JP5554430B2 - シート剥離装置及び剥離方法並びにシート剥離用プレート部材 - Google Patents
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Description
また、特許文献2にあっては、ばねを介してエッジ部材を上下動させるように構成されているため、部品点数が増大して複雑な構成となってしまう、という不都合を招来する。更に、エッジ部材の先端がバンプを通過するときに、当該エッジ部材が全体的に持ち上がることとなるため、バンプが存在しない領域では、エッジ部材による押圧力が不十分或いは付与されなくなり、接着シートが剥離されずにウエハが接着シートと共に持ち上げられて割れてしまう、という不都合を招来する。
本発明は、このような不都合に着目して案出されたものであり、その目的は、簡単な構成で剥離用テープを接着シートに押圧して貼付し、当該剥離用テープと共に接着シートを折り返しながら剥離することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
また、本発明の他の目的は、バンプ等の突起を有する被着体であっても、接着シートの剥離により被着体に割れや破損が生じることを防止することができるシート剥離装置及び剥離方法を提供することにある。
前記接着シートを折り返しながら剥離するプレート部材を備え、当該プレート部材は、前記接着シートを被着体に押圧した際、撓み変形して被着体側に膨出する、という構成を採っている。
前記接着シートを折り返しながら剥離するプレート部材を備え、当該プレート部材は、前記突起の形状に沿って部分的に変形可能である、という構成を採ることができる。
前記接着シートを被着体に押圧した際、撓み変形して当該被着体側に膨出する、という構成を採っている。
前記突起の形状に沿って部分的に変形可能である、という構成を採ることができる。
プレート部材で前記接着シートを折り返すとともに、当該プレート部材を被着体側に押圧した際、撓み変形して被着体側に膨出させた状態で前記接着シートを被着体から剥離する、という手法を採っている。
プレート部材で前記接着シートを折り返すとともに、当該プレート部材を前記突起の形状に沿って部分的に変形させながら前記接着シートを被着体から剥離する、という手法を採ることができる。
また、接着シートの貼付面に複数のバンプ等の突起を有する被着体であっても、プレート部材の先端が突起上を通過するときに、当該プレート部材を撓み変形させながら接着シートを被着体に押圧することができる。具体的には、プレート部材自体の変形により、その先端が突起の形状に沿って移動可能となり、且つ、突起の形状に沿って部分的に凹むようにプレート部材が変形可能となる。これにより、プレート部材による突起の損傷を防止することができるばかりでなく、接着シートの全ての領域を満遍なく押圧して接着シートの剥離時における被着体の割れや破損が生じることを回避することができる。
図1〜図4において、シート剥離装置10は、帯状の剥離用テープPTを繰り出す繰出手段11と、被着体としてのウエハWに貼付された接着シートSに剥離用テープPTを押圧して貼付する押圧手段12と、剥離用テープPTを巻き取り可能な回収手段13と、ウエハWを上面で吸着保持するテーブル15と、このテーブル15を図1中左右方向に移動させる移動手段としての単軸ロボット16とを備えて構成されている。繰出手段11、押圧手段12及び回収手段13は、図示しない駆動手段を介して図1中上下方向に移動可能なフレームFを介してテーブル15の上方に支持されている。
また、図3に示されるように、プレート部材22の先端側には、ヒータからなる加熱手段25が内蔵されている。この加熱手段25により、プレート部材22が加熱されて、その硬度が低下し、プレート部材22の撓み変形や部分凹み変形をより一層行い易くすることができ、バンプBへの追従性を向上させることができる上、接着シートSの接着剤を軟化させて当該接着シートSがウエハWから剥がれ易くすることもできる。更に、剥離用テープPTとして感熱接着性の接着テープを使用する場合、当該剥離用テープPTを加熱して接着シートSへ貼付しつつ、接着シートSの剥離を行うことが可能となる。
すなわち、本発明は、主に特定の実施形態に関して特に図示、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上説明した実施形態に対し、形状、位置若しくは配置等に関し、必要に応じて当業者が様々な変更を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
11 繰出手段
12 押圧手段
13 回収手段
16 単軸ロボット(移動手段)
22 プレート部材
23 回動手段
25 加熱手段
B バンプ(突起)
M3 モータ(検知手段)
PT 剥離用テープ
S 接着シート
W 半導体ウエハ(被着体)
Claims (6)
- 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと前記被着体とを相対移動させることで前記接着シートを剥離するシート剥離装置において、
前記接着シートを折り返しながら剥離するプレート部材を備え、当該プレート部材は、前記接着シートを被着体に押圧した際、撓み変形して被着体側に膨出することを特徴とするシート剥離装置。 - 複数の突起が設けられた被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと前記被着体とを相対移動させることで前記接着シートを剥離するシート剥離装置において、
前記接着シートを折り返しながら剥離するプレート部材を備え、当該プレート部材は、前記突起の形状に沿って部分的に変形可能であることを特徴とするシート剥離装置。 - 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと前記被着体とを相対移動させることで前記接着シートを剥離する際に用いられ、前記接着シートを折り返しながら剥離するプレート部材であって、
前記接着シートを被着体に押圧した際、撓み変形して当該被着体側に膨出することを特徴とするプレート部材。 - 複数の突起が設けられた被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと前記被着体とを相対移動させることで前記接着シートを剥離する際に用いられ、前記接着シートを折り返しながら剥離するプレート部材であって、
前記突起の形状に沿って部分的に変形可能であることを特徴とするプレート部材。 - 被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと前記被着体とを相対移動させることで前記接着シートを剥離するシート剥離方法において、
プレート部材で前記接着シートを折り返すとともに、当該プレート部材を被着体側に押圧した際、撓み変形して被着体側に膨出させた状態で前記接着シートを被着体から剥離することを特徴とするシート剥離方法。 - 複数の突起が設けられた被着体に貼付された接着シートに剥離用テープを貼付し、当該剥離用テープと前記被着体とを相対移動させることで前記接着シートを剥離するシート剥離方法において、
プレート部材で前記接着シートを折り返すとともに、当該プレート部材を前記突起の形状に沿って部分的に変形させながら前記接着シートを被着体から剥離することを特徴とするシート剥離方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013043641A JP5554430B2 (ja) | 2013-03-06 | 2013-03-06 | シート剥離装置及び剥離方法並びにシート剥離用プレート部材 |
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---|---|---|---|
JP2013043641A JP5554430B2 (ja) | 2013-03-06 | 2013-03-06 | シート剥離装置及び剥離方法並びにシート剥離用プレート部材 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2009063952A Division JP5249826B2 (ja) | 2009-03-17 | 2009-03-17 | シート剥離装置及び剥離方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013118406A JP2013118406A (ja) | 2013-06-13 |
JP5554430B2 true JP5554430B2 (ja) | 2014-07-23 |
Family
ID=48712709
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013043641A Active JP5554430B2 (ja) | 2013-03-06 | 2013-03-06 | シート剥離装置及び剥離方法並びにシート剥離用プレート部材 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5554430B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6722476B2 (ja) * | 2016-03-11 | 2020-07-15 | リンテック株式会社 | シート処理装置および処理方法 |
JP7446071B2 (ja) | 2019-09-20 | 2024-03-08 | リンテック株式会社 | シート貼付装置およびシート貼付方法 |
KR102440741B1 (ko) * | 2020-05-25 | 2022-09-07 | (주) 엔지온 | 반도체 칩 디라미네이션 장치 제어 방법 |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2552501Y2 (ja) * | 1991-02-18 | 1997-10-29 | 株式会社サンテック | 二重フイルムの剥離装置 |
JP4502547B2 (ja) * | 2000-08-07 | 2010-07-14 | 日東電工株式会社 | 半導体ウエハの保護テープ除去方法およびその装置 |
JP2005175384A (ja) * | 2003-12-15 | 2005-06-30 | Nitto Denko Corp | 保護テープの貼付方法及び剥離方法 |
JP4592289B2 (ja) * | 2004-01-07 | 2010-12-01 | 日東電工株式会社 | 半導体ウエハの不要物除去方法 |
JP4326519B2 (ja) * | 2005-03-31 | 2009-09-09 | 日東電工株式会社 | 保護テープ剥離方法およびこれを用いた装置 |
JP2007109927A (ja) * | 2005-10-14 | 2007-04-26 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 表面保護フィルム剥離方法および表面保護フィルム剥離装置 |
JP4597061B2 (ja) * | 2006-02-09 | 2010-12-15 | 株式会社ディスコ | 保護テープの剥離方法 |
JP2007329315A (ja) * | 2006-06-08 | 2007-12-20 | Tokyo Seimitsu Co Ltd | 剥離テープ貼付方法および剥離テープ貼付装置 |
JP4824622B2 (ja) * | 2007-05-10 | 2011-11-30 | リンテック株式会社 | シート剥離装置及び剥離方法 |
JP4918539B2 (ja) * | 2008-12-26 | 2012-04-18 | 日東電工株式会社 | 保護テープ剥離装置 |
-
2013
- 2013-03-06 JP JP2013043641A patent/JP5554430B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013118406A (ja) | 2013-06-13 |
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A977 | Report on retrieval |
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