JP5568054B2 - 半導体素子の製造方法 - Google Patents
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Description
上記SiC基板よりも欠陥密度の高いゲッタリング層を形成する工程を含むことを特徴とする半導体素子の製造方法によって達成される。
ゲッタリング層の欠陥密度は、上記SiC基板上における駆動時の電流に基づいて決定される。
〔比較例1〕
本発明の効果を確認するために、特別にCr濃度の高い(1017cm−3)SiC基板を溶液法により作製した。この基板上にCVD法によりエピタキシャル層を形成した。得られた試料のCr密度のプロファイルを調べた結果、図5に示すように、基板からエピタキシャル層へCrが拡散しており、その一部が試料表面まで突き抜けている。
比較例1の現象をより簡易的に観察するために、エピタキシャル層の表面にイオン注入によりCrを注入した。図6に示すような深さ400nm、密度1×1017cm−3のボックスプロファイルを形成した。この試料に1780℃、240分の熱処理を施したところ、図7に示すようにCr密度のプロファイルが変化した。これは、注入したCrが拡散したことを意味している。
比較例2と同様の実験を市販のSiCウェハを用いて行なった結果、Crの拡散は認められなかった。したがってCrの拡散は、エピタキシャル層には少なく市販ウェハに多い欠陥によるものであることが分かった。
比較例2と同様にエピタキシャル層の表面にCrを注入した試料に、更にArイオンを注入して欠陥を導入した。Arは深さ200nmに密度1×1021cm−3のガウス分布で導入した(エネルギー270keVの単エネルギー注入)。この試料を1780℃で30分熱処理した。その結果、図8に示すように、イオン注入領域(Arの通過領域)ではCrの密度プロファイルは殆ど変化せず、すなわちゲッタリングが起こった。
比較例2と同様にエピタキシャル層の表面にCrを注入した試料に、更にHeイオンを注入して欠陥を導入した。Heは深さ1μmに密度1×1021cm−3のガウス分布で導入した(エネルギー360keVの単エネルギー注入)。この試料を1780℃で30分熱処理した。その結果、図9に示すように、イオン注入領域(Arの通過領域)ではCrの密度プロファイルは殆ど変化せず、すなわちゲッタリングが起こった。
比較例2と同様にエピタキシャル層の表面にCrを注入した試料に、更にHイオンを注入して欠陥を導入した。Hは深さ2.2μmに密度1×1020cm−3のガウス分布で導入した(エネルギー350keVの単エネルギー注入)。この試料を1780℃で30分熱処理した。その結果、図10に示すように、イオン注入領域(Hの通過領域)でCrの密度プロファイルは変化したものの、Crは1×1016cm−3程度の密度でH注入領域に残っており、ゲッタリングは起こっていると考えられる。本実施例では、H注入量が十分でなかったため、捕捉し切れなかったCrが拡散してしまったと考えられる。Hでもゲッタリングが可能であることが分かる。また、電子線や中性子線によってもH注入と同様のゲッタリング効果が理論上期待できる(ただし、注入量は十分に大きくする必要がある。)
エピタキシャル層にFeイオンを注入し、深さ400nm、密度1×1017cm−3のボックスプロファイルを形成した。この試料にHeイオンを実施例2のように注入し、1780℃で30分熱処理した後にFe密度のプロファイルを調べた。その結果、図11(He注入あり)に示すようにボックスプロファイルは維持されており、ゲッタリングが起きた(拡散が抑制された)ことが分かる。
実施例4と同様にFeイオンを注入し、Heイオンは注入しなかった。この場合、図11(He注入なし)に示すようにボックスプロファイルは乱れ、Feが拡散したこと(ゲッタリングが起きなかったこと)が分かる。
エピタキシャル層にZnイオンを注入し、深さ400nm、密度1×1017cm−3のボックスプロファイルを形成した。この試料にHeイオンを実施例2のように注入し、1780℃で30分熱処理した後にZn密度のプロファイルを調べた。その結果、図12に示すようにボックスプロファイルは維持されており、ゲッタリングが起きた(拡散が抑制された)ことが分かる。
エピタキシャル層にTiイオンを注入し、深さ400nm、密度1×1017cm−3のボックスプロファイルを形成した。この試料にArイオンを実施例1のように注入し、1780℃で30分熱処理した後にTi密度のプルファイルを調べた。その結果、図13に示すようにボックスプロファイルは維持されており、ゲッタリングが起きた(拡散が抑制された)ことが分かる。
12 イオン注入領域
13 ゲッタリング層
14 イオン通過領域
16 エピタキシャル層
18 素子形成領域
20 電極
Claims (5)
- SiC基板上にSiCエピタキシャル層を形成し、該エピタキシャル層にイオン注入および熱処理を行なって半導体素子を製造する方法において、
上記SiC基板よりも欠陥密度の高いゲッタリング層を形成する工程と、
上記ゲッタリング層を形成した後、1500℃以上でゲッタリングする工程と、
を含むことを特徴とする半導体素子の製造方法。 - 請求項1において、上記ゲッタリング層は、エピタキシャル成長前に行なうエッチング除去代よりも深く形成することを特徴とする半導体素子の製造方法。
- 請求項1又は2において、上記ゲッタリング層は、上記SiC基板上で半導体素子形成予定領域を避けて形成することを特徴とする半導体素子の製造方法。
- 請求項1から3までのいずれか1項において、エピタキシャル成長後に、エピタキシャル層内に、素子形成領域を避けてゲッタリング領域を形成することを特徴とする半導体素子の製造方法。
- 請求項1から4までのいずれか1項において、上記ゲッタリング層は、基板下面からの電子線または中性子線の照射によって形成することを特徴とする半導体素子の製造方法。
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JPH0383343A (ja) * | 1989-08-28 | 1991-04-09 | Kawasaki Steel Corp | 半導体基板のゲッタリング用前処理方法 |
JP2008109143A (ja) * | 1993-03-30 | 2008-05-08 | Sony Corp | 半導体基板の製造方法 |
JPH07201971A (ja) | 1993-12-28 | 1995-08-04 | Sony Corp | 素子分離構造を改良した半導体装置及びその製造方法、及び半導体基板の製造方法 |
JPH09255495A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-09-30 | Hoya Corp | 炭化珪素膜及びその形成方法 |
US5753560A (en) * | 1996-10-31 | 1998-05-19 | Motorola, Inc. | Method for fabricating a semiconductor device using lateral gettering |
US7541614B2 (en) * | 2003-03-11 | 2009-06-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Integrated circuit, semiconductor device comprising the same, electronic device having the same, and driving method of the same |
JP4942283B2 (ja) * | 2003-05-07 | 2012-05-30 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子および固体撮像素子の製造方法 |
JP5073163B2 (ja) * | 2004-11-17 | 2012-11-14 | ソニー株式会社 | 固体撮像素子、固体撮像素子の製造方法および撮像装置 |
JP2006231430A (ja) | 2005-02-22 | 2006-09-07 | Tungaloy Corp | センタリングドリル及びそれを用いた加工方法 |
KR100654354B1 (ko) * | 2005-07-25 | 2006-12-08 | 삼성전자주식회사 | 게더링 기능을 가지는 저결함 에피택셜 반도체 기판, 이를이용한 이미지 센서 및 이의 제조 방법 |
FR2898431B1 (fr) * | 2006-03-13 | 2008-07-25 | Soitec Silicon On Insulator | Procede de fabrication de film mince |
JP2007261844A (ja) | 2006-03-28 | 2007-10-11 | Sumitomo Metal Ind Ltd | 炭化珪素単結晶の製造方法 |
JP4961805B2 (ja) * | 2006-04-03 | 2012-06-27 | 株式会社デンソー | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP5155536B2 (ja) | 2006-07-28 | 2013-03-06 | 一般財団法人電力中央研究所 | SiC結晶の質を向上させる方法およびSiC半導体素子の製造方法 |
JP2008103605A (ja) * | 2006-10-20 | 2008-05-01 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | エピタキシャル基板、エピタキシャル基板の製造方法、固体撮像素子及び固体撮像素子の製造方法 |
JP4277926B1 (ja) | 2007-11-27 | 2009-06-10 | トヨタ自動車株式会社 | 炭化珪素単結晶の成長法 |
JP4935741B2 (ja) * | 2008-04-02 | 2012-05-23 | 三菱電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP2010098107A (ja) | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Sumco Corp | 裏面照射型固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子用エピタキシャル基板 |
CN102257190B (zh) * | 2009-04-15 | 2014-04-16 | 住友电气工业株式会社 | 衬底、具有薄膜的衬底、半导体器件和半导体器件的制造方法 |
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