JP2005081271A - クリーン作業モジュール - Google Patents

Abstract

【課題】 移動が可能であると共に配管が短いクリーン作業モジュールの提供をする。
【解決手段】 ダウンフローのクリーンエアが供給されるクリーン空間１３内で所定の洗浄作業を行うクリーン作業モジュールであって、前記クリーン空間１３内に設けられた純水洗浄機４と、純水を生成する純水器５と、水を貯留する水タンク６と、該水タンク６内の水を前記純水器５に供給して純水にした後に前記純水洗浄機４に供給する供給路７１及び前記純水洗浄機４からの排水を前記水タンク６に導く排水路７２を有する循環手段７と、を備えたことにより、上記課題を解決した。
【選択図】 図１

Description

本発明は、クリーン作業モジュールに関するものである。

機械製品等の部品の加工、洗浄、組立、検査等をクリーンルームで行うことがある。クリーンルームとしては、作業室の全体にクリーンエアを天井から吹き下ろして部屋の床面および天井と壁面とから吸い出すようにした乱流式のボールルーム（大部屋式）がある。また、クリーンエアを天井から吹き下ろして部屋の床面のみから吸い出して、クリーンエアの垂直流いわゆるダウンフローのみ形成するようにしたものもある。具体的には例えば、製造工程での塵埃を嫌う精密電子部品（ハードディスク装置等）の組立ラインは、送風装置から送られるクリーンエアをエアフィルタを通じて天井から送風し床面から排気してダウンフローを形成したクリーンルームの中に設置され、クリーンルーム全体を高清浄度な雰囲気に保つようにされている。

このクリーンルーム方式では設備が大掛かりになってコストが高くなってしまう。また、作業室の全体にクリーンエアを供給すると、設備費のみならずランニングコストや消費エネルギーが膨大になってしまう。このため、部品の作業を行う作業ユニットの周囲のみを隔離して局所的にクリーン空間を形成する方式が採用されるようになっており、例えば、いわゆるクリーンベンチやクリーン作業モジュールが提案されている（例えば、特許文献１参照。）。

これらは、例えば、クリーンエアを局所的にダウンフローさせて、このダウンフローのクリーンエアが供給されるクリーン空間内において、部品に対する洗浄等の作業を行うものである。

部品を洗浄する洗浄装置として純水を用いて洗浄を行う精密洗浄装置がある。

この精密洗浄装置は、一般の水道水を水タンクに貯め、この水タンク内の水をポンプにより純水装置に供給し、この純水装置において水から純水を生成し、この純水を加温してからクリーン空間内の洗浄機に供給して部品の洗浄に寄与した後、排水タンクに排水して、そこに貯めるものである。

このように精密洗浄装置は、水から生成した純水を洗浄機にて部品の洗浄に寄与した後に排水することから、水タンク及び排水タンクとしては大型のタンクが必要になり、クリーンベンチやクリーン作業モジュールが設置される部屋（クリーン空間を形成する部屋）とは別の部屋や屋外に水タンク及び排水タンクを設置している。

洗浄機は、部品の洗浄を行うためにクリーンベンチやクリーン作業モジュール内に設置されることから、洗浄機と水タンク及び排水タンクとを配管で接続するので、クリーンベンチやクリーン作業モジュールの移動を行え難い。

また、互いに別の場所に設置される洗浄機と水タンクとを配管で接続するために配管が長くなり、配管の殺菌が面倒であった。
特開２０００−１７０７４６号公報

本発明は、前述した問題を解決するためになされたものであって、移動が可能であると共に配管が短いクリーン作業モジュールの提供を目的とするものである。

前記の目的を達成するために、本発明のクリーン作業モジュールは、ダウンフローのクリーンエアが供給されるクリーン空間内で所定の洗浄作業を行うクリーン作業モジュールであって、前記クリーン空間内に設けられた純水洗浄機と、純水を生成する純水器と、水を貯留する水タンクと、該水タンク内の水を前記純水器に供給して純水にした後に前記純水洗浄機に供給する供給路及び前記純水洗浄機からの排水を前記水タンクに導く排水路を有する循環手段と、を備えたことを特徴とする。

この発明により、水タンク内の水が純水器に供給されて純水にされてから純水洗浄機に供給され、純水洗浄機からの排水が水タンクに導かれるため、水を循環させて使用することができ、洗浄に寄与する装置類の小型化を図れるので、クリーン作業モジュール内に純水洗浄機、純水器、水タンク及び循環手段を備えることが可能となる。このため、クリーン作業モジュール以外では配管を配索する必要がないので、クリーン作業モジュールの移動が可能になる。また、クリーン作業モジュール内に、純水洗浄機、純水器、水タンク等を備えたので、純水洗浄機、純水器、水タンクの少なくとも１つを他のものと別の箇所に設置する場合に比して配管を短くすることができ、配管の殺菌を容易に行うことができる。

前記純水洗浄機、前記純水器、前記水タンク及び前記循環手段が移動ユニットに設けられていることが好ましい。

このように、純水洗浄機、純水器、水タンク及び循環手段を移動ユニットに設けることにより、純水洗浄機、純水器、水タンク及び循環手段を容易に任意の箇所に移動させることができると共に、交換及び補修・点検等のメンテナンスを容易に行うことができる。

また、前記移動ユニットが、水平方向に沿って延在すると共に、垂直方向の高さ調節を行え、かつ、前記純水洗浄機が搭載される載置台を有することが好ましい。

このように構成することにより、純水洗浄機の高さ調節を行えるので、作業効率が向上する。

また、前記クリーン空間が、ほぼ矩形箱状に形成され、該クリーン空間を形成する１つの壁部に、前記載置台が挿入されると共に前記移動ユニットによって覆われる開口部を設けることが好ましい。

このように構成することにより、ダウンフローのクリーンエアを全て純水洗浄機より下方に流出させることができ、純水洗浄機による洗浄をクリーン度が保たれた環境下で行うことができる。

前記クリーン空間内に溶剤洗浄機を設けてもよい。

このように構成することにより、クリーン環境から出さずに油溶性と水溶性との両方の洗浄を行うことができ、効率よく洗浄作業を行うことが可能となる。

純水洗浄機と純水器と水タンクと循環手段とを備えたことにより、洗浄に寄与する装置類の小型化を図れ、クリーン作業モジュール内に純水洗浄機、純水器、水タンク及び循環手段を備えることが可能となるので、クリーン作業モジュールの移動が可能になると共に、配管を短くすることができ、配管の殺菌を容易に行うことができる。

以下、本発明のクリーン作業モジュールを添付図面に基づいて詳述する。

図１及び図２は本発明のクリーン作業モジュールの一例を示す図である。図３は本発明の移動ユニットの一例を示す図である。

本発明のクリーン作業モジュールは、図１及び図２に示すように、モジュール本体２と、移動ユニット３とからなり、純水洗浄機４、純水器５、水タンク６及び循環手段７を備えたものである。

モジュール本体２は、モジュール架台１１上に立設されたモジュールフレーム１２と、このモジュールフレーム１２に取り付けられ、ダウンフローのクリーンエアが供給されるクリーン空間１３を形成する壁部１４、１５、１６と、モジュールフレーム１２の上部にフィルタ１７を介して設けられ、天井部となるクリーンエア供給手段であるファン１８とからなる。

モジュール架台１１は、鋼材等により形成されている。モジュール架台１１には、容易に移動できるようにキャスター２１が複数例えば４つ取り付けられている。これらキャスター２１の近傍のモジュール架台１１には、任意の設置箇所から移動しないようにネジ機構等により長さが調節可能な脚部２２がそれぞれ設けられており、これら脚部２２は、モジュール本体２が任意の設置箇所に設置された場合には、モジュール架台１１の下面に対してキャスター２１より寸法が長く調節されてモジュール本体２が移動しないようになっていると共に、モジュール本体２を移動させるときには、モジュール架台１１から取り外されたりモジュール架台１１の下面に対してキャスター２１より寸法が短く調節されてモジュール本体２がキャスター２１により容易に移動可能になっている。

モジュールフレーム１２は、鋼材等により形成されている。このモジュールフレーム１２は、例えば、モジュール架台１１上に垂直方向に沿って立設されると共に例えば一般の人の身長より長い寸法に形成されている一対の縦枠１２ａ、１２ａと、それら縦枠１２ａ、１２ａの上部に一体的に連結され、ほぼ矩形状の天井枠１２ｂと、その天井枠１２ｂに一体的に連結され、クリーン空間１３の前面部及び両側面を区画形成すると共に、一般の人の胸のほぼ下方まで延出する前面枠１２ｃとからなる。

一対の縦枠１２ａ、１２ａの中央部より上方には、互いを連結する横枠１２ｄが設けられている。この横枠１２ｄのほぼ中央部から一方の縦枠までの間であって、横枠より重力方向下方には、例えば鋼板等の壁１２ｅが取り付けられている。横枠１２ｄより重力方向下方の鋼板（壁）１２ｅが取り付けられていない（鋼板１２ｅで覆われれていない）箇所は開口部２３として形成されている。この開口部２３は、後述する移動ユニット２の載置台が挿入されると共に移動ユニットによって覆われる大きさに形成されている。

壁１２ｅの前面側となる表面には、縦枠１２ａから前面枠１２ｃ側に水平方向に沿って延出する作業台２４が設けられている。

作業台２４は、１つでもよいし、図示するように２つから構成してもよいし、また、３つ以上から構成してもよい。各作業台２４、２４は、壁１２ｅに複数箇所をネジやボルト等の固定部材により重力方向の高さ調節が可能に着脱自在に取り付けられるように取付孔２５が設けられている。

壁部１４、１５、１６は、モジュールフレーム１２に取り付けられて、ダウンフローのクリーンエアが供給される例えば比較的細長の矩形箱状のクリーン空間１３を形成するものである。

壁部１４、１５、１６としては、内部であるクリーン空間が透視できるような透明なアクリル板や厚さが厚い透明のアクリルのフィルム等により形成されていることが好ましい。

具体的には、矩形状のクリーン空間を形成する幅広の壁部１４、１５の前面となる壁部１４は、例えば、人の胸より上方を覆うようにフィルム状のものが設けられており、このフィルム状の設けられていない箇所が、作業口２６であると共にダウンフローが排出される排出口となる。

他方の幅広の壁部１５は、一対の縦枠１２ａに取り付けられるものであり、例えば、横枠１２ｄを境に重力方向上方側の上部壁部１５とその下方側の下部壁部の２つから形成してもよい。上部壁部１５は、透明なアクリル板や透明のアクリルのフィルム等がである。下部壁部は、前記鋼板等の壁１２ｅである。

残りの幅狭の両方の壁部（側面）１６は、透明なアクリル板や透明のアクリルのフィルム等が設けられている。これら透明なアクリル板や透明のアクリルのフィルム等は、それら各側面全面にそれぞれ設けるようにしてもよいが、好ましくは、前面枠１２ｃが延在する側面部分に設けることがよい。このようにすれば、モジュール本体２を幅方向に複数並設することによって、クリーントンネルを形成することができる。

クリーン空間１３を形成する上面である天井枠１２ｂには、フィルタ１７を介してクリーンエア供給手段であるファン１８が設けられている。

フィルタ１７は、クリーン空間に吹き下ろす際に細かい粉塵を濾過するものであり、例えば、ＨＥＰＡフィルタ等が用いられる。

ファン１８は、例えばモジュール本体２の上部の前面側の外気を吸引してフィルタ１７を介してダウンフローのクリーンエアをモジュール本体２内に供給してクリーン空間１３を形成するものであり、どのようなものでもよい。

移動ユニット３は、図１乃至図３に示すように、移動可能なユニット架台３１と、そのユニット架台３１上に立設されたユニットフレーム３２と、このユニットフレーム３２の前面となる側に取り付けられた載置台３３と、ユニットフレーム３２の後面となる側に設けられたユニット本体３４とからなる。

ユニット架台３１は、鋼材等により形成されている。架台３１には、容易に移動できるようにキャスター３５が複数例えば４つ取り付けられている。これらキャスター３５の近傍のユニット架台３１には、任意の設置箇所から移動しないようにネジ機構等により長さが調節可能な脚部３６が設けられており、これら脚部３６は、移動ユニット３が任意の設置箇所に設置された場合には、ユニット架台３１の下面に対してキャスター３５より寸法が長く調節されて移動ユニット３が移動しないようになっていると共に、移動ユニット３を移動させるときには、ユニット架台３１から取り外されたりユニット架台３１の下面に対してキャスター３５より寸法が短く調節されて移動ユニット３がキャスター３５により容易に移動可能になっている。

ユニットフレーム３２は、鋼材等により形成されている。このユニットフレーム３２は、例えば、ユニット架台３１上に垂直方向に沿って立設される２つの縦枠３２ａ、３２ａと、それら縦枠３２ａ、３２ａの上方に一体的に連結された横枠３２ｂとからなる。

縦枠３２ａは、前記モジュール本体２の横枠１２ｄより重力方向上方に先端が位置される寸法に形成されている。縦枠３２ａ、３２ａは、図４に示すように、ほぼ６字状に形成され、先端部が前面がわに位置されると共に、先端の開口部が互いに外側に向くようにユニット架台３１に設けられている。

横枠３２ｂには、図３に示すように、前記モジュール本体２の横枠１２ｄに複数のネジやボルト等の固定部材により移動ユニット３をモジュール本体２に着脱自在に取り付けるための取付孔３７が設けられている。

載置台３３は、例えば鋼板等により形成されている。載置台３３は、図１、図２、図４に示すように、基部４１と、その基部４１とでほぼＬ字状に形成され、水平方向に延在する矩形平板状の載置部４２と、その載置部４２の両側端部と基部４１の側部とを一体的に取り付けて、載置部４２が折れ曲がったり変形しないように補強する補強部４３とからなる。

基部４１の外面（載置部４２側とは反対側の面）の両側端部には、ユニットフレーム３２の縦枠３２ａとそれぞれ係合する鉤状の係合部４１ａが設けられており、載置台３３が重力方向上下にのみ案内移動するように縦枠３２ａに係合されている。これにより、載置台３３を重力方向上方又は下方に確実に案内移動させることができる。

基部４１の両側部近傍であって、縦枠３２ａに対向する箇所には、重力方向に間隔を隔てて図示例では２つの取付孔４４、４４がそれぞれ設けられている。また、これら取付孔４４に対向する各縦枠３２ａ、３２ａには、基部４１を重力方向上下に移動したとき取付孔４４と孔の位置が一致してネジやボルト等の固定部材により載置台３３を縦枠３２ａに固定する固定孔（図示せず）がそれぞれ設けられている。固定孔は、重力方向に間隔を隔てて縦枠３２ａに複数設けられており、載置台３３の重力方向の高さが調節可能になっている。

載置部４２の裏面（下面）には、載置台３３上に例えば純水洗浄機４が載置されていても載置台３３の上下移動を円滑に行えるように移動機構５０が設けられている。

移動機構５０は、手動で駆動させる機構でも自動で駆動させる機構でもどのように構成してもよく、例えば、図１及び図２に示すように、手動で載置台３３を移動させるように構成してもよい。具体的には例えば、移動機構５０は、載置台３３とユニット架台３１との間に着脱自在に設けられた一対のボールネジ５１、５１からなる。

一対のボールネジ５１、５１は、載置台３３の両側部近傍の下方に、垂直方向に沿って配置されている。

ボールネジ５１の下部は、ユニット架台３１上にボルト等により着脱自在に固定された下部ブラケット５２に回転可能に支持されている。

ボールネジ５１の上部には、ボールネジ５１を回転させる回転駆動源としてのハンドル５３が設けられている。

ボールネジ５１の上部と下部との間は、上部ブラケット５４に固定された軸受５５に回転可能に軸着されている。

軸受５５としては、ボールネジの軸受として一般的に知られているものであればどのようなものでもよく、例えばボールベアリング等が挙げられる。

上部ブラケット５４は、鋼板等によりほぼコ字状に形成され、載置台３３（載置部４２）の裏面に例えばボルト等により着脱自在に固定されており、ハンドルを回転させることによりボールネジ５１が回転して軸受５５及び上部ブラケット５４を介して載置台３３が重力方向上方又は下方に移動するようになっている。

ユニット本体３４は、図１乃至図３に示すように、ユニットフレーム３２の後面となる側のユニット架台３１上に矩形箱状に形成されている。ユニット本体３４は、その高さ方向（重力方向）のほぼ中央部で例えばドレンパン５７により上下に仕切られている。

ユニット本体３４のドレンパン５７より下方には、水タンク６が設けられている。

水タンク６は、純水洗浄機４等からの水を貯留するものである。水タンク６の底部には、配管６１を介して液送ポンプ６２が接続されている。

液送ポンプ６２は、水タンク６内の水を搬送するものであり、水を搬送することができるならばどのようなものでもよい。

液送ポンプ６２は、配管６１を介してユニット本体３４のドレンパン５７上に設けられた純水器５に接続されている。

純水器５は、液送ポンプ６２によって搬送される水から純水（超純水）を生成するものであり、一般的に部品の洗浄に用いられているものであればどのようなものでもよい。例えば、純水器５は、イオン交換樹脂による溶存イオンの除去、浸透圧法や限外ろ過法による微粒子除去、真空脱気法による溶存酸素の除去等により所定の水質基準を満たす純水（超純水）を生成するものであり、例えば、活性炭フィルタ、マイクロフィルタ、イオン交換樹脂、ファイナルフィルタ等によって構成されている。

純水器５は、配管６３を介して載置台３３上に載置される純水洗浄機４に接続されており、純水器５で生成された純水が純水洗浄機４に供給されるようになっている。これにより、水タンク６内の水を純水器５に供給して純水にした後に純水洗浄機４に供給する循環手段７の構成要素である供給路７１が形成されることになる。

純水器５と純水洗浄機４とを接続する配管６４には、流量計６５、圧力計６６、比抵抗温度計６７が設けられており、これら計器類は、移動ユニット３をモジュール本体２に取り付けたとき、クリーン空間１３から容易に目視し得る位置に取り付けることが好ましい。

また、純水器５と純水洗浄機４とを接続する配管６４には、純水を所定の温度に加温するヒータ（図示せず）を設けるようにしてもよい。ヒータとしては、純水を所定の温度に加温することができるならばどのようなものでもよい。このように、ヒータを設けることにより所定の温度の純水を純水洗浄機４に供給することができる。

純水洗浄機４は、純水を用いて機械製品等の部品を洗浄するものであり、どのような構成のものでもよく、例えば、洗浄槽（図示せず）や乾燥槽（図示せず）等を周方向に所定の間隔を隔てて配置したロータリー式のもの等が挙げられる。

具体的には例えば、純水洗浄機４としては、第１洗浄槽、すすぎ洗いを行う第２〜第４洗浄槽の４つの洗浄槽と２つの乾燥槽を備えたもの等で、部品を順次洗浄槽と乾燥槽とを移動させて洗浄するものである。第１洗浄槽は、例えば超音波を利用して洗浄を行う槽であり、槽内の純水等に浸された部品に付着した特に無機イオン等の汚れを取り除くものである。第２洗浄槽は、第１洗浄槽で洗浄された部品を超音波及び純水を用いて粗すすぎをする槽である。第３洗浄槽は超音波及び純水を用いて二次すすぎをする槽であり、第４洗浄槽は超音波及び純水を用いて三次すすぎ（最終すすぎ）をする槽である。乾燥槽は、例えばすすぎ後の部品に対してエアーを吹き付けて部品を乾燥させる槽である。さらに、真空引きして部品を最終乾燥させる乾燥槽を設けるようにしてもよい。このように、部品は順次洗浄槽と乾燥槽とを経ることによって洗浄される。なお、純水洗浄機４には、純水洗浄機４内にエアを吹き込みファン４７を設けるようにしてもよい。

純水洗浄機４には、洗浄等に寄与した水を排出する排水管（配管）６８が接続されている。排水管６８は、電磁弁等のバルブ６９を介して水タンク６に接続されている。これにより、純水洗浄機４からの排水を水タンク６に導く循環手段７の構成要素である排水路７２が形成されることになる。

また、ユニット本体３のドレンパン５７の下方には、制御ボックス９０が設けられ、純水洗浄機４、液送ポンプ６２、純水器４、バルブ６９等が制御されるようになっている。

また、載置台３３の下方のユニット架台３１上には、補給水タンク７５を設置することが好ましい。補給水タンク７５は、移動機構５０を取り付けた状態ではユニット架台３１上に設置することができない場合には、載置台３３の高さを調節した後に取り外し、このユニット架台３１上に設置するようにすることが好ましい。

補給水タンク７５は、水タンク６に電磁弁等のバルブ（図示せず）を有する配管（図示せず）を介して接続され、水タンク６にレベルセンサ等を設置して、水タンク６内の水の貯留量が一定の値より少なくなったときにバルブを駆動させて水タンク６内の水が所定の量以上になるようにするものである。

また、モジュール本体２の作業台２４上に溶剤洗浄機８０を載置してもよい。

溶剤洗浄機８０としては、一般的に部品の溶剤洗浄に用いられるものであればどのようなものでもよく、例えば、煮沸洗浄槽、超音波洗浄槽、冷却槽等を備え、部品をこれら各層を順次移動させて溶剤を用いて洗浄するもの等がある。

さて、このクリーン作業モジュール１によって部品を洗浄するには、ファン１８を駆動させると共に液送ポンプ６２、純水器５、純水洗浄機４等を駆動させる。

ファン１８により、モジュール本体２の上部の前面側の外気が吸引されてフィルタ１７を介してダウンフローのクリーンエアがモジュール本体２内に供給されて、クリーン空間１３が形成される。このとき、クリーン空間１３内の圧力が外部の大気圧より若干高くなるようにクリーンエアの供給を行うようにすることが好ましく、これにより、クリーン空間１３内のクリーン度を上げることができる。

水タンク６内の水は液送ポンプ６２により純水器５に送られ、そこで水から純水が生成される。生成された純水は、洗浄を行う部品によって異なるが、例えば、ヒータにより所定の温度に昇温された後、クリーン空間１３内に設置された純水洗浄機４に供給される。

供給された純水等により純水洗浄機４内で部品が洗浄される。洗浄後の水は、電磁弁６９等を介して再度洗浄に寄与すべく水タンク６に戻される。

このように、水タンク６内の水が純水器５で純水にされてから純水洗浄機４に供給され、そして、純水洗浄機４で洗浄に寄与してから水タンク６に戻されるので、水を循環させて使用することができる。このため、洗浄に供する装置類の小型化を図れるので、クリーン作業モジュール１内に純水洗浄機４、純水器５、水タンク６及び循環手段７を備えることが可能となる。よって、クリーン作業モジュール１以外では配管を配索する必要がないので、クリーン作業モジュール１の移動が可能になる。

また、クリーン作業モジュール１内に、純水洗浄機４、純水器５、水タンク６を備えたので、純水洗浄機、純水器、水タンクの１つでも別の箇所に設置する場合に比して配管を短くすることができ、配管６１、６３、６４、６８の殺菌を容易に行うことができることになる。すなわち、例えばヒータにより水を加温させて循環させる場合には、配管６１、６３、６４、６８が短いために、水は常温まで冷えることなく温水の状態で循環させることができる。このため、例えば、運転休止時に配管内で細菌が繁殖しても、温水を配管６１、６３、６４、６８内に循環させることができ、配管６１、６３、６４、６８内を容易に殺菌することできる。また、運転時においても、水は温水の状態で循環させることができるため、水を循環させる配管６１、６３、６４、６８等や純水等の殺菌を図れ、エネルギー効率を向上させることができる。

また、載置台３３の下方のユニット架台３１上に補給水タンク７５を設置し、水タンク６内の水の貯留量が減ったら水を供給することにより、連続運転が可能になり、生産効率を向上させることができる。なお、補給水タンク６の設置箇所は、ユニット架台３１上に限定されることなく、例えば、移動ユニット３の近傍であってもよい。

また、載置台３３は、ボールネジ５１（移動機構５０）のハンドル５３を回転させることにより、ボールネジ５１が回転して軸受５５及び上部ブラケット５４を介して重力方向上方又は下方に移動する。このように載置台３３は純水洗浄機４が載置されていても載置台３３の上下移動を円滑に行えることにより、作業者に応じて純水洗浄機４の高さ調節を行えるので、作業効率を向上させることができる。

また、純水洗浄機４、純水器５、水タンク６及び循環手段７を移動ユニット３に設けることにより、純水洗浄機４、純水器５、水タンク６及び循環手段７を容易に任意の箇所に移動させることができると共に、交換及び補修・点検等のメンテナンスを容易に行うことができる。特に、モジュール本体２を幅方向に複数並設してクリーントンネルを形成する場合には、モジュール本体２を移動させることなく移動ユニット３のみを移動させることができるので、純水洗浄機４、純水器５、水タンク６及び循環手段７を構成する配管６１、６３、６４、６８やバルブ６９、液送ポンプ６２等の交換及び補修・点検等のメンテナンスを他のモジュールに影響を及ぼすことなく行える。

また、前記クリーン空間１３が、ほぼ矩形箱状に形成され、該クリーン空間１３を形成する１つの壁部１５に、前記載置台３３が挿入されると共に前記移動ユニット３によって覆われる開口部２３を設けることにより、ダウンフローのクリーンエアを全て純水洗浄機４より下方に流出させることができ、純水洗浄機４による洗浄をクリーン度が保たれた環境下で行うことができる。

また、クリーン空間１３内の作業台２４上に溶剤洗浄機８０を設置することにより、クリーン環境から出さずに油溶性と水溶性との両方の洗浄を行うことができ、効率よく洗浄作業を行うことができる。

本発明のクリーン作業モジュールの一例を示す側面図である。 本発明のクリーン作業モジュールの一例を示す正面図である。 本発明の移動ユニットの一例を示す背面図である。 本発明の移動ユニット本体と作業台との連結状態を示す平面図である。

符号の説明

１ クリーン作業モジュール
２ モジュール本体
３ 移動ユニット
４ 純水洗浄機
５ 純水器
６ 水タンク
７ 循環手段
１３ クリーン空間
１５ 壁部
２３ 開口部
３３ 載置台
７１ 供給路
７２ 排水路
８０ 溶剤洗浄機

Claims (4)

1. ダウンフローのクリーンエアが供給されるクリーン空間内で所定の洗浄作業を行うクリーン作業モジュールであって、
   前記クリーン空間内に設けられた純水洗浄機と、純水を生成する純水器と、水を貯留する水タンクと、該水タンク内の水を前記純水器に供給して純水にした後に前記純水洗浄機に供給する供給路及び前記純水洗浄機からの排水を前記水タンクに導く排水路を有する循環手段と、を備えたことを特徴とするクリーン作業モジュール。
2. 前記純水洗浄機、前記純水器、前記水タンク及び前記循環手段が移動ユニットに設けられていることを特徴とする請求項１に記載のクリーン作業モジュール。
3. 前記移動ユニットが、水平方向に沿って延在すると共に、垂直方向の高さ調節を行え、かつ、前記純水洗浄機が搭載される載置台を有することを特徴とする請求項２に記載のクリーン作業モジュール。
4. 前記クリーン空間が、ほぼ矩形箱状に形成され、該クリーン空間を形成する１つの壁部に、前記載置台が挿入されると共に前記移動ユニットによって覆われる開口部を設けたことを特徴とする請求項３に記載のクリーン作業モジュール。

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