JP5638390B2 - ろ過方法、およびそれを用いた研磨用組成物の精製方法ならびにろ過に用いるフィルターの再生方法およびフィルター再生装置 - Google Patents

Description

本発明は各種の液体、特に研磨剤等の微粒子を分散質として含む液体のろ過方法およびろ過に使用したフィルターの再生方法に関するものである。

研磨剤と研磨パッドを用いたポリシング作業において年々、加工面の表面平滑度および無欠陥性の要求水準が高くなっている。それに伴い研磨用組成物に含まれる砥粒の粒子径はより小さくなってきている。また、一般的に砥粒の粒子径は分布をもっており、意図した粒子径に対して極端に大きな粗大粒子が含まれていた場合には、その粗大粒子はスクラッチなどの表面欠陥の原因となるため、これを除去する必要がある。

このような液体媒体中に分散した粗大粒子は、通常フィルターによって除去される。効率よく粗大粒子を捕獲するには、目開きのより細かなフィルターを使うことが望ましい。しかし、フィルターの目開きが小さければ小さいほど、目詰まりが発生しやすくなる。目詰まりが発生すると、粗大粒子の除去効率が悪くなり、最終的にはフィルターが使用不能となる。このため、目詰まりが発生しにくいろ過方法、あるいは目詰まりが発生した場合にそれを容易に回復させる方法が望まれている。

このような観点から、各種のろ過方法が検討されている。特許文献１には、流体をろ過するフィルターに、直接超音波振動を与え、流体の粘度が高くなることを抑えたり、振動によりフィルターの効率をあげたフィルターや、フィルターが目詰まりした場合、フィルターに直接振動を与える事により、目詰まりした流体の粘度が低下したり、振動により粉砕される事により、逆圧洗浄しやすくしたフィルターが記載されている。

特許文献２には、液体のろ過方法において、連続的または断続的に超音波を照射しながらろ過することを特徴とする液体のろ過方法が記載されている。

特許文献３には、中空糸膜、不織布、連続気泡スポンジ、ファイバー、粒状体等のろ材をハウジング内に収納してなるろ過装置に於て、ハウジングの対向する２端面に夫々超音波振動子を取付け、各振動子の発生する超音波の位相が同一に重ならない位置に該振動子の取付け位置を構成してなるろ過装置が記載されている。

上記の文献には、フィルター性の改善を目的として超音波を利用することが述べられているが、数１０〜数１００ｎｍの研磨剤用粒子中の粗大粒子（数１００〜数１０００ｎｍ）を除去する工程に有効な方法は提供されていない。

特開２００４−０５０１３７号公報 特開平０８−２８１０２０号公報 特開平０７−２７５６１５号公報

本発明はこのような課題に鑑みてなされたものであり、目詰まり除去、フィルターの長寿命化、およびフィルター交換間隔の長期化のすべて満たすことができるろ過方法もしくはフィルター再生方法を提供することを目的とするものである。

本発明によるろ過方法は、樹脂製メディアフィルターを用いて液体をろ過する方法であって、ろ過時またはろ過使用後に前記フィルターに対して周波数３０ｋＨｚ以上の超音波照射すること含んでなることを特徴とするものである。

また、本発明による研磨用組成物の精製方法は、前記のろ過方法を使用して、研磨用組成物をろ過することを含んでなることを特徴とするものである。

また、本発明によるメディアフィルターの再生方法は、溶媒中に不溶な微粒子成分が分散されている分散液または分散物から微粒子成分を除去するためのろ過に使用した、使用済樹脂製メディアフィルターに周波数３０ｋＨｚ以上の超音波を照射することを含むことを特徴とするものである。

さらに、本発明によるフィルター再生装置は、洗浄液中に浸漬された使用済樹脂製メディアフィルターに周波数３０ｋＨｚ以上の超音波を照射することができる超音波発生装置を具備してなることを特徴とするものである。

本発明によれば、ろ過時に超音波の照射を行うことで、ろ過の作業効率を損なうことなくフィルター目詰まりの防止ができ、フィルターの寿命を延ばすことができる。また、ろ過終了時に超音波を照射することにより、一度目詰まりを起こしたフィルターから異物を除去することができ、フィルターのろ過能力を再生することができる。しかも、これらの作業をフィルターをハウジングまたはカートリッジに設置したままで行うことができるために、工程の作業効率を損なうことも少ない。また、フィルター再生を別の独立したフィルター再生装置で行うことにより、ろ過工程を特別な構造とすることなくフィルター再生を行うこともできる。

本発明によるろ過方法に用いることができるろ過設備の概念図。 本発明によるフィルター再生装置の側面概念図。 本発明によるフィルター再生装置におけるフィルターの配置を示す上面概念図。

ろ過対象となる液体
本発明によるろ過方法において、ろ過をする対象となる液体は特に限定されない。すなわち、液体に含まれる成分とその液体から除去すべき成分とに応じて、後述するフィルターを選択することにより、任意の液体に対して本発明によるろ過方法を適用することができる。しかしながら、本発明によるろ過方法は、溶媒中に不溶な微粒子成分が分散されている分散液または分散物から微粒子成分、特に粗大粒子等を除去するのに特に有効である。すなわち、液体中に分散された粒子のうち、望ましい粒子径を有する粒子を透過させ、一方で望ましい範囲より大きい粒子や、その他の相対的に大きな不純物成分を除去することを目的に、フィルターの目詰まりを防止しながらろ過する場合に、本発明の方法を用いることが好ましい。

したがって、本発明によるろ過方法は、１０〜１０００ｎｍの粒子が主として分散媒中に分散された液体を対象とすることが好ましい。さらには、２０〜１００ｎｍの粒子が主として分散媒中に分散された液体を対象とすることがより好ましい。ここで、粒子径はＢＥＴ法によって測定されたものである。なお、粒子径の測定方法はほかにも光散乱法、レーザー回折法などがある。これらによって測定された粒子径は、ＢＥＴ法により測定された粒子径と直接比較することは困難であるが、測定方法の原理などを考慮しながら、ＢＥＴ法以外の方法により測定された粒子径を利用することが可能な場合もある。

このような液体の具体的な例のひとつは、研磨用組成物である。研磨用組成物は、例えば、シリコン基板、シリコンカーバイド基板、金属酸化物、半導体デバイス基板、ハードディスク用基板、ガラス、またはプラスチックなどを研磨するための、アルミナ、シリカ、セリア、チタニア、ジルコニアなどの酸化物粒子、ダイアモンド、窒化珪素、窒化ホウ素などの砥粒粒子を含むものである。これらのうち、本発明によるろ過方法を適用するのが好ましい研磨用組成物は、コロイダル粒子を含むものであり、コロイダルシリカを含むものが最も好ましい。本発明によるろ過方法は、このような研磨用組成物から、原料に含まれる粗大粒子等の不純物のほか、調製時に精製する凝集物や異物を取り除くのに用いることが好ましい。

また、研磨用組成物そのものではなく、その原料に本発明によるろ過方法を適用することも好ましい。すなわち、研磨用組成物の原料となる微粒子砥粒を含む分散液から粗大粒子、ゲル、異物等を取り除くことを目的として、あるいは砥粒以外の各種添加剤溶液中に含まれる未溶解物、異物等を取り除くのに本発明によるろ過方法を用いることも好ましい。

本発明によるろ過方法を研磨用組成物に適用するのは、製品として容器に充填する前に限られない。ユーザーが実際に研磨に使用する前や、一度使用された研磨用組成物を再生して再利用しようとする場合にも、本発明のろ過方法を用いることができる。

ろ過方法
本発明によるろ過方法は、前記の液体をフィルターを用いてろ過することを含んでなる。ここで、本発明によるろ過方法では樹脂製メディアフィルターを用いることが必要である。樹脂製メディアフィルターとは、フィルターが樹脂からなるものをいう。ここで、フィルターのすべてが樹脂で構成される必要はなく、例えばフィルターの機械的強度を改良するために芯材として繊維や金属などを含んでいてもよい。ただし、この場合であっても、芯材は樹脂により被覆されて、ろ過する液体とは樹脂のみが接触するものであることが必要である。樹脂製メディアフィルターは各種のものが知られており、目的に応じて任意のものを用いることができる。好ましくは、樹脂製メディアフィルターは樹脂でできたフィルター本体のみからなるものが用いられる。また、フィルターおよびそれを内包するカートリッジから構成されたカートリッジ状のものも用いられる。このようなカートリッジ状フィルターは、それらの主たる部材が樹脂製であり、必要に応じてパッキング等にゴムが用いられ。金属を全く使わないものが好ましい。このようなメディアフィルターは微粒子分離用、あるいは微生物分離用として各種のものが市販されているが、いずれを用いることもできる。

樹脂製メディアフィルターにはポリプロピレンなどの樹脂からなる繊維をランダムにかつ均一に一定の厚みを持たせて成形した不織布タイプと、樹脂膜に０．０１〜数μｍ程度の穴を開けて成形されるメンブレンタイプがある。本発明にはいずれのタイプのものを用いてもよいが、ろ過精度の点からメンブレンフィルターを用いることが好ましい。

さらに、メンブレンフィルターには大別すると次の２種類の形式のものが存在する。一つは、平面状のメンブレンそのものである平面的フィルターである。もう一つは、四角形の平面状メンブレンの相対する辺をつなぎ合わせてパイプ状にし、さらにプリーツ（ヒダ）をつけてコンパクトにしたものである。このようなパイプ状フィルターは、一般的に、一端または両端は液が漏れないように加工を施され、またカートリッジに収納された形態で取り扱われることが多い。通常、工業的な使用には、カートリッジに収納された、カートリッジ状の立体的またはパイプ状フィルターが好ましく使用される。これは、ろ過面積が大きく、また取り扱い性にも優れるためである。

メンブレンフィルターの材質は、特に限定されないが、ろ過しようとする液体に対して不活性であることが好ましい。液体が水性である場合には、一般的な樹脂からなるものを用いることができる。具体的には、メンブレンフィルターの材質は、ナイロン、ポリカーボネート、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、またはセルロースであることが好ましい。ナイロンの具体例として、ナイロン６、ナイロン６６が挙げられる。セルロースには水酸基が置換された誘導体も包含され、具体例として、セルロースアセテート、セルロースエステルが挙げられる。また、後述するように、本発明によるろ過方法ではフィルターに対して超音波が照射されるが、このときにフィルターに詰まった不純物が容易に除去されることが好ましい。このような観点からみると、ナイロン、ポリカーボネート、およびＰＴＦＥが好ましいものであり、ナイロンが最も好ましいものである。

このようなメンブレンフィルターは種々のものが市販されているが、例えば、日本ポール株式会社製バラファインシリーズ（商品名）、ウルチポアＮ６６（商品名）、ＡＤＶＡＮＴＥＣ東洋株式会社製アセテートメンブレンフィルター（商品名）、例えばニュークリポア（商品名）等が挙げられる。

フィルターのろ過精度は、ろ過しようとする液体の種類、含まれる成分、除去すべき不純物の大きさなどに応じて任意のものを用いることができる。例えば、一般的な研磨用組成物を効率的に除去するためにはフィルターのろ過精度が５μｍ以下であること好ましく、１μｍ以下がより好ましく、０．５μｍ以下がさらに好ましく、０．３μｍ以下が最も好ましい。このときのろ過精度０．３μｍとは、０．３μｍ以上の粒子を９９．９％以上除去するものと定義する。

本発明によるろ過方法においては、ろ過時、あるいはろ過後に超音波を照射することが必要である。すなわち、超音波を照射することにより、フィルターが粒子によって目詰まりすることを防ぎ、また目詰まりしたフィルターから粒子を除去してフィルターを再生するのである。

本発明によるろ過方法において照射される超音波の周波数は、３０ｋＨｚ以上であることが必須であり、５０ｋＨｚ以上であることが好ましく、７０ｋＨｚ以上であることが最も好ましい。超音波の周波数が低すぎるとフィルターが破損することがあるためである。一方、周波数が過度に高いとフィルターの再生率が下がる傾向にあるので、フィルターの再生率を良好に保つという観点からは、超音波の周波数は９００ｋＨｚ以下であることが好ましく、２００ｋＨｚ以下であることがより好ましく、１００ｋＨｚ以下であることが最も好ましい。

なお、本発明においてフィルターに照射する超音波の周波数は、より低いほうが再生または洗浄効果が高い傾向にあるが、一方で周波数が低いとフィルターが破損しやすくなる傾向にある。

ここで、フィルターの破損を防ぐためには、超音波の周波数を調整するほかに、フィルターをより破損しにくくすることもできる。例えば、メンブレンフィルターの表面に、ろ過を阻害しないような粗い網目状の樹脂、例えばポリエチレンやポリプロピレンからなる層を設けて強度を改良することができる。このようなフィルター表面に樹脂層がサポート材として配置されたメンブレンフィルターも市販されている。また、フィルターの芯材として、金属や繊維が埋め込まれているようなフィルターを用いることができる。このような強化された構造を有するフィルターを用いることで、より低い周波数の超音波を使用することが可能となり、再生率などをより改良することができる。

このような観点から、フィルターがサポート材を有していない場合あるいは特別の補強をされていない場合には、少し高めの周波数の超音波を照射することが好ましい。具体的には、周波数が５０ｋＨｚ以上の超音波を用いることが好ましく、周波数が１００ｋＨｚ以上の超音波を用いることがより好ましい。

超音波は、一般的にフィルターが配置されたフィルターハウジング内またはフィルターカートリッジに隣接して設けられた超音波振動子により照射されるのが一般的である。超音波振動子は、ろ過時またはろ過後にフィルターに超音波を照射できるのであれば任意の位置に配置することができる。しかしながら、超音波振動子の位置はフィルターハウジング内の側面または底部、あるいはフィルターカートリッジの外側面にあることが好ましく、フィルターにより近い側面であることがより好ましい。更に、フィルターへの超音波の照射が均一に行われる様、超音波振動子の数量及び位置が調整されていることが好ましい。一般的に超音波振動子には超音波発信子が接続され、それによって超音波の周波数等が制御される。

また、超音波の出力は、目詰まりの防止、またはフィルターからの不純物の除去のためには高いほうがよいが、一方でフィルターの破損を防ぐという観点からは一定以下であることが好ましい。このような観点から、超音波の出力は０．１〜３．０Ｗ／ｃｍ²であることが好ましい。また、超音波の照射時間は、種々の条件により変化するが一般的には５分以上とすることが好ましく、１〜５時間とすることがより好ましい。

また、ろ過に際して、照射する超音波の周波数は一定であってもよいが、変調させることもできる。一般に、超音波の周波数は低い方がフィルター洗浄性に優れているが、周波数が低いと、超音波の入射波と反射波によって生じる定在波の音圧変化の間隔が長くなり、洗浄にムラが生じやすくなる傾向にある。そこで、超音波の周波数を、例えば中心値より±５％変調させることにより、洗浄ムラを解消する効果が得られることがあるので好ましい。

また、洗浄液には目詰まり物質を溶解させる薬液または薬剤を併用することもできる。用いる薬液又は薬剤は、除去すべき物質の種類によって用いるべきものが異なっており、そのような薬剤を含む洗浄液を用いれば、除去すべき物質を溶解させて除去する事ができるので、洗浄力向上の効果が得られる。

除去すべき液体が有機物である場合、薬剤には酸化剤を用いることが良く、具体的には過酸化水素、過硫酸塩、次亜塩素酸塩、塩素酸塩及び過硫酸塩などが用いられる。なかでも過酸化水素を用いることが好ましい。

除去すべき物質が金属である場合、薬剤には酸化剤に加えて有機酸又は無機酸からなる酸添加したものを用いることが良く、好ましくは硝酸、硫酸、塩酸、リン酸、ホウ酸などの無機酸を用いるのが良い、より好ましくは過酸化水素と、硫酸又は塩酸を用いるのがよい。

除去すべき物質がシリカ砥粒の場合、薬剤にはアルカリ化合物を用いる事が良く、具体的にはアルカリ金属の水酸化物やアンモニア、アミンや第四級アンモニウム水酸化物が用いられる。なかでも水酸化カリウムが好ましく用いられる。このようなアルカリ化合物を用いる場合には、より効率よくフィルターを再生するために、０．１％以上の濃度とすることが好ましく、５％以上とすることがより好ましい。しかし、過度にアルカリ化合物の５濃度が高いとろ過装置の腐食などの原因となるので、一般に２０％以下、好ましくは１０%以下とすべきである。

また、洗浄液のｐＨは８以上であることが好ましい。洗浄液の温度は特に限定されないが、用いるフィルターによっては過度に温度が高いとフィルターそのものが破損することがある。一方で洗浄液の温度が低いと、除去すべき可溶成分の溶解および除去が効率的にできないので、過度に低い温度とすることは避けるべきである。このような観点から、洗浄液の温度は２０〜８０℃とされることが好ましく、４０〜６０℃とされることがより好ましい。

ろ過設備
本発明によるろ過方法により液体から不純物を除去するための設備を図を用いて説明すると以下の通りである。なお、このろ過設備は、本発明によるろ過方法の一例を示すものであって、これに限定されるものではない。

図１は、本発明によるろ過方法を用いることができるろ過設備の一例を示す図である。

ろ過前の液体を備蓄するタンク６はポンプ４Ａを介して、フィルターカートリッジ２と配管で連結されている。ポンプ４Ａとフィルターカートリッジ２の間には、三方弁９Ａが設けられている。

フィルターカートリッジ２の中には、樹脂製メディアフィルター１が配置されており、フィルターカートリッジに設けられた２つの液体の入出口のうち、一方からフィルターカートリッジ２内に導入された液体は、この樹脂製メディアフィルターを通過して、もう一方からフィルターカートリッジ外に放出される。また、フィルターカートリッジ２内には、超音波振動子３が配置されている。この超音波振動子３は、超音波発信子（図示せず）により振動が制御される。

フィルターカートリッジ２から放出された液体は、三方弁９Ｂおよび９Ｃを介してろ過後タンク７に連結されている。三方弁９Ｂおよび９Ｃで分岐した配管はポンプ４Ｂに連結されている。

ろ過前タンク６に貯留された液体をろ過する場合には、以下のように液体が流れる。まずろ過前タンク６に貯留された液体は、ポンプ４Ａによりくみ出され、フィルターカートリッジ２に導入される。このとき、三方弁９Ａはポンプ４Ａからフィルターカートリッジ２に液体が流れるように設定される。フィルターカートリッジ２に導入された液体は、樹脂製メディアフィルター１によりろ過され、配管を経て、ろ過後タンク７へと放出される。このとき、三方弁９Ｂおよび９Ｃはフィルターカートリッジ２とろ過後タンク７とを直結するように設定される。このときの液体の流れは図１中に黒矢印で示されている。

ここで、フィルターにより液体がろ過される際、あるいはろ過後に超音波振動子３によってフィルター１に超音波が照射される。この超音波によって、フィルターの目詰まりが予防されるか、目詰まりしたフィルターが再生される。

ろ過時に超音波を照射する場合には、液体がフィルターを通過している期間、連続的に照射しても、あるいは断続的に照射してもよい。このように超音波を照射しながらろ過することにより、フィルターの目詰まりが予防され、連続運転時間を長くすることができる。

一方、ろ過後に超音波照射する場合は、フィルターによる液体のろ過を完了した後にフィルターを洗浄ないし再生することが目的である。したがって、送液を完全に停止してから、必要に応じてフィルターカートリッジを洗浄液で満たしてから、超音波照射を行うのが一般的である。また、フィルターをろ過設備から取り外して超音波照射をすることも可能である。このような場合には、ろ過設備においてフィルターの取り外しや再組み付けを行う必要があるので作業効率上は不利になることもある。したがって、フィルターカートリッジ内に配置したまま、再生を行うことが一般的には好ましい。

また、ろ過を一端中断して、逆洗作業を行い、その際に超音波を照射することも作業効率向上および再生率向上のために好ましい。逆洗作業とは、ろ過時とは逆方向に液体を送液することで、フィルターを洗浄することをいう。

この逆洗作業の一例を図１を用いて説明すると以下の通りである。

ろ過後タンク７に貯留された液体をポンプ４Ｂでくみ出し、フィルターカートリッジ２に、ろ過時とは逆方向に液体を導入する。このとき、三方弁９Ｂおよび９Ｃはろ過後タンク７からポンプ４Ｂを経てフィルターカートリッジ２に連結するように設定される。

ろ過後の液体はフィルターを逆方向に通過するが、このときに超音波が照射されることにより、効率的にフィルターの目詰まりが解消される。そして、フィルターカートリッジ２から放出された液体は、三方弁９Ａを通過し、系外に排出される。このとき、三方弁９Ａは、フィルターカートリッジから放出される液体が系外に排出されるように設定される。このときの液体の流れは図１中に白矢印で示されている。なお、逆方向に流す液体は、ろ過後の液体である必要はなく、水などを流すことも可能である。

なお、ろ過時およびろ過後の両方に超音波照射することも可能である。

このように超音波の照射により液体中の不純物が効率的に除去されるが、この不純物はフィルターカートリッジ２内に堆積する。このような堆積物は、ろ過効率の改善およびフィルターのロングライフ化の観点から、除去することが好ましい。このような堆積物除去のために、パージライン８Ａおよび８Ｂをフィルターカートリッジ２に設置することが好ましい。

また、超音波の照射により、フィルターカートリッジの温度が上昇する傾向にある。特に超音波を連続的に照射する場合には、温度上昇が大きい傾向にある。このような連フィルターカートリッジの温度上昇を防ぎ、長期的かつ安定的にろ過作業をするために、フィルターカートリッジ２に冷却装置を設置することも好ましい。

なお、研磨用組成物のような微粒子分散物は、経時により劣化することがある。このため、ろ過後タンクに貯留されている液体が劣化し、例えば粗大粒子の数が増大することもある。このような場合、ろ過後タンク７からろ過前タンク６に液体を送液するための、ポンプ４Ｃを有する配管を設けておくこともできる。

以上、フィルターの洗浄を行いながらろ過をする方法を説明した。ここで、前記した通り、フィルターをろ過装置に取り付けたまま、連続的にろ過をしながらフィルターを洗浄することは、作業効率上好ましい。しかし、一方で、異なった液体のろ過を行う場合には、それらを連続してろ過することができないので、ろ過操作を一時停止する必要がある。この場合には、ろ過する対象の液体を切り替える際に同時にフィルターの交換を行えばよいので、作業効率上のロスは少ない。また、フィルターの洗浄をしながら連続的にろ過を行う場合には、上記したような逆洗のための設備が必要となるが、フィルターを取り外して洗浄する場合にはそのような設備は不要である。このために、フィルターを取り外して洗浄することが有利な場合もある。そのようにフィルターを取り外してフィルターを再生する場合には別のフィルター再生装置を用いることが好ましい。そのようなフィルター再生装置の一実施態様の概念図は、図２および図３に示す通りである。図２は側面から見た概念図であり、図３は洗浄槽の平面概念図である。

このフィルター再生装置は、洗浄槽（内槽）２１０と冷却槽（外槽）２１１の二重構造となっている。これらの槽の間には温度制御用媒体２１３が満たされている。この媒体は、洗浄槽２１０中の洗浄液の温度を調整するためのものであり、温度制御装置（図示せず）によって温度が制御される。洗浄槽２１０中にはフィルター回転定盤２０７が配置されている。この定盤は洗浄しようとするフィルター２０６を固定するためのものである。

フィルターを洗浄するための洗浄液２１３は洗浄液貯蔵タンク２０１に貯蔵されており、ポンプ２０３により、洗浄液中に浮遊する不溶成分等を除去するための洗浄液ろ過用フィルター２０４や流量計２０５を経由して、再生しようとする樹脂製メディアフィルター２０６中に導入される。フィルター中に導入された洗浄液は、フィルターのろ過面を透過して、洗浄槽２１０中に流出し、フィルターは洗浄液中に浸漬される。本発明によるフィルター再生装置は、このときに超音波発生装置２０８により周波数が３０ＭＨｚ以上の超音波を照射することができる。この超音波の照射によって、フィルターの再生が効率よく行うことができる。このようにしてフィルターに付着していた不溶性成分、例えばシリカ粒子などが洗浄槽中２１０中に排出されて、フィルターが再生される。

洗浄槽中に排出された洗浄液は、配管を経由して洗浄液貯蔵タンクに回収され、さらなる再生に利用される。このとき、洗浄液貯蔵タンクに温度制御装置２０２を設けて、温度を制御することが好ましい。なお、ポンプ、洗浄液ろ過用フィルター、流量計などの接続順序や個数は特に限定されず、必要に応じて任意の順序に接続することができる。

本発明によるフィルター再生装置は、図３に示すように、フィルター回転定盤２０７に、同時に複数のフィルターを固定することが可能である。複数のフィルターを同時に処理することによって、より効率の良いフィルター再生を実施できる。さらには、フィルター回転定盤を回転させることにより、複数のフィルターに対して超音波が均一に照射されるようにされていてもよい。このような場合、回転定盤２０７の回転は一定方向でなく、反転するようにすることもできる。さらには、フィルター２０６をそれぞれ回転させることにより、それぞれのフィルターについて、いずれの部分にも均一に超音波を照射することが可能となる。このように回転定盤の回転、すなわち公転と、各フィルターの回転、すなわち自転を組み合わせることで、より均一かつ効率の良いフィルター再生が実現できる。

ここで用いられる超音波発生装置２０８は、３０ｋＨｚ以上の超音波を照射できるものであれば特に限定されないが、与える電気エネルギーに応じて超音波を調整できる超音波振動子であることが好ましい。また、前記したように、超音波の周波数を変化させることが好ましいので、変調機能付き超音波振動子とすることもできる。さらには、再生しようとするフィルターに均一に超音波を照射するために、超音波発生装置を複数配置することも可能である。特に再生しようとするフィルターが複数固定されている場合には、各フィルターに超音波が均一に照射されるように配置することが好ましい。このとき、超音波発生装置の位置も適当に調整して、フィルターに均一な超音波が照射されるようにすることが好ましい。また、固定されている各フィルターのいずれの部分にも均一に超音波が照射されるように配置することも好ましい。

また、図２には、使用済みのフィルターの内側に洗浄液を供給し、外側に透過させるフィルター再生装置が示されているが、逆方向に透過させてもよく、また洗浄の際に洗浄液の透過方向を反転させてもよい。なお、洗浄液の透過方向は、フィルターをろ過に使用した方向と逆方向とする方が、再生効率がより高くなる。

本発明を諸例を用いて説明すると以下の通りである。

実施例１〜１１および比較例１〜４
ろ過対象の液体として、ＢＥＴ法により測定された平均粒子径が５０ｎｍであるコロイダルシリカを４０重量％の濃度で含む分散液を準備した。一方、表１に記載された全長約５０ｍｍの樹脂カートリッジに収納されたパイプ状メンブレンフィルター（フィルターサイズ全長約５０ｍｍ；外径約７０ｍｍ、内径２５〜３０ｍｍ）をろ過装置に設置し、ダイヤフラムポンプを用いて、空気送り圧０．２５ＭＰａでろ過をした。目詰まりによりろ過が不能となるまでろ過を続け、ろ過できた分散液の体積（Ａ）を測定した。

引き続き、使用したフィルターの再生処理を行った。ろ過終了のフィルターに、ろ過時とは逆方向に５Ｌの純水を通し、その後フィルターを取り外し、フィルターを超音波装置の浴槽内に水を張って入れ、出力０．７Ｗ／ｃｍ^２で超音波を５分間連続的に照射した。超音波の周波数は表１に示した通りとした。

このとき用いた超音波発生装置は以下の通りである。
２６ｋＨｚ ＰＨＥＮＩＸ ＩＩ（商品名、株式会社カイジョー製）
３８ｋＨｚ ＰＨＥＮＩＸ ＦＭ（商品名、株式会社カイジョー製）
５０ｋＨｚ ＣＬＩＭＰＵＬＳＥ Ｈ（商品名、株式会社カイジョー製）
７８ｋＨｚ ＰＨＥＮＩＸ ＬＥＧＥＮＤ（商品名、株式会社カイジョー製）
１００ｋＨｚ ＰＨＥＮＩＸ ＬＥＧＥＮＤ（商品名、株式会社カイジョー製）
２００ｋＨｚ ＵＬＴＲＡ ＧＥＮＥＲＡＴＩＯＮ（商品名、株式会社サン電子製）
９５０ｋＨｚ ＨＩ ＭＥＧＡＳＯＮＩＣ（商品名、株式会社カイジョー製）

実施例９においては超音波照射の後に、さらにフィルターに対してろ過時とは逆方向に純水５Ｌを通す逆洗洗浄を行った。また、比較例３および４においては実施例９と同様の逆洗洗浄を行ったが、超音波の照射を行わなかった。

再生処理終了後、フィルターをろ過装置に再度設置し、コロイダルシリカ分散液を再度ろ過した。目詰まりによりろ過が不能となるまでろ過を続け、ろ過できた分散液の体積（Ｂ）を測定した。

このように再生処理の前後におけるろ過可能量を測定し、その比率Ｂ／Ａをフィルター再生率とした。

また、ろ過精度を次のように定義した。
再生処理の前後で、それぞれろ過された分散液に含まれる粒子径が０．５６μｍ以上の粗大粒子の個数を個数カウント装置（パーティクルサイジングシステム社製、Ａｃｃｕｓｉｚｅｒ７８０ＡＰＳ）により測定し、以下の判断基準で評価した。
再生処理前後の粗大粒子の個数が同等であれば良
再生後の粗大粒子数が再生前の粗大粒子数を基準として０．９以上であればやや良
再生後の粗大粒子数が再生前の粗大粒子数を基準として０．９未満であれば不良

さらに、金属不純物については、以下の通り評価した。
測定器として誘導結合プラズマ質量分析計（アジレント・テクノロジー社製 ＨＰ４５００型（商品名））を用いて、Ｎａ、Ａｌ、Ｋ、Ｃａ、Ｔｉ、Ｃｒ、Ｆｅ、Ｎｉ、Ｃｕ、Ｚｎ、Ａｇ、およびＰｂの金属がそれぞれ５００ｐｐｂ以下である場合に良、それを超える場合に不良とした。

得られた結果は表１に示す通りであった。

表１から明らかなように、超音波の周波数が本発明において特定された範囲よりも低いとフィルターが破損して再利用ができなかった（比較例１）。

ポリエーテルスルホン製のフィルターを用いた場合、超音波照射のみによる再生処理（実施例６）では再生が不十分となる傾向が認められたが、逆洗洗浄を追加した場合（実施例７）には十分に再生することができた。

実施例１２
実施例１と同じろ過装置およびフィルターを用いて、３８ｋＨｚの超音波を照射しながらろ過実験を行った。フィルターが目詰まりするまでの時間は、実施例１の場合に比較して１．５倍に伸びた。またフィルター再生率及びろ過精度は実施例１の場合と同等であった。

実施例１３および１４
ろ過対象の液体として、ＢＥＴ法で測定した平均粒子径が３５ｎｍ（光散乱法で測定された平均粒子径は７０ｎｍ）であるコロイダルシリカを２０重量％の濃度で含む分散液を準備した。一方、全長約５０ｍｍの樹脂カートリッジに収納された目開き０．２μｍのナイロン製メンブレンフィルター（フィルターサイズ全長約５０ｍｍ；外径約７０ｍｍ、内径２５〜３０ｍｍ）をろ過装置に設置し、ダイヤフラムポンプを用いて、空気送り圧０．２５ＭＰａでろ過をした。目詰まりによりろ過が不能となるまでろ過した後、図２に示されるようなフィルター再生装置でフィルターの再生を行った。照射する超音波の周波数を３８ｋＨｚで一定で行った場合（実施例１３）の再生率は４２％であったが、周波数を±５％で変調させた場合（実施例１４）の再生率は５５％まで、さらに改善された。

実施例１５〜１８
実施例１３と同様のろ過を行った後に再生することを３回繰り返し、フィルター再生率の変化を測定した。洗浄液には純水、０．１％ＫＯＨ水溶液、０．２％ＫＯＨ水溶液、２．０％ＫＯＨ水溶液を用いた。得られた結果は表２に示す通りであった。

実施例１９
ろ過対象の液体として、ＢＥＴ法で測定した平均粒子径が３５ｎｍ（光散乱法で測定された平均粒子径は１５０ｎｍ）であるフュームドシリカを２５重量％含み、水酸化カリウムでｐＨを１１．０に調整した水性分散液を準備した。一方、全長約５０ｍｍの樹脂カートリッジに収納された目開き１μｍのポリプロピレン製デプスフィルター（フィルターサイズ全長約５０ｍｍ；外径約７０ｍｍ、内径２５〜３０ｍｍ）をろ過装置に設置し、ダイヤフラムポンプを用いて、空気送り圧０．２５ＭＰａでろ過をした。目詰まりによりろ過が不能となるまでろ過した後、ろ過後のフィルターを、温度の異なった洗浄液で再生し、再生率を評価した。温度が２０℃の時、再生率は７５％であったが、洗浄液の温度を４０℃および５０℃としたとき、再生率は８２％および８４％となった。なお、洗浄液温度が６０℃を超えるとフィルターが破損することがあった。

１ 樹脂製メディアフィルター
２ フィルターカートリッジ
３ 超音波振動子
４Ａ、４Ｂ 送液ポンプ
６ ろ過前タンク
７ ろ過後タンク
８Ａ、８Ｂ パージライン
２０１ 洗浄液貯蔵タンク
２０２ ２０２
２０３ ポンプ
２０４ 洗浄液ろ過用フィルター
２０５ 流量計
２０６ 樹脂製メディアフィルター
２０７ フィルター回転定盤
２０８ 超音波発生装置
２１０ 洗浄槽
２１１ 冷却槽
２１２ 洗浄液
２１３ 温度制御用媒体

Claims (17)

1. 樹脂製メディアフィルターを用いて粒子を含む液体をデッドエンド方式によりろ過して、所望の粒子径よりも大きい粒子を除去して所望の粒子径を有する粒子を含む液体を得る方法であって、ろ過時またはろ過終了後に前記フィルターに対して周波数３０ｋＨｚ以上の超音波照射することにより前記樹脂製メディアフィルターを再生することを含んでなり、
   前記樹脂製メディアフィルターの材質が、ナイロン、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリプロピレン、およびセルロースからなる群から選択されるものであることを特徴とするろ過方法。
2. ろ過使用後の前記フィルターを別の再生装置に移設し、前記フィルターに対して、超音波照射を行なうことによってフィルターを再生することを含む、請求項１記載のろ過方法。
3. 前記樹脂製メディアフィルターがメンブレンフィルターである、請求項１または２に記載のろ過方法。
4. 前記メンブレンフィルターの形状がカートリッジ状である、請求項１〜３のいずれか１項に記載のろ過方法。
5. 前記フィルターの表面に、網目状の樹脂層からなるサポート材が配置されている、請求項１〜４のいずれか１項に記載のろ過方法。
6. 超音波の出力が０．１〜３．０Ｗ／ｃｍ²である１〜５のいずれか１項に記載のろ過方法。
7. ろ過後にフィルターにろ過時とは逆方向に液体を透過させて洗浄する工程を含む、請求項１〜６のいずれか１項に記載のろ過方法。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載のろ過方法を使用して、研磨用組成物をろ過することを含んでなることを特徴とする、研磨用組成物の精製方法。
9. 溶媒中に不溶な微粒子成分が分散されている分散液または分散物から所望の粒子径よりも大きい粒子成分をデッドエンド方式により除去するためのろ過に使用した、使用済樹脂製メディアフィルターに周波数３０ｋＨｚ以上の超音波を照射することを含むメディアフィルターの再生方法であって、前記樹脂製メディアフィルターの材質がナイロン、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリプロピレンおよびセルロースからなる群から選択される少なくとも１種以上であることを特徴とする、メディアフィルターの再生方法。
10. 超音波の出力が０．１〜３．０Ｗ／ｃｍ²である、請求項９に記載の再生方法。
11. 使用済樹脂製メディアフィルターに対して、使用時とは逆方向に液体を透過させて洗浄することを含む、請求項９または１０に記載の再生方法。
12. 洗浄液中に浸漬された、溶媒中に不溶な微粒子成分が分散されている分散液または分散物から所望の粒子径よりも大きい粒子成分をデッドエンド方式により除去するためのろ過に使用された使用済樹脂製メディアフィルターに周波数３０ｋＨｚ以上の超音波を照射することにより前記メディアフィルターを再生することができる超音波発生装置を具備してなるフィルター再生装置であって、前記樹脂製メディアフィルターの材質がナイロン、ポリカーボネート、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリスルホン、ポリエーテルスルホン、ポリプロピレンおよびセルロースからなる群から選択される少なくとも１種以上であることを特徴とする、フィルター再生装置。
13. 前記超音波発生装置が、周波数変調機能を有する超音波振動子である、請求項１２に記載のフィルター再生装置。
14. 超音波を照射しながら、樹脂製メディアフィルターを自転または公転させる機能をさらに有する、請求項１２または１３に記載のフィルター再生装置。
15. 前記メディアフィルターに対して、使用時と逆方向に前記洗浄液を透過させる機能をさらに有する、請求項１２〜１４のいずれか１項に記載のフィルター再生装置。
16. 前記洗浄液の温度を制御する機構をさらに有する、請求項１２〜１５のいずれか１項に記載のフィルター再生装置。
17. 複数の樹脂製メディアフィルターを同時に装填することが可能であり、装填された複数の樹脂製メディアフィルターを同時または順次再生することができる、請求項１２〜１６のいずれか１項に記載のフィルター再生装置。

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