JP5561773B2 - 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 - Google Patents
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(2)Ruを主成分とする下地層が、RuAl、RuCo、RuNi、RuMn、RuCr、RuV、RuMo、RuW、RuTi、RuTa、RuZr、RuCu、RuSi、RuB合金の何れかであることを特徴とする(1)に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
(3)Ru、もしくはRu合金下地層が(11・0)面を基板面と平行とした配向をとっていることを特徴とする(1)または(2)に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
(4)Ru、もしくはRu合金下地層が5Pa以上のArガス雰囲気中でのスパッタリング法で形成されていることを特徴とする(1)乃至(3)の何れか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
(5)Ru、もしくはRu合金下地層上に、MgO下地層が形成されており、該MgO下地層上に磁性層が形成されていることを特徴とする(1)乃至(4)の何れか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
(6)Ru、もしくはRu合金下地層が、Cr、もしくはCrを主成分とするBCC構造の合金からなる下地層上に形成されていることを特徴とする(1)乃至(5)の何れか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
(7)Crを主成分とするBCC構造の合金が、CrTi、CrMo、CrV、CrMn、CrW合金の何れかであることを特徴とする(6)に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
(8)Ru、もしくはRu合金下地層が、B2構造を有するNiAl、もしくはRuAl合金下地層上に形成されていることを特徴とする(1)乃至(5)の何れか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
(9)磁性層がL10構造を有するFePt、もしくはCoPt合金を主成分とし、かつ、SiO2、TiO2、Cr2O3、Al2O3、Ta2O5、ZrO2、Y2O3、CeO2、MnO、TiO、ZnO、Cから選択される少なくとも一種類の酸化物、もしくは元素を含有していることを特徴とする(1)乃至(8)の何れか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
(10)磁気記録媒体と、該磁気記録媒体を回転させるための駆動部と、該磁気記録媒体を加熱するためのレーザー発生部と、該レーザー発生部から発生したレーザー光をヘッド先端まで導く導波路と、ヘッド先端に取り付けられた近接場光発生部を備えた磁気ヘッドと、該磁気ヘッドを移動させるための駆動部と、記録再生信号処理系から構成さる磁気記憶装置において、該磁気記録媒体が(1)乃至(9)の何れか1項に記載の熱アシスト媒体であることを特徴とする磁気記憶装置。
図1に本実施例で作製した磁気記録媒体の層構成の一例を示す。ガラス基板101、Co−50at%Tiシード層102、Co−3at%Nb−5at%Zr軟磁性下地層(SUL)103、Cr−20at%V下地層104、Ru、もしくはRu合金下地層105、(Fe−45at%Pt)−12mol%TiO2磁性層106、Fe−30at%Niキャップ層107、DLC保護膜108が順次形成されている。シード層からキャップ層までの成膜はスパッタリング法、DLC保護膜はイオンビーム法を用いた。Ru合金には、RuAl、RuCo、RuNi、RuMn、RuCr、RuV、RuMo、RuW、RuTi、RuTa、及びRuZr合金を用いた。CrV合金下地層の(100)配向化を促進するため、該下地層形成前に、150〜300℃の基板加熱を行うことが望ましいが本実施例では280 ℃で加熱を行った。また、磁性層の規則度改善のため、磁性層形成前に400℃以上の基板加熱を行った。Ru、もしくはRu合金下地層は、5Pa以上、望ましくは10Pa以上のArガス雰囲気中で形成することが好ましいが、本実施例では、12Paで形成した。
また、上記媒体と同一層構成で、Ru、もしくはRu合金下地層を形成しない(w/o Ru)媒体を比較例1として作製した。
図2に本実施例で作製した磁気記録媒体の層構成の一例を示す。ガラス基板201、Ti−50at%Alシード層202、Cu−2at%Zrヒートシンク層203、Ru−50at%Al下地層204、Mo−20at%V下地層205、Ru−2at%Cu下地層206、MgO下地層207、(Fe−50at%Pt)−45mol%C磁性層208、CoCrPtキャップ層209、DLC210が順次形成されている。シード層からキャップ層までの成膜はスパッタリング法、DLC保護膜はイオンビーム法を用いた。ここで、MoV下地層は、NiAl下地層とRuCu下地層の格子整合性を改善するためのミスフィット緩和層である。RuAl下地層に(100)配向をとらせるため、RuAl下地層形成前に200℃程度の基板加熱を行った。また、磁性層の規則度改善のため、磁性層形成前に450℃で基板加熱を行った。本実施例では、RuCu下地層成膜時のArガス圧を3Paから22Paまで変化させた。
実施例1で示した媒体(実施例媒体1.1〜1.12)にパーフルオルポリエーテル系の潤滑剤を塗布したのち、図5に示した磁気記憶装置に組み込んだ。本磁気記憶装置は、磁気記録媒体501と、磁気記録媒体を回転させるための駆動部502と、磁気ヘッド503と、ヘッドを移動させるための駆動部504と、記録再生信号処理系505から構成される。磁気ヘッドは図3で示したヘッドと同一構造のヘッドを用いた。表2に1400kFCIの信号を記録し、記録再生特性を評価したときのSNRと記録トラック幅MWWを示す。ここで、記録トラック幅はトラックプロファイルの半値幅と定義した。実施例媒体はいずれも15dB以上の高いSNRと、60nm以下の狭いMWWを示した。中でも、クラスターサイズが特に小さかった実施例媒体1.3、実施例媒体1.4、実施例媒体1.6が高いSNRを示した。また、RuMn、RuW、RuTa下地層を用いた実施例媒体1.5、実施例媒体1.9、実施例媒体1.11が特に狭いMWWを示した。よって、トラック密度を上げる場合は、RuW、RuMo、RuSi下地層を用いることが望ましいことがわかった。
102…CoTiシード層
103…CoNbZr軟磁性下地層
104…CrV下地層
105…Ru、もしくはRu合金下地層
106…FePt−TiO2磁性層
107…FeNiキャップ層
108…DLC保護膜
201…ガラス基板
202…TiAlシード層
203…CuZrヒートシンク層
204…RuAl下地層
205…MoV下地層
206…RuCu下地層
207…MgO下地層
208…FePtC磁性層
209…CoCrPtキャップ層
2010…DLC保護膜
301…主磁極
302…補助磁極
303…コイル
304…半導体レーザーダイオード
305…レーザー光
306…近接場光発生部
307…導波路
308…記録ヘッド
309…シールド
310…再生素子
311…再生ヘッド
501…磁気記録媒体
502…媒体駆動部
503…磁気ヘッド
504…ヘッド駆動部
505…記録再生信号処理系
Claims (9)
- 基板と、該基板上に形成された複数の下地層と、L10構造を有する合金を主成分とする磁性層を含む熱アシスト磁気記録媒体において、該下地層の少なくとも一つが、Ru、もしくはRuを主成分とするHCP構造を有し、(11・0)面を基板面と平行とした配向をとっていることを特徴とする熱アシスト磁気記録媒体。
- Ruを主成分とする下地層が、RuAl、RuCo、RuNi、RuMn、RuCr、RuV、RuMo、RuW、RuTi、RuTa、RuZr、RuCu、RuSi、RuB合金の何れかであることを特徴とする請求項1に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- Ru、もしくはRu合金下地層が5Pa以上のArガス雰囲気中でのスパッタリング法で形成されていることを特徴とする請求項1または2に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- Ru、もしくはRu合金下地層上に、MgO下地層が形成されており、該MgO下地層上に磁性層が形成されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- Ru、もしくはRu合金下地層が、Cr、もしくはCrを主成分とするBCC構造の合金からなる下地層上に形成されていることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- Crを主成分とするBCC構造の合金が、CrTi、CrMo、CrV、CrMn、CrW合金の何れかであることを特徴とする請求項5に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- Ru、もしくはRu合金下地層が、B2構造を有するNiAl、もしくはRuAl合金下地層上に形成されていることを特徴とする請求項1乃至4の何れか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 磁性層がL10構造を有するFePt、もしくはCoPt合金を主成分とし、かつ、SiO2、TiO2、Cr2O3、Al2O3、Ta2O5、ZrO2、Y2O3、CeO2、MnO、TiO、ZnO、Cから選択される少なくとも一種類の酸化物、もしくは元素を含有していることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 磁気記録媒体と、該磁気記録媒体を回転させるための駆動部と、該磁気記録媒体を加熱するためのレーザー発生部と、該レーザー発生部から発生したレーザー光をヘッド先端まで導く導波路と、ヘッド先端に取り付けられた近接場光発生部を備えた磁気ヘッドと、該磁気ヘッドを移動させるための駆動部と、記録再生信号処理系から構成さる磁気記憶装置において、該磁気記録媒体が請求項1乃至8の何れか1項に記載の熱アシスト媒体であることを特徴とする磁気記憶装置。
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