JP5596960B2 - 絶縁膜の形成方法 - Google Patents
絶縁膜の形成方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5596960B2 JP5596960B2 JP2009254731A JP2009254731A JP5596960B2 JP 5596960 B2 JP5596960 B2 JP 5596960B2 JP 2009254731 A JP2009254731 A JP 2009254731A JP 2009254731 A JP2009254731 A JP 2009254731A JP 5596960 B2 JP5596960 B2 JP 5596960B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- insulating film
- organoalkoxysilane
- temperature
- substrate
- coated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
Description
しかしながら、半導体装置の絶縁膜のうち、いわゆるメタル下絶縁膜(PMD)や、素子分離用の絶縁膜として使用するには問題点を有している。すなわち、有機SOGから生成する絶縁膜は、化学構造的にはシリコン原子に直接結合した有機基を有し、これが存在するために低吸湿性や低誘電率といった性能を発揮する。この構造は500℃程度の温度では熱的に安定であるが、700℃を超えるような高温ではシリコン原子と有機基の間の化学結合が切断されてしまう。有機基が切断されたシリコン原子はどの原子とも結合していない原子価(いわゆるダングリングボンド)を有するため、空気中の水や酸素と容易に結合してシラノール基を形成し、有機SOGの利点である低吸湿性や低誘電率といった利点を損なうばかりか、絶縁性の低下というさらに深刻な問題を招くことになる。
本発明の第一の工程である塗布基板を得る工程における塗布方法としては、公知の任意の塗布方法、例えばスピンコート、スプレーコート、ロールコートを用いることができるが、半導体装置用の絶縁膜形成の場合はスピンコートが好適である。塗布の条件は本発明が適用される絶縁膜の所望の膜厚に従って適宜選択すればよい。また塗布後第二の工程である焼成工程を行う前に、有機SOGの溶解に用いた溶媒を除去する目的で加熱処理を行っても良い。加熱処理の温度は使用される溶媒の種類にもよるが、80℃以上150℃以下が好適である。
これらにテトラメトキシシランやテトラエトキシシランのような4官能アルコキシシラン、あるいはトリメトキシシランやトリエトキシシランのような水素化アルコキシシランを共重合して用いてもよい。これらは半導体装置用に広く用いられているので、商業的に入手可能なハネウェル社製ACCUGLASS(同社の登録商標)シリーズや東京応化工業株式会社製OCD(同社の登録商標、以下同じ)シリーズなどを用いることもできる。
焼成工程で使用する水素を含む気体は、焼成工程の最初から、すなわち基板がまだ700℃以下の温度である時点から導入してもよいし、700℃に到達してから導入してもよい。さらに一旦700℃以上900℃以下の温度で水素を含まない気体で第一の加熱を行った後に、水素を含む気体を導入して第二の加熱を行うという二段階で行ってもよい。いずれの方法で行う場合も、焼成を終えた後基板が400℃以下の温度、好ましくは室温程度まで冷却されるまで、水素を含む気体を導入したままにしておくのが好ましい。
本実施例においては、下記の装置を使用した。
(1)塗布装置(スピンコーター)
東京エレクトロン株式会社製 クリーントラックMark−8
(2)焼成装置(縦型焼成炉)
光洋サーモシステム製 VF−2000
(3)膜厚測定装置(分光エリプソメーター)
Jobin Yvon社製 UVISEL
(4)電気特性測定装置
菊水電子工業株式会社製 耐電圧絶縁抵抗測定器 TOS9201
Claims (2)
- 第一の工程として
(A)メチルトリメトキシシランおよびメチルトリエトキシシランから選ばれる3官能オルガノアルコキシシラン、ならびに
(B)ジメチルジメトキシシランおよびジメチルジエトキシシランから選ばれる2官能オルガノアルコキシシラン
から選ばれるオルガノアルコキシシランの加水分解縮合物を含む塗布液を基板上に塗布して塗布基板を得る工程と、
第二の工程として
前記塗布基板を700℃以上900℃以下の温度で水素を含む気体中で加熱して前記塗布膜を焼成して絶縁膜を形成する焼成工程と
を順に含む絶縁膜の形成方法。 - 第一の工程として
(A)メチルトリメトキシシランおよびメチルトリエトキシシランから選ばれる3官能オルガノアルコキシシラン、ならびに
(B)ジメチルジメトキシシランおよびジメチルジエトキシシランから選ばれる2官能オルガノアルコキシシラン
から選ばれるオルガノアルコキシシランと、
(C)テトラメトキシシランおよびテトラエトキシシランから選ばれる4官能アルコキシシラン、ならびに
(D)トリメトキシシランおよびトリエトキシシランから選ばれる水素化アルコキシシラン
から選ばれるオルガノアルコキシシランと、
の加水分解物を含む塗布液を基板上に塗布して塗布基板を得る工程と、
第二の工程として
前記塗布基板を700℃以上900℃以下の温度で水素を含む気体中で加熱して前記塗布膜を焼成して絶縁膜を形成する工程と
を順に含む絶縁膜の形成方法。
Priority Applications (9)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009254731A JP5596960B2 (ja) | 2009-11-06 | 2009-11-06 | 絶縁膜の形成方法 |
TW99120662A TW201120103A (en) | 2009-06-24 | 2010-06-24 | Polysiloxane condensation reaction product |
EP10792179A EP2447303A4 (en) | 2009-06-24 | 2010-06-24 | CONDENSATION PRODUCT OF POLYSILOXANE |
TW103119437A TWI527845B (zh) | 2009-06-24 | 2010-06-24 | Polysiloxane condensation reactants |
US13/380,630 US8906153B2 (en) | 2009-06-24 | 2010-06-24 | Product of polysiloxane condensation |
PCT/JP2010/060787 WO2010150861A1 (ja) | 2009-06-24 | 2010-06-24 | ポリシロキサン縮合反応物 |
CN201080028167.9A CN102459423B (zh) | 2009-06-24 | 2010-06-24 | 聚硅氧烷缩合反应物 |
KR1020117026443A KR101294452B1 (ko) | 2009-06-24 | 2010-06-24 | 폴리실록산 축합 반응물 |
CN201310589077.2A CN103642386A (zh) | 2009-06-24 | 2010-06-24 | 聚硅氧烷缩合反应物 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009254731A JP5596960B2 (ja) | 2009-11-06 | 2009-11-06 | 絶縁膜の形成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011100858A JP2011100858A (ja) | 2011-05-19 |
JP5596960B2 true JP5596960B2 (ja) | 2014-09-24 |
Family
ID=44191814
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009254731A Active JP5596960B2 (ja) | 2009-06-24 | 2009-11-06 | 絶縁膜の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5596960B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5863380B2 (ja) * | 2011-10-14 | 2016-02-16 | 新日鉄住金マテリアルズ株式会社 | 太陽電池用絶縁被膜付きステンレス箔及びその製造方法 |
WO2021191957A1 (ja) * | 2020-03-23 | 2021-09-30 | 三菱電機株式会社 | アレーアンテナの校正装置および校正方法 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01281747A (ja) * | 1988-05-09 | 1989-11-13 | Nec Corp | 絶縁膜埋込みトレンチの形成方法 |
JP3163579B2 (ja) * | 1990-03-13 | 2001-05-08 | 触媒化成工業株式会社 | 被膜形成用塗布液 |
JP2851915B2 (ja) * | 1990-04-26 | 1999-01-27 | 触媒化成工業株式会社 | 半導体装置 |
JPH05260345A (ja) * | 1992-03-12 | 1993-10-08 | Mitsubishi Electric Corp | 複合同期信号分離回路 |
JPH11335625A (ja) * | 1998-05-25 | 1999-12-07 | Matsushita Electric Works Ltd | コーティング用樹脂組成物とこれを用いた塗装品 |
JP4554000B2 (ja) * | 1998-12-25 | 2010-09-29 | モメンティブ・パフォーマンス・マテリアルズ・ジャパン合同会社 | 自動車塗膜用保護撥水性組成物 |
JP3631236B2 (ja) * | 2002-07-12 | 2005-03-23 | 東京応化工業株式会社 | シリカ系有機被膜の製造方法 |
JP2005136297A (ja) * | 2003-10-31 | 2005-05-26 | Tokyo Ohka Kogyo Co Ltd | シリカ系耐洗浄性加工被膜の形成方法、および該方法により得られるシリカ系耐洗浄性加工被膜 |
JP2006310448A (ja) * | 2005-04-27 | 2006-11-09 | Jsr Corp | トレンチ埋め込み用組成物及びトレンチ埋め込み方法 |
JP2007016191A (ja) * | 2005-07-11 | 2007-01-25 | Mitsubishi Rayon Co Ltd | コーティング用組成物、保護被膜形成方法および積層物 |
JP5063161B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2012-10-31 | シャープ株式会社 | 層間絶縁膜形成用塗布液および層間絶縁膜を有する基板 |
JP5139942B2 (ja) * | 2008-09-26 | 2013-02-06 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | トレンチ埋め込み用樹脂組成物及びその製造方法 |
JP5424381B2 (ja) * | 2008-12-24 | 2014-02-26 | 日東電工株式会社 | 光半導体封止用樹脂組成物 |
-
2009
- 2009-11-06 JP JP2009254731A patent/JP5596960B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2011100858A (ja) | 2011-05-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4545973B2 (ja) | シリコン系組成物、低誘電率膜、半導体装置および低誘電率膜の製造方法 | |
US6613834B2 (en) | Low dielectric constant film material, film and semiconductor device using such material | |
JP5592327B2 (ja) | 誘電体膜の材料特性を高めるための活性化学的方法 | |
JP4667165B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US6559071B2 (en) | Process for producing dielectric thin films | |
JP4616154B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2008124431A (ja) | 薄膜トランジスタ用の絶縁体または平坦化層としての低温ゾルゲルシリケート | |
TW503514B (en) | Film forming method, semiconductor device and semiconductor device manufacturing method | |
US8466229B2 (en) | Composition for forming silica-based film, method of forming silica-based film, and electronic component provided with silica-based film | |
EP1867687A1 (en) | Precursor composition for porous membrane and process for preparation thereof, porous membrane and process for production thereof, and semiconductor device | |
TW531802B (en) | Semiconductor device and semiconductor device manufacturing method | |
JP5596960B2 (ja) | 絶縁膜の形成方法 | |
JPH098031A (ja) | 化学的気相成長法による絶縁膜の製造方法 | |
TW200416937A (en) | Semiconductor manufacturing device and the manufacturing method for the same | |
JP3229419B2 (ja) | 酸化ケイ素膜の形成方法 | |
JPWO2008111125A1 (ja) | 半導体装置および半導体装置の製造方法 | |
JP2001308089A (ja) | 低誘電率膜及びこの低誘電率膜を有する半導体素子 | |
TW495880B (en) | Method of repairing a low dielectric constant material layer | |
US9093265B2 (en) | High UV curing efficiency for low-k dielectrics | |
JPH09213693A (ja) | 絶縁膜の形成方法 | |
JP4257272B2 (ja) | 半導体装置及びその製造方法 | |
TW492145B (en) | Method of avoiding dielectric layer deterioration with a low dielectric constant | |
JP2004277463A (ja) | 低誘電率膜用組成物 | |
JPH10209144A (ja) | 低誘電率絶縁膜及びこれを用いた半導体装置 | |
JP2004277502A (ja) | シリカ系被膜形成用組成物、シリカ系被膜及びその形成方法並びにシリカ系被膜を備える電子部品 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20121019 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20131210 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140203 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20140203 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20140203 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140805 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140808 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5596960 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |