JP2010098107A - 裏面照射型固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子用エピタキシャル基板 - Google Patents
裏面照射型固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子用エピタキシャル基板 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】ゲッタリングシンクを短時間で容易に形成できるとともに、ゲッタリングシンクの形成時に重金属汚染の懸念がない裏面照射型固体撮像素子の製造方法を提供する。
【解決手段】エピタキシャル層を形成した半導体基板をレーザ照射装置にセットし、半導体基板を移動させつつレーザビームを照射する。この時、レーザ発生装置から出射されたレーザビームは、集光用レンズ(集光手段)によって集光点(焦点)が半導体基板の一面から数十μm程度深い位置になるように集光される。これにより、半導体基板の結晶構造が改質され、ゲッタリングシンクが形成される。
【選択図】図3
【解決手段】エピタキシャル層を形成した半導体基板をレーザ照射装置にセットし、半導体基板を移動させつつレーザビームを照射する。この時、レーザ発生装置から出射されたレーザビームは、集光用レンズ(集光手段)によって集光点(焦点)が半導体基板の一面から数十μm程度深い位置になるように集光される。これにより、半導体基板の結晶構造が改質され、ゲッタリングシンクが形成される。
【選択図】図3
Description
本発明は、裏面照射型固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子用エピタキシャル基板に係り、重金属を捕捉するゲッタリングサイトを短時間で容易に形成することが可能な技術に関する。
携帯電話、デジタルビデオカメラ等に、半導体を用いた高性能な固体撮像素子が搭載され、画素数や感度等の性能が飛躍的に向上しつつある。固体撮像素子は、例えば、半導体基板の一面にエピタキシャル層を成長させたエピタキシャル基板を用いて、このエピタキシャル層に多数のフォトダイオード等を配列して形成することにより製造される。近年、こうした固体撮像素子の小型、高解像度化の進行に伴って、フォトダイオードの配置密度が大幅に高まっている。このため、個々のフォトダイオードのサイズが極めて小さくなり、それぞれのフォトダイオードに入射可能な光の光量が低下しつつある。
固体撮像素子の小型、高解像度化の進行による入射光量の低下を回避するために、回路層などの構成物が少ない裏面側から光を入射させる構造の裏面照射型固体撮像素子が一般に知られつつある。ところで、こうした固体撮像素子の撮像特性を低下させる要因として、フォトダイオードの暗時リーク電流が問題となっている。暗時リーク電流の原因は、製造工程における基板(ウェーハ)の重金属汚染とされている。こうした基板の重金属汚染を抑制するために、従来から、半導体基板の内部あるいは裏面に重金属のゲッタリングシンクを形成し、このゲッタリングシンクに重金属を集める事によって、フォトダイオードの形成部分における重金属濃度を低減させることが行われてきた。
こうしたゲッタリングシンクの形成方法として、例えば、半導体基板に熱処理を施すことにより、基板内部に酸素析出部を形成し、この酸素析出部をゲッタリングシンクとする方法が挙げられる(例えば、特許文献1)。また、例えば、基板の裏面側にアモルファス(非晶質)膜を形成し、基板の裏面側をゲッタリングシンクとする方法もある。
特開平6−338507号公報
しかしながら、半導体基板に熱処理を施して基板内部に酸素析出部を形成する方法では、重金属を充分に捕捉可能なサイズの酸素析出部を形成するためには、長時間の熱処理を必要とし、製造工程が長期化して製造コストが増大するという課題がある。また、熱処理工程において、加熱装置などから更なる重金属汚染が生じる懸念もある。
一方、基板の裏面側にアモルファス膜を形成する方法は、近年主流となりつつある300mmウェーハなどの大口径基板の場合、両面研磨されているために、裏面側にゲッタリングシンクとなるアモルファス膜を形成すること自体が困難である。
本発明は上記課題を解決するためになされたものであり、ゲッタリングシンクを短時間で容易に形成できるとともに、ゲッタリングシンクの形成時に重金属汚染の懸念がない裏面照射型固体撮像素子の製造方法を提供する。
また、重金属汚染が少なく、かつ低コストに製造可能であり、裏面照射型固体撮像素子の製造に適用可能な固体撮像素子用エピタキシャル基板を提供する。
上記課題を解決するために、本発明は次のような裏面照射型固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子用エピタキシャル基板を提供する。
すなわち、本発明の裏面照射型固体撮像素子の製造方法は、半導体基板の一面にエピタキシャル層を成長させ、エピタキシャル基板を形成する工程と、該エピタキシャル基板に向けて集光手段を介してレーザビームを入射し、前記半導体基板の任意の微小領域に該レーザビームを集光させることにより、該微小領域に多光子吸収過程を生じさせ、該微小領域の結晶構造を変化させたゲッタリングシンクを形成する工程と、前記エピタキシャル基板に複数のフォトダイオードを形成する工程と、前記エピタキシャル基板を所定の温度でアニールし、前記ゲッタリングシンクに重金属を捕獲させる工程と、前記半導体基板の厚みを減じて、前記ゲッタリングシンクを含む領域を除去する工程と、を少なくとも備えたことを特徴とする。
すなわち、本発明の裏面照射型固体撮像素子の製造方法は、半導体基板の一面にエピタキシャル層を成長させ、エピタキシャル基板を形成する工程と、該エピタキシャル基板に向けて集光手段を介してレーザビームを入射し、前記半導体基板の任意の微小領域に該レーザビームを集光させることにより、該微小領域に多光子吸収過程を生じさせ、該微小領域の結晶構造を変化させたゲッタリングシンクを形成する工程と、前記エピタキシャル基板に複数のフォトダイオードを形成する工程と、前記エピタキシャル基板を所定の温度でアニールし、前記ゲッタリングシンクに重金属を捕獲させる工程と、前記半導体基板の厚みを減じて、前記ゲッタリングシンクを含む領域を除去する工程と、を少なくとも備えたことを特徴とする。
前記レーザビームは、前記エピタキシャル基板を透過可能な波長域であり、前記集光手段は、前記半導体基板の厚み方向における任意の位置に、前記レーザビームを集光させるのが好ましい。前記レーザビームは、パルス幅1.0×10−15〜1.0×10−8秒、波長300〜1200nmの範囲の超短パルスレーザビームであることが好ましい。
前記半導体基板は単結晶シリコンからなり、前記ゲッタリングシンクはアモルファス構造のシリコンを含むことが好ましい。前記ゲッタリングシンクは、前記フォトダイオードの形成領域と重なる位置に少なくとも形成されることが好ましい。前記ゲッタリングシンクと前記エピタキシャル層との間には、更にSOI構造の埋込酸化膜が形成されることが好ましい。
また、本発明の固体撮像素子用エピタキシャル基板は、半導体基板と、該半導体基板の一面に形成されたエピタキシャル層と、前記半導体基板に向けて集光手段を介してレーザビームを入射し、前記半導体基板の任意の微小領域に該レーザビームを集光させることにより、該微小領域に多光子吸収過程を生じさせ、該微小領域の結晶構造を変化させて形成したゲッタリングシンクと、前記ゲッタリングシンクと前記エピタキシャル層との間に形成されたSOI構造の埋込酸化膜と、を備えたことを特徴とする。
前記ゲッタリングシンクは、少なくとも前記フォトダイオードの形成位置と重なる領域に、直径50〜150μm、厚み10〜150μmの範囲のサイズで設けられてなることが好ましい。前記ゲッタリングシンクは、密度1.0×105〜1.0×107個/cm2の範囲で形成されてなることが好ましい。
本発明の裏面照射型固体撮像素子の製造方法によれば、エピタキシャル基板に向けて集光手段を介してレーザビームを入射させ、半導体基板の内部における任意の微小領域にレーザビームを集光させることによって、半導体基板の内部の微小領域に多光子吸収過程を生じさせ、該微小領域の結晶構造だけを変化させたゲッタリングシンクを容易に、かつ短時間で形成することが可能になる。
これによって、エピタキシャル層に含まれる重金属がゲッタリングシンクに確実に捕捉されるため、裏面照射型固体撮像素子の撮像特性を低下させる要因であるフォトダイオードの暗時リーク電流を抑制することができる。よって、優れた撮像特性を持つ裏面照射型固体撮像素子を実現することがが可能となる。
また、本発明の固体撮像素子用エピタキシャル基板によれば、重金属のゲッタリング能力に優れ、暗時リーク電流の少ない、優れた撮像特性をもつ裏面照射型固体撮像素子を実現することが可能な固体撮像素子用エピタキシャル基板を提供できる。
以下、本発明に係る裏面照射型固体撮像素子の製造方法、固体撮像素子用エピタキシャル基板の最良の実施形態について、図面に基づき説明する。なお、本実施形態は発明の趣旨をより良く理解させるために具体的に説明するものであり、特に指定のない限り、本発明を限定するものではない。また、以下の説明で用いる図面は、本発明の特徴をわかりやすくするために、便宜上、要部となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。
図1は、本発明の固体撮像素子用エピタキシャル基板を示す拡大断面図である。エピタキシャル基板(固体撮像素子用エピタキシャル基板)1は、裏面照射型固体撮像素子の製造に好適な基板(ウェーハ)であり、半導体基板2と、この半導体基板2の一面2a寄りに形成されたSOI構造の埋込酸化膜5と、半導体基板2の一面2aに重ねて形成されたエピタキシャル層3とを備える。そして、埋込酸化膜5の下部には、エピタキシャル基板1の重金属を捕捉するゲッタリングシンク4,4・・が形成されている。
このようなエピタキシャル基板1は、裏面照射型固体撮像素子の基板として好適に用いることができる。半導体基板2は、例えば、シリコン単結晶ウェーハであればよい。エピタキシャル層3は、半導体基板2の一面2aから成長させたシリコンのエピタキシャル成長膜であればよい。また、埋込酸化膜5は、例えば、酸化膜を形成した基板と半導体基板とを貼り合わせる方法や、酸素をイオン注入により半導体基板の一面から打ち込み、加熱して酸化させることにより、半導体基板の内部に埋込酸化膜(BOX層)5を形成する方法を用いれば良い。
ゲッタリングシンク4は、シリコン単結晶の一部をアモルファス化させた(アモルファスライク)構造であればよい。ゲッタリングシンク4は、その結晶構造中に僅かな歪みが存在するだけで重金属を捕捉する能力があり、ごく一部をアモルファス化するだけでゲッタリングシンクとしての役割を果たすことができる。なお、こうしたゲッタリングシンク4は、レーザビームの集光により、半導体基板2の一部に多光子吸収過程を生じさせて結晶構造を改質する事によって形成される。このようなゲッタリングシンク4の形成方法は、後ほど裏面照射型固体撮像素子の製造方法にて詳述する。
ゲッタリングシンク4は、このエピタキシャル基板1を用いて裏面照射型固体撮像素子を形成する際に、少なくともそれぞれの裏面照射型固体撮像素子の形成領域Sと重なる位置に形成されていればよい。例えば、1つのゲッタリングシンク4は、直径Rが50〜150μm、厚みTが10〜150μmの大きさの円盤状に形成されていればよい。また、ゲッタリングシンク4の形成深さDは、半導体基板2の一面2aから0.5〜2μm程度が好ましい。
図2は、本発明の固体撮像素子用エピタキシャル基板を用いて作成した裏面照射型固体撮像素子の一例を示す断面図である。裏面照射型固体撮像素子60は、エピタキシャル層3に形成されたフォトダイオード61と、エピタキシャル層3の一面(表面)3a側に形成された絶縁層62と、この絶縁層62に形成された配線63とを備えている。こうした裏面照射型固体撮像素子60は、形成時に半導体基板が研削によって除去され、薄厚化されている。そして、入射光Fはエピタキシャル層3の他面(裏面)3b側から入射し、フォトダイオード61で検出される。
このような構成の裏面照射型固体撮像素子60は、製造に用いるエピタキシャル基板1(図1参照)の半導体基板2に形成されたゲッタリングシンク4によって、エピタキシャル層3に含まれる重金属が確実に捕捉されているため、裏面照射型固体撮像素子60の撮像特性を低下させる要因であるフォトダイオード61の暗時リーク電流を抑制することができる。よって、優れた撮像特性を持つ裏面照射型固体撮像素子60を実現することができる。
次に、本発明の裏面照射型固体撮像素子の製造方法について説明する。図3〜5は、裏面照射型固体撮像素子の製造方法の概要を示した断面図である。裏面照射型固体撮像素子を製造するにあたっては、まず半導体基板2を用意する(図3(a)参照)。半導体基板2は、例えば、シリコン単結晶インゴットをスライスして製造されたシリコン単結晶ウェーハであればよい。
次に、この半導体基板2の一面2aにエピタキシャル層3を形成する(図3(b)参照)。エピタキシャル層3の形成にあたっては、例えば、エピタキシャル成長装置を用いて、半導体基板2を所定温度まで加熱しつつ原料ガスを導入し、一面2aにシリコン単結晶からなるエピタキシャル層3を成長させれば良い。また、必要に応じて、半導体基板2の内部に埋込酸化膜(BOX層)5を形成するのが好ましい。
次に、エピタキシャル層3を形成した半導体基板2をレーザ照射装置20にセットし、半導体基板2を移動させつつレーザビームを照射する(図3(c)参照)。この時、レーザ発生装置15から出射されたレーザビームは、集光用レンズ(集光手段)11によって集光点(焦点)が半導体基板2の一面2aから数十μm程度深い位置になるように集光される。これにより、半導体基板2の結晶構造が改質され、ゲッタリングシンク4が形成される。
図6は、半導体基板にゲッタリングシンクを形成する工程で用いられるレーザー照射装置の一例を示す模式図である。レーザー照射装置20は、レーザビームQ1をパルス発振するレーザ発生装置15、レーザビームQ1のパルス等を制御するパルス制御回路(Qスイッチ)16、レーザビームQ1を反射してレーザビームQ1の進行方向を半導体基板2に向けて90°変換させるビームスプリッタ(ハーフミラー)17a、ビームスプリッタ17aで反射されたレーザビームQ1を集光する集光用レンズ(集光手段)11を備えている。
また、エピタキシャル層3を形成した半導体基板2を載置するステージ40を備える。このステージ40は、集光されたレーザビームQ2を半導体基板2の任意の位置で集光させて焦点を合わせるために、ステージ制御回路45によって、鉛直方向Yおよび水平方向Xに移動可能に制御される。
レーザ発生装置15およびパルス制御回路16は、特に限定はされないが、半導体基板の内部における任意の位置の結晶構造を改質してゲッタリングシンクを形成できるレーザビームを照射できれば良く、半導体基板を透過可能な波長域で、かつ短パルス周期での発振が可能なチタンサファイヤレーザが好適である。なお、表1に、一般的な半導体基板、およびシリコンウェーハのそれぞれにおいて、好適なレーザ照射条件の具体例を示す。
レーザ発生装置15で発生させたレーザビームQ1は、集光用レンズ11により光路幅を収束され、この収束されたレーザビームQ2が半導体基板20の任意の深さ位置Gで焦点を結像する(集光される)ように、ステージ40が鉛直方向Yで制御される。集光用レンズ11は、例えば倍率が10〜300倍、N.Aが0.3〜0.9、レーザビームの波長に対する透過率が30〜60%の範囲が好ましい。
レーザー照射装置20は、さらに可視光レーザ発生装置19、ビームスプリッタ(ハーフミラー)17b、CCDカメラ30、CCDカメラ制御回路35、結像用レンズ12、中央制御回路50、および表示手段51とを備えている。
可視光レーザ発生装置19で発生させた可視光レーザビームQ3は、ビームスプリッタ(ハーフミラー)17bで反射されて90°方向を転換し、半導体基板2のエピタキシャル層3に達する。そして、エピタキシャル層3の表面で反射され、集光用レンズ11およびビームスプリッタ17aおよび17bを透過して結像用レンズ12に到達する。結像用レンズ12に到達した可視光レーザQ3は、半導体基板2の表面画像としてCCDカメラ30で撮像され、撮像データがCCDカメラ制御回路35に入力される。入力された撮像データに基づいて、ステージ制御回路45はステージ40の水平方向Xの移動量を制御する。
次に、エピタキシャル層3を形成した半導体基板2にゲッタリングシンクを形成する方法を詳述する。図7は、レーザビームによって半導体基板にゲッタリングシンクを形成する様子を示した模式図である。半導体基板2にゲッタリングシンクを形成する際には、レーザ発生装置15から出射されたレーザビームQ1を集光用レンズ(集光手段)11によって収束させる。収束されたレーザビームQ2は、シリコンに対して透過可能な波長域であるため、半導体基板2の裏面に達した後、反射せずにそのまま入射する。
一方、エピタキシャル層3を形成した半導体基板2は、レーザビームQ2の集光点(焦点)が半導体基板2の一面2aから所定の深さDになるように位置決めされる。これにより、レーザビームQ2の集光点(焦点)だけ、半導体基板2は多光子吸収過程が生じる。
多光子吸収過程は、周知のように、ごく短時間に多量の光子が特定の部位(照射領域)に照射することによって、照射領域だけに選択的に多量のエネルギーが吸収され、これにより、照射領域の結晶結合が変化するなどの反応を引き起こすものである。本発明においては、半導体基板2の内部の任意の領域にレーザビームを集光させることによって、この集光点(焦点)において、単結晶構造の半導体基板を改質し、部分的にアモルファスライクな結晶構造を生じさせる。こうした結晶構造の改質は、重金属の捕捉作用が生じる程度、即ち、結晶構造に僅かな歪を生じさせる程度で良い。
以上のように、半導体基板2の内部の任意の微小領域にレーザビームQ1を収束させたレーザビームQ2の集光点(焦点)を設定し、この微小領域の結晶構造を改質することによって、半導体基板2の任意の微小領域にゲッタリングシンク4を形成することができる。
ゲッタリングシンク4を形成するためのレーザビームは、レーザビームが集光点(焦点)に至るよりも前の光路においては、エピタキシャル層3や半導体基板2の結晶構造を改質することなく、レーザビームが確実に透過可能な条件とすることが重要である。こうしたレーザビームの照射条件は、半導体材料の基礎物性値である禁制帯(エネルギーバンドギャップ)により決定される。例えば、シリコン半導体の禁制帯は、1.1eVであるため入射波長が1000nm以上の場合、透過性が顕著となる。このようにしてレーザビームの波長は、半導体材料の禁制帯を考慮して決定することができる。
レーザビームの発生装置としては、YAGレーザのような高出力レーザでは、所定の深さ位置だけではなく、その周辺領域にも熱エネルギーが伝達する虞があるため、低出力レーザを用いることが好ましい。低出力レーザとしては、例えば、フェムト秒レーザのような超短パルスレーザが好適である。
この超短パルスレーザは、半導体レーザなどを用いてチタンサファイヤ結晶(固体レーザ結晶)を励起することによって、レーザビームの波長を任意の範囲に設定することができる。超短パルスレーザは、励起レーザビームのパルス幅を1.0×10−15フェムト秒以下にすることができるため、その他のレーザと比較して励起によって生じる熱エネルギーの拡散を抑制でき、レーザビームの集光点(焦点)のみに光エネルギーを集中させることができる。
多光子吸収過程により結晶構造を改質して形成したゲッタリングシンク4は、おそらくアモルファスライクな結晶構造になっているものと推定される。このようなアモルファスライクの結晶構造を得るには、レーザビームが集光点(焦点)Gを局部的に急速加熱・急速冷却する必要がある。表1に示したような特性を持つ超短パルスレーザは、エネルギー量の小さいレーザであるが、集光用レンズ11を用い集光することによって、半導体基板20を局部的に急速加熱するのに十分なエネルギーとなる。レーザビームが集光点(焦点)Gの温度は9900〜10000Kの高温に達する。また、集光されているために入熱範囲が大変狭く、半導体基板2を載置したステージの移動、あるいはレーザビームの走査によって集光点(焦点)が移動すると、移動前の集光点(焦点)における入熱量は急激に減少し、急速冷却効果が得られる。
また、表1に示した超短パルスレーザのように、波長を1000nmとすることによって、エピタキシャル層3や半導体基板2に対する透過性が高められ、エピタキシャル層3などの結晶組織に影響を与えることなく、レーザビームの集光点(焦点)である微小領域だけを改質することができる。この結晶構造の改質部分が半導体基板2のゲッタリングシンク4として好適に利用できる。なお、レーザビームの波長が1200nmを超えると、長波長領域であるために光子エネルギー(レーザビームエネルギー)が低くくなる。このため、レーザビームを集光させても半導体基板内部の改質に十分な光子エネルギーを得ることができない虞があり、レーザビームの波長は1200nm以下とすることが好ましい。
レーザビームの集光点(焦点)Gの位置、すなわち半導体基板2にゲッタリングシンク4を形成する位置は、ステージを上下動させることによって制御できる。なお、ステージを上下動以外にも、集光手段(集光用レンズの)位置を制御することでもレーザビームの集光点(焦点)Gの位置を制御できる。
一例として、半導体基板の表面から2μmの位置を改質してゲッタリングシンク4を形成する場合には、レーザビームの波長を1080nmに設定し、透過率が60%の集光用レンズ(倍率50倍)を用いて表面から2μmの位置にレーザビームを結像(集光)させ、多光子吸収過程を生じさせることにより改質部分(ゲッタリングシンク)を形成することができる。
このように、半導体基板2の微小領域の結晶構造を改質して得られるゲッタリングシンク4は、例えば、直径Rが50〜150μm、厚みTが10〜150μmの大きさの円盤状に形成されればよい。また、ゲッタリングシンク4の形成深さDは、半導体基板2の一面2aから0.5〜2μm程度が好ましい。
それぞれのゲッタリングシンク4は、エピタキシャル基板1に裏面照射型固体撮像素子の形成領域Sと重なる位置に少なくとも形成されていればよい。ゲッタリングシンク4は、例えば、形成ピッチPが0.1〜10μmの間隔で形成されればよい。なお、ゲッタリングシンク4は、上述したように間欠的に形成されている以外にも、例えば、半導体基板に対して所定の深さで、半導体基板全体に均一に形成されていてもよい。
図8は、エピタキシャル基板におけるゲッタリングシンクの形成の様子を示した模式図である。ゲッタリングシンク4は、エピタキシャル基板1における裏面照射型固体撮像素子の形成領域の下部にそれぞれ形成されればよい。例えば、レーザビームQがエピタキシャル基板1の全域に渡って走査されるように、エピタキシャル基板1を周縁部でY方向にずらしつつX方向に沿って走査させ、レーザビームQを所定の条件で照射していけば、エピタキシャル基板1の全体にゲッタリングシンク4,4・・を形成することができる。
エピタキシャル基板1の全体おけるゲッタリングシンク4の形成密度は、レーザビームQの走査ピッチBによって設定することができる。ゲッタリングシンク4の形成密度は、例えば、1.0×105〜1.0×107個/cm2の範囲が好適である。こうしたゲッタリングシンク4の形成密度は、断面TEM(透過型電子顕微鏡)による観察で得られた酸素析出物の個数によって検証できる。
以上、詳細に述べた工程によって、エピタキシャル基板1にゲッタリングシンク4が形成される(図3(d)参照)。次に、このゲッタリングシンク4を形成したエピタキシャル基板1を用いて、エピタキシャル層3に多数のフォトダイオード61を形成する。また、エピタキシャル層3の一面3a側に、絶縁層62や配線63を形成する(図4(a)参照)。また、絶縁層62の表面を平坦化する。
続いて、フォトダイオード61や配線63が形成されたエピタキシャル基板1をアニール装置80によって所定の温度まで加熱する(図4(b)参照)。これにより、半導体基板2内に拡散している重金属がゲッタリングシンク4に集められ、素子形成部分、即ちフォトダイオード61が形成された領域の重金属濃度が極めて低い状態にすることができる。
次に、絶縁層62の一面62a側に支持基板90を貼りつける(図4(c)参照)。こうした支持基板90の貼り付けは、後工程での薄厚化におけるエピタキシャル基板1の破損を防止するためである。支持基板90としては、例えば、シリコンウェーハが用いられれば良い。
続いて、支持基板90を貼り付けたエピタキシャル基板1を研削装置などを用いて、半導体基板2の他面(裏面)2a側から研削する。こうした研削によって、例えば、半導体基板2の全てと、エピタキシャル層3の一部まで削り取って、薄厚化させれば良い(図5(a)参照)。
以上、述べたような工程を経て、裏面照射型固体撮像素子60が完成する(図5(b)参照)。こうした裏面照射型固体撮像素子60は、入射光Fがエピタキシャル層3の他面(裏面)3b側から入射し、フォトダイオード61で検出される。
以上のように、本発明の裏面照射型固体撮像素子の製造方法によれば、エピタキシャル基板に向けて集光手段を介してレーザビームを入射させ、半導体基板の内部における任意の微小領域にレーザビームを集光させることによって、半導体基板の内部の微小領域に多光子吸収過程を生じさせ、該微小領域の結晶構造だけを変化させたゲッタリングシンクを容易に、かつ短時間で形成することが可能になる。
これによって、従来のようにゲッタリングシンクを形成するために、長時間の熱処理が不要となり、裏面照射型固体撮像素子の製造工程を簡略化し、製造コストを低減することができる。また、300mmウェーハなどに代表される両面研磨基板であっても、半導体基板の内部に容易にゲッタリングシンクを形成することが可能となる。
そして、製造に用いるエピタキシャル基板の半導体基板に形成されたゲッタリングシンクによって、エピタキシャル層に含まれる重金属が確実に捕捉されているため、裏面照射型固体撮像素子の撮像特性を低下させる要因であるフォトダイオードの暗時リーク電流を抑制することができる。よって、優れた撮像特性を持つ裏面照射型固体撮像素子を実現することができる。
本発明の実施例として、基板直径が300mm、厚さが0.725mmのシリコンウェーハに対して、表2に示す条件のレーザビームを照射し、シリコンウェーハの表面から深さ2μmの位置に、密度10−6個/cm2の改質部分(ゲッタリングシンク)を形成したシリコンウェーハを作製した。
上述した実施例における改質部分のゲッタリング効果を確認するため、従来の比較例1として、レーザビームを照射しないこと以外は、上述した実施例と同一のシリコンウェーハを用意した。
また、長時間熱処理による酸素析出部を形成したシリコンウェーハのゲッタリング効果と比較するため、従来の比較例2として、10時間、および20時間の熱処理を施すこと以外は上述した比較例1と同一のシリコンウェーハを用意した。
また、長時間熱処理による酸素析出部を形成したシリコンウェーハのゲッタリング効果と比較するため、従来の比較例2として、10時間、および20時間の熱処理を施すこと以外は上述した比較例1と同一のシリコンウェーハを用意した。
そして、上記した実施例、比較例1、および比較例2の各サンプルについて、ゲッタリング効果を次に示す方法で評価した。
まず、各サンプルを、アンモニア水と過酸化水素水の混合溶液および塩酸と過酸化水素水の混合溶液で洗浄した後、スピンコート汚染法により、重金属であるニッケルで1.0×1012atoms/cm2程度表面汚染させた。次に、縦型熱処理炉で1000℃、1時間、窒素雰囲気中で拡散熱処理を施し、その後、Wright液(48% HF:30ml、69% HNO3:30ml、CrO3 1g+H2O 2ml、酢酸:60ml)により各サンプルの表面をエッチングした。そして、表面のエッチピット(ニッケルシリサイドがエッチングされて形成されるピット)の個数を光学顕微鏡により観察してエッチピット密度(個/cm2)を測定することにより、各サンプルのゲッタリング能力を評価した。
まず、各サンプルを、アンモニア水と過酸化水素水の混合溶液および塩酸と過酸化水素水の混合溶液で洗浄した後、スピンコート汚染法により、重金属であるニッケルで1.0×1012atoms/cm2程度表面汚染させた。次に、縦型熱処理炉で1000℃、1時間、窒素雰囲気中で拡散熱処理を施し、その後、Wright液(48% HF:30ml、69% HNO3:30ml、CrO3 1g+H2O 2ml、酢酸:60ml)により各サンプルの表面をエッチングした。そして、表面のエッチピット(ニッケルシリサイドがエッチングされて形成されるピット)の個数を光学顕微鏡により観察してエッチピット密度(個/cm2)を測定することにより、各サンプルのゲッタリング能力を評価した。
なお、この方法におけるエッチピット密度の測定限界は1.0×103個/cm2である。ゲッタリング能力の評価は、エッチピット密度が1.0×103個/cm2以下(測定限界以下)を良好、1.0×103個/cm2を超え1.0×105個/cm2未満を可、1.0×105個/cm2以上を不可とした。
また、比較例2に関して、ゲッタリングシンクとなる酸素析出部の形成に必要な時間を次のように評価した。
各サンプルを(110)方向でへき開してWright液でエッチングした後、へき開面(サンプル断面)を光学顕微鏡することにより酸素析出物の密度(個/cm2)を観察することで評価した。ゲッタリング能力の評価は、上述した実施例1と同様に、ニッケル元素での表面汚染によるゲッタリング能力評価を実施した。
各サンプルを(110)方向でへき開してWright液でエッチングした後、へき開面(サンプル断面)を光学顕微鏡することにより酸素析出物の密度(個/cm2)を観察することで評価した。ゲッタリング能力の評価は、上述した実施例1と同様に、ニッケル元素での表面汚染によるゲッタリング能力評価を実施した。
検証の結果、比較例1ではエッチピット密度が1.0×105個/cm2となり、ゲッタリング効果が認められなかった。
比較例2では、10時間の熱処理を施したサンプルでは、酸素析出物の密度が1.0×104個/cm2で、エッチピット密度も1.0×105個/cm2と殆どゲッタリング効果が認められなかった。また、20時間の熱処理を施したサンプルでも、酸素析出物の密度が1.0×105個/cm2で、エッチピット密度は1.0×104個/cm2となり多少のゲッタリング効果が認められるにとどまった。
比較例2では、10時間の熱処理を施したサンプルでは、酸素析出物の密度が1.0×104個/cm2で、エッチピット密度も1.0×105個/cm2と殆どゲッタリング効果が認められなかった。また、20時間の熱処理を施したサンプルでも、酸素析出物の密度が1.0×105個/cm2で、エッチピット密度は1.0×104個/cm2となり多少のゲッタリング効果が認められるにとどまった。
これに対し、本発明の実施例では、エッチピット密度が1.0×103個/cm2以下と十分なゲッタリング効果が認められた。
以上の結果から、本発明のように、レーザビームを短時間照射して半導体基板の所定深さ位置だけに多光子吸収過程を生じさせて結晶構造を改質することにより、優れたゲッタリングシンク能力のあるゲッタリングシンクを任意の位置に容易に形成できることを確認された。
以上の結果から、本発明のように、レーザビームを短時間照射して半導体基板の所定深さ位置だけに多光子吸収過程を生じさせて結晶構造を改質することにより、優れたゲッタリングシンク能力のあるゲッタリングシンクを任意の位置に容易に形成できることを確認された。
1 固体撮像素子用エピタキシャル基板、2 半導体基板、3 エピタキシャル層、4 ゲッタリングシンク、裏面照射型固体撮像素子60。
Claims (9)
- 半導体基板の一面にエピタキシャル層を成長させ、エピタキシャル基板を形成する工程と、
該エピタキシャル基板に向けて集光手段を介してレーザビームを入射し、前記半導体基板の任意の微小領域に該レーザビームを集光させることにより、該微小領域に多光子吸収過程を生じさせ、該微小領域の結晶構造を変化させたゲッタリングシンクを形成する工程と、
前記エピタキシャル基板に複数のフォトダイオードを形成する工程と、
前記エピタキシャル基板を所定の温度でアニールし、前記ゲッタリングシンクに重金属を捕獲させる工程と、
前記半導体基板の厚みを減じて、前記ゲッタリングシンクを含む領域を除去する工程と、
を少なくとも備えたことを特徴とする裏面照射型固体撮像素子の製造方法。 - 前記レーザビームは、前記エピタキシャル基板を透過可能な波長域であり、前記集光手段は、前記半導体基板の厚み方向における任意の位置に、前記レーザビームを集光させることを特徴とする請求項1記載の裏面照射型固体撮像素子の製造方法。
- 前記レーザビームは、パルス幅1.0×10−15〜1.0×10−8秒、波長300〜1200nmの範囲の超短パルスレーザビームであることを特徴とする請求項1または2記載の裏面照射型固体撮像素子の製造方法。
- 前記半導体基板は単結晶シリコンからなり、前記ゲッタリングシンクはアモルファス構造のシリコンを含むことを特徴とする請求項1ないし3いずれか1項記載の裏面照射型固体撮像素子の製造方法。
- 前記ゲッタリングシンクは、前記フォトダイオードの形成領域と重なる位置に少なくとも形成されることを特徴とする請求項1ないし4いずれか1項記載の裏面照射型固体撮像素子の製造方法。
- 前記ゲッタリングシンクと前記エピタキシャル層との間には、更にSOI構造の埋込酸化膜が形成されることを特徴とする請求項1ないし5いずれか1項記載の裏面照射型固体撮像素子の製造方法。
- 半導体基板と、該半導体基板の一面に形成されたエピタキシャル層と、前記半導体基板に向けて集光手段を介してレーザビームを入射し、前記半導体基板の任意の微小領域に該レーザビームを集光させることにより、該微小領域に多光子吸収過程を生じさせ、該微小領域の結晶構造を変化させて形成したゲッタリングシンクと、前記ゲッタリングシンクと前記エピタキシャル層との間に形成されたSOI構造の埋込酸化膜と、を備えたことを特徴とする固体撮像素子用エピタキシャル基板。
- 前記ゲッタリングシンクは、少なくとも前記フォトダイオードの形成位置と重なる領域に、直径50〜150μm、厚み10〜150μmの範囲のサイズで設けられてなることを特徴とする固体撮像素子用エピタキシャル基板。
- 前記ゲッタリングシンクは、密度1.0×105〜1.0×107個/cm2の範囲で形成されてなることを特徴とする請求項7記載の固体撮像素子用エピタキシャル基板。
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WO2012156792A1 (en) | 2011-05-16 | 2012-11-22 | Toyota Jidosha Kabushiki Kaisha | Process for producing semiconductor device and semiconductor device |
-
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