JP2010171088A - 圧着装置及び圧着方法 - Google Patents
圧着装置及び圧着方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2010171088A JP2010171088A JP2009010352A JP2009010352A JP2010171088A JP 2010171088 A JP2010171088 A JP 2010171088A JP 2009010352 A JP2009010352 A JP 2009010352A JP 2009010352 A JP2009010352 A JP 2009010352A JP 2010171088 A JP2010171088 A JP 2010171088A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- crimping
- holding
- unit
- substrates
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000002788 crimping Methods 0.000 title claims abstract description 177
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 38
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 341
- 238000005339 levitation Methods 0.000 claims description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 9
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 7
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 6
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 description 2
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 2
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 2
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 230000001276 controlling effect Effects 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
Abstract
【解決手段】複数の基板2a、2bを複数の基板保持部5a、5bにて個別に保持し、第1の基板2aを第1の圧着手段15aに位置合わせし、第1の基板2aを第1の圧着手段15aと下受け部13との間に挟むことにより圧着対象物21を圧着する第1の圧着工程を行い、この第1の圧着工程中に、第1の基板2aの吸着保持を解除するとともに浮上エアにて第1の基板2aを基板保持部5aから浮上させた状態で第2の基板2bを第2の圧着手段15bに位置合わせし、第1の圧着工程中に、第2の基板2bを第2の圧着手段15bと下受け部13との間に挟むことにより圧着対象物21を第2の基板2bに圧着するようにし、第2の基板2bの位置合わせ移動時に第1の基板2aがダメージを受けないようにした。
【選択図】図5
Description
以下、本発明を、LCDやPDPのガラス基板などの基板の実装部位に搭載されたACF(異方性導電材)やその上に搭載されたICやTCP(Tape Carrier Package)やCOF(Chip On Film)などの部品を圧着する圧着装置の実施形態について、図1〜図6を参照して説明する。
次に、本発明の圧着装置の第2の実施形態について、図8を参照して説明する。なお、本実施形態の説明では、第1の実施形態と同一の構成要素に対して同一の参照符号を付して説明を省略し、主として相違点についてのみ説明する。
2a 第1の基板
2b 第2の基板
3 支持テーブル
5a 第1の基板保持部
5b 第2の基板保持部
7 位置決め手段
13 下受け部
15a 第1の圧着手段
15b 第2の圧着手段
16 制御部
25a、25b 圧着ヘッド
Claims (7)
- 少なくとも第1の基板と第2の基板を含む複数の基板を個別に吸着手段にて吸着保持する複数の基板保持部を有する支持テーブルと、
支持テーブルを少なくとも水平方向に位置決めする位置決め手段と、
各基板保持部に保持された基板に対応して配置され、各基板の上面に圧着対象物を上方から押圧して圧着する複数の圧着手段と、
圧着時に基板の圧着部位を下方から支持する下受け部とを備えた圧着装置であって、
複数の基板保持部の内1つの基板保持部を除いて若しくは全ての基板保持部に個別に、基板と基板保持部上面との間に浮上エアを供給して基板を浮上させる浮上手段を設け、
各基板保持部の吸着手段及び浮上手段と位置決め手段と各圧着手段を個別に動作制御する制御部を設けた
ことを特徴とする圧着装置。 - 制御部は、位置決め手段により第1の基板を第1の圧着手段に位置合わせし、第1の基板を第1の圧着手段と下受け部との間に挟むことにより圧着対象物を基板に圧着する第1の圧着動作を行い、第1の圧着動作中に第1の基板の吸着保持を解除して基板保持部から浮上させた状態で位置決め手段により第2の基板を第2の圧着手段に位置合わせし、第2の基板を第2の圧着手段と下受け部との間に挟むことにより圧着対象物を圧着する第2の圧着動作を第1の圧着動作と並行して行うように動作制御することを特徴とする請求項1記載の圧着装置。
- 各基板保持部は、支持テーブルに対して個別に上下方向に移動・位置決め可能に構成され、基板を基板保持部から浮上させるときに基板保持部を下降動作させることを特徴とする請求項2記載の圧着装置。
- 各圧着手段は、個別に動作可能な複数の圧着ヘッドにて構成されていることを特徴とする請求項1〜3の何れか1つに記載の圧着装置。
- 少なくとも第1の基板と第2の基板を含む複数の基板を複数の基板保持部にて個別に保持し、各基板をそれぞれに対応する複数の圧着手段に位置合わせし、各圧着手段と下受け部との間にそれぞれ基板を挟み込んで圧着し、複数の基板に対する圧着対象物の圧着を複数の圧着手段にて並行して行う圧着方法であって、
第1の基板を第1の圧着手段に位置合わせする第1の位置合わせ工程と、
第1の基板を第1の圧着手段と下受け部との間に挟むことにより圧着対象物を基板に圧着する第1の圧着工程と、
第1の圧着工程中に、第1の基板の保持を解除し、第1の基板と基板保持部上面との間に浮上エアを供給して第1の基板を基板保持部から浮上させる保持解除浮上工程と、
第1の圧着工程中に、第2の基板を第2の圧着手段に位置合わせする第2の位置合わせ工程と、
第1の圧着工程中に、第2の基板を第2の圧着手段と下受け部との間に挟むことにより圧着対象物を基板に圧着する第2の圧着工程と
を有することを特徴とする圧着方法。 - 保持解除浮上工程時に、基板保持部を下降させることを特徴とする請求項5記載の圧着方法。
- 保持解除浮上工程と第2の位置合わせ工程時に、浮上エアを供給して第1の速度で第2の位置合わせ移動を開始し、所定時間経過後に第1の速度より高速の第2の速度で第2の位置合わせ移動を行うことを特徴とする請求項5又は6記載の圧着方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009010352A JP5024301B2 (ja) | 2009-01-20 | 2009-01-20 | 圧着装置及び圧着方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009010352A JP5024301B2 (ja) | 2009-01-20 | 2009-01-20 | 圧着装置及び圧着方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2010171088A true JP2010171088A (ja) | 2010-08-05 |
JP5024301B2 JP5024301B2 (ja) | 2012-09-12 |
Family
ID=42702958
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009010352A Expired - Fee Related JP5024301B2 (ja) | 2009-01-20 | 2009-01-20 | 圧着装置及び圧着方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5024301B2 (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014030326A1 (ja) * | 2012-08-22 | 2014-02-27 | パナソニック株式会社 | 部品実装装置及び部品実装方法 |
JP2014041890A (ja) * | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Panasonic Corp | 部品実装装置及び部品実装方法 |
JP2014049666A (ja) * | 2012-09-03 | 2014-03-17 | Panasonic Corp | 部品実装装置及び部品実装方法 |
CN114253085A (zh) * | 2020-09-23 | 2022-03-29 | 株式会社斯库林集团 | 描画装置 |
Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003059975A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ボンディング方法 |
-
2009
- 2009-01-20 JP JP2009010352A patent/JP5024301B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003059975A (ja) * | 2001-08-08 | 2003-02-28 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ボンディング方法 |
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014030326A1 (ja) * | 2012-08-22 | 2014-02-27 | パナソニック株式会社 | 部品実装装置及び部品実装方法 |
JP2014041890A (ja) * | 2012-08-22 | 2014-03-06 | Panasonic Corp | 部品実装装置及び部品実装方法 |
CN104584712A (zh) * | 2012-08-22 | 2015-04-29 | 松下知识产权经营株式会社 | 元件安装装置和安装方法 |
CN104584712B (zh) * | 2012-08-22 | 2017-03-08 | 松下知识产权经营株式会社 | 元件安装装置和安装方法 |
US9780514B2 (en) | 2012-08-22 | 2017-10-03 | Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. | Component mounting method |
JP2014049666A (ja) * | 2012-09-03 | 2014-03-17 | Panasonic Corp | 部品実装装置及び部品実装方法 |
CN114253085A (zh) * | 2020-09-23 | 2022-03-29 | 株式会社斯库林集团 | 描画装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP5024301B2 (ja) | 2012-09-12 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4629795B2 (ja) | 部品圧着装置及び方法 | |
TWI585028B (zh) | 剝離裝置及剝離方法 | |
JP4729652B2 (ja) | 部品実装装置および方法 | |
JP4489025B2 (ja) | 圧着装置 | |
JPWO2010038425A1 (ja) | 圧着方法 | |
JPWO2009063906A1 (ja) | 貼合せ基板製造装置および貼合せ基板製造方法 | |
JP5024301B2 (ja) | 圧着装置及び圧着方法 | |
KR20160135073A (ko) | 테이프 부착장치 및 이를 이용한 부착방법 | |
KR20180087825A (ko) | 반도체 제조 장치 및 반도체 장치의 제조 방법 | |
JP2007302398A (ja) | 接合シート貼付装置及び方法 | |
JP5002619B2 (ja) | 部品圧着装置及び方法 | |
KR101776859B1 (ko) | 인라인 자동 fof/fog 공용 본딩장치 | |
JP2008134439A (ja) | フラットパネル供給方法及びフラットパネル組立装置 | |
JP4661808B2 (ja) | 部品実装装置及び基板搬送方法 | |
JPH0675199A (ja) | 液晶パネル製造装置、位置決め装置および加工装置 | |
JP5026220B2 (ja) | 部品実装方法及び装置 | |
KR20170070349A (ko) | 인라인 자동 olb/cog 공용 본딩장치 | |
JP5017041B2 (ja) | 部品実装方法及び装置 | |
JP4949114B2 (ja) | 接続材料塗布装置および半導体装置の製造方法 | |
JP4555008B2 (ja) | 部品実装装置 | |
JP2009010123A (ja) | 電子部品の実装装置及び電子部品の製造方法 | |
JP6324860B2 (ja) | 半導体若しくは電子部品実装装置及び半導体若しくは電子部品実装方法 | |
JP2014154775A (ja) | 電子部品の実装方法及び実装装置 | |
KR20110027971A (ko) | 터치패널용 fpc 본딩장치 | |
JP4622460B2 (ja) | 電子部品実装方法及び装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20110228 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120306 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120308 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120417 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120522 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120604 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150629 Year of fee payment: 3 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 5024301 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |