合装置、接合方法及び加圧ユニット |
WO2016157464A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 新電元工業株式会社 | 伝達部材及び加圧ユニット |
WO2016157465A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2016-10-06 | 新電元工業株式会社 | 加圧ユニット |
CN106471611A (zh) * | 2015-03-31 | 2017-03-01 | 新电元工业株式会社 | 接合装置、接合方法以及加压单元 |
JPWO2016157464A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2017-04-27 | 新電元工業株式会社 | 伝達部材及び加圧ユニット |
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JPWO2016157465A1 (ja) * | 2015-03-31 | 2017-04-27 | 新電元工業株式会社 | 加圧ユニット |
CN106663637A (zh) * | 2015-03-31 | 2017-05-10 | 新电元工业株式会社 | 传导部件以及加压单元 |
WO2023015126A1 (en) * | 2021-08-04 | 2023-02-09 | Applied Materials, Inc. | Methods and apparatus for minimizing voids for chip on wafer components |
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