JP5660710B2 - ターゲットの製造方法、磁気記録媒体の製造方法 - Google Patents
ターゲットの製造方法、磁気記録媒体の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5660710B2 JP5660710B2 JP2010174208A JP2010174208A JP5660710B2 JP 5660710 B2 JP5660710 B2 JP 5660710B2 JP 2010174208 A JP2010174208 A JP 2010174208A JP 2010174208 A JP2010174208 A JP 2010174208A JP 5660710 B2 JP5660710 B2 JP 5660710B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mol
- magnetic
- target
- layer
- oxide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
- Magnetic Record Carriers (AREA)
- Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)
- Thin Magnetic Films (AREA)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010174208A JP5660710B2 (ja) | 2010-08-03 | 2010-08-03 | ターゲットの製造方法、磁気記録媒体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2010174208A JP5660710B2 (ja) | 2010-08-03 | 2010-08-03 | ターゲットの製造方法、磁気記録媒体の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2012033247A JP2012033247A (ja) | 2012-02-16 |
| JP2012033247A5 JP2012033247A5 (enExample) | 2014-03-06 |
| JP5660710B2 true JP5660710B2 (ja) | 2015-01-28 |
Family
ID=45846483
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2010174208A Active JP5660710B2 (ja) | 2010-08-03 | 2010-08-03 | ターゲットの製造方法、磁気記録媒体の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP5660710B2 (enExample) |
Families Citing this family (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6144570B2 (ja) * | 2013-08-05 | 2017-06-07 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
| MY184023A (en) * | 2016-02-19 | 2021-03-17 | Jx Nippon Mining & Metals Corp | Sputtering target for magnetic recording medium, and magnetic thin film |
| CN107303127B (zh) * | 2016-04-25 | 2019-08-09 | 佛山市顺德区美的电热电器制造有限公司 | 一种烹饪锅具及其制造方法 |
| TWI671418B (zh) * | 2017-09-21 | 2019-09-11 | 日商Jx金屬股份有限公司 | 濺鍍靶、積層膜之製造方法、積層膜及磁記錄媒體 |
| MY209580A (en) * | 2019-11-01 | 2025-07-23 | Univ Tohoku | Sputtering target for heat-assisted magnetic recording medium |
| JP7625112B1 (ja) | 2024-03-29 | 2025-01-31 | Jx金属株式会社 | 磁性材ターゲット及び磁性材ターゲット組立品 |
| JP7625111B1 (ja) | 2024-03-29 | 2025-01-31 | Jx金属株式会社 | 磁性材ターゲット及び磁性材ターゲット組立品 |
| JP7625109B1 (ja) | 2024-03-29 | 2025-01-31 | Jx金属株式会社 | 磁性材ターゲット及び磁性材ターゲット組立品 |
| JP7625113B1 (ja) | 2024-03-29 | 2025-01-31 | Jx金属株式会社 | 磁性材ターゲット及び磁性材ターゲット組立品 |
| JP7625110B1 (ja) | 2024-03-29 | 2025-01-31 | Jx金属株式会社 | 磁性材ターゲット及び磁性材ターゲット組立品 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001011601A (ja) * | 1999-07-01 | 2001-01-16 | Nikko Materials Co Ltd | 光メディア保護膜用材料 |
| JP2006176810A (ja) * | 2004-12-21 | 2006-07-06 | Mitsubishi Materials Corp | 磁気記録膜形成用CoCrPt−SiO2スパッタリングターゲットの製造方法 |
| JP2009132976A (ja) * | 2007-11-30 | 2009-06-18 | Mitsubishi Materials Corp | 比透磁率の低い垂直磁気記録媒体膜形成用スパッタリングターゲット |
| JPWO2010074171A1 (ja) * | 2008-12-26 | 2012-06-21 | 三井金属鉱業株式会社 | スパッタリングターゲットおよび膜の形成方法 |
-
2010
- 2010-08-03 JP JP2010174208A patent/JP5660710B2/ja active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2012033247A (ja) | 2012-02-16 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP5660710B2 (ja) | ターゲットの製造方法、磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP4185391B2 (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
| CN103534757B (zh) | 磁记录介质及其制造方法以及磁记录再生装置 | |
| JP2009238298A (ja) | 垂直磁気記録媒体および垂直磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP5536540B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
| JP5775720B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
| JP5894780B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP4219941B2 (ja) | 磁気記録媒体、その製造方法および磁気記録再生装置 | |
| JP6265529B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
| JP2017134877A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
| JP6144570B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法、磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
| JP5244679B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法 | |
| JP5890756B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
| JP4472767B2 (ja) | 磁気記録媒体および磁気記録再生装置 | |
| JP2013246856A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
| JP2014099226A (ja) | サーボ情報記録方法及び磁気記憶装置 | |
| JP2011123976A (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
| JP5232730B2 (ja) | 磁気記録媒体、磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
| JP2014010851A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記憶装置 | |
| JP2011123977A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
| JP5677789B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
| JP2014075162A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
| JP5771427B2 (ja) | 磁気記録媒体の製造方法及び磁気記録再生装置 | |
| JP6566907B2 (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 | |
| JP2010262719A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130531 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140121 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140228 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140331 |
|
| A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140416 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20141128 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20141201 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5660710 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |