JP5526810B2 - ゾルゲル液、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 - Google Patents

ゾルゲル液、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 Download PDF

Info

Publication number
JP5526810B2
JP5526810B2 JP2010016959A JP2010016959A JP5526810B2 JP 5526810 B2 JP5526810 B2 JP 5526810B2 JP 2010016959 A JP2010016959 A JP 2010016959A JP 2010016959 A JP2010016959 A JP 2010016959A JP 5526810 B2 JP5526810 B2 JP 5526810B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
sol
electro
mechanical conversion
film
ink
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2010016959A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2011155204A (ja
Inventor
恵司 上田
善一 秋山
治 町田
光 下福
孝和 木平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Ricoh Co Ltd
Original Assignee
Ricoh Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Ricoh Co Ltd filed Critical Ricoh Co Ltd
Priority to JP2010016959A priority Critical patent/JP5526810B2/ja
Priority to US12/968,630 priority patent/US8690297B2/en
Publication of JP2011155204A publication Critical patent/JP2011155204A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5526810B2 publication Critical patent/JP5526810B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/704Piezoelectric or electrostrictive devices based on piezoelectric or electrostrictive films or coatings
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2/00Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
    • B41J2/005Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
    • B41J2/01Ink jet
    • B41J2/135Nozzles
    • B41J2/14Structure thereof only for on-demand ink jet heads
    • B41J2/14201Structure of print heads with piezoelectric elements
    • B41J2/14233Structure of print heads with piezoelectric elements of film type, deformed by bending and disposed on a diaphragm
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/02Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
    • C23C18/06Coating on selected surface areas, e.g. using masks
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/02Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
    • C23C18/12Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
    • C23C18/1204Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material inorganic material, e.g. non-oxide and non-metallic such as sulfides, nitrides based compounds
    • C23C18/1208Oxides, e.g. ceramics
    • C23C18/1216Metal oxides
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/02Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition
    • C23C18/12Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by thermal decomposition characterised by the deposition of inorganic material other than metallic material
    • C23C18/125Process of deposition of the inorganic material
    • C23C18/1254Sol or sol-gel processing
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/07Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base
    • H10N30/074Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing
    • H10N30/077Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by liquid phase deposition
    • H10N30/078Forming of piezoelectric or electrostrictive parts or bodies on an electrical element or another base by depositing piezoelectric or electrostrictive layers, e.g. aerosol or screen printing by liquid phase deposition by sol-gel deposition
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80Constructional details
    • H10N30/85Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853Ceramic compositions
    • H10N30/8548Lead-based oxides
    • H10N30/8554Lead-zirconium titanate [PZT] based
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B41PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
    • B41JTYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
    • B41J2202/00Embodiments of or processes related to ink-jet or thermal heads
    • B41J2202/01Embodiments of or processes related to ink-jet heads
    • B41J2202/03Specific materials used

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Thermal Sciences (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Dispersion Chemistry (AREA)
  • Inorganic Chemistry (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
  • Inks, Pencil-Leads, Or Crayons (AREA)

Description

本発明は、電気−機械変換膜を形成する際に用いるゾルゲル液、該ゾルゲル液を用いて作成された電気−機械変換素子、該素子を用いた液体吐出ヘッド、及び該ヘッドを備えたインクジェット記録装置に関する。
ゾルゲル法による金属複合酸化物の薄膜形成は公知であり(非特許文献1)、Au膜上にアルカンチオールを用いて自己組織化単分子膜(SAM:Self Assembled Mon−layer)を形成する技術も公知である(非特許文献2)。
また、特許文献1には、ゾルゲル法を用いて基板上に複合酸化物の厚膜を形成し、空間光変調素子やインクジェットプリンタヘッドのアクチュエータ、センサに用いることが記載されており、特許文献2には、二つ以上のインクジェットヘッドを用いて、異なるゾルゲル液を吐出させ、一平面内に均一に混合した強誘電体薄膜を形成することが記載されている。
また、特許文献3には、圧電体薄膜を用いた液体噴射ヘッドの一般的な構成が示されている。
また、特許文献4には、強誘電体膜を形成するための前駆体組成物、該前駆体組成物の製造方法、インクジェット塗布用前駆体組成物インクが示されている。
インクジェットヘッドを有するインクジェット記録装置は、騒音が極めて小さくかつ高速印字が可能であり、更にはインクの自由度があり安価な普通紙を使用できるなど多くの利点があるために、プリンタ、ファクシミリ、複写装置等の画像形成装置(画像記録装置)として広く展開されている。
インクジェット記録装置の液体吐出ヘッドは、インク滴を吐出するノズル、このノズルが連通する圧力室(加圧室、加圧液室、液室、吐出室、インク流路とも称される)、及び圧力室内のインクを加圧するための圧力発生手段を備え、該圧力発生手段により圧力室内のインクを加圧してノズルからインク滴を吐出させる。
圧力発生手段としては、圧電素子などの電気−機械変換素子を用いて圧力室の壁面を形成している振動板を変形変位させることでインク滴を吐出させるピエゾ型のもの、圧力室内に配設した発熱抵抗体などの電気−熱変換素子を用いてインクの膜沸騰でバブルを発生させてインク滴を吐出させるバブル型(サーマル型)のものなどがある。更にピエゾ型のものにはd33方向の変形を利用した縦振動型、d31方向の変形を利用した横振動(ベンドモード)型、剪断変形を利用したシェアモード型などがあるが、最近では半導体プロセスやMEMSの進歩により、Si基板に直接圧力室及びピエゾ素子を作り込んだ薄膜アクチュエータが考案されている。
図1に、電気−機械変換素子を用いた液体吐出ヘッドの一例を示すが、この電気−機械変換素子は、電気的入力のための下部電極及び上部電極と、その間に挟まれた電気−機械変換膜からなる積層構造を有する。なお、液体供給手段、流路等は省略した。
図2は、図1の液体吐出ヘッドを複数個配置した例を示しており、各圧力室にインク吐出の圧力を発生させるための個別の電気−機械変素子が配置されている。
電気−機械変換膜の材料にはジルコン酸チタン酸鉛(PZT)、チタン酸バリウムなどが用いられるが、これらは複数の金属酸化物を主成分としているので一般に金属複合酸化物と称される。
従来は、下部電極上に真空成膜法などの周知の成膜技術により電気−機械変換膜材料を堆積させ、続いて、上部電極を形成した後、フォトリソグラフィー・エッチングにより、上部電極のパターニングを行い、同様にして電気−機械変換膜及び下部電極のパターニングを行って電気−機械変換素子を作成している。
しかし、金属複合酸化物、特にPZTのドライエッチングは容易でなく、ICPプラズマ、ECRプラズマ、ヘリコンプラズマを併用した特殊なRIE(反応性イオンエッチング)を必要とし、製造装置のコスト高を招くなどの問題がある。
また、個別化されたPZT膜の形成法としては、Ti金属上にPZTを選択成長させる水熱合成法があるが、この方法で十分な耐圧を有するPZT膜を得るには、膜厚を5μm以上とする必要があり(5μm未満では、電界印加で容易に絶縁破壊してしまう)、所望する任意の薄膜が得られない。またSi基板上に素子を形成する場合、水熱合成が強アルカリ性の水溶液下で行われるため、Si基板の保護が必須となる。他の方法として真空蒸着法やAD法もあるが、いずれも種々の問題があり採用できない。
一方、本発明者等による先願発明(特願2009−128383)では、ゾルゲル法により必要部位のみに選択的にPZT膜(電気−機械変換膜)を形成して、個別化されたPZT膜を有する電気−機械変換素子を作成している。ゾルゲル液の選択塗布に際しては液体の濡れ性を制御する為の表面改質法として、ディップ法のみで膜形成部分を制御したSAM膜形成技術を採用している。また、上記先願発明では、必要部位のみに選択的にSAM膜を形成することにより液体の濡れ性(表面の接触角)を制御した部位の表面に、インクジェット法でゾルゲル液を繰返し塗布し、個別化されたPZT膜を形成している。この方法によると使用するゾルゲル液の量を格段に少なくすることができるが、PZT膜の前駆体となるゾルゲル液は、一般に粘度が低く表面張力も小さいため、インクジェット用の「インク」としては適当でなく、インクジェットヘッドのノズルから適切な状態で吐出させる条件設定幅が極めて狭い上に、安定的に吐出動作を継続させることが非常に難しい。
本発明は、下部電極表面を部分的に改質した後、該改質した部分にインクジェット法によりルゲル液を塗布し、個別化された電気−機械変換膜を形成する際に、適切な吐出条件の設定が容易で、かつ安定的に吐出動作を継続させることができるゾルゲル液、該ゾルゲル液を用いて作成された電気−機械変換素子、該素子を用いた液体吐出ヘッド、及び該ヘッドを備えたインクジェット記録装置の提供を目的とする。
上記課題は、次の〔1〕〜〔5〕の発明によって解決される。
〔1〕 電気−機械変換素子の個別化された電気−機械変換膜をインクジェット法により形成する際に用いるゾルゲル液であって、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)、又はPZTと他の金属複合酸化物、及び溶解度パラメータ特性を示す三角組成図(図3)中の、A・B・C・D・E・Fで示される領域内の特性を有する、少なくとも2−メトキシエタノールを含む有機溶媒を含有し、かつ、そのゾルゲル液が、次の1)〜3)の要件を満たすことを特徴とするゾルゲル液。
1)粘度が3〜13mPa・s(ミリパスカル・秒)
2)表面張力が30±5mN/m(ミリニュートン/メートル)
3)乾燥速度が対純水比で70〜80%
〔2〕 前記他の金属複合酸化物が、次の(1)〜(3)の少なくとも1つである〔1〕に記載のゾルゲル液。
(1)Pb(Mg1/3,Nb2/3)O
(2)Pb(Ni1/3,Nb2/3)O
(3)Pb(Zn1/3,Nb2/3)O
〔3〕 少なくとも下部電極と上部電極に挟まれた電気−機械変換膜を有し、該電気−機械変換膜が、〔1〕又は〔2〕に記載のゾルゲル液を用いてインクジェット法により形成されたものである電気−機械変換素子。
〔4〕 〔3〕に記載の電気−機械変換素子を用いた液体吐出ヘッド。
〔5〕 〔4〕に記載の液体吐出ヘッドを備えたインクジェット記録装置。
本発明によれば、下部電極表面を部分的に改質した後、該改質した部分に、インクジェット法によりゾルゲル液を塗布し、個別化された電気−機械変換膜を形成する際に、適切な吐出条件の設定が容易で、かつ安定的に吐出動作を継続させることができるゾルゲル液、該ゾルゲル液を用いて作成された電気−機械変換素子、該素子を用いた液体吐出ヘッド、及び該ヘッドを備えたインクジェット記録装置を提供できる。
ノズルの液体吐出ヘッドの一例を示す図。 図1の液体吐出ヘッドを複数個配置した例を示す図。 本発明で用いる有機溶媒の溶解度パラメータを示す図。 調整用有機溶媒の溶解度パラメータを示す図。 一般に報告されているゾルゲル液材料を示す図。 インクジェット記録装置の一例の斜視説明図。 インクジェット記録装置の一例の機構部の側面説明図。
以下、上記本発明について詳しく説明する。
本発明は前述したピエゾ型のうちd31方向の変形を利用した横振動(ベンドモード)型の電気−機械変換素子(薄膜アクチュエータ)の作成に用いるゾルゲル液に関する。
薄膜アクチュエータとして使用する電気−機械変換膜は、通常、金属複合酸化物膜によって形成される。そして、ゾルゲル法は適切な電気−機械変換能力を有する金属複合酸化物膜を形成する方法として、非常に有効である。
ゾルゲル法は、金属の有機又は無機化合物を溶液中で加水分解し、続いて重縮合反応させて重合体を形成し、これを加熱することで金属複合酸化物(セラミック)を作成する手法である。重合体は、重合度が低い場合は「ゾル」と呼ばれる液体の状態であるが、これを更に適切な溶媒で希釈して「前駆体」を作成する。この「前駆体」溶液を一般的に「ゾルゲル液」と呼び、本発明においても「ゾルゲル液」と称する。
ゾルゲル法で金属複合酸化物膜を作成する場合、ゾルゲル液をディッピング又はスピンコートにより基板上に塗布し、これを加熱することで基板上に金属複合酸化物膜を得る手法が一般的である。また、この金属複合酸化物膜に電気−機械変換膜としての機能を与えて活用する際には、優れた電気−機械変換特性(圧電特性)を有するPZTが広く用いられている。
PZTの出発材料は酢酸鉛、ジルコニウムアルコキシド、及びチタンアルコキシドであり、これらの化合物の共通溶媒である2−メトキシエタノールを用いてPZTのゾルゲル液を得る(非特許文献1参照)。
PZTは、ジルコン酸鉛(PbZrO)とチタン酸鉛(PbTiO)の固溶体であり、化学式Pb(Zr1−XTi)O(0<x<1)で示されるが、その比率により特性が異なる。一般的に優れた電気−機械変換特性(圧電特性)を示すのは、PbZrOとPbTiOのモル比が53:47のもの、即ち上記化学式においてx=0.47のものであり、一般にPZT(53/47)と略称される。
出発材料の酢酸鉛、ジルコニウムアルコキシド、チタンアルコキシドは、上記化学式に従って秤量して用いられる。
ただし、ゾルゲル液の塗膜には、膜形成後に必ず「熱処理(加熱)」プロセスが加えられる。その際、特に結晶化のための熱処理プロセスにおいて、塗膜中の鉛原子の一部が「揮発(蒸発)」することが広く知られている。そこでPZTのような鉛を含む複合酸化物を作成する場合には、熱処理プロセス中における鉛原子の揮発・減少を見越して、出発材料に化学量論組成に比べて鉛を5〜20%過剰に加えることが一般的に行われている。なお、このような鉛を過剰に加える操作は、本発明のような薄膜の成膜プロセスのみならず、「バルク」の焼結・製造プロセスにおいても一般的な手法である。
金属アルコキシドは大気中の水分により容易に加水分解してしまうので、ゾルゲル液にアセチルアセトン、酢酸、ジエタノールアミンなどの安定化剤を適量添加しても良い。
PZT以外の複合酸化物の例としてはチタン酸バリウムが挙げられるが、この場合はバリウムアルコキシドとチタンアルコキシドを出発材料にし、これらの化合物の共通溶媒に溶解させてチタン酸バリウムのゾルゲル液を作成する。
下地基板全面にPZT膜を形成する場合は、スピンコートなどの溶液塗布法によりPZTのゾルゲル液からなる塗膜を形成し、溶媒乾燥、熱分解、結晶化の各々の熱処理を施して結晶化膜とする。しかし、塗膜から結晶化膜への変態には体積収縮が伴うため、クラックのない結晶化膜を得るには、一回の塗布で100nm以下の膜厚となるようにゾルゲル液の濃度を調整する必要がある。
一方、PZT膜を液体吐出ヘッドの電気−機械変換素子に用いる場合には、その膜厚は1〜2μmが要求される。しかし、上記の方法でこの膜厚のものを得るには、塗布を十数回繰り返す必要がある。
また、得られた下地基板全面に成膜されたPZT膜を液体吐出ヘッドの電気−機械変換素子に用いる場合、これを圧力室のレイアウトに合わせて個別化する(パターン化する)プロセスが必要であり、そのプロセスには多くのコストと困難が伴う。そこで本発明者等は、ゾルゲル法による成膜と同時にパターン化も行って電気−機械変換膜を形成する方法を発明し、前述した先願1、2として出願した。
しかし、PZT膜を形成するためのゾルゲル液は、前述したように一回の塗布で100nm以下の膜厚となるように濃度が調整され(つまり希釈)ている。そのため粘度が低く、表面張力も小さい液質となっている。
ここで表1に、一般的なインクジェット印刷におけるインクの性質(粘度、表面張力、乾燥速度)と、インクジェットヘッドに配列されたノズルからのインクの吐出状態・印刷品質の関係を示す。
Figure 0005526810
一般的なインクジェット印刷において、使用するインクの粘度が低い場合、インク滴がインクジェットヘッドのノズルから吐出される際に、同時に「ミスト」と呼ばれる微小なインク滴が噴出して周囲に広がり、印刷品質が低下すると同時にインクジェットヘッド表面部に付着して汚染し、以後のインク滴の噴出状態を阻害する現象が生じやすい。
一方、インクの粘度を過剰に高くすると、圧力室に圧力を発生させてインク滴をノズルから吐出させようとしても、粘度が高いためにインクがノズルから滴となって外に飛び出すことができない。
また、インクの表面張力が小さい場合、インク滴を吐出させようとする以前に、ノズルからインクが「漏れる」現象が生じてインクジェットヘッド表面を汚染し、以後のインク滴の吐出状態を阻害し、印刷品質に不具合が生じる。
一方、インクの表面張力が過剰に大きくなると、インクが圧力室からノズル部に流入しなくなり、インク滴をノズルから吐出させることができなくなる。
また、インクの乾燥速度が遅い場合、インク滴がノズルから吐出して被印刷物に着弾した後、乾燥・定着するまでの時間が長くなり、後から着弾したインク滴と混ざり合って「滲み」となる等の印刷品質の低下が生じやすくなる。
一方、インクの乾燥速度が速いと、インクがノズル部分で乾燥・固化して詰まり、インク滴をノズルから吐出させることができなくなる。
以上のように、インクジェット印刷に際しては、使用するインクの粘度、表面張力及び乾燥速度について、それぞれ満足すべき品質の範囲を厳密に定める必要がある。
この満足すべきインク品質に関する要件は、インクジェット法によりPZTのゾルゲル液をパターン化しながら塗布し、電気−機械変換素子を作成しようとする場合のゾルゲル液の品質に関しても、そのまま当て嵌まる。
しかし、前述したように、PZT膜を形成するためのゾルゲル液は、粘度が低く表面張力も小さい液質となっており、インクジェット法で使用する「インク」としては好ましい品質ではない。
もちろん、上記品質のゾルゲル液をそのままインクジェットヘッドのノズルから吐出させて電気−機械変換素子を作成することは不可能ではない。しかし、設定する吐出条件の許容幅は非常に狭く、しかも、ゾルゲル液の液質が低粘度・低表面張力という、インクジェットヘッド表面を汚染させやすい品質のため、適切な状態でのゾルゲル液吐出を、長時間安定に続けることは非常に難かしい。
そこで、適切な電気−機械変換性能を有する電気−機械変換膜を形成し、かつインクジェットヘッドのノズルからの吐出を安定的に継続させることができるゾルゲル液の液質について検討した。
まず、後述する実施例1の<ゾルゲル液の合成>と同様にして、PZTのゾルゲル液(PZT前駆体溶液)を作成し、これを用いて、以下のようにして、適切なゾルゲル液の要件及び適切な調整用有機溶媒について検討した、
(a)適切なゾルゲル液の要件について
1回の塗布によって得られる結晶化膜の膜厚が100nm以下でクラックのない膜となるようなゾルゲル液中の前駆体濃度を調べるため、様々な前駆体濃度に調整したゾルゲル液を準備し、インクジェット法による成膜評価を行った。ゾルゲル液の濃度調整には、ゾルゲル液合成時の共通溶媒である2−メトキシエタノールを用いた。また、ゾルゲル液の塗布は、インクジェットヘッド(GEN4ヘッド:リコープリンティングシステム社製)を搭載したインクジェット塗布装置を使用した。
その結果、1回の塗布により適切な結晶化膜を得るためのゾルゲル液の前駆体濃度は、0.3mol/L以下が好ましいことが明らかになった。しかし、2−メトキシエタノ−ルのみで濃度調整したゾルゲル液は粘度が低いため、吐出時にミストが発生して塗布開始から短時間でインクジェットヘッド表面が汚染されるという前述した不具合が生じた。
なお、2−メトキシエタノ−ルの粘度は1.57mPa・s、2−メトキシエタノ−ルのみで前駆体濃度を0.3mol/Lに調整したゾルゲル液の粘度は、2.52mPa・sであった。
そこで、適切な液吐出を安定的に継続できるゾルゲル液の液質を調べるため、2−メトキシエタノール以外の調整用有機溶媒を1種ないし複数種組み合わせて前記ゾルゲル液に混合し、様々な液質のゾルゲル液を作成して、インクジェット法による吐出・成膜評価を行った。
その結果、適切な液吐出を安定的に継続させるには、次の1)〜3)の要件を満たすように、ゾルゲル液の液質を調整すれば良いことが明らかになった。
1) 粘度が3〜13mPa・s(ミリパスカル・秒)
2) 表面張力が30±5mN/m(ミリニュートン/メートル)
3) 乾燥速度が対純水比で70〜80%の乾燥速度
上記1)については、粘度が3mPa・s未満では、前述したように、吐出時にミストが発生して塗布開始から短時間でインクジェットヘッド表面が汚染されるという不具合が生じる。一方、粘度が13mPa・sを超えると、ノズルから吐出できなくなる。
上記2)については、表面張力が25mN/m未満では、パターン化した形状のコントラストが悪化する(境界部がシャープな形状にならない)。一方、35mN/mを越えると、ノズルから吐出できなくなる。
上記3)については、乾燥速度が遅いと、パターン化した形状のコントラストが悪化する(境界部がシャープな形状にならない)。一方、乾燥速度が速いと、インクジェットヘッドのノズル部分で乾燥・固化が進んでノズルが詰まり、吐出できなくなる。
(b)適切な調整用有機溶媒について
しかし、インクジェットヘッドからの吐出が安定的に継続できるにも関わらず、塗布後のゾルゲル液の「濡れ広がり方」、その後の結晶化膜の状態が不均一で「ムラ」が生じるゾルゲル液が多く認められた。そして、そのような不具合状態を仔細に検討すると、ゾルゲル液調整のために加えた調整用有機溶媒とベースのゾルゲル液(溶媒:2−メトキシエタノール)の混合状態が完全には均一になっていないことが明らかになった。
そのため、調合後のゾルゲル液の液質が前記1)〜3)の性質を満足すると同時に、ゾルゲル液の主溶媒である2−メトキシエタノ−ルとの混合性が良好な調整用有機溶媒について検討した。
2液(以上)の有機溶媒間の混合性の良否を判断する指標として、「溶解度パラメータ(Solubility Parameter:SP値)」と呼ばれる指標がある。この指標は、各々の有機溶媒が有する分散性(Dispersion)、極性(Polarity)、水素結合性(Hydrogen Bonding)を数値化したもので、図3のような三角組成図を用いて、その指標が示す有機溶媒の特性をプロットで示すことができる。そしてプロットで示される指標値が近い有機溶媒同士は、混合性が良好となることが経験的に知られている。
図3に、2−メトキシエタノールの溶解度パラメータをプロットで示した。なお、図3及び他の図表で示す溶解度パラメータは全て”HANSEN SOLUBILITY PARAMETERS Second Edition”(Charles M.Hansen CRC Press社)に示されたデータに準拠している。
図3に示した2−メトキシエタノールの溶解度パラメータと近い溶解度パラメータを有する調整用有機溶媒を選択して混合すれば、均一性の良好なゾルゲル液が得られる。しかし、「溶解度パラメータが近い」有機溶媒は、粘度その他の性質についても近い値を示す傾向が認められる。一方、2−メトキシエタノールを共通溶媒として合成したゾルゲル液に、異なる調整用有機溶媒を混合する理由は、例えばゾルゲル液の粘度を上げてインクジェットヘッドから良好な吐出を行わせるためである。そのため、あまり2−メトキシエタノールと近い溶解度パラメータを有する有機溶媒を混合させても、その狙いを満たすことができない。
そこで、溶解度パラメータが2−メトキシエタノールに近い有機溶媒を探すのではなく、混合後のゾルゲル液に不具合の起こらない有機溶媒の溶解度パラメータの領域について、検討を行った。
その結果、図3の太線で囲まれるA・B・C・D・E・Fで示される領域内の溶解度パラメータを有する調整用有機溶媒を選択すれば、混合後のゾルゲル液に不具合が生じないことが分かった。この調整用有機溶媒を用いたゾルゲル液は、調合して半年経過した後でも調合直後と同様の液特性を保つことができる。なお、前記領域より水素結合性が大きい溶解度パラメータの指標を示す有機溶媒と混合した場合、ゾルゲル液の吸湿性が強くなって大気中の水分を吸収し、液中の前駆体成分が加水分解を生じやすくなり、インクジェットヘッドからの吐出状態安定性及びゾルゲル液のポットライフが悪化する。また、極性がより大きい有機溶媒と混合すると、液中の前駆体成分の溶解性・分散性が悪化することによるインクジェットヘッドからの吐出状態、並びに形成される電気−機械変換膜性能に不具合が生じる。更に、分散性がより大きい有機溶媒では、2−メトキシエタノールとの混合性の低下により、ゾルゲル液の均一性低下、それによる電気−機械変換膜性能の悪化が認められる。
上記検討結果を基に、図3の太線で囲まれるA・B・C・D・E・Fで示される領域内の溶解度パラメータを有する有機溶媒の中から、混合後のゾルゲル液の液質が前記1)〜3)の要件を満たすような調整用有機溶媒の組み合わせについて検討した。
その結果、後述する実施例の表2、表3に示すような組み合わせ及び混合比で、2−メトキシエタノールと調整用有機溶媒を混合したゾルゲル液は、インクジェットヘッドからの吐出状態及び吐出安定性に優れる上に、形成された電気−機械変換膜の電気−機械変換性能も優れ、ゾルゲル液としての安定性やポットライフも良好であることが分かった。
なお、図4は、共通溶媒の2−メトキシエタノールと、選択した調整用有機溶媒〔エチレングリコール、ビス(2−エトキシエチル)エーテル、エタノールアミン、2−エチルヘキサノール、1−メトキシ−2−プロパノール〕の溶解度パラメータをプロットしたものである。
上記PZTのゾルゲル液を用いれば十分な電気−機械変換性能が得られる。しかし、より高い電気−機械変換性能の要求に対応するため、更に好適な電気−機械変換膜の組成について検討した。
その結果、2成分の固溶体であるPZTに対し、他の金属複合酸化物として次の(1)〜(3)の少なくとも1つの成分を加えると、より高い圧電定数が得られ、電気−機械変換膜としてより好ましいことが分かった。
(1)Pb(Mg1/3,Nb2/3)O(=PMN)
(2)Pb(Ni1/3,Nb2/3)O(=PNN)
(3)Pb(Zn1/3,Nb2/3)O(=PZN)
特に、好ましい組成領域は、PMN−PZTでは、0.375PMN−0.625PZT近傍組成、及び0.125PMN−0.875PZT近傍組成、又は、Pb元素をBa又はSrで最大20モル%置換した組成であり、PNN−PZTでは、0.5PNN−0.5PZT近傍組成であり、PZN−PNN−PZTでは、0.25PZN−0.10PNN−0.65PZT近傍組成である。
上記の他に、一般に報告されている材料としては図5に示すものがあり、本発明ではこれらの材料も使用可能である。また、添加物としてMn酸化物を入れてもよい。
なお、前記他の金属複合酸化物を含むゾルゲル液を作成するには、後述する実施例1の<ゾルゲル液の作成>における、ジルコニウムテトラ−n−ブトキシド、及びチタニウムイソポロポキシドの投入の際に、更に他の金属複合酸化物を構成する金属元素を含むアルコキシド材料を所定当量投入すればよい。
本発明の電気−機械変換素子を作成するには、上記本発明のゾルゲル液を用いる点以外は、前記先願発明と同様にすればよい。即ち、下部電極となる基板上に部分的に表面改質を行う第1工程、該表面改質を行った部分にゾルゲル液を塗布する第2工程、該ゾルゲル液を乾燥、熱分解、結晶化させて電気−機械変換膜を形成する第3工程、前記第1〜第3工程を順に繰り返して所望の膜厚とする第4工程、形成した電気−機械変換膜の上に上部電極を配置する第5の工程により作成すればよい。この一連の操作により、個別化されたPZT膜を有する電気−機械変換素子を作成できる。
上記第1工程では必要部位のみに選択的にSAM膜を形成して液体の濡れ性(表面の接触角)を制御した部位を作成する。下部電極の材料は公知の電極材料の中から適宜選択して用いることができるが、代表的なものは白金である。第2工程はインクジェット法で行う。また、第5工程は、例えばインクジェット法で白金インクを塗布して形成することができる。
このように、適切な吐出条件の設定が容易で、かつ安定的に吐出動作を継続させることができる簡便な製造工程で、バルクセラミックスと同等の性能を持つ電気−機械変換素子を作成することができ、かつ、先願発明に比べてより安定的に長時間、作成プロセスを継続することができる。
次に、本発明に係る液体吐出ヘッドを搭載したインクジェット記録装置の一例について図6及び図7を参照して説明する。なお、図6は斜視説明図、図7は機構部の側面説明図である。このインクジェット記録装置では、振動板駆動不良によるインク滴吐出不良がなく、安定したインク滴吐出特性が得られるため、画像品質が向上する。
図のインクジェット記録装置は、記録装置本体81の内部に、主走査方向に移動可能なキャリッジ93、キャリッジ93に搭載した本発明のインクジェットヘッドからなる記録ヘッド94、記録ヘッド94へインクを供給するインクカートリッジ95等で構成される印字機構部82等が収納され、装置本体81の下方には、前方側から多数枚の用紙83を積載可能な給紙カセット(又は給紙トレイ)84を抜き差し自在に装着することができ、また、用紙83を手差しで給紙するための手差しトレイ85を開倒することができ、給紙カセット84又は手差しトレイ85から給送される用紙83を取り込み、印字機構部82によって所要の画像を記録した後、後面側に装着された排紙トレイ86に排紙する。
印字機構部82は、左右の側板(不図示)に横架したガイド部材である主ガイドロッド91と従ガイドロッド92とでキャリッジ93を主走査方向に摺動自在に保持し、このキャリッジ93には、イエロー(Y)、シアン(C)、マゼンタ(M)、ブラック(Bk)の各色のインク滴を吐出する記録ヘッド94を、複数のインク吐出口(ノズル)が主走査方向と交差する方向になるように配列し、インク滴吐出方向を下方に向けて装着している。またキャリッジ93には記録ヘッド94に各色のインクを供給するための各インクカートリッジ95を交換可能に装着している。
インクカートリッジ95は、上方に大気と連通する大気口、下方にインクジェットヘッドへインクを供給する供給口、内部にインクが充填された多孔質体を有しており、多孔質体の毛管力によりインクジェットヘッドへ供給されるインクをわずかな負圧に維持している。また、ここでは各色の記録ヘッド94を用いているが、各色のインク滴を吐出するノズルを有する1個の記録ヘッドでもよい。
キャリッジ93は後方側(用紙搬送方向下流側)を主ガイドロッド91に摺動自在に嵌装し、前方側(用紙搬送方向上流側)を従ガイドロッド92に摺動自在に載置している。そして、このキャリッジ93を主走査方向に移動走査するため、主走査モータ97で回転駆動される駆動プーリ98と従動プーリ99との間にタイミングベルト100を張装し、このタイミングベルト100をキャリッジ93に固定しており、主走査モーター97の正逆回転によりキャリッジ93が往復駆動される。
一方、給紙カセット84にセットした用紙83を、ヘッド94の下方側に搬送するために、給紙カセット84から用紙83を分離給装する給紙ローラ101及びフリクションパッド102と、用紙83を案内するガイド部材103と、給紙された用紙83を反転させて搬送する搬送ローラ104と、この搬送ローラ104の周面に押し付けられる搬送コロ105及び搬送ローラ104からの用紙83の送り出し角度を規定する先端コロ106とを設けている。搬送ローラ104は副走査モータ107によってギヤ列を介して回転駆動される。
そして、キャリッジ93の主走査方向の移動範囲に対応して搬送ローラ104から送り出された用紙83を記録ヘッド94の下方側で案内する用紙ガイド部材である印写受け部材109を設けている。この印写受け部材109の用紙搬送方向下流側には、用紙83を排紙方向へ送り出すために回転駆動される搬送コロ111、拍車112を設け、更に用紙83を排紙トレイ86に送り出す排紙ローラ113及び拍車114と、排紙経路を形成するガイド部材115、116とを配設している。
記録時には、キャリッジ93を移動させながら画像信号に応じて記録ヘッド94を駆動することにより、停止している用紙83にインクを吐出して1行分を記録し、用紙83を所定量搬送した後、次の行の記録を行う。記録終了信号又は、用紙83の後端が記録領域に到達した信号を受けることにより、記録動作を終了させ用紙83を排紙する。
また、キャリッジ93の移動方向右端側の記録領域を外れた位置には、ヘッド94の吐出不良を回復するための回復装置117を配置している。回復装置117はキャップ手段と吸引手段とクリーニング手段を有している。キャリッジ93は印字待機中にはこの回復装置117側に移動されてキャッピング手段でヘッド94をキャッピングされ、吐出口部を湿潤状態に保つことによりインク乾燥による吐出不良を防止する。また、記録途中などに記録と関係しないインクを吐出することにより、全ての吐出口のインク粘度を一定にし、安定した吐出性能を維持する。
吐出不良が発生した場合等には、キャッピング手段でヘッド94の吐出口(ノズル)が密封され、チューブを通して吸引手段で吐出口からインクと共に気泡等が吸い出され、吐出口面に付着したインクやゴミ等はクリーニング手段により除去されて吐出不良が回復される。また、吸引されたインクは、本体下部に設置された廃インク溜(不図示)に排出され、廃インク溜内部のインク吸収体に吸収保持される。
以下、実施例により本発明を更に具体的に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定されるものではない。
実施例1
<ゾルゲル液の作成>
出発材料として次のa)〜c)のものを用いた。
a)酢酸鉛三水和物〔Pb(CHCOO)・3HO、分子量:379.3〕
b)ジルコニウムテトラ−n−ブトキシド
〔Zr(OCHCHCHCH、分子量:383.7〕
c)チタニウムイソポロポキシド
{Ti〔OCH(CH、分子量:284.3}
上記出発材料を、化学量論組成のジルコン酸チタン酸鉛〔Pb(Zr0.53,Ti0.47)O〕に対して、鉛量が10モル%過剰になる組成〔Pb1.10(Zr0.53Ti0.47)O〕の1モル相当量となるように秤量した。即ち、酢酸鉛三水和物:417.3g、ジルコニウムテトラ−n−ブトキシド:203.4g、チタニウムイソポロポキシド:133.6gを秤量した。鉛を過剰に用いた理由は、熱処理中の所謂「鉛抜け」による結晶性低下を防ぐためである。
次いで、酢酸鉛三水和物を2−メトキシエタノール(CHOCHCHOH、分子量:76.1)に溶解した後、溶媒の沸点に加熱し、脱水処理した。(ロータリーエバポレーラーを用いて脱水処理してもよい。)
次いで、該脱水処理した酢酸鉛の2−メトキシエタノール溶液に対し、2−メトキシエタノールに溶解させたジルコニウムテトラ−n−ブトキシド、及びチタニウムイソポロポキシドを投入して溶媒の沸点に加熱し、アルコール交換反応及びエステル化反応(重縮合反応)を進行させ、ゾルゲル液(PZT前駆体溶液)を作成した。
更に、このゾルゲル液(PZT前駆体溶液)に、表2、表3に記載した種類及び混合比の調整用有機溶媒を加え、インクジェット法による成膜を行なうゾルゲル液として好適な液質を与えた。
次に、上記ゾルゲル液を用いて、電気−機械変換素子を作成した。
まず、白金基板(下部電極)の表面をメチルチオールで部分的に表面改質し、SAM膜を形成した。
次いで、インクジェットヘッド(GEN4ヘッド:リコープリンティングシステム社製)を搭載したインクジェット塗布装置により、該表面改質した部分にゾルゲル液を塗布し、続いて、該ゾルゲル液を乾燥、熱分解、結晶化させて電気−機械変換膜を形成した。
上記操作を15回順に繰り返して膜厚約1.5μmの電気−機械変換膜を作成した。
次いで、上記電気−機械変換膜の上に、前記インクジェット塗布装置により白金インクを塗布して下部電極を形成し、電気−機械変換素子を得た。
上記操作における「インクジェット法による成膜」の具合、及び「電気−機械変換膜性能」は、表2、表3に示すように、いずれも良好(◎)であった。したがって、簡便な製造工程でバルクセラミックスと同等の性能を持つ電気−機械変換素子を作成することができ、かつ、先願発明に比べてより安定的に長時間、作成プロセスを継続できることが分かった。
なお、表2、表3の「インクジェット法による成膜」の欄の「◎」は、次の4条件を満たしていることを意味する。
(1)インクジェットヘッドからゾルゲル液を吐出する動作を長時間継続することができる。即ち、インクジェットノズルが詰まることが無い。
(2)ゾルゲル液を長時間連続して直進性良く吐出し、意図した通りの場所に着弾させることができる。(吐出動作中に、吐出したゾルゲル液によりインクジェットヘッドが汚染されると、ゾルゲル液があらぬ方向に飛翔し、好ましくない部分を塗膜してしまう。)
(3)ゾルゲル液の吐出動作の停止中に、ノズル部のゾルゲル液が乾燥して詰まることが無い。
(4)対象物に着弾したゾルゲル液が均一に濡れ広がり、膜厚の等しい塗膜を成膜することができる。
また、表2、表3の「電気−機械変換膜性能」の欄の「◎」は、次の条件を満たしていることを意味する。
(1)電気−機械変換膜に一定の電界を加えた際に、十分な形状変化(歪み)を生じる。
実施例2(PMNを加えた例)
酢酸鉛三水和物〔Pb(CHCOO)・3HO、分子量:379.3〕、マグネシウムエトキシド〔Mg(OCHCH、分子量:114.4〕、及びニオブエトキシド〔Nb(OCHCH、分子量:318.2〕を出発原料とし、化学量論組成のPb(Mg1/3,Nb2/3)O(=PMN)となるように秤量した。
次いで、酢酸鉛三水和物を2−メトキシエタノール溶媒に溶解した後、溶媒の沸点に加熱し、脱水処理した。
次いで、上記脱水処理した酢酸鉛の2−メトキシエタノール溶液に対し、2−メトキシエタノールに溶解させたマグネシウムエトキシド、及びニオブエトキシドを投入して溶媒の沸点に加熱し、アルコール交換反応及びエステル化反応(重縮合反応)を進行させ、ゾルゲル液(PMN前駆体溶液)を作成した。
次いで、このPMN前駆体溶液と、実施例1で作成したPZT前駆体溶液とを、モル比で0.375PMN−0.625PZT近傍組成となるように混合した。
更に、このゾルゲル液(PMN−PZT前駆体混合溶液)に、表2、表3に記載した種類及び混合比の調整用有機溶媒を加え、インクジェット法で成膜を行なうゾルゲル液として好適な液質を与えた。
次に、上記ゾルゲル液を用い、実施例1と同様にして電気−機械変換素子を作成した。
その結果、実施例1と同様に、「インクジェット法による成膜」の具合、及び「電気−機械変換膜性能」は、いずれも良好(◎)であり、簡便な製造工程でバルクセラミックスと同等の性能を持つ電気−機械変換素子を作成でき、かつ、先願発明に比べてより安定的に長時間、作成プロセスを継続できることが分かった。
実施例3(PNNを加えた例)
酢酸鉛三水和物〔Pb(CHCOO)・3HO、分子量:379.3〕、アセチルアセトンニッケル〔Ni(acac)、分子量:256.9〕、及びニオブエトキシド〔Nb(OCHCH、分子量:318.2〕を出発原料とし、化学量論組成のPb(Ni1/3,Nb2/3)O(=PNN)となるように秤量した。
次いで、酢酸鉛三水和物を2−メトキシエタノール溶媒に溶解した後、溶媒の沸点に加熱し、脱水処理した。
次いで、上記脱水処理した酢酸鉛の2−メトキシエタノール溶液に対し、2−メトキシエタノールに溶解させたアセチルアセトンニッケル、及びニオブエトキシドを投入して溶媒の沸点に加熱し、アルコール交換反応及びエステル化反応(重縮合反応)を進行させ、ゾルゲル液(PNN前駆体溶液)を作成した。
次いで、このPNN前駆体溶液と、実施例1で作成したPZT前駆体溶液とを、モル比で0.5PNN−0.5PZT近傍組成となるように混合した。
更に、このゾルゲル液(PNN−PZT前駆体混合溶液)に、表2、表3に記載した種類及び混合比の調整用有機溶媒を加え、インクジェット法で成膜を行なうゾルゲル液として好適な液質を与えた。
次に、上記ゾルゲル液を用い、実施例1と同様にして電気−機械変換素子を作成した。
その結果、実施例1と同様に、「インクジェット法による成膜」の具合、及び「電気−機械変換膜性能」は、いずれも良好(◎)であり、簡便な製造工程でバルクセラミックスと同等の性能を持つ電気−機械変換素子を作成でき、かつ、先願発明に比べてより安定的に長時間、作成プロセスを継続できることが分かった。
実施例4(PZN、PNNを加えた例)
酢酸鉛三水和物〔Pb(CHCOO)・3HO、分子量:379.3〕、酢酸亜鉛二水和物〔Zn(CHCOO)・2HO、分子量:219.5〕、及びニオブエトキシド〔Nb(OCHCH、分子量:318.2〕を出発原料とし、化学量論組成のPb(Zn1/3,Nb2/3)O(=PZN)となるように秤量した。
次いで、酢酸鉛三水和物を2−メトキシエタノール溶媒に溶解した後、溶媒の沸点に加熱し、脱水処理した。
次いで、上記脱水処理した酢酸鉛の2−メトキシエタノール溶液に対し、2−メトキシエタノールに溶解させた酢酸亜鉛二水和物、及びニオブエトキシドを投入して溶媒の沸点に加熱し、アルコール交換反応及びエステル化反応(重縮合反応)を進行させ、ゾルゲル液(PZN前駆体溶液)を作成した。
次いで、このPZN前駆体溶液と、実施例3で作成したPNN前駆体溶液と、実施例1で作成したPZT前駆体溶液とを、モル比で0.25PZN−0.10PNN−0.65PZT近傍組成となるように混合した。
更に、このゾルゲル液(PZN−PNN−PZT前駆体混合溶液)に、表2、表3に記載した種類及び混合比の調整用有機溶媒を加え、インクジェット法で成膜を行なうゾルゲル液として好適な液質を与えた。
次に、上記ゾルゲル液を用い、実施例1と同様にして電気−機械変換素子を作成した。
その結果、実施例1と同様に、「インクジェット法による成膜」の具合、及び「電気−機械変換膜性能」は、いずれも良好(◎)であり、簡便な製造工程でバルクセラミックスと同等の性能を持つ電気−機械変換素子を作成でき、かつ、先願発明に比べてより安定的に長時間、作成プロセスを継続できることが分かった。
Figure 0005526810
Figure 0005526810
62:インクタンク
81:装置本体
82:印字機構部
83:用紙
84:給紙カセット
85:手差しトレイ
86:排紙トレイ
91:主ガイドロッド
92:従ガイドロッド
93:キャリッジ
94:記録ヘッド
95:インクカートリッジ
97:主走査モータ
98:駆動プーリ
99:従動プーリ
100:タイミングベルト
101:給紙ローラ
102:フリクションパッド
103:ガイド部材
104:搬送ローラ
105:搬送コロ
106:先端コロ
107:副走査モータ
109:印写受け部材
111:搬送コロ
112:拍車
113:排紙ローラ
114:拍車
115:ガイド部材
116:ガイド部材
117:回復装置
特開平4−168277号公報 特開2003−297825号公報 国際公開2003/098714号パンフレット 特開2006−176385号公報
K.D.Budd,S.K.Dey,D.A.Payne,Proc.Brit.Ceram.Soc.36,107(1985). A.Kumar and G.M.Whitesides,Appl.Phys.Lett.,63,2002(1993).

Claims (5)

  1. 電気−機械変換素子の個別化された電気−機械変換膜をインクジェット法により形成する際に用いるゾルゲル液であって、ジルコン酸チタン酸鉛(PZT)、又はPZTと他の金属複合酸化物、及び溶解度パラメータ特性を示す三角組成図(図3)中の、A・B・C・D・E・Fで示される領域内の特性を有する、少なくとも2−メトキシエタノールを含む有機溶媒を含有し、かつ、そのゾルゲル液が、次の1)〜3)の要件を満たすことを特徴とするゾルゲル液。
    1)粘度が3〜13mPa・s(ミリパスカル・秒)
    2)表面張力が30±5mN/m(ミリニュートン/メートル)
    3)乾燥速度が対純水比で70〜80%
  2. 前記他の金属複合酸化物が、次の(1)〜(3)の少なくとも1つであることを特徴とする請求項1に記載のゾルゲル液。
    (1)Pb(Mg1/3,Nb2/3)O
    (2)Pb(Ni1/3,Nb2/3)O
    (3)Pb(Zn1/3,Nb2/3)O
  3. 少なくとも下部電極と上部電極に挟まれた電気−機械変換膜を有し、該電気−機械変換膜が、請求項1又は2に記載のゾルゲル液を用いてインクジェット法により形成されたものであることを特徴とする電気−機械変換素子。
  4. 請求項3に記載の電気−機械変換素子を用いたことを特徴とする液体吐出ヘッド。
  5. 請求項4に記載の液体吐出ヘッドを備えたことを特徴とするインクジェット記録装置。
JP2010016959A 2010-01-28 2010-01-28 ゾルゲル液、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド及びインクジェット記録装置 Expired - Fee Related JP5526810B2 (ja)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010016959A JP5526810B2 (ja) 2010-01-28 2010-01-28 ゾルゲル液、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド及びインクジェット記録装置
US12/968,630 US8690297B2 (en) 2010-01-28 2010-12-15 Sol-gel liquid, electromechanical conversion element, liquid discharge head and inkjet recorder

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010016959A JP5526810B2 (ja) 2010-01-28 2010-01-28 ゾルゲル液、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド及びインクジェット記録装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2011155204A JP2011155204A (ja) 2011-08-11
JP5526810B2 true JP5526810B2 (ja) 2014-06-18

Family

ID=44476154

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010016959A Expired - Fee Related JP5526810B2 (ja) 2010-01-28 2010-01-28 ゾルゲル液、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド及びインクジェット記録装置

Country Status (2)

Country Link
US (1) US8690297B2 (ja)
JP (1) JP5526810B2 (ja)

Families Citing this family (15)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102245513B (zh) * 2010-01-21 2015-10-14 友技科株式会社 Pbnzt强电介质膜、溶胶凝胶溶液、成膜方法及强电介质膜的制造方法
JP5772039B2 (ja) 2011-02-15 2015-09-02 株式会社リコー 電気機械変換膜の製造方法および電気機械変換素子の製造方法
JP5865601B2 (ja) 2011-04-28 2016-02-17 株式会社リコー 強誘電体膜の製造方法及び強誘電体膜の製造装置
JP2012256756A (ja) 2011-06-09 2012-12-27 Ricoh Co Ltd 電気−機械変換膜の形成方法、電気−機械変換膜、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッドおよび画像形成装置
JP2013065832A (ja) * 2011-08-31 2013-04-11 Ricoh Co Ltd 電気機械変換膜の製造方法、電気機械変換素子の製造方法、該製造方法により製造した電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置
JP2013225669A (ja) * 2012-03-19 2013-10-31 Ricoh Co Ltd 圧電体膜の製造方法、圧電体膜、電気―機械変換素子の製造方法、および、液体吐出ヘッド、インクジェットプリンタ。
JP6171372B2 (ja) * 2013-02-06 2017-08-02 株式会社リコー 電気機械変換膜の製造方法、電気機械変換素子の製造方法
JP2014177359A (ja) 2013-03-13 2014-09-25 Ricoh Co Ltd 複合酸化物、薄膜容量素子、液滴吐出ヘッド、複合酸化物の製造方法
JP6142690B2 (ja) * 2013-06-19 2017-06-07 株式会社リコー 機能性インク、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、及びインクジェット記録装置
JP6332738B2 (ja) 2013-06-19 2018-05-30 株式会社リコー アクチュエータ及びその製造方法、並びに、そのアクチュエータを備えた液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置
JP6442860B2 (ja) 2014-04-23 2018-12-26 株式会社リコー 前駆体ゾルゲル溶液、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、及びインクジェット記録装置
JP6690253B2 (ja) 2016-01-22 2020-04-28 株式会社リコー Pzt前駆体溶液及びその製造方法、pzt膜の製造方法、電気機械変換素子の製造方法、液体吐出ヘッドの製造方法
US10105951B2 (en) 2016-02-05 2018-10-23 Ricoh Company, Ltd. Liquid discharge apparatus, head drive control device, recording medium, and actuator drive control device
EP3424720B1 (en) 2016-03-03 2020-09-23 Ricoh Company, Ltd. Liquid-discharging head, liquid-discharging unit, and device for discharging liquid
US11145803B2 (en) 2019-07-30 2021-10-12 Ricoh Company, Ltd. Piezoelectric element substrate, bonded substrate, liquid discharge head, liquid discharge unit, and liquid discharge apparatus

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH04168277A (ja) 1990-10-30 1992-06-16 Ricoh Co Ltd 薄膜形成装置及び薄膜形成方法
JP2861501B2 (ja) * 1991-07-26 1999-02-24 富士電機株式会社 インクジェット記録ヘッドの製造方法
JP2003297825A (ja) 2002-03-28 2003-10-17 Seiko Epson Corp 強誘電体薄膜の作製方法
JP2003311196A (ja) * 2002-04-19 2003-11-05 Seiko Epson Corp 膜パターンの形成方法、膜パターン形成装置、導電膜配線、電気光学装置、電子機器、非接触型カード媒体、圧電体素子、並びにインクジェット式記録ヘッド
CN100421275C (zh) 2002-05-15 2008-09-24 精工爱普生株式会社 压电致动器及液体喷头
JP2005169759A (ja) * 2003-12-10 2005-06-30 Toshiba Tec Corp インクジェットプリンタヘッド乾燥装置及びインクジェットプリンタヘッド乾燥方法
JP2006093312A (ja) * 2004-09-22 2006-04-06 Seiko Epson Corp 圧電素子、液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子の製造方法
JP4269172B2 (ja) * 2004-12-24 2009-05-27 セイコーエプソン株式会社 インクジェット塗布用インクおよびその製造方法、ならびに強誘電体膜の製造方法
JP5151111B2 (ja) * 2005-10-12 2013-02-27 大日本印刷株式会社 有機エレクトロルミネッセンス素子
JP2007266303A (ja) * 2006-03-28 2007-10-11 Fujifilm Corp 機能性膜含有構造体及び圧電素子
JP2010018700A (ja) * 2008-07-10 2010-01-28 Konica Minolta Opto Inc 光学素子、及び電子機器の製造方法
JP5585209B2 (ja) 2009-05-28 2014-09-10 株式会社リコー 電気機械変換素子の製造方法、該製造方法により製造した電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置
CN102245513B (zh) * 2010-01-21 2015-10-14 友技科株式会社 Pbnzt强电介质膜、溶胶凝胶溶液、成膜方法及强电介质膜的制造方法

Also Published As

Publication number Publication date
US20110205307A1 (en) 2011-08-25
JP2011155204A (ja) 2011-08-11
US8690297B2 (en) 2014-04-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5526810B2 (ja) ゾルゲル液、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド及びインクジェット記録装置
US8727505B2 (en) Electromechanical transducer element, droplet discharge head, and droplet discharge device
US9085145B2 (en) Method of forming electromechanical transducer film, electromechanical transducer film, electromechanical transducer element, and liquid discharge head
JP2015023053A (ja) 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、画像形成装置、及び、電気機械変換素子の製造方法
JP6939214B2 (ja) 電気−機械変換素子、液体吐出ヘッド及び液体を吐出する装置
JP2017157773A (ja) 電気機械変換素子、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置
JP2017123403A (ja) Pzt膜積層構造体、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット、液体を吐出する装置及びpzt膜積層構造体の製造方法
JP2011108996A (ja) 電気−機械変換膜の作製方法、電気−機械変換膜を備えた電気−機械変換素子、該素子を有する液体吐出ヘッド、液体吐出ヘッドを有する液体吐出装置
JP2016062984A (ja) 圧電アクチュエータ及びその製造方法及び液体カートリッジ及び画像形成装置
JP5720879B2 (ja) 電気−機械変換膜とその作製方法、電気−機械変換素子、液体吐出ヘッドおよび液体吐出装置
JP2014060282A (ja) 電気機械変換膜の製造方法、電気機械変換膜、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置
JP5853355B2 (ja) 電機−機械変換膜の製造方法
JP2017199719A (ja) 強誘電体膜の成膜方法及び強誘電体膜及び液体吐出ヘッド及び液体吐出装置
JP2016215446A (ja) 液滴吐出装置
JP2015005554A (ja) 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置、画像形成装置、及び、電気機械変換素子の製造方法
JP6287188B2 (ja) 圧電アクチュエータ、圧電アクチュエータの製造方法、液滴吐出ヘッド、液体カートリッジ、及び画像形装置
JP2015005568A (ja) 前駆体ゾルゲル溶液、電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド、及びインクジェット記録装置
JP7423967B2 (ja) 電気-機械変換素子、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置
JP6098934B2 (ja) 電気機械変換膜の製造装置及びその製造方法
JP2014157850A (ja) 電気機械変換素子、液滴吐出ヘッド及び画像形成装置
JP6446814B2 (ja) 複合酸化膜の製造方法、圧電素子の製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置
JP6194686B2 (ja) 圧電体膜の製造方法、電気―機械変換素子の製造方法
JP2017191859A (ja) 電気機械変換部材、液体吐出ヘッド、液体吐出ユニット及び液体を吐出する装置
JP2013184309A (ja) 電気機械変換素子の駆動方法、液滴吐出ヘッド、インクジェット記録装置
JP2013225669A (ja) 圧電体膜の製造方法、圧電体膜、電気―機械変換素子の製造方法、および、液体吐出ヘッド、インクジェットプリンタ。

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20121107

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20131219

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140121

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140225

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140318

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140331

R151 Written notification of patent or utility model registration

Ref document number: 5526810

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees