JP6566907B2 - 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 - Google Patents
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Description
実施例1〜12、比較例1〜14における磁気記録媒体は、先ず、洗浄済みのガラス基板(コニカミノルタ社製、外形2.5インチ)を、DCマグネトロンスパッタリング装置(アネルバ社製C−3040)の成膜チャンバ内に収容して、到達真空度1×10−5Paとなるまで成膜チャンバ内を減圧排気した後、このガラス基板の上に、Crターゲットを用いて、層厚10nmの密着層を成膜した。また、この密着層の上に、基板温度を100℃以下とし、Co−20Fe−5Zr−5Ta{Fe含有量20原子%、Zr含有量5原子%、Ta含有量5原子%、残部Co}のターゲットを用いて、層厚25nmの軟磁性層を成膜し、この上に層厚0.7nmのRu層を成膜した後、再びCo−20Fe−5Zr−5Taのターゲットを用いて、層厚25nmの軟磁性層を成膜して、これを軟磁性下地層とした。
2 軟磁性下地層
2a 軟磁性下地層の表面
3 配向制御層
3a ドーム状の凸部
4 垂直磁性層
4a 下層の磁性層
4b 中層の磁性層
4c 上層の磁性層
5 保護層
6 潤滑層
7 非磁性層
7a 下層の非磁性層
7b 上層の非磁性層
8 非磁性下地層
9 シード層
9a シード層の表面
11 配向制御層
11a 凹凸面
12、13 磁性層又は非磁性層
14 磁性層
15 酸化物
41 酸化物
42 磁性粒子
50 磁気記録媒体
51 媒体駆動部
52 磁気ヘッド
53 ヘッド駆動部
54 記録再生信号処理系
S、S1〜S3 柱状晶
Claims (4)
- 非磁性基板の上に、軟磁性下地層、シード層、配向制御層、垂直磁性層が、順に積層されている構造を少なくとも有する磁気記録媒体であって、
前記軟磁性下地層は、アモルファス若しくは微結晶構造を有し、
前記シード層は、Auを90原子%〜40原子%の範囲内、Wを5原子%〜30原子%の範囲内、CrまたはVを5原子%〜30原子%の範囲内で含み、
前記配向制御層及び前記垂直磁性層は、前記シード層を起点にして、それぞれの結晶粒子が厚み方向に連続した柱状晶を構成していることを特徴とする磁気記録媒体。 - 前記シード層の膜厚は、0.5nm〜10nmの範囲内であることを特徴とする請求項1に記載の磁気記録媒体。
- 前記配向制御層は、Ru、Ru合金、CoCr合金のうちから選ばれる1または2以上のものを含むことを特徴とする請求項1または2に記載の磁気記録媒体。
- 請求項1から3の何れか一項に記載の磁気記録媒体と、
前記磁気記録媒体に対する情報の記録再生を行う磁気ヘッドと、
を備えることを特徴とする磁気記録再生装置。
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