JP5506604B2 - 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 - Google Patents
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- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical group [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 43
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 43
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 42
- 229910005335 FePt Inorganic materials 0.000 claims description 37
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 24
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 claims description 13
- FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M Sodium chloride Chemical group [Na+].[Cl-] FAPWRFPIFSIZLT-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 9
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 claims description 8
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- -1 Ta 2 O 5 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052750 molybdenum Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910052720 vanadium Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 229910001149 41xx steel Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 6
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 claims description 6
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 229910018979 CoPt Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 125
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 25
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 16
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 10
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 229910000599 Cr alloy Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 8
- 230000012010 growth Effects 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 6
- 229910000808 amorphous metal alloy Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 4
- 239000006249 magnetic particle Substances 0.000 description 4
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 4
- 230000034655 secondary growth Effects 0.000 description 4
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 4
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000008878 coupling Effects 0.000 description 3
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 description 3
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001004 magnetic alloy Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910001000 nickel titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 2
- 241001239379 Calophysus macropterus Species 0.000 description 1
- 229910019222 CoCrPt Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001030 Iron–nickel alloy Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910015320 MoMn Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910016024 MoTa Inorganic materials 0.000 description 1
- 241000849798 Nita Species 0.000 description 1
- 229910004168 TaNb Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012790 adhesive layer Substances 0.000 description 1
- 229910021417 amorphous silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000002902 bimodal effect Effects 0.000 description 1
- VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N chromium nickel Chemical compound [Cr].[Ni] VNNRSPGTAMTISX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 description 1
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 1
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N magnesium oxide Inorganic materials [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005415 magnetization Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910001120 nichrome Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000010702 perfluoropolyether Substances 0.000 description 1
- 229920000314 poly p-methyl styrene Polymers 0.000 description 1
- 239000011164 primary particle Substances 0.000 description 1
- 206010063401 primary progressive multiple sclerosis Diseases 0.000 description 1
- 239000011163 secondary particle Substances 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
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Description
(1)基板と、該基板上に形成された複数の下地層と、L10構造を有する合金を主成分とする磁性層からなる磁気記録媒体において、該下地層の少なくとも一つが、TiNであり、かつ、該TiNが、BCC構造、もしくはNaCl構造を有する下地層上に形成されていることを特徴とする熱アシスト磁気記録媒体。
(2)上記BCC構造を有する下地層が、Cr、V、Mo、W、Mnのうちの少なくとも1種類を含有していることを特徴とする(1)に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
(3)上記BCC構造を有する下地層が、CrTi、CrMo、CrV、CrMn、CrRuもしくはCrW合金であることを特徴とする(2)に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
(4)上記BCC構造を有する下地層が、Cr、V、Mo、W、Mnのうちの少なくとも1種類を含有し、更にホウ素を含有していることを特徴とする(1)に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
(5)上記BCC構造を有する下地層が、CrTiB、CrMoB、CrVB、CrMnB、CrRuBもしくはCrWB合金であることを特徴とする(4)に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
(6)上記NaCl構造を有する下地層が、MgOである(1)に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
(7)TiNが(100)面を基板面と平行とした配向をとっていることを特徴とする(1)乃至(6)の何れか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
(8)磁性層がL10構造を有するFePt、もしくはCoPt合金を主成分とし、かつ、SiO2、TiO2、Cr2O3、Al2O3、Ta2O5、ZrO2、Y2O3、CeO2、MnO、TiO、ZnO、Cから選択される少なくとも一種類の酸化物、もしくは元素を含有していることを特徴とする(1)乃至(7)の何れか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
(9)磁気記録媒体と、該磁気記録媒体を回転させるための駆動部と、該磁気記録媒体を加熱するためのレーザー発生部と、該レーザー発生部から発生したレーザー光をヘッド先端まで導く導波路と、ヘッド先端に取り付けられた近接場光発生部を備えた磁気ヘッドと、該磁気ヘッドを移動させるための駆動部と、記録再生信号処理系から構成さる磁気記憶装置において、該磁気記録媒体が(1)乃至(8)の何れか1項に記載の熱アシスト媒体であることを特徴とする磁気記憶装置。
図1に本実施例で作製した磁気記録媒体の層構成を示す。ガラス基板101上に、50nmのCo−50at%Tiシード層102、12nmのCr、もしくはCr合金からなる配向制御層(下地層)103、2nmのTiN下地層104、10nmの88mol%(Fe−45at%Pt−5at%Ag)−12mol%TiO2磁性層105、5nmのCo−10at%Cr−10at%Ptキャップ層106、4nmのDLC保護膜107を順次形成した。また、Cr下地層形成前に250℃、FePtAg−TiO2磁性層形成前に450℃の基板加熱を行った。また、Cr合金下地層には、CrMn、CrMo、CrW、CrTi、CrV、CrRuを用いた。TiNは窒素雰囲気中でDCスパッタにより形成した。比較例として、配向制御層に3nmのSi層を用いた媒体を作製した。
図3に本実施例で作製した磁気記録媒体の層構成を示す。ガラス基板301上に、5nmのNi−50at%Ti接着層302、50nmのCuヒートシンク層303、20nmのCo−50at%Tiシード層304、10nmのMgO配向制御層305、5nmのTiN下地層306、8nmの(Fe−50at%Pt)−50at%C磁性層307、Co−18at%Cr−16at%Pt−4at%Bキャップ層308、DLC保護膜309を形成した。基板加熱は、磁性層形成前にのみ、基板温度が520℃となるように行った。TiN下地層は、TiN複合ターゲットを用いてAr雰囲気中で作製した。また、比較例として、TiNを形成せず、MgO配向制御層上に直接磁性層を形成した媒体を作製した。
実施例2と同一層構成で、MgOの代わりに表2に示すBCC合金からなる単層、もしくは二層の配向制御層を用いた媒体を作製した。尚、表中の二層下地の表記は、右側が基板側で左側が磁性層側である。このとき、配向制御層に(100)配向をとらせるため、配向制御形成前に280℃の基板加熱を行った。上記以外の層構成、及び成膜プロセスは実施例2と同一とした。また、比較例として、MgOの代わりにSi配向制御層を用いた媒体を作製した。
実施例1で示した媒体(実施例媒体1.1〜1.7)にパーフルオルポリエーテル系の潤滑剤を塗布したのち、図4に示した磁気記憶装置に組み込んだ。本磁気記憶装置は、磁気記録媒体401と、磁気記録媒体を回転させるための駆動部402と、磁気ヘッド403と、ヘッドを移動させるための駆動部404と、記録再生信号処理系405から構成される。図5に磁気ヘッドの詳細を示す。ヘッドは、主磁極501、補助磁極502、磁界を発生させるためのコイル503、レーザーダイオードLD504、LDから発生したレーザー光505を近接場発生素子506まで伝達するための導波路507から構成される記録ヘッド508、及びシールド509で挟まれた再生素子510から構成される再生ヘッド511からなる。近接場光素子から発生した近接場光により媒体512を加熱し、媒体の保磁力をヘッド磁界以下まで低下させて記録できる。また、LD、導波路、近接場発生素子からなる加熱機構513を主磁極と補助磁極の間に配置しても良い。但し、この場合、主磁極のリーディング側を加熱する必要があるため、媒体の進行方向は図とは逆に右側となる。
102…CoTiシード層
103…配向制御層
104…TiN下地層
105…磁性層
106…キャップ層
107…DLC保護膜
301…ガラス基板
302…NiTi接着層
303…Cuヒートシンク層
304…CoTiシード層
305…配向制御層
306…TiN下地層
307…磁性層
308…キャップ層
309…DLC保護膜
401…磁気記録媒体
402…媒体駆動部
403…磁気ヘッド
404…ヘッド駆動部
405…記録再生信号処理系
501…主磁極
502…補助磁極
503…コイル
504…半導体レーザーダイオード
505…レーザー光
506…近接場光発生部
507…導波路
508…記録ヘッド
509…シールド
510…再生素子
511…再生ヘッド
512…媒体
513…加熱機構
Claims (9)
- 基板と、該基板上に形成された複数の下地層と、L10構造を有する合金を主成分とする磁性層からなる磁気記録媒体において、該下地層の少なくとも一つが、TiNであり、かつ、該TiNが、BCC構造、もしくはNaCl構造を有する下地層上に形成されていることを特徴とする熱アシスト磁気記録媒体。
- 上記BCC構造を有する下地層が、Cr、V、Mo、W、Mnのうちの少なくとも1種類を含有していることを特徴とする請求項1に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 上記BCC構造を有する下地層が、CrTi、CrMo、CrV、CrMn、CrRuもしくはCrW合金であることを特徴とする請求項2に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 上記BCC構造を有する下地層が、Cr、V、Mo、W、Mnのうちの少なくとも1種類を含有し、更にホウ素を含有していることを特徴とする請求項1に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 上記BCC構造を有する下地層が、CrTiB、CrMoB、CrVB、CrMnB、CrRuBもしくはCrWB合金であることを特徴とする請求項4に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 上記NaCl構造を有する下地層が、MgOである請求項1に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- TiNが(100)面を基板面と平行とした配向をとっていることを特徴とする請求項1乃至6の何れか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 磁性層がL10構造を有するFePt、もしくはCoPt合金を主成分とし、かつ、SiO2、TiO2、Cr2O3、Al2O3、Ta2O5、ZrO2、Y2O3、CeO2、MnO、TiO、ZnO、Cから選択される少なくとも一種類の酸化物、もしくは元素を含有していることを特徴とする請求項1乃至7の何れか1項に記載の熱アシスト磁気記録媒体。
- 磁気記録媒体と、該磁気記録媒体を回転させるための駆動部と、該磁気記録媒体を加熱するためのレーザー発生部と、該レーザー発生部から発生したレーザー光をヘッド先端まで導く導波路と、ヘッド先端に取り付けられた近接場光発生部を備えた磁気ヘッドと、該磁気ヘッドを移動させるための駆動部と、記録再生信号処理系から構成さる磁気記憶装置において、該磁気記録媒体が請求項1乃至8の何れか1項に記載の熱アシスト媒体であることを特徴とする磁気記憶装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010191742A JP5506604B2 (ja) | 2010-08-30 | 2010-08-30 | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010191742A JP5506604B2 (ja) | 2010-08-30 | 2010-08-30 | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012048792A JP2012048792A (ja) | 2012-03-08 |
JP5506604B2 true JP5506604B2 (ja) | 2014-05-28 |
Family
ID=45903484
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010191742A Active JP5506604B2 (ja) | 2010-08-30 | 2010-08-30 | 熱アシスト磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5506604B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5955757B2 (ja) | 2012-12-12 | 2016-07-20 | 株式会社東芝 | 磁気ディスク、磁気ディスク装置および熱アシスト磁気記録方法 |
JP6180755B2 (ja) * | 2013-02-25 | 2017-08-16 | 山陽特殊製鋼株式会社 | 磁気記録用Cr合金およびスパッタリング用ターゲット材並びにそれらを用いた垂直磁気記録媒体 |
JP6199618B2 (ja) | 2013-04-12 | 2017-09-20 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体、磁気記憶装置 |
JP6317896B2 (ja) * | 2013-07-26 | 2018-04-25 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
US9672854B2 (en) | 2013-09-30 | 2017-06-06 | Seagate Technology Llc | Magnetic stack including MgO-Ti(ON) interlayer |
JP2015088197A (ja) * | 2013-10-28 | 2015-05-07 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
JP6887814B2 (ja) * | 2017-01-24 | 2021-06-16 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体および磁気記憶装置 |
JP2022028410A (ja) * | 2020-08-03 | 2022-02-16 | 昭和電工株式会社 | 磁気記録媒体用基板、磁気記録媒体及び磁気記憶装置 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4074181B2 (ja) * | 2002-11-28 | 2008-04-09 | 株式会社東芝 | 垂直磁気記録媒体 |
JP4207769B2 (ja) * | 2002-12-20 | 2009-01-14 | 富士電機デバイステクノロジー株式会社 | 垂直磁気記録媒体およびその製造方法 |
JP2007026558A (ja) * | 2005-07-15 | 2007-02-01 | Univ Of Tokyo | 磁気記録媒体及びその製造方法 |
WO2008030199A1 (en) * | 2006-09-08 | 2008-03-13 | Agency For Science, Technology And Research | Chemically ordered perpendicular recording media |
JP2009026394A (ja) * | 2007-07-20 | 2009-02-05 | Univ Chuo | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
-
2010
- 2010-08-30 JP JP2010191742A patent/JP5506604B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012048792A (ja) | 2012-03-08 |
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JP2013149328A (ja) | 磁気記録媒体及び磁気記録再生装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130531 |
|
A977 | Report on retrieval |
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|
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
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