JP5520511B2 - ディスク駆動装置の生産方法及びディスク駆動装置 - Google Patents
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Description
図3に示すように、本実施形態のディスク駆動装置10は、固定体部Sと、回転体部Rと、ラジアル動圧溝RB1,RB2と潤滑材とで構成されるラジアル流体動圧軸受部及びスラスト動圧溝SB1,SB2で構成されるスラスト流体動圧軸受部を含む軸受ユニット30と、これらの流体動圧軸受部を介して固定体部Sに対して回転体部Rを回転駆動する駆動ユニット32とにより構成されている。図3は、一例として記録ディスク20を支持するハブ部材26とシャフト34が一体となり回転する、いわゆるシャフト回転型のディスク駆動装置の構造を示す。なお、ディスク駆動装置10を構成する部材は、機能的に固定体部S、軸受ユニット30、回転体部R、駆動ユニット32で分けられるグループのうち複数のグループに含まれるものがある。例えば、シャフト34は、回転体部Rに含まれると共に軸受ユニット30にも含まれる。
軸受ユニット30は、シャフト34、フランジ44、スリーブ40及びカウンタープレート42とを含んで構成されている。スリーブ40の円筒内壁面40aとそれに対向するシャフト34の外周面はラジアル空間部を形成している。そいて、スリーブ40の円筒内壁面40aとシャフト34の外周面の少なくとも一方にはラジアル方向の支持を行うための動圧を発生するラジアル動圧溝RB1、RB2が形成されている。ラジアル動圧溝RB1はハブ部材26から遠い側に形成され、ラジアル動圧溝RB2はラジアル動圧溝RB1よりハブ部材26に近い側に形成されている。ラジアル動圧溝RB1,RB2は、シャフト34の軸方向に離隔して配置された例えばヘリングボーン状またはスパイラル状の溝である。これらのラジアル動圧溝RB1、RB2の形成空間にはオイル等の潤滑剤52が充填されている。したがって、シャフト34が回転することにより潤滑剤52に圧力の高い部分が生る。その圧力によりシャフト34を周囲の壁面から離反させて、当該シャフト34をラジアル方向において実質的に非接触の回転状態とする。
ベース部材12のみならすディスク駆動装置10の構成部品は、孔などの狭い隙間部分と広い平面部分とが複合された複雑な形状をしている。超音波洗浄の場合、比較的低い周波数の周波数は波長が長いためキャビテーション効果が大きく質量の大きなパーティクルや強固に付着したパーティクルの除去に適している。一方、比較的高い周波数の超音波は波長が短いため狭い隙間のパーティクル除去に適している。このため、本実施形態では、少なくとも2種類以上の周波数の超音波を用いて純水超音波洗浄を実行している。
第2純水洗浄工程108の第2純水洗浄槽140にも純水128が満たされている。第2純水洗浄槽140の底部には噴流洗浄ノズル142が配置され、この噴流により発生した水流によりベース部材12に残留したパーティクルを洗浄除去する。このように強い水流を発生させて連続的にベース部材12の表面に作用力を与えることにより、第1純水洗浄工程106の超音波洗浄によって除去し残したパーティクルや第1純水洗浄槽126中を移動中に再付着したパーティクルを第2純水洗浄槽140の中で再度剥離できる。なお、第2純水洗浄槽140のIN側である端部L及びOUT側である端部Rに純水128を吸い上げるポンプ144を設けている。これらのポンプ144で吸い上げられた純水128は、フィルタ(不図を省略)により浮遊するパーティクル等の異物が捕捉され噴流洗浄ノズル142から吐出される。この浄化処理により第2純水洗浄槽140内には中央からIN側及びOUT側に向かう破線矢印で示す水流が生じる。その結果、噴流によってベース部材12から剥離したパーティクルは、浄化処理による水流に乗ってベース部材12から遠ざかる方向に移動する。したがって、一旦ベース部材12から除去されたパーティクルの再付着の可能性を低くすることができる。また、噴流洗浄ノズル142からの噴流はパーティクルが除去された清浄な純水128となり清浄効率が向上する。
ベース部材12に付着した金属粒子系パーティクルのうち、比較的大きいものは質量も大きいため液体中で実施される超音波洗浄や噴流洗浄だけでは除去できない場合がある。そこで、アルカリ洗浄工程104、第1純水洗浄工程106、第2純水洗浄工程108に連続したクリーンルーム内にスプレー洗浄工程110を配置している。スプレー洗浄工程110では、ベース部材12の周囲に配置されたスプレーノズル146から純水と空気の混合体148吹き付けて吹付洗浄を施す。純水を空気と混合することで純水を細かな粒とし、かつ高速でスプレーすることで大きな運動エネルギーを与えることができる。この場合、純水粒子の運動エネルギーは純水粒子の質量と速度の二乗の積に比例するから、純水の粒径と噴出速度、つまり空気の圧縮度を調整することで運動エネルギーが調整できる。本実施形態においては、アルカリ洗浄工程104、第1純水洗浄工程106、第2純水洗浄工程108の後に、純水粒子の粒径を20〜80μmとし、噴出速度を20〜80m/sとしたスプレー洗浄工程110を施すことによりディスク駆動装置10のTA障害の発生確率について必要な水準を確保できるという実験結果を得た。なお、スプレーノズル146から噴射された混合体148がベース部材12に衝突した後飛び散ることが予想される方向に吸引口を形成しておけば、混合体148によって剥離除去されたパーティクルを混合体148と共に回収可能となる。その結果、パーティクルの浮遊を回避すると共に再付着を回避することができる。回収した混合体148は図示を省略したフィルタを通過させ、純水の清浄化を行い再度、スプレーノズル146へ提供する。
Claims (8)
- アルミニウムから形成され、記録ディスクを収納するように構成されたベース部材と、前記ベース部材にシャフトと当該シャフトを収納するスリーブとが相対回転するように構成した軸受ユニットと、前記軸受ユニットを介して支持されるハブと、を少なくとも含んで構成されるディスク駆動装置の生産方法であって、
前記ベース部材は、前記ベース部材に前記スリーブと前記シャフトと前記ハブとを組み付ける組立工程が設置される第2クリーンルームと連続して共通の清浄空気が満たされるとともに、隔壁で仕切られ前記第2クリーンルームに対して負圧にされる第1クリーンルーム内で搬送されながら、純水中で少なくとも2種類以上の周波数の超音波を作用させた純水洗浄を行う洗浄工程にて洗浄され、
洗浄された前記ベース部材は、前記第2クリーンルーム内の前記組立工程にて組み立てられることを特徴とするディスク駆動装置の生産方法。 - 前記洗浄工程にて洗浄された前記ベース部材は、前記組立工程の前に前記第1クリーンルーム内で搬送されながら、エアーが吹き付けられて水切りされ、
水切りされた前記ベース部材は、前記第1クリーンルーム内で搬送されながら、乾燥されることを特徴とする請求項1に記載のディスク駆動装置の生産方法。 - 前記純水洗浄を行う洗浄工程は、洗浄開始側の第1の超音波と、洗浄終了側の第2の超音波と、前記洗浄開始側と前記洗浄終了側の中間における第3の超音波と、を作用させ、
前記第3の超音波の周波数は、前記第2の超音波の周波数より低く、前記第1の超音波の周波数より高いことを特徴とする請求項1または2に記載のディスク駆動装置の生産方法。 - 前記純水洗浄を行う洗浄工程は、前記ベース部材に巻き込み保持された気泡を解放する水流を形成して実行されることを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のディスク駆動装置の生産方法。
- 前記洗浄工程は、洗浄される前記ベース部材の搬送方向に対して逆方向に流れる洗浄液中を搬送されながら洗浄されることを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のディスク駆動装置の生産方法。
- 前記純水洗浄を行う洗浄工程では、複数の前記ベース部材が純水中を所定の間隔で連続搬送されながら超音波の作用を受けて洗浄されることを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか1項に記載のディスク駆動装置の生産方法。
- 前記洗浄工程にて洗浄された前記ベース部材は、前記組立工程の前に前記第1クリーンルーム内で搬送されながら、純水と空気の混合体の吹き付けにより洗浄する吹付洗浄を行うことを特徴とする請求項1から請求項6のいずれか1項に記載のディスク駆動装置の生産方法。
- 前記純水洗浄を行う前の前記ベース部材は、前記第1クリーンルーム内で搬送されながら、アルカリイオン水中で超音波を作用させたアルカリ洗浄を行うことを特徴とする請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のディスク駆動装置の生産方法。
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