JPH1034094A - 基板カセットラックの洗浄方法 - Google Patents
基板カセットラックの洗浄方法Info
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- JPH1034094A JPH1034094A JP20880696A JP20880696A JPH1034094A JP H1034094 A JPH1034094 A JP H1034094A JP 20880696 A JP20880696 A JP 20880696A JP 20880696 A JP20880696 A JP 20880696A JP H1034094 A JPH1034094 A JP H1034094A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板などのカセットラックを、洗浄筐体内に
おいて自動的に効率良く洗浄する方法を提供することに
ある。 【解決手段】 少なくとも正面壁の一部を開口した洗浄
筐体内の所定位置に基板のカセットラックを収容セット
したのち、カセットラックの外側下部全域を固定された
ノズルから噴出する洗浄液にて洗浄する行程、カセット
ラックの下面を除いた全域を、カセットの左右側上方に
配設した上下方向に揺動するノズルから噴出する洗浄液
にて洗浄する行程、前記洗浄液筐体の前面開口より挿入
された回動しながら前後移動するノズルから噴出する洗
浄液にて、カセットラックの内面全域を洗浄する行程、
前記各洗浄行程の選択的組み合わせによりカセットラッ
クの内外面全域を洗浄したのち、カセットラックの内外
面全域にエアーを吹き付け、残留洗浄液の水切りを行な
うことを特徴とする。
おいて自動的に効率良く洗浄する方法を提供することに
ある。 【解決手段】 少なくとも正面壁の一部を開口した洗浄
筐体内の所定位置に基板のカセットラックを収容セット
したのち、カセットラックの外側下部全域を固定された
ノズルから噴出する洗浄液にて洗浄する行程、カセット
ラックの下面を除いた全域を、カセットの左右側上方に
配設した上下方向に揺動するノズルから噴出する洗浄液
にて洗浄する行程、前記洗浄液筐体の前面開口より挿入
された回動しながら前後移動するノズルから噴出する洗
浄液にて、カセットラックの内面全域を洗浄する行程、
前記各洗浄行程の選択的組み合わせによりカセットラッ
クの内外面全域を洗浄したのち、カセットラックの内外
面全域にエアーを吹き付け、残留洗浄液の水切りを行な
うことを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】 本発明は、半導体部品，Ｌ
ＣＤ（ガラス）基板，シリコンウエハー基板やプリント
基板などの搬送用として用いられるカセットラックに付
着した塵埃類を洗浄する方法に係る技術分野に属する。
ＣＤ（ガラス）基板，シリコンウエハー基板やプリント
基板などの搬送用として用いられるカセットラックに付
着した塵埃類を洗浄する方法に係る技術分野に属する。
【０００２】
【従来技術とその課題】 図１に示すような、半導体部
品，ＬＣＤ（ガラス）基板，シリコンウエハー基板，プ
リント基板などの部材を搬送するカセットラックは知ら
れている。このようなカセットラックの内外面や棚に付
着した塵埃類によって搬送部材が汚損又は損傷されるこ
とがあるため、カセットラックを洗浄する必要がある。
従来この種カセットラックの洗浄方法としては、洗浄液
槽中に浸漬する洗浄方法とスプレーノズルを用いた手洗
い方法とがある。前者の洗浄手段によれば、カセットラ
ックの内面細部にわたる洗浄ができないばかりか、洗浄
液の消費量が多くきわめて不経済である。又後者の洗浄
手段によれば、カセットラックの内面細部にわたる洗浄
が可能であるが、多くの時間を要し、又飛散する洗浄液
によって周辺が汚損されるとともに、労力を要するとい
う不都合がある。
品，ＬＣＤ（ガラス）基板，シリコンウエハー基板，プ
リント基板などの部材を搬送するカセットラックは知ら
れている。このようなカセットラックの内外面や棚に付
着した塵埃類によって搬送部材が汚損又は損傷されるこ
とがあるため、カセットラックを洗浄する必要がある。
従来この種カセットラックの洗浄方法としては、洗浄液
槽中に浸漬する洗浄方法とスプレーノズルを用いた手洗
い方法とがある。前者の洗浄手段によれば、カセットラ
ックの内面細部にわたる洗浄ができないばかりか、洗浄
液の消費量が多くきわめて不経済である。又後者の洗浄
手段によれば、カセットラックの内面細部にわたる洗浄
が可能であるが、多くの時間を要し、又飛散する洗浄液
によって周辺が汚損されるとともに、労力を要するとい
う不都合がある。
【０００３】本発明の目的は、基板などのカセットラッ
クを、洗浄筐体内において自動的に効率良く洗浄する方
法を提供することにある。
クを、洗浄筐体内において自動的に効率良く洗浄する方
法を提供することにある。
【０００４】
【課題を解決するための手段】 上記目的は、少なくと
も正面壁の一部を開口した洗浄筐体内の所定位置に基板
のカセットラックを収容セットしたのち、カセットラッ
クの外側下部全域を固定されたノズルから噴出する洗浄
液にて洗浄する行程、カセットラックの下面を除いた全
域を、カセットの左右側上方に配設した上下方向に揺動
するノズルから噴出する洗浄液にて洗浄する行程、前記
洗浄液筐体の前面開口より挿入された回動しながら前後
移動するノズルから噴出する洗浄液にて、カセットラッ
クの内面全域を洗浄する行程、前記各洗浄行程の選択的
組み合わせによりカセットラックの内外面全域を洗浄し
たのち、カセットラックの内外面全域にエアーを吹き付
け、残留洗浄液の水切りを行なうことにより達成され
る。上記目的は、請求項１において、カセットラックの
左右側上方に配設した上下方向に揺動するノズルを左右
交互に動作させ、カセットラックの上面に噴出洗浄液の
干渉による洗浄性の低下が生じないようにしたことによ
り達成される。上記目的は、請求項１又は２において、
カセットラックの内面洗浄行程と外面洗浄行程を交互に
行ない、噴出洗浄液の干渉が生じないようにしたことに
より達成される。上記目的は、請求項１〜３のいずれか
において、少なくともカセットラックの下部全域を洗浄
するノズルを、エアーによる液切りに切り換えることに
より達成される。上記目的は、請求項１〜４のいずれか
において、洗浄筐体内の圧力をミストコレクターにより
減圧し、液切り時におけるミストの外部排出効率の向上
を図ることにより達成される。
も正面壁の一部を開口した洗浄筐体内の所定位置に基板
のカセットラックを収容セットしたのち、カセットラッ
クの外側下部全域を固定されたノズルから噴出する洗浄
液にて洗浄する行程、カセットラックの下面を除いた全
域を、カセットの左右側上方に配設した上下方向に揺動
するノズルから噴出する洗浄液にて洗浄する行程、前記
洗浄液筐体の前面開口より挿入された回動しながら前後
移動するノズルから噴出する洗浄液にて、カセットラッ
クの内面全域を洗浄する行程、前記各洗浄行程の選択的
組み合わせによりカセットラックの内外面全域を洗浄し
たのち、カセットラックの内外面全域にエアーを吹き付
け、残留洗浄液の水切りを行なうことにより達成され
る。上記目的は、請求項１において、カセットラックの
左右側上方に配設した上下方向に揺動するノズルを左右
交互に動作させ、カセットラックの上面に噴出洗浄液の
干渉による洗浄性の低下が生じないようにしたことによ
り達成される。上記目的は、請求項１又は２において、
カセットラックの内面洗浄行程と外面洗浄行程を交互に
行ない、噴出洗浄液の干渉が生じないようにしたことに
より達成される。上記目的は、請求項１〜３のいずれか
において、少なくともカセットラックの下部全域を洗浄
するノズルを、エアーによる液切りに切り換えることに
より達成される。上記目的は、請求項１〜４のいずれか
において、洗浄筐体内の圧力をミストコレクターにより
減圧し、液切り時におけるミストの外部排出効率の向上
を図ることにより達成される。
【０００５】
【発明の実施の形態】 図面について、本発明洗浄方法
の実施の形態を説明する。図１は本発明の洗浄方法によ
り洗浄するカセットラックの斜視図、図２は本発明方法
を実施するための洗浄システムの説明図、図３は図２の
洗浄装置を構成する洗浄筐体の縦断正面図、図４は図３
の横断平面図、図５は図３の縦断側面図、図６はカセッ
トラック内部を洗浄し水切りする機構の要部の一部切欠
正面図である。
の実施の形態を説明する。図１は本発明の洗浄方法によ
り洗浄するカセットラックの斜視図、図２は本発明方法
を実施するための洗浄システムの説明図、図３は図２の
洗浄装置を構成する洗浄筐体の縦断正面図、図４は図３
の横断平面図、図５は図３の縦断側面図、図６はカセッ
トラック内部を洗浄し水切りする機構の要部の一部切欠
正面図である。
【０００６】図１についてカセットラックＡの構成を説
明する。１は平面形状が方形をした天板であって、該天
板１の左右側縁中央部には下向きコ字形の取手２が夫々
付設されている。３は４個の大きな方形窓孔３ａを格子
状に形成した前記天板１と同形同大の底板で、前記天板
１と底板３の左右側縁の前後端部及び中央部を片側三本
の短冊状柱板４によって結合し、前記天板１，底板３，
柱板４により立方体を構成する。一方、前記左右柱板４
の対向内面には多数の棚片５をとりつけ、この対向する
棚片５間にＬＣＤ（ガラス），しりこんウエハー基板，
プリント基板（図示略）の側縁が橋架的に載設される。
６は前記天板１と底板３の後端縁両側に、前記棚片５上
に橋架された基板の後端部上面に当接して基板の位置決
め及び上下動を抑制する段面６ａを多段的に形成した規
制杆７である。上記カセットラックＡは上述のように構
成されている。
明する。１は平面形状が方形をした天板であって、該天
板１の左右側縁中央部には下向きコ字形の取手２が夫々
付設されている。３は４個の大きな方形窓孔３ａを格子
状に形成した前記天板１と同形同大の底板で、前記天板
１と底板３の左右側縁の前後端部及び中央部を片側三本
の短冊状柱板４によって結合し、前記天板１，底板３，
柱板４により立方体を構成する。一方、前記左右柱板４
の対向内面には多数の棚片５をとりつけ、この対向する
棚片５間にＬＣＤ（ガラス），しりこんウエハー基板，
プリント基板（図示略）の側縁が橋架的に載設される。
６は前記天板１と底板３の後端縁両側に、前記棚片５上
に橋架された基板の後端部上面に当接して基板の位置決
め及び上下動を抑制する段面６ａを多段的に形成した規
制杆７である。上記カセットラックＡは上述のように構
成されている。
【０００７】次に、図２について、ローディング装置Ｂ
→洗浄装置Ｃ→乾燥装置Ｄ→アンローディング装置Ｅの
順に、移載装置Ｆで運行されるカセットラックＡの洗浄
処理機構の構成について説明する。
→洗浄装置Ｃ→乾燥装置Ｄ→アンローディング装置Ｅの
順に、移載装置Ｆで運行されるカセットラックＡの洗浄
処理機構の構成について説明する。
【０００８】ローディング装置Ｂは、水平姿勢のスクリ
ュー軸８に往復動可能に軸架された架台９上に、カセッ
トラックＡを支持し昇降させるエアシリンダー構造の昇
降体１０を設け、一方、前記スクリュー軸８の軸線にそ
ってこれの上方に複数のカセットラックＡの仮置枠１１
を並列配設し、最外側（紙面左端）の仮置枠１１に対し
て洗浄しようとするカセットラックＡをスクリュー軸８
の軸線と直交する矢印方向から供給搬入するようにし、
又最内側（紙面右端）の仮置枠１１に載置されているカ
セットラックＡを、後述する移載装置Ｆにより矢印のよ
うにピックアップし、次に述べる洗浄装置Ｃに搬送され
るように構成されている。前記各仮置枠１１の上方には
カセットラックＡの確認用のセンサー（図示略）を設
け、又前記スクリュー軸８の下方には、仮置枠１１と対
応する架台９の位置を確認するセンサー（図示略）が配
設される。ローディング装置Ｂは上述のように構成され
ている。
ュー軸８に往復動可能に軸架された架台９上に、カセッ
トラックＡを支持し昇降させるエアシリンダー構造の昇
降体１０を設け、一方、前記スクリュー軸８の軸線にそ
ってこれの上方に複数のカセットラックＡの仮置枠１１
を並列配設し、最外側（紙面左端）の仮置枠１１に対し
て洗浄しようとするカセットラックＡをスクリュー軸８
の軸線と直交する矢印方向から供給搬入するようにし、
又最内側（紙面右端）の仮置枠１１に載置されているカ
セットラックＡを、後述する移載装置Ｆにより矢印のよ
うにピックアップし、次に述べる洗浄装置Ｃに搬送され
るように構成されている。前記各仮置枠１１の上方には
カセットラックＡの確認用のセンサー（図示略）を設
け、又前記スクリュー軸８の下方には、仮置枠１１と対
応する架台９の位置を確認するセンサー（図示略）が配
設される。ローディング装置Ｂは上述のように構成され
ている。
【０００９】洗浄装置Ｃの構成について説明すると、１
２はカセットラックＡを所定の位置に収容セットする、
少なくとも正面壁の一部が開口された洗浄筐体であっ
て、該洗浄筐体１２の天井全域が開口１３され、この開
口１３は屋根形をしたシャッター１４にて開閉しうるよ
う構成されている。このシャッター１４は図から容易に
理解しうるように、洗浄筐体１２の左右側壁１２ａの板
面方向と平行で、かつ側壁１２ａの外側上方に水平に配
設した２本のスクリュー軸１５に架台１６を往復移動可
能に軸架するとともに、この架台１６上にエアシリンダ
ー１７を夫々垂設し、このエアシリンダー１７の上端に
前記シャッター１４の両側縁を夫々固定したもので、前
記エアシリンダー１７の伸縮作用及び架台１６の前後移
動により洗浄筐体１２の上部開口１３がシャッター１４
によって開閉し得るようにしたものである。図中１８は
両スクリュー軸１５の駆動機構である。
２はカセットラックＡを所定の位置に収容セットする、
少なくとも正面壁の一部が開口された洗浄筐体であっ
て、該洗浄筐体１２の天井全域が開口１３され、この開
口１３は屋根形をしたシャッター１４にて開閉しうるよ
う構成されている。このシャッター１４は図から容易に
理解しうるように、洗浄筐体１２の左右側壁１２ａの板
面方向と平行で、かつ側壁１２ａの外側上方に水平に配
設した２本のスクリュー軸１５に架台１６を往復移動可
能に軸架するとともに、この架台１６上にエアシリンダ
ー１７を夫々垂設し、このエアシリンダー１７の上端に
前記シャッター１４の両側縁を夫々固定したもので、前
記エアシリンダー１７の伸縮作用及び架台１６の前後移
動により洗浄筐体１２の上部開口１３がシャッター１４
によって開閉し得るようにしたものである。図中１８は
両スクリュー軸１５の駆動機構である。
【００１０】前記洗浄筐体１２の前面壁１２ｂ外側方に
は、洗浄筐体１２の前後軸線方向と平行するスクリュー
軸１９を水平に配設し、このスクリュー軸１９に架台２
０を往復動可能に軸装するとともに、この架台２０に、
図４〜図６で示すように先端に洗浄及び水切りノズル機
構２１を備えた長尺パイプ２２の基端部を回動可能に軸
装する。この洗浄及び水切りノズル機構２１を備えた回
動する長尺パイプ２２は、図４，図５に示すように、洗
浄筐体１２の前面壁１２ｂの中央部に形成した円筒形構
造の開口２３を介して洗浄筐体１２内を前後動及び回動
しながらカセットラックＡを洗浄するようにしたもので
ある。
は、洗浄筐体１２の前後軸線方向と平行するスクリュー
軸１９を水平に配設し、このスクリュー軸１９に架台２
０を往復動可能に軸装するとともに、この架台２０に、
図４〜図６で示すように先端に洗浄及び水切りノズル機
構２１を備えた長尺パイプ２２の基端部を回動可能に軸
装する。この洗浄及び水切りノズル機構２１を備えた回
動する長尺パイプ２２は、図４，図５に示すように、洗
浄筐体１２の前面壁１２ｂの中央部に形成した円筒形構
造の開口２３を介して洗浄筐体１２内を前後動及び回動
しながらカセットラックＡを洗浄するようにしたもので
ある。
【００１１】図６について前記洗浄及び水切りノズル機
構２１及び長尺パイプ２２の構成について説明する。長
尺パイプ２２は２本の径の異るパイプ２２ａと２２ｂを
同心状に二重構造としたものによって構成され、径小の
パイプ２２ａを径大のパイプ２２ｂより若干長尺とな
し、パイプ２２ａの先端に、斜め前向きの洗浄水ノズル
２４と斜め後向きの洗浄ノズル２５を有するホルダー２
６を固装し、一方、径大のパイプ２２ｂの先端に斜め前
向きのスリット構造をした水切りエアーノズル２７と横
向きの同様構造からなる水切りエアーノズル２８をもつ
ホルダー２９を固装したものである。図中３０は前記洗
浄筐体１２の前面壁１２ｂに設けた開口２３を、カセッ
トラックＡの洗浄作用時に閉塞し、洗浄水が開口２３よ
り外部に飛散するのを防止する閉塞板である。洗浄及び
水切りノズル機構２１は上述のように構成されている。
構２１及び長尺パイプ２２の構成について説明する。長
尺パイプ２２は２本の径の異るパイプ２２ａと２２ｂを
同心状に二重構造としたものによって構成され、径小の
パイプ２２ａを径大のパイプ２２ｂより若干長尺とな
し、パイプ２２ａの先端に、斜め前向きの洗浄水ノズル
２４と斜め後向きの洗浄ノズル２５を有するホルダー２
６を固装し、一方、径大のパイプ２２ｂの先端に斜め前
向きのスリット構造をした水切りエアーノズル２７と横
向きの同様構造からなる水切りエアーノズル２８をもつ
ホルダー２９を固装したものである。図中３０は前記洗
浄筐体１２の前面壁１２ｂに設けた開口２３を、カセッ
トラックＡの洗浄作用時に閉塞し、洗浄水が開口２３よ
り外部に飛散するのを防止する閉塞板である。洗浄及び
水切りノズル機構２１は上述のように構成されている。
【００１２】又図２に示す前記洗浄筐体１２の内部両側
には、図３〜図５で示すように、両側壁１２ａの内面に
そって上方から複数の洗浄ノズル３１ａをもつパイプ３
１、このパイプ３１の若干下方にスリット構造をした複
数の水切りエアーノズル３２ａをもつパイプ３２が揺動
可能に配設されているとともに、側壁１２ａの下段に斜
め上向きの複数の洗浄水ノズル３３ａをもつパイプ３３
が夫々固定的に配設されている。図４，図５のように、
前記パイプ３１と３３に設けられた前後端の洗浄水ノズ
ル３１ａ，３３ａは夫々洗浄筐体１２の中央部に向け傾
斜されており、洗浄筐体１２内に収容セットしたカセッ
トラックＡの前後側面が効率よく洗浄されるように構成
してある。又図４，図５に示すように、前記洗浄筐体１
２の後面壁１２ｃの所定部位に水平姿勢のエアシリンダ
３４を設け、このエアシリンダ３４の両端から突設した
作用ロッド３４ａの両端に２本の作用杆３５，３６の下
端を枢着するとともに、該作用杆３５，３６の上端を前
記パイプ３１，３２の後端軸部３１ｂ，３２ｂに夫々各
別に固定し、エアシリンダ３４の左右移動により左右の
パイプ３１，３２が交互に上下方向に揺動しうるように
したものである。図中３７はカセットラックＡの支持脚
である。
には、図３〜図５で示すように、両側壁１２ａの内面に
そって上方から複数の洗浄ノズル３１ａをもつパイプ３
１、このパイプ３１の若干下方にスリット構造をした複
数の水切りエアーノズル３２ａをもつパイプ３２が揺動
可能に配設されているとともに、側壁１２ａの下段に斜
め上向きの複数の洗浄水ノズル３３ａをもつパイプ３３
が夫々固定的に配設されている。図４，図５のように、
前記パイプ３１と３３に設けられた前後端の洗浄水ノズ
ル３１ａ，３３ａは夫々洗浄筐体１２の中央部に向け傾
斜されており、洗浄筐体１２内に収容セットしたカセッ
トラックＡの前後側面が効率よく洗浄されるように構成
してある。又図４，図５に示すように、前記洗浄筐体１
２の後面壁１２ｃの所定部位に水平姿勢のエアシリンダ
３４を設け、このエアシリンダ３４の両端から突設した
作用ロッド３４ａの両端に２本の作用杆３５，３６の下
端を枢着するとともに、該作用杆３５，３６の上端を前
記パイプ３１，３２の後端軸部３１ｂ，３２ｂに夫々各
別に固定し、エアシリンダ３４の左右移動により左右の
パイプ３１，３２が交互に上下方向に揺動しうるように
したものである。図中３７はカセットラックＡの支持脚
である。
【００１３】３８はミストコレクターで、該ミストコレ
クター３８はモータ３９をもつ吸引ファン４０，排風筒
４１及び前記洗浄筐体１２の一側側壁１２ａに一端を接
続した可撓性ダクト４２によって構成され、洗浄筐体１
２内で水切り操作が行われている時に使用し、ミストを
吸引除去するようにしたものである。前記洗浄装置Ｃは
上述のように構成されている。
クター３８はモータ３９をもつ吸引ファン４０，排風筒
４１及び前記洗浄筐体１２の一側側壁１２ａに一端を接
続した可撓性ダクト４２によって構成され、洗浄筐体１
２内で水切り操作が行われている時に使用し、ミストを
吸引除去するようにしたものである。前記洗浄装置Ｃは
上述のように構成されている。
【００１４】次に、乾燥装置Ｄの構成について説明す
る。４３は断熱構造からなる乾燥筐体で、この乾燥筐体
４３には、電熱ヒータ４４，モータ４５をもつ杆班用の
ファン４６，少量の外気をフィルター（図示略）を介し
て乾燥筐体４３内に送気する給気筒４７，乾燥筐体４３
内の湿気を帯びた空気を外気に吸引排気する可撓性ダク
ト４８をもつブロアー４９が装備されている。又前記筐
体４３の天壁全域は開口５０されており、この開口５０
は洗浄済みのカセットラックＡを上方から供給し、乾燥
済みのカセットラックＡを外部に取り出し次行程に排出
するためのものである。５１は、乾燥筐体４３の開口５
０に対して外側方から水平にスライド移動し、開口５０
を閉塞可能としたシャッター板で、このシャッター板５
１の左右側下面には架台５２が夫々設けてあり、この両
架台５２は乾燥筐体４３の両側壁の板面と平行した水平
姿勢のスクリュー軸５３に螺合され、このスクリュー軸
５３の回動によりシャッター板５１が前後方向に移動
し、前記乾燥筐体４３の開口５０を開閉するように構成
されている。図中５４は両スクリュー軸５３を正逆回動
する駆動機構である。乾燥装置Ｄは上述のように構成さ
れている。
る。４３は断熱構造からなる乾燥筐体で、この乾燥筐体
４３には、電熱ヒータ４４，モータ４５をもつ杆班用の
ファン４６，少量の外気をフィルター（図示略）を介し
て乾燥筐体４３内に送気する給気筒４７，乾燥筐体４３
内の湿気を帯びた空気を外気に吸引排気する可撓性ダク
ト４８をもつブロアー４９が装備されている。又前記筐
体４３の天壁全域は開口５０されており、この開口５０
は洗浄済みのカセットラックＡを上方から供給し、乾燥
済みのカセットラックＡを外部に取り出し次行程に排出
するためのものである。５１は、乾燥筐体４３の開口５
０に対して外側方から水平にスライド移動し、開口５０
を閉塞可能としたシャッター板で、このシャッター板５
１の左右側下面には架台５２が夫々設けてあり、この両
架台５２は乾燥筐体４３の両側壁の板面と平行した水平
姿勢のスクリュー軸５３に螺合され、このスクリュー軸
５３の回動によりシャッター板５１が前後方向に移動
し、前記乾燥筐体４３の開口５０を開閉するように構成
されている。図中５４は両スクリュー軸５３を正逆回動
する駆動機構である。乾燥装置Ｄは上述のように構成さ
れている。
【００１５】アンローディング装置Ｅの構成について説
明する。前記ローディング装置Ｂのスクリュー軸８と同
一軸線上に設けた水平姿勢のスクリュー軸５５に往復動
可能に軸架された架台５６上に、乾燥済みのカセットラ
ックＡを支持し昇降させるエアシリンダ構造の昇降体５
７に設ける。一方、前記スクリュー軸５５の軸線にそっ
てこれの上方に複数のカセットラックＡの仮置枠５８を
並列配設し、最内側（紙面左端）の仮置枠５８に対して
乾燥済みのカセットラックａを、後述する移載装置Ｆに
より上方より供給載置するようにし、又最外側（紙面右
端）の仮置枠５８に搬送供給されたカセットラックＡを
矢印方向に搬出するようにしたものである。又前記各仮
置枠５８の上方には、カセットラックＡの確認用センサ
ー（図示略）を設けるとともに、前記スクリュー軸５５
の下方には、仮置枠５８と対応する架台５６の位置を確
認するセンサー（図示略）が配設される。アンローディ
ング装置Ｅは上述のように構成されている。
明する。前記ローディング装置Ｂのスクリュー軸８と同
一軸線上に設けた水平姿勢のスクリュー軸５５に往復動
可能に軸架された架台５６上に、乾燥済みのカセットラ
ックＡを支持し昇降させるエアシリンダ構造の昇降体５
７に設ける。一方、前記スクリュー軸５５の軸線にそっ
てこれの上方に複数のカセットラックＡの仮置枠５８を
並列配設し、最内側（紙面左端）の仮置枠５８に対して
乾燥済みのカセットラックａを、後述する移載装置Ｆに
より上方より供給載置するようにし、又最外側（紙面右
端）の仮置枠５８に搬送供給されたカセットラックＡを
矢印方向に搬出するようにしたものである。又前記各仮
置枠５８の上方には、カセットラックＡの確認用センサ
ー（図示略）を設けるとともに、前記スクリュー軸５５
の下方には、仮置枠５８と対応する架台５６の位置を確
認するセンサー（図示略）が配設される。アンローディ
ング装置Ｅは上述のように構成されている。
【００１６】カセットラックＡの移載装置Ｆは、前記ロ
ーディング装置Ｂの最内側仮置枠１１上に供給されたカ
セットラックＡを、洗浄装置Ｃからの信号を受けてピッ
クアップし、洗浄装置Ｃを構成する洗浄筐体１２内の所
定位置に供給載設して洗浄を行なう。そして洗浄済みの
カセットラックａを洗浄筐体１２から取り出し乾燥装置
Ｄを構成する乾燥筐体４３内にセットし乾燥する。乾燥
処理されたカセットラックＡを取り出し、アンローディ
ング装置Ｅの最外側の仮置枠５８上に下降供給する動
を、前記各装置Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅからの信号により繰り返
し作動するものである。
ーディング装置Ｂの最内側仮置枠１１上に供給されたカ
セットラックＡを、洗浄装置Ｃからの信号を受けてピッ
クアップし、洗浄装置Ｃを構成する洗浄筐体１２内の所
定位置に供給載設して洗浄を行なう。そして洗浄済みの
カセットラックａを洗浄筐体１２から取り出し乾燥装置
Ｄを構成する乾燥筐体４３内にセットし乾燥する。乾燥
処理されたカセットラックＡを取り出し、アンローディ
ング装置Ｅの最外側の仮置枠５８上に下降供給する動
を、前記各装置Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅからの信号により繰り返
し作動するものである。
【００１７】次に、図についてカセットラックＡの移載
装置Ｆの構成について説明する。５９は、少なくとも、
前記ローディング装置Ｂを構成する最内側の仮置枠１
１，洗浄装置Ｃの洗浄筐体１２，乾燥装置Ｄの乾燥筐体
４３及びアンローディング装置Ｅの最内側の仮置枠５８
の上方領域に配設され、前記各スクリュー軸８，５５の
軸線にそう水平姿勢のスクリュー軸であって、このスク
リュー軸５９には架台６０が螺合されている。この架台
６０の一側に垂直姿勢のスクリュー軸６１を昇降可能に
螺合せしめるとともに、このスクリュー軸６１の下端に
は回り止め機構（図示略）を備えたベース板６２がとり
つけられる。更にこのベース板６２の下面左右には、前
記スクリュー軸６１の軸線と平行した方向にそって外側
方に伸縮動作するエアシリンダ６３が夫々設けられ、こ
のエアシリンダ６３の外側に、前記カセットラックＡの
天板１の左右側に立設した取手２に外側方から係脱する
爪部材６４を夫々設け、この両爪部材６４をエアシリン
ダ６３の作用で開いて閉じることにより、カセットラッ
クＡの取手２を把持又は解放しうるように構成したもの
である。移載装置下は上述のように構成されている。
装置Ｆの構成について説明する。５９は、少なくとも、
前記ローディング装置Ｂを構成する最内側の仮置枠１
１，洗浄装置Ｃの洗浄筐体１２，乾燥装置Ｄの乾燥筐体
４３及びアンローディング装置Ｅの最内側の仮置枠５８
の上方領域に配設され、前記各スクリュー軸８，５５の
軸線にそう水平姿勢のスクリュー軸であって、このスク
リュー軸５９には架台６０が螺合されている。この架台
６０の一側に垂直姿勢のスクリュー軸６１を昇降可能に
螺合せしめるとともに、このスクリュー軸６１の下端に
は回り止め機構（図示略）を備えたベース板６２がとり
つけられる。更にこのベース板６２の下面左右には、前
記スクリュー軸６１の軸線と平行した方向にそって外側
方に伸縮動作するエアシリンダ６３が夫々設けられ、こ
のエアシリンダ６３の外側に、前記カセットラックＡの
天板１の左右側に立設した取手２に外側方から係脱する
爪部材６４を夫々設け、この両爪部材６４をエアシリン
ダ６３の作用で開いて閉じることにより、カセットラッ
クＡの取手２を把持又は解放しうるように構成したもの
である。移載装置下は上述のように構成されている。
【００１８】
【洗浄作用の説明】 上述した洗浄装置Ｃによるカセッ
トラックＡの洗浄手段について述べる。移載装置Ｆによ
り洗浄筐体１２内にカセットラックＡが所定の位置、即
ち図３のように収容セットされると、洗浄筐体１２の天
井開口１３がシャッター１４によって閉塞される。又洗
浄筐体１２の前面に配設された長尺パイプ２２が移動
し、前面壁１２ｂに設けた開口２３を介して洗浄及び水
切りノズル機構２１を洗浄筐体１２の内部に挿入すると
ともに、前記長尺パイプ２２を回転可能に貫通した閉塞
板３０を開口２３に固定する。この状態でカセットラッ
クＡの洗浄が可能な状態となる。
トラックＡの洗浄手段について述べる。移載装置Ｆによ
り洗浄筐体１２内にカセットラックＡが所定の位置、即
ち図３のように収容セットされると、洗浄筐体１２の天
井開口１３がシャッター１４によって閉塞される。又洗
浄筐体１２の前面に配設された長尺パイプ２２が移動
し、前面壁１２ｂに設けた開口２３を介して洗浄及び水
切りノズル機構２１を洗浄筐体１２の内部に挿入すると
ともに、前記長尺パイプ２２を回転可能に貫通した閉塞
板３０を開口２３に固定する。この状態でカセットラッ
クＡの洗浄が可能な状態となる。
【００１９】図３に示すように、複数の洗浄水ノズル３
１ａが噴射される洗浄液によって、カセットラックＡの
天板１の外面，柱板４の外面，柱板４間の窓部を介して
格子形状の底板３の上面及び規制杆７の外側面が洗浄さ
れるとともに、洗浄水ノズル３１ａの上下方向揺動によ
り前記各部の洗浄が左右交互に行われ、各洗浄水ノズル
３１ａが噴射される洗浄液の衝突干渉が防止され、特に
天板１の外面が効率良く洗浄され、天板１の中央部に塵
埃が残留しない。
１ａが噴射される洗浄液によって、カセットラックＡの
天板１の外面，柱板４の外面，柱板４間の窓部を介して
格子形状の底板３の上面及び規制杆７の外側面が洗浄さ
れるとともに、洗浄水ノズル３１ａの上下方向揺動によ
り前記各部の洗浄が左右交互に行われ、各洗浄水ノズル
３１ａが噴射される洗浄液の衝突干渉が防止され、特に
天板１の外面が効率良く洗浄され、天板１の中央部に塵
埃が残留しない。
【００２０】又洗浄筐体１２の左右側下端部に設けた複
数の洗浄水ノズル３３ａから噴射される洗浄液によっ
て、カセットラックＡの格子状底板３の下面全域，柱板
４の外面，柱板４間の窓部を介して天板１の内面，規制
杆７の段面７ａなどが連続的に洗浄される。
数の洗浄水ノズル３３ａから噴射される洗浄液によっ
て、カセットラックＡの格子状底板３の下面全域，柱板
４の外面，柱板４間の窓部を介して天板１の内面，規制
杆７の段面７ａなどが連続的に洗浄される。
【００２１】上記洗浄作用と併せて、洗浄筐体１２の前
面開口２３から挿入された洗浄水ノズル２４，２５が回
動しながら前後動する洗浄作用により、天板１の内面，
各柱板４の内面，柱板４に段設した多数の棚片５の棚
面，格子状の底板３の上面，規制杆７外周面及び段面７
ａが斑なく洗浄される。
面開口２３から挿入された洗浄水ノズル２４，２５が回
動しながら前後動する洗浄作用により、天板１の内面，
各柱板４の内面，柱板４に段設した多数の棚片５の棚
面，格子状の底板３の上面，規制杆７外周面及び段面７
ａが斑なく洗浄される。
【００２２】尚、前記各洗浄水ノズル３１ａ，３３ａ，
２４，２５による洗浄作用は、コンピュータ制御手段に
より連続，間欠あるいは交互に行ない、最も洗浄効率の
よい条件のもとで行なうようにする。
２４，２５による洗浄作用は、コンピュータ制御手段に
より連続，間欠あるいは交互に行ない、最も洗浄効率の
よい条件のもとで行なうようにする。
【００２３】
【水切り作用の説明】 純水による上記洗浄作用が終了
したら、洗浄水ノズル３１ａ，３３ａ，２４，２５から
の洗浄水噴射を停止し、左右の水切りエアーノズル３２
ａ，洗浄水をエアーに切換えた洗浄水ノズル３３ａ，水
切りエアーノズル２８からエアーを噴出させ、前記と同
様の作用でカセットラックＡ全面域の水切りを行なうと
同時に、洗浄筐体１２に接続したミストコレクター３８
を動作せしめて洗浄筐体１２内を減圧させ、ミストの捕
集を効率よく行ない、水切り完了後全てを停止する。次
いで洗浄筐体１２からシャッター１４を退去させ、開口
１３をオープンさせたのち、前記移載装置Ｆによって洗
浄，水切りされたカセットラックＡを取り出し、乾燥装
置Ｄに搬送供給する。
したら、洗浄水ノズル３１ａ，３３ａ，２４，２５から
の洗浄水噴射を停止し、左右の水切りエアーノズル３２
ａ，洗浄水をエアーに切換えた洗浄水ノズル３３ａ，水
切りエアーノズル２８からエアーを噴出させ、前記と同
様の作用でカセットラックＡ全面域の水切りを行なうと
同時に、洗浄筐体１２に接続したミストコレクター３８
を動作せしめて洗浄筐体１２内を減圧させ、ミストの捕
集を効率よく行ない、水切り完了後全てを停止する。次
いで洗浄筐体１２からシャッター１４を退去させ、開口
１３をオープンさせたのち、前記移載装置Ｆによって洗
浄，水切りされたカセットラックＡを取り出し、乾燥装
置Ｄに搬送供給する。
【００２４】
【発明の効果】 上述のように本発明の構成によれば、
次のような効果が得られる。 （ａ）特殊な形状，構造を有するカセットラックらは、
カセットラックの左右上方に配設した上下方向に揺動す
る洗浄水ノズルの交互洗浄作用により、噴射される洗浄
水が互いに干渉することなく効率よくカセットラックの
外面を洗浄し、又カセットラックの左右下方に設けた洗
浄水ノズルからの連続した洗浄作用によりカセットラッ
クの下面及び側面が効率よく洗浄され、併せて、カセッ
トラックの内面全域或は回動及び前後動する洗浄水ノズ
ルによって効率よく洗浄されるため、複雑構造をしたカ
セットラックが短時間に効率よく洗浄されるとともに、
水切りせしめられ乾燥効率の向上も図れる。 （ｂ）洗浄水量も少量にて足りることから、経済的効果
も大きい。
次のような効果が得られる。 （ａ）特殊な形状，構造を有するカセットラックらは、
カセットラックの左右上方に配設した上下方向に揺動す
る洗浄水ノズルの交互洗浄作用により、噴射される洗浄
水が互いに干渉することなく効率よくカセットラックの
外面を洗浄し、又カセットラックの左右下方に設けた洗
浄水ノズルからの連続した洗浄作用によりカセットラッ
クの下面及び側面が効率よく洗浄され、併せて、カセッ
トラックの内面全域或は回動及び前後動する洗浄水ノズ
ルによって効率よく洗浄されるため、複雑構造をしたカ
セットラックが短時間に効率よく洗浄されるとともに、
水切りせしめられ乾燥効率の向上も図れる。 （ｂ）洗浄水量も少量にて足りることから、経済的効果
も大きい。
【図１】 本発明の洗浄方法により洗浄するカセットラ
ックの斜視図である。
ックの斜視図である。
【図２】 本発明方法を実施するための洗浄システムの
説明図である。
説明図である。
【図３】 図２の洗浄装置を構成する洗浄筐体の縦断正
面図である。
面図である。
【図４】 図３の横断平面図である。
【図５】 図３の縦断側面図である。
【図６】 カセットラック内部を洗浄し水切りする機構
の要部の一部切結正面図である。
の要部の一部切結正面図である。
Ａ カセットラック Ｂ ローディング装置 Ｃ 洗浄装置 Ｄ 乾燥装置 Ｅ アンローディング装置 Ｆ 移載装置 １２ 洗浄筐体 １３ 開口 １４ シャッター ２１ 洗浄及び水切り機構 ２３ 開口 ２４ 洗浄水ノズル ２５ 洗浄水ノズル ２７ 水切りエアーノズル ３１ａ 洗浄水ノズル ３２ａ 水切りエアーノズル ３３ａ 洗浄水ノズル ３４ エアシリンダ ３５ 作用杆 ３６ 作用杆
Claims (5)
- 【請求項１】 少なくとも正面壁の一部を開口した洗浄
筐体内の所定位置に基板のカセットラックを収容セット
したのち、 カセットラックの外側下部全域を固定されたノズルから
噴出する洗浄液にて洗浄する行程、 カセットラックの下面を除いた全域を、カセットの左右
側上方に配設した上下方向に揺動するノズルから噴出す
る洗浄液にて洗浄する行程、 前記洗浄液筐体の前面開口より挿入された回動しながら
前後移動するノズルから噴出する洗浄液にて、カセット
ラックの内面全域を洗浄する行程、 前記各洗浄行程の選択的組み合わせによりカセットラッ
クの内外面全域を洗浄したのち、カセットラックの内外
面全域にエアーを吹き付け、残留洗浄液の水切りを行な
うことを特徴とする基板カセットラックの洗浄方法。 - 【請求項２】 請求項１において、カセットラックの左
右側上方に配設した上下方向に揺動するノズルを左右交
互に動作させ、カセットラックの上面に噴出洗浄液の干
渉による洗浄性の低下が生じないようにしたことを特徴
とする基板カセットラックの洗浄方法。 - 【請求項３】 請求項１又は２において、カセットラッ
クの内面洗浄行程と外面洗浄行程を交互に行ない、噴出
洗浄液の干渉が生じないようにしたことを特徴とする基
板カセットラックの洗浄方法。 - 【請求項４】 請求項１〜３のいずれかにおいて、少な
くともカセットラックの下部全域を洗浄するノズルを、
エアーによる液切りに切り換えることを特徴とする基板
カセットラックの洗浄方法。 - 【請求項５】 請求項１〜４のいずれかにおいて、洗浄
筐体内の圧力をミストコレクターにより減圧し、液切り
時におけるミストの外部排出効率の向上を図ることを特
徴とする基板カセットラックの洗浄方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20880696A JPH1034094A (ja) | 1996-07-19 | 1996-07-19 | 基板カセットラックの洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20880696A JPH1034094A (ja) | 1996-07-19 | 1996-07-19 | 基板カセットラックの洗浄方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1034094A true JPH1034094A (ja) | 1998-02-10 |
Family
ID=16562438
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20880696A Withdrawn JPH1034094A (ja) | 1996-07-19 | 1996-07-19 | 基板カセットラックの洗浄方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH1034094A (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009088359A (ja) * | 2007-10-01 | 2009-04-23 | Fujitsu Ltd | 洗浄乾燥装置及び洗浄乾燥方法 |
| JP2009172520A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | 洗浄槽排気装置 |
| KR100960685B1 (ko) * | 2003-02-17 | 2010-05-31 | 엘지디스플레이 주식회사 | 카세트세정장치 |
| KR101002330B1 (ko) * | 2003-12-30 | 2010-12-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 카세트 세정기 |
| KR101022014B1 (ko) | 2010-05-18 | 2011-03-16 | (주) 디바이스이엔지 | 웨이퍼 보관용기 세정장치 |
| KR101385456B1 (ko) * | 2007-02-12 | 2014-04-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 카세트 세정장치 |
| KR20150096351A (ko) * | 2015-05-22 | 2015-08-24 | 조창현 | 기판 보관 및 이송용기의 청정 유지를 위한 퍼지 장치 |
| US9129998B2 (en) | 2011-04-12 | 2015-09-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus for cleaning an object and method of operating the same |
| JP2017056365A (ja) * | 2015-08-21 | 2017-03-23 | ファインマシーンカタオカ株式会社 | 洗浄機 |
| JP2017074564A (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | ファインマシーンカタオカ株式会社 | ワークの洗浄機 |
| CN108940982A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-12-07 | 贵州龙源冷水渔业有限公司 | 一种鲟鱼卵清洗设备 |
| CN112756354A (zh) * | 2019-12-16 | 2021-05-07 | Lvp工程建筑公司 | 用于清洁容器的设备和方法 |
| KR20220074304A (ko) * | 2020-11-27 | 2022-06-03 | 주식회사 일레븐전자 | 웨이퍼용 카세트 클리닝 장치 |
-
1996
- 1996-07-19 JP JP20880696A patent/JPH1034094A/ja not_active Withdrawn
Cited By (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100960685B1 (ko) * | 2003-02-17 | 2010-05-31 | 엘지디스플레이 주식회사 | 카세트세정장치 |
| KR101002330B1 (ko) * | 2003-12-30 | 2010-12-17 | 엘지디스플레이 주식회사 | 카세트 세정기 |
| KR101385456B1 (ko) * | 2007-02-12 | 2014-04-21 | 엘지디스플레이 주식회사 | 카세트 세정장치 |
| JP2009088359A (ja) * | 2007-10-01 | 2009-04-23 | Fujitsu Ltd | 洗浄乾燥装置及び洗浄乾燥方法 |
| JP2009172520A (ja) * | 2008-01-24 | 2009-08-06 | Shimada Phys & Chem Ind Co Ltd | 洗浄槽排気装置 |
| KR101022014B1 (ko) | 2010-05-18 | 2011-03-16 | (주) 디바이스이엔지 | 웨이퍼 보관용기 세정장치 |
| US9129998B2 (en) | 2011-04-12 | 2015-09-08 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Apparatus for cleaning an object and method of operating the same |
| KR20150096351A (ko) * | 2015-05-22 | 2015-08-24 | 조창현 | 기판 보관 및 이송용기의 청정 유지를 위한 퍼지 장치 |
| JP2017056365A (ja) * | 2015-08-21 | 2017-03-23 | ファインマシーンカタオカ株式会社 | 洗浄機 |
| JP2017074564A (ja) * | 2015-10-16 | 2017-04-20 | ファインマシーンカタオカ株式会社 | ワークの洗浄機 |
| CN108940982A (zh) * | 2018-06-22 | 2018-12-07 | 贵州龙源冷水渔业有限公司 | 一种鲟鱼卵清洗设备 |
| CN112756354A (zh) * | 2019-12-16 | 2021-05-07 | Lvp工程建筑公司 | 用于清洁容器的设备和方法 |
| JP2021094556A (ja) * | 2019-12-16 | 2021-06-24 | エルヴィーピー エンジニアリング アンド コンストラクションズ ビーヴィー | 容器洗浄用装置及び方法 |
| US11904368B2 (en) | 2019-12-16 | 2024-02-20 | LVP Engineering & Constructions BV | Device and method for cleaning containers |
| KR20220074304A (ko) * | 2020-11-27 | 2022-06-03 | 주식회사 일레븐전자 | 웨이퍼용 카세트 클리닝 장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20031007 |