JP5494458B2 - 太陽電池セル検査装置 - Google Patents

Description

本発明は、太陽電池セルにおいて外部に電流を取出すための取出電極と内部電極との接続の良否を検査する太陽電池セル検査装置に関する。

太陽電池セルには、アモルファス太陽電池の場合によくあるように、図８に示すように複数の発電セルを直列接続にした構造にして太陽電池セルのみで高電圧を取出すことができるようにしたものがある。このような太陽電池セルは両端にある外部に電流を取出すための取出電極と内部電極とを導電性ペースト又は半田により接続させているが、複数の太陽電池セルを接続して製造される太陽電池パネルは、高温、低温、雨、雪等に晒される環境下で使用されるため、長期間が経過すると、この接続箇所が劣化する可能性がある。そのため、長期間使用した太陽電池パネルは、太陽電池セルごとにこの接続箇所に接続不良が発生していないことを検査する必要がある。また、太陽電池セルを製造した直後又は太陽電池セルから太陽電池パネルを製造した直後も、この接続箇所に接続不良がないことを検査する必要がある。

太陽電池セルや、太陽電池セルから製造される太陽電池パネルを検査する方法にはいくつかの方法があるが、例えば下記特許文献１に紹介されているように、発電によって発生する電流によって各点で発生する磁界を磁気センサにより検出し、磁界の分布状態又は磁界から計算され得る電流の分布状態を、正常なものと比較することで異常の有無を判断する方法がある。この方法であれば、太陽電池セルであっても、太陽電池パネル（下記特許文献１では太陽電池モジュールと記載されている）であっても、検査対象を発電により電流が流れる状態にすれば、接続不良の不具合箇所を非接触で精度よく検出することができる。

特開２０１０−１７１０６５号公報

しかしながら、発明者が実験した結果、両端にある外部に電流を取出すための取出電極の間を複数の発電セルを直列接続した構造の太陽電池セルの場合は、前記取出電極に流れる電流が大きいため、前記取出電極と内部電極との間の接続不良があっても、取出電極位置及びその近傍位置の磁界の分布状態又は磁界から計算される電流の分布状態が正常な場合と比べて大きな違いがないことがわかった。このため、両端にある外部に電流を取出すための取出電極の間を複数の発電セルを直列接続した構造の太陽電池セルは、特許文献１に記載されているように、磁界の分布状態又は磁界から計算される電流の分布状態を正常なものと比較する方法では、前記取出電極と内部電極との間の接続不良を検出するのは困難であるという問題がある。

本発明は、この問題を解決するためになされたもので、両端にある外部に電流を取出すための取出電極の間を複数の発電セルを直列接続した構造の太陽電池セルの取出電極と内部電極との間の接続不良を精度よく検出することができる太陽電池セル検査装置を提供することにある。なお、下記本発明の各構成要件の記載においては、本発明の理解を容易にするために、実施形態の対応箇所の符号を括弧内に記載しているが、本発明の各構成要件は、実施形態の符号によって示された対応箇所の構成に限定解釈されるべきものではない。

上記目的を達成するために、本発明の特徴は、第１方向に沿って配置されるとともに直列接続されてなり、光の照射により発電する複数の発電セル（８３）と、第１方向とは直交する第２方向に延設されるとともに、複数の発電セルのうちの両端の一対の発電セルにそれぞれ内部電極（８６，８８）を介して接続されて、複数の発電セルによって発電された電力を取出すための一対の長尺状の取出電極（８１，８２）とを備えた太陽電池セルにおける、前記内部電極に対する一対の取出電極の接続不良を検査する太陽電池セル検査装置において、太陽電池セルに対向するように配置されて、太陽電池セルの各部に流れる電流によって発生される磁界を検出する磁気センサ（１０）と、太陽電池セルに光を照射することにより太陽電池セルを発電動作させて太陽電池セルの各部に電流を流し、又は一対の取出電極に電圧を印加することにより太陽電池セルの各部に電流を流し、太陽電池セルの各部に流れる電流により発生されて磁気センサによって検出される磁界を表す磁界信号を取出す磁界信号取出手段（５０，６５〜６８，６５ａ，６６ａ）と、前記取出された磁界信号に基づいて、一対の取出電極位置又はその近傍位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさを検出する検出手段（７０，Ｓ１７，Ｓ１０４，Ｓ１１４，Ｓ１７０〜Ｓ２１０，Ｓ２２０〜Ｓ２２８）と、検出手段によって検出される一対の取出電極位置又はその近傍位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさを、一対の取出電極位置又はその近傍位置の第２方向に沿って設定された間隔ごとに複数のグループに振り分け、前記振り分けたグループごとに第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさの変動量を表す特性値を計算する変動量特性値計算手段（７０，Ｓ２３０）と、前記計算したグループごとの特性値の最大値が所定の許容値よりも大きいとき、異常を判定する判定手段（７０，Ｓ２３２，Ｓ２３４）とを設けたことにある。

前記のように構成した本発明によれば、磁界信号取出手段が、太陽電池セルの各部に電流を流し、太陽電池セルの各部に流れる電流により発生されて磁気センサによって検出される磁界を表す磁界信号を取出す。そして、検出手段が、前記取出された磁界信号に基づいて、一対の取出電極位置又はその近傍位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさを検出する。さらに、変動量特性値計算手段が、検出手段によって検出される一対の取出電極位置又はその近傍位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさを、一対の取出電極位置又はその近傍位置の第２方向に沿って設定された間隔ごとに複数のグループに振り分け、前記振り分けたグループごとに第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさの変動量を表す特性値を計算する。そして、判定手段が、前記計算したグループごとの特性値の最大値が所定の許容値よりも大きいとき、異常を判定する。

前述のように、両端にある外部に電流を取出すための取出電極の間を複数の発電セルを直列接続した構造の太陽電池セルの場合は、取出電極に流れる電流が大きいため、取出電極と内部電極との間の接続不良があっても、取出電極位置及びその近傍位置の磁界の分布状態又は磁界から計算される電流の分布状態が正常な場合と比べて大きな違いがない。しかし、本願発明者は、この種の太陽電池セルにおいて、取出電極と内部電極との間の接続不良がある場合には、一対の取出電極位置及びその近傍位置における取出電極間方向の電流の大きさを取出電極の延設方向に沿って変化を見ると、前記接続不良位置及びその近傍位置にて大きく変動することを発見した。また、電流と磁界との関係により、この取出電極間方向の電流の大きさが大きく変動する部分では、取出電極の延設方向の磁界の強さも大きく変動することになる。したがって、前記本発明の特徴のように、一対の取出電極位置又はその近傍位置における第２方向（取出電極の延設方向）の磁界の強さ又は第１方向（取出電極間方向）の電流の大きさを検出すれば、両端にある外部に電流を取出すための取出電極の間を複数の発電セルを直列接続した構造の太陽電池セルの場合にも、取出電極と内部電極との間の接続不良を検出することが可能となる。さらに、取出電極と内部電極との間の接続不良により大きく変化する特性値として、変動量特性値計算手段により、一対の取出電極位置又はその近傍位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさが、一対の取出電極位置又はその近傍位置の第２方向に沿って設定された間隔ごとに複数のグループに振り分けられ、前記振り分けられたグループごとに第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさの変動量を表す特性値が計算される。そして、判定手段により、前記計算したグループごとの特性値の最大値が所定の許容値よりも大きいとき、異常が判定される。したがって、前記接続不良の有無が自動的に判定されるようになる。

なお、本明細書においては、単に「電流の大きさ」なる表現は、方向を問題とすることなく電流の絶対的な大きさを示す。そして、特定方向の電流の大きさに関しては、方向を特定したうえで電流の大きさ、例えば「Ｘ方向の電流の大きさ」、「Ｙ方向の電流の大きさ」などと表現する。また、この点は、磁界の強さに関しても同じである。

また、本発明の他の特徴は、さらに、検出手段によって検出される一対の取出電極位置又はその近傍位置における第２方向の磁界の強さ又は第１方向の電流の大きさの分布を視覚的に示す画像を表示する表示手段（７０，７２，Ｓ２５８，Ｓ２６８）を設けたことにある。これによれば、作業者は、表示手段に表示されている前記磁界の強さ又は電流の大きさの分布を見て、正常な場合との比較判断により前記接続不良の有無を判断できるようになる。

また、本発明の他の特徴は、さらに、磁界信号取出手段を、太陽電池セルに所定周期で強度が変化する光を照射して太陽電池セルを発電動作させる光照射手段（５０，６５，６６）と、発電動作によって太陽電池セルの各部に流れる電流により発生されて磁気センサによって検出される磁界を表す磁界信号であって、所定周期で変化する磁界信号を取出す周期信号取出手段（６７，６８）とで構成したことにある。これによれば、外乱光や、外部磁界が存在しても、これらの影響を受けずに、太陽電池セルに対向する各部の箇所で磁界を検出することができる。その結果、この検出された磁界を用いて、太陽電池セルの取出電極と内部電極との接続不良を高精度で検査できる。

また、本発明の他の特徴は、さらに、磁界信号取出手段を、太陽電池セルの一対の取出電極に所定周期で変化する電圧を印加する電圧印加手段（６５ａ，６６ａ）と、電圧の印加によって太陽電池セルの各部に流れる電流により発生されて磁気センサによって検出される磁界を表す磁界信号であって、所定周期で変化する磁界信号を取出す周期信号取出手段（６７，６８）とで構成したことにある。これによっても、外乱光や、外部磁界が存在しても、これらの影響を受けずに、太陽電池セルに対向する各部の箇所で磁界を検出することができる。その結果、この検出された磁界を用いて、太陽電池セルの取出電極と内部電極との接続不良を高精度で検査できる。

本発明の一実施形態に係る太陽電池セル検査装置の全体構成図である。 図１のステージ及び磁気センサの移動機構の具体例を示す概略斜視図である。 図１の磁気センサ及びセンサ信号取出回路の詳細回路ブロック図である。 図１のロックインアンプの詳細回路ブロック図である。 図1のコントローラによって実行されるデータ取得プログラムの前半部分を示すフローチャートである。 前記データ取得プログラムの後半部分を示すフローチャートである。 図1のコントローラによって実行される評価プログラムの先頭部分を示すフローチャートである。 図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図６Ａに続く部分を示すフローチャートである。 図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図６Ｂに続く部分を示すフローチャートである。 図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図６Ｃに続く部分を示すフローチャートである。 図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図６Ｄに続く部分を示すフローチャートである。 図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図６Ｅに続く部分を示すフローチャートである。 太陽電池パネルの一例を示す概略平面図である。 図７の太陽電池セルの概略平面図である。 図８ＡのＢ−Ｂ線に沿って見た太陽電池セルの拡大断面図である。 磁気センサによる太陽電池パネルの走査態様を説明するための説明図である。 太陽電池セルに異常が発生した場合における電流の大きさの変化を説明するための説明図である。 太陽電池パネルに流れる電流の大きさの分布図である。 変形例に係る太陽電池セル検査装置の全体構成図である。

以下、本発明の一実施形態に係る太陽電池セル検査装置について図面を用いて説明する。図1は、この太陽電池セル検査装置の全体概略図である。太陽電池セル検査装置は、磁気センサ１０を支持固定するセンサ支持台１１を有し、センサ支持台１１は、Ｘ方向スライド機構２０によってＸ方向（紙面左右方向）に移動するとともに、Ｙ方向スライド機構３０によってＹ方向（紙面垂直方向）に移動する。センサ支持台１１は、図２に詳細に示すように、方形状の平板で構成されて、上面にて磁気センサ１０を支持固定する。このセンサ支持台１１は、Ｘ方向スライド機構２０の一部を構成する方形状の移動部材２１により支持されている。この移動部材２１には、センサ支持台１１を上下に変位させて磁気センサ１０の上下方向位置を調整する調整機構（図示しない）が設けられており、調整つまみ２２の操作によりセンサ支持台１１が上下方向に位置調整されるようになっている。

移動部材２１の下面には、Ｙ方向に所定の幅を有する凸部２１ａが設けられている。この凸部２１ａは、Ｘ方向に延設された支持部材２３の上面に設けた溝２３ａに侵入して、溝２３ａ内をＸ方向にスライドするようになっている。支持部材２３の溝２３ａ内には、Ｘ方向に延設されて移動部材２１の凸部２１ａを貫通する雄ねじ２４が収容されている。移動部材２１の凸部２１ａ内には、雄ねじ２４に螺合した図示しないナットが組み込まれており、雄ねじ２４の回転により、移動部材２１がＸ方向に移動するようになっている。すなわち、雄ねじ２４と移動部材２１に組み込まれたナットにより、ボールねじ機構が構成されている。雄ねじ２４の一端は、支持部材２３の一端に組み付けたＸ方向モータ２５の回転軸に連結され、雄ねじ２４の他端は支持部材２３の他端に回転可能に支持されている。これにより、Ｘ方向モータ２５の回転により雄ねじ２４が軸線周りに回転して、移動部材２１、センサ支持台１１及び磁気センサ１０がＸ方向に移動する。

支持部材２３のＸ方向の両端近傍部の下面には、Ｘ方向に所定の幅を有する凸部２３ｂ，２３ｃがそれぞれ設けられている。これらの凸部２３ｂ、２３ｃは、Ｙ方向にそれぞれ延設された支持部材３１，３２の上面に設けた溝３１ａ，３２ａに侵入して、溝３１ａ，３２ａ内をＹ方向にスライドするようになっている。支持部材３１の溝３１ａ内には、Ｙ方向に延設されて支持部材２３の凸部２３ｂを貫通する雄ねじ３３が収容されている。支持部材２３の凸部２３ｂ内には、雄ねじ３３に螺合した図示しないナットが組み込まれており、雄ねじ３３の回転により、支持部材２３がＹ方向に移動するようになっている。すなわち、雄ねじ３３と支持部材２３に組み込まれたナットにより、ボールねじ機構が構成されている。雄ねじ３３の一端は、支持部材３１の一端に組み付けたＹ方向モータ３４の回転軸に連結され、雄ねじ３３の他端は支持部材３１の他端に回転可能に支持されている。これにより、Ｙ方向モータ３４の回転により雄ねじ３３が軸線周りに回転して、支持部材２３が移動部材２１、センサ支持台１１及び磁気センサ１０と共にＹ方向に移動する。

また、この太陽電池セル検査装置は、太陽電池パネルＳＰを載置するための、ステージ４０を備えている。ステージ４０は、支持部材３１，３２の各端部から上方に延設された連結部４１ａ，４１ｂ，４１ｃ，４１ｄを介して、支持部材３１，３２の上方に配置された方形状の枠体４２を有している。枠体４２は、支持部材３１，３２の上方にそれぞれ位置する支持部４２ａ，４２ｂと、両支持部４２ａ，４２ｂの両端部をそれぞれ連結する支持部４２ｃ、４２ｄとを備えている。支持部４２ａ，４２ｂ，４２ｃには、内側方向に突出して太陽電池パネルＳＰを載置する載置部が設けられている。支持部４２ａ，４２ｂには、移動載置部材４３が両端部にてＹ方向に摺動可能に組み付けられている。この移動載置部材４３にも、支持部４２ｃ方向に突出して太陽電池パネルＳＰを載置する載置部が設けられている。そして、太陽電池パネルＳＰを枠体４２の支持部４２ａ，４２ｂ，４２ｃ及び移動載置部材４３上に載置した状態では、磁気センサ１０が太陽電池パネルＳＰの下方に位置するようになっている。

ふたたび図１の説明に戻ると、ステージ４０の枠体４２上には複数の発光素子（ＬＥＤ）５０が配置されている。複数の発光素子５０はマトリクス状に配置されて、太陽電池パネルＳＰをステージ４０上に載置した状態で、太陽電池パネルＳＰ全体に均一な光量（すなわち強度）の光が照射されるようになっている。

Ｘ方向モータ２５内には、Ｘ方向モータ２５の回転を検出して、その回転を表す回転信号を出力するエンコーダ２５ａが組み込まれている。この回転信号は、Ｘ方向モータ２５が所定の微少角度だけ回転するたびにハイレベルとローレベルとを交互に切替えるパルス列信号であって、回転方向を識別するために互いにπ／２だけ位相のずれたＡ相信号とＢ相信号とで構成される。回転信号は、Ｘ方向位置検出回路６１及びＸ方向フィードモータ制御回路６２に出力される。Ｘ方向位置検出回路６１は、前記回転信号のパルス数をＸ方向モータ２５の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値からＸ方向モータ２５によるステージ４０（太陽電池パネルＳＰ）に対するセンサ支持台１１のＸ方向位置（すなわち磁気センサ１０のＸ方向位置）を検出し、検出したＸ方向位置をＸ方向フィードモータ制御回路６２及び後述するコントローラ７０に出力する。Ｘ方向フィードモータ制御回路６２は、コントローラ７０の指示により、Ｘ方向モータ２５の駆動及び停止を制御する。このＸ方向モータ２５の駆動時においては、Ｘ方向フィードモータ制御回路６２は、エンコーダ２５ａからの回転信号を用いてＸ方向モータ２５を所定の回転速度で回転させる。

Ｘ方向位置検出回路６１におけるカウント値の初期設定は、電源投入時にコントローラ７０の指示によって行われる。すなわち、コントローラ７０は、電源投入時に、Ｘ方向フィードモータ制御回路６２にセンサ支持台１１の初期位置に対応したＸ方向限界位置への移動、及びＸ方向位置検出回路６１に初期設定を指示する。この指示により、Ｘ方向フィードモータ制御回路６２は、Ｘ方向モータ２５を駆動してセンサ支持台１１を初期位置に対応したＸ方向限界位置まで移動させる。Ｘ方向位置検出回路６１は、センサ支持台１１のＸ方向への移動中、Ｘ方向モータ２５内のエンコーダ２５ａからの回転信号を入力し続けている。そして、センサ支持台１１が初期位置に対応したＸ方向限界位置まで達してＸ方向モータ２５の回転が停止すると、Ｘ方向位置検出回路６１はエンコーダ２５ａからの回転信号の入力停止を検出して、カウント値を「０」にリセットする。このとき、Ｘ方向位置検出回路６１は、Ｘ方向フィードモータ制御回路６２に出力停止のための信号を出力し、これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路６２はＸ方向モータ２５への駆動信号の出力を停止する。その後に、Ｘ方向モータ２５が駆動された際には、Ｘ方向位置検出回路６１は、回転信号のパルス数をＸ方向モータ２５の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値に基づいてセンサ支持台１１のＸ方向位置を計算し、計算したＸ方向位置をＸ方向フィードモータ制御回路６２及びコントローラ７０に出力し続ける。

Ｙ方向モータ３４内には、Ｙ方向モータ３４の回転を検出して、前記Ｘ方向モータ２５と同様に、その回転を表す回転信号を出力するエンコーダ３４ａが組み込まれている。この回転信号は、Ｙ方向位置検出回路６３及びＹ方向フィードモータ制御回路６４に出力される。Ｙ方向位置検出回路６３は、前記回転信号のパルス数をＹ方向モータ３４の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値からＹ方向モータ３４によるセンサ支持台１１のＹ方向位置（すなわち磁気センサ１０のＹ方向位置）を検出し、検出したＹ方向位置をＹ方向フィードモータ制御回路６４及びコントローラ７０に出力する。Ｙ方向フィードモータ制御回路６４は、コントローラ７０の指示により、前記Ｘ方向フィードモータ制御回路６２の場合と同様に、Ｙ方向モータ３４の駆動及び停止を制御する。

Ｙ方向位置検出回路６３におけるカウント値の初期設定は、電源投入時にコントローラ７０の指示によって行われる。すなわち、コントローラ７０は、電源投入時に、Ｙ方向フィードモータ制御回路６４にセンサ支持台１１の初期位置に対応したＹ方向限界位置への移動、及びＹ方向位置検出回路６３に初期設定を指示する。この指示により、Ｙ方向フィードモータ制御回路６４は、Ｙ方向モータ３４を駆動してセンサ支持台１１を初期位置に対応したＹ方向限界位置まで移動させる。Ｙ方向位置検出回路６３は、センサ支持台１１のＹ方向への移動中、Ｙ方向モータ３４内のエンコーダ３４ａからの回転信号を入力し続けている。そして、センサ支持台１１が初期位置に対応したＹ方向限界位置まで達してＹ方向モータ３４の回転が停止すると、Ｙ方向位置検出回路６３はエンコーダ３４ａからの回転信号の入力停止を検出して、カウント値を「０」にリセットする。このとき、Ｙ方向位置検出回路６３は、Ｙ方向フィードモータ制御回路６４に出力停止のための信号を出力し、これにより、Ｙ方向フィードモータ制御回路６４はＹ方向モータ３４への駆動信号の出力を停止する。その後に、Ｙ方向モータ３４が駆動された際には、Ｙ方向位置検出回路６３は、回転信号のパルス数をＹ方向モータ３４の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値に基づいてセンサ支持台１１のＹ方向位置を計算し、計算したＹ方向位置をＹ方向フィードモータ制御回路６４及びコントローラ７０に出力し続ける。

この太陽電池セル検査装置は、さらに、発光信号供給回路６５、光源駆動回路６６、センサ信号取出回路６７、ロックインアンプ６８及びコントローラ７０を備えている。発光信号供給回路６５は、正弦波発振器及び矩形波変換回路を含み、コントローラ７０によって作動制御されて、正弦波発振器によって発振される正弦波信号を発光制御信号として光源駆動回路６６に供給する。なお、発光制御信号は、「０」を基準に正負に変化する信号であり、その周波数は、例えば数１０ヘルツから数１００ヘルツ程度である。また、発光信号供給回路６５は、前記正弦波信号からなる発光制御信号を矩形波変換回路による変換により、前記発光制御信号と同期して「０」を中心として正負に変化する矩形波信号を生成して、参照信号としてロックインアンプ６８に出力する。光源駆動回路６６も、コントローラ７０によって作動制御されて、前記供給された発光制御信号によって発光素子５０を発光制御する。発光素子５０は、前記発光制御信号に同期して正弦波状に変化する発光強度で太陽電池パネルＳＰの表面を照射する。

次に、磁気センサ１０について説明しておく。磁気センサ１０は、図３に示すように、Ｘ方向の磁界を検出するＸ方向磁気センサ１０Ａと、Ｙ方向の磁界の変化を検出するＹ方向磁気センサ１０Ｂとを備えている。Ｘ方向磁気センサ１０Ａは、抵抗ｒ11，ｒ12，ｒ13及び磁気抵抗素子ＭＲ１からなるブリッジ回路で構成されており、抵抗ｒ11，ｒ13の接続点と、抵抗ｒ12及び磁気抵抗素子ＭＲ１の接続点との間に、センサ信号取出回路６７の後述する定電圧供給回路６７ａから電圧＋Ｖ，−Ｖが印加されるようになっている。また、Ｘ方向磁気センサ１０Ａにおいては、抵抗ｒ13及び磁気抵抗素子ＭＲ１の接続点と、抵抗ｒ11，ｒ12間の接続点との間の電圧をＸ方向磁気検出信号として出力する。抵抗ｒ11，ｒ12，ｒ13の値は同じであり、磁界の強さが「０」であるときの磁気抵抗素子ＭＲ１の抵抗値に等しい。これにより、ほぼ「０」を基準としたＸ方向の磁界の正負の変化により、Ｘ方向磁気検出信号はほぼ「０」を基準にＸ方向の磁界の大きさに比例して正負に変化する電圧信号となる。

Ｙ方向磁気センサ１０Ｂは、抵抗ｒ21，ｒ22，ｒ23及び磁気抵抗素子ＭＲ２からなるブリッジ回路で構成されており、抵抗ｒ21，ｒ22の接続点と、抵抗ｒ23及び磁気抵抗素子ＭＲ２の接続点との間に、センサ信号取出回路６７の後述する定電圧供給回路６７ｂから電圧＋Ｖ，−Ｖが印加されるようになっている。また、Ｙ方向磁気センサ１０Ｂにおいては、抵抗ｒ22及び磁気抵抗素子ＭＲ２の接続点と、抵抗ｒ21，ｒ23間の接続点との間の電圧をＹ方向磁気検出信号として出力する。抵抗ｒ21，ｒ22，ｒ23の値は同じであり、磁界の強さが「０」であるときの磁気抵抗素子ＭＲ２の抵抗値に等しい。これにより、ほぼ「０」を基準としたＹ方向の磁界の正負の変化により、Ｙ方向磁気検出信号はほぼ「０」を基準にＹ方向の磁界の大きさに比例して正負に変化する電圧信号となる。

センサ信号取出回路６７は、定電圧供給回路６７ａ，６７ｂ及び増幅器６７ｃ，６７ｄを備えている。定電圧供給回路６７ａ，６７ｂは、コントローラ７０からの指示により、Ｘ方向磁気センサ１０Ａ及びＹ方向磁気センサ１０Ｂに対して、定電圧＋Ｖ，−Ｖを供給する。増幅器６７ｃ、６７ｄは、Ｘ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号をそれぞれ増幅してロックインアンプ６８に出力する。

ロックインアンプ６８は、図４に詳細に示すように、Ｘ方向磁気センサ１０Ａから増幅器６７ｃを介して供給されるＸ方向磁気検出信号を入力するハイパスフィルタ６８ａと、Ｙ方向磁気センサ１０Ｂから増幅器６７ｄを介して供給されるＹ方向磁気検出信号を入力するハイパスフィルタ６８ｂとを備えている。ハイパスフィルタ６８ａ，６８ｂは、Ｘ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号に含まれる、磁界の強さに比例した信号成分以外の不要な成分を取り除くとともに、信号をグランドレベルを中心に変化するようにする。

ハイパスフィルタ６８ａの出力は、増幅器６８ｃを介して位相検波回路６８ｄ，６８ｅに供給される。位相検波回路６８ｄ，６８ｅは、それぞれ乗算器によって構成されている。位相検波回路６８ｄは、ハイパスフィルタ６８ａ及び増幅器６８ｃを介して供給されるＸ方向磁気検出信号に、発光信号供給回路６５からの参照信号を乗算してローパスフィルタ６８ｆに出力する。位相検波回路６８ｅは、ハイパスフィルタ６８ａ及び増幅器６８ｃを介して供給されるＸ方向磁気検出信号に、発光信号供給回路６５からの参照信号を位相シフト回路６８ｇで９０度位相を遅らせた遅延参照信号を乗算してローパスフィルタ６８ｈに出力する。これにより、ローパスフィルタ６８ｆにはＸ方向磁気検出信号の発光制御信号（参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ６８ｆは供給された成分信号をローパスフィルタ処理してＸ方向磁気検出信号の発光制御信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。ローパスフィルタ６８ｈにはＸ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号（遅延参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ６８ｈは供給された成分信号をローパスフィルタ処理してＸ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。

ハイパスフィルタ６８ｂの出力は、増幅器６８ｉを介して位相検波回路６８ｊ，６８ｋに供給される。位相検波回路６８ｊ，６８ｋには、ローパスフィルタ６８ｍ，６８ｎが接続されている。位相検波回路６８ｊ，６８ｋ及びローパスフィルタ６８ｍ，６８ｎは、前述した位相検波回路６８ｄ，６８ｅ及びローパスフィルタ６８ｆ，６８ｈと同様に構成されている。これにより、ローパスフィルタ６８ｍにはＹ方向磁気検出信号の発光制御信号（参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ６８ｍは供給された成分信号をローパスフィルタ処理してＹ方向磁気検出信号の発光制御信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。ローパスフィルタ６８ｎにはＹ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号（遅延参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ６８ｎは供給された成分信号をローパス処理してＹ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。ローパスフィルタ６８ｆ，６８ｈ，６８ｍ，６８ｎは、Ａ／Ｄ変換器６８ｏ，６８ｐ，６８ｑ，６８ｒにそれぞれ接続されている。Ａ／Ｄ変換器６８ｏ，６８ｐ，６８ｑ，６８ｒは、所定の時間間隔ごとに、ローパスフィルタ６８ｆ，６８ｈ，６８ｍ，６８ｎからの信号をそれぞれＡ／Ｄ変換してコントローラ７０に供給する。

ふたたび図１の説明に戻り、コントローラ７０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備えたマイクロコンピュータと、ハードディスクや不揮発性メモリなどの記憶装置と、入出力インタフェース等から構成される電子制御装置である。コントローラ７０は、記憶装置に記憶された図５Ａ及び図５Ｂのデータ取得プログラム及び図６Ａ乃至図６Ｆの評価プログラムを実行してこの太陽電池セル検査装置の動作を制御する。コントローラ７０には、作業者が各種パラメータや処理等を指示するための入力装置７１と、作業者に対して作動状況等を視覚的に知らせるための表示装置７２とが接続されている。

次に、太陽電池パネルＳＰについて説明しておく。太陽電池パネルＳＰは、図７に示すように、マトリクス状に配置された多数の太陽電池セルＳＣが、基板８０上に固定されている。本実施形態では、Ｘ方向にｔmax個、Ｙ方向にｓmax個の太陽電池セルＳＣが配置されているものとする。

各太陽電池セルＳＣは、図８Ａ及び図８Ｂに示すように、方形状に形成され、外部に電力を取出すための長尺状の一対の取出電極（正電極及び負電極）８１，８２を上面にて平行に延設させており、一対の取出電極８１，８２の間を前記取出電極８１，８２と同一方向に延設させた複数の発電セル８３を直列接続した構造を有している。各発電セル８３は、表面電極８３ａ、半導体層８３ｂ及び裏面電極８３ｃからなる。半導体層８３ｂは、上側をＮ層とするとともに下側をＰ層としており、発生電流は裏面電極８３ｃから表面電極８３ａの方向に流れる。隣り合う発電セル８３，８３間は、一方の表面電極８３ａと他方の裏面電極８３ｃが導電層８４によって電気的に接続され、かつ絶縁層８５によって絶縁されている。一端（図示右側端）の発電セル８３の表面電極８３ａは、導電層からなる内部電極８６を介して取出電極８１に接続され、この発電セル８３の外側には絶縁層８７ａが設けられている。他端（図示左側端）の発電セル８３の裏面電極８３ｃは、導電層からなる内部電極８８を介して取出電極８２に接続されており、この発電セル８３の外側には絶縁層８７ｂが設けられている。この太陽電池セルＳＣの上面はガラス層８９で覆われており、取出電極８１，８２は、内部電極８６，８８に導電性ペースト又は半田により接続されている。

そして、図７に示すように、Ｙ方向に配置されたｓmax個の太陽電池セルＳＣの各電極８１，８２は接続線９１でそれぞれ直列に接続され、この直列に接続されたｓmax個の電極８１，８２は接続線９２，９３によりそれぞれ並列に接続されている。そして、接続線９２，９３から電力が出力されるようになっている。なお、この太陽電池セルＳＣの検査の場合には、接続線９２，９３間に後述する抵抗Ｒcsが導線Ｌ１，Ｌ２を介して接続される。そして、電流は図示矢印の方向に流れる。

次に、上記のように構成した太陽電池セル検査装置の動作について説明する。作業者は、図７に示すように、検査対象となる太陽電池パネルＳＰに導線Ｌ１，Ｌ２を介して小さな抵抗Ｒcs（例えば、５オーム程度の抵抗）を接続して、ステージ４０の枠体４２上に載置する。この場合、太陽電池パネルＳＰのＸ−Ｙ平面の原点となる位置（後述するプログラムで変数ｎ，ｍが共に「１」となる位置）の近傍のコーナーを、枠体４２のコーナーの一つ（本実施形態では図２の右下に位置するコーナー）に合わせ、移動載置部材４３を移動させて太陽電池パネルＳＰを固定する。なお、抵抗Ｒcsを接続する理由は、発光素子５０を用いた光の照射により、太陽電池セルＳＣの発電による電流が太陽電池セルＳＣを流れるようにするためである。この状態で、太陽電池セル検査装置の電源が投入されると、上述したように、コントローラ７０の指示により、Ｘ方向フィードモータ制御回路６２及びＹ方向フィードモータ制御回路６４はセンサ支持台１１（すなわち磁気センサ１０）をＸ方向及びＹ方向の限界位置に移動させるとともに、Ｘ方向位置検出回路６１及びＹ方向位置検出回路６３は検出されるＸ方向位置及びＹ方向位置を初期値に設定する。

その後、作業者は、入力装置７１を操作することにより、太陽電池パネルＳＰの計測に必要なパラメータを入力する。この場合、必要なパラメータとしては、太陽電池セルＳＣのＸ方向及びＹ方向の数ｔmax，ｓmax、各太陽電池セルＳＣのＸ方向及びＹ方向の長さとなどである。この入力されたパラメータは、コントローラ７０に記憶される。また、後述するデータ処理プログラムや評価プログラムにて使用されるＸ方向終了位置Ｘmax、Ｙ方向終了位置Ｙmax、値Ｎｎ、値Ｎｍ等のパラメータが、この入力されたパラメータから計算されて記憶される。

次に、作業者は、入力装置７１の操作により、コントローラ７０に図５Ａ及び図５Ｂのデータ取得プログラムの実行を開始させる。すなわち、太陽電池パネルＳＰの計測の開始をコントローラ７０に指示する。この指示に応答して、コントローラ７０は、図５ＡのステップＳ１０にてデータ取得プログラムの実行を開始し、ステップＳ１１にて変数ｎを「０」に初期設定するとともに、変数ｍ，ａをそれぞれ「１」に初期設定する。変数ｎ，ｍは、太陽電池パネルＳＰに対する磁気センサ１０の走査位置を示す変数である。なお、磁気センサ１０は、図９に示すように、まず、Ｘ方向に初期値Ｘｓによって表される開始位置から終了値Ｘmaxによって表される終了位置を越えるまで所定の微小値ΔＸずつ移動制御される。そして、Ｘ方向の終了位置に達すると、磁気センサ１０はＹ方向に所定の微小値ΔＹだけ移動制御され、その後に、Ｘ方向の終了位置からＸ方向の開始位置まで微小値ΔＸずつ移動制御される。そして、ふたたび、磁気センサ１０はＹ方向に微小値ΔＹだけ移動制御されて、Ｘ方向の開始位置から終了位置まで微小値ΔＸずつ移動制御される。このように、磁気センサ１０は、Ｘ方向に往復運動しながらＹ方向に移動して、太陽電池パネルＳＰを走査する。なお、微小値ΔＸ，ΔＹは、太陽電池セルＳＣの縦横の長さに比べて極めて小さい。変数ａは、「１」により磁気センサ１０の中心位置がＸ軸方向正側に移動している状態を表し、「−１」により磁気センサ１０の中心位置がＸ軸方向負側に移動している状態を表している。以降、この磁気センサ１０の中心位置を検査位置という。

前記ステップＳ１１の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ１２にて、Ｘ方向フィードモータ制御回路６２に対して磁気センサ１０をＸ軸方向に移動して検査位置がＸ軸方向の初期値Ｘｓによって表される初期位置になるように指示するとともに、Ｙ方向フィードモータ制御回路６４に対して磁気センサ１０をＹ軸方向に移動して検査位置がＹ軸方向の初期値Ｙｓによって表される初期位置になるように指示する。この指示に応答して、Ｘ方向フィードモータ制御回路６２は、Ｘ方向位置検出回路６１からＸ方向検出位置（Ｘ軸方向の検査位置すなわち測定位置）を入力しながら、Ｘ方向検出位置が初期値Ｘｓに一致するまでＸ方向モータ２５を駆動制御する。Ｙ方向フィードモータ制御回路６４は、Ｙ方向位置検出回路６３からＹ方向検出位置（Ｙ軸方向の検査位置すなわち測定位置）を入力しながら、Ｙ方向検出位置が初期値Ｙｓに一致するまでＹ方向モータ３４を駆動制御する。

ステップＳ１２の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ１３にて発光信号供給回路６５の作動開始を指示する。この指示に応答して、発光信号供給回路６５は、正弦波状の発光制御信号を光源駆動回路６６に供給するとともに、前記発光制御信号と同期した矩形波状の参照信号をロックインアンプ６８に供給し始める。次に、コントローラ７０は、ステップＳ１４にて光源駆動回路６６の作動開始を指示する。この指示に応答して、光源駆動回路６６は、前記供給された発光制御信号に応じて正弦波状に変化する駆動制御信号を発光素子５０に供給して、発光素子５０を発光制御し始める。次に、コントローラ７０は、ステップＳ１５にてセンサ信号取出回路６７の作動開始を指示する。この指示に応答して、センサ信号取出回路６７内の定電圧供給回路６７ａ，６７ｂは、Ｘ方向磁気センサ１０Ａ及びＹ方向磁気センサ１０Ｂに定電圧信号＋Ｖ，−Ｖを供給し始める。これにより、Ｘ方向磁気センサ１０Ａ及びＹ方向磁気センサ１０ＢによるＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号が、増幅器６７ｃ，６７ｄを介してロックインアンプ６８にそれぞれ供給され始める。

このＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号について説明する。前記発光素子５０の発光制御により、発光素子５０は、その発光強度を前記発光制御信号に同期して正弦波状に変化させながら、太陽電池パネルＳＰの表面全体に均等に光を照射する。この光の照射により、太陽電池パネルＳＰの各太陽電池セルＳＣは前記発光強度に応じて電力を発電し始める。この電力の発電により、各太陽電池セルＳＣには電流が流れ始めるとともに、導線Ｌ１，Ｌ２を介して抵抗Ｒcsにも電流が流れ始める（図７の矢印参照）。各太陽電池セルＳＣの表裏面近傍には、前記電流による磁界が発生する。そして、Ｘ方向磁気センサ１０Ａは、Ｘ方向の磁界Ｈの大きさに比例した電圧をＸ方向磁気検出信号として出力し始める。また、Ｙ方向磁気センサ１０Ｂは、Ｙ方向の磁界Ｈの大きさに比例した電圧をＹ方向磁気検出信号として出力し始める。これらのＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号は、前記発光素子５０の発光強度が正弦波状に変化するので、正弦波状に変化する信号である。ただし、Ｘ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号の位相は、発光素子５０を駆動制御するための正弦波状の発光制御信号とは若干異なる。

ロックインアンプ６８においては、入力されたＸ方向磁気検出信号がハイパスフィルタ６８ａ及び増幅器６８ｃを介して位相検波回路（乗算器）６８ｄ，６８ｅにそれぞれ供給されるとともに、入力されたＹ方向磁気検出信号がハイパスフィルタ６８ｂ及び増幅器６８ｉを介して位相検波回路（乗算器）６８ｊ，６８ｋにそれぞれ供給される。位相検波回路６８ｄ，６８ｊには、発光信号供給回路６５からの矩形波状の参照信号が供給されている。また、位相検波回路６８ｅ，６８ｋには、前記参照信号の位相を位相シフト回路６８ｇで９０度遅らせた遅延参照信号が供給されている。そして、位相検波回路６８ｄ，６８ｅは、増幅器６８ｃを介して供給されたＸ方向磁気検出信号に参照信号及び遅延参照信号をそれぞれ乗算して、乗算した信号をローパスフィルタ６８ｆ，６８ｈを介してＡ／Ｄ変換器６８ｏ，６８ｐにそれぞれ供給する。位相検波回路６８ｊ，６８ｋは、増幅器６８ｃを介して供給されたＹ方向磁気検出信号に参照信号及び遅延参照信号をそれぞれ乗算して、乗算した信号をローパスフィルタ６８ｍ，６８ｎを介してＡ／Ｄ変換器６８ｑ，６８ｒにそれぞれ供給する。

ここで、ローパスフィルタ６８ｆ，６８ｈ，６８ｍ，６８ｎは供給された信号の成分の大きさを表す信号すなわち正弦波状の信号の振幅に比例した大きさを表す信号を出力するように機能する。したがって、Ａ／Ｄ変換器６８ｏには、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号（すなわち発光制御信号）に同期した信号成分の大きさを表す信号が供給される。Ａ／Ｄ変換器６８ｐには、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号から９０度だけ位相の遅れた信号成分の大きさを表す信号が供給される。Ａ／Ｄ変換器６８ｑには、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号に同期した信号成分の大きさを表す信号が供給される。Ａ／Ｄ変換器６８ｒには、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号から９０度だけ位相の遅れた信号成分の大きさを表す信号が供給される。そして、Ａ／Ｄ変換器６８ｏ，６８ｐ，６８ｑ，６８ｒは、それぞれ供給された信号を所定時間ごとにサンプリングしてＡ／Ｄ変換し、Ａ／Ｄ変換したサンプリングデータをコントローラ７０に供給する。したがって、コントローラ７０には前記各信号成分の所定時間ごとの大きさを表すサンプリングデータが所定時間ごとに供給されるようになる。

前記ステップＳ１５の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ１６にて変数ｎに変数ａを加算する。この場合、ステップＳ１６の処理前の変数ｎは「０」であり、変数ａは「１」であるので、変数ｎは「１」に変更される。前記ステップＳ１６の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ１７にて、ロックインアンプ６８のＡ／Ｄ変換器６８ｏ，６８ｐ，６８ｑ，６８ｒから供給されるサンプリングデータを取込み、ステップＳ１８にて取込んだ各サンプリングデータの数が所定数Ｋに達したか否かを判定する。この所定数Ｋは、例えば数個から数十個の各サンプリングデータの数を表す値に設定されている。各サンプリングデータの数が所定数Ｋに達していなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１８にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１７にてＡ／Ｄ変換器６８ｏ，６８ｐ，６８ｑ，６８ｒから次に出力されるサンプリングデータを取込む。そして、Ａ／Ｄ変換器６８ｏ，６８ｐ，６８ｑ，６８ｒから取込んだ各サンプリングデータの数が所定数Ｋに達すると、コントローラ７０は、ステップＳ１８にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１９以降の処理を実行する。ステップＳ１７にて取込まれたサンプリングデータは、変数ｎ，ｍによって指定されるサンプリングデータ群として、ＲＡＭに記憶される。

具体的には、Ａ／Ｄ変換器６８ｏから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＸ方向磁気検出信号の参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)としてＲＡＭに記憶される。Ａ／Ｄ変換器６８ｐから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＸ方向磁気検出信号の遅延参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓx2(ｎ,ｍ)としてＲＡＭに記憶される。Ａ／Ｄ変換器６８ｐから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＹ方向磁気検出信号の参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓy1(ｎ,ｍ)としてＲＡＭに記憶される。Ａ／Ｄ変換器６８ｒから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＹ方向磁気検出信号の遅延参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓy2(ｎ,ｍ)としてＲＡＭに記憶される。なお、この場合の変数ｎ，ｍは、共に「１」である。

前記ステップＳ１７，Ｓ１８の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ１９にて変数ａが「１」であるか否かを判定する。変数ａは「１」に初期設定されているので、この場合、コントローラ７０は、ステップＳ１９にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２０にて、値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸがＸ軸方向の終了値Ｘmaxよりも大きいか否かを判定する。値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸは、Ｘ軸方向の走査間隔を表す所定値ΔＸに変数ｎを乗算して初期値Ｘｓを加算した値であり、次のＸ軸方向の検出位置（Ｘ軸方向の走査位置すなわち測定位置）を表す値（図９参照）である。値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸが終了値Ｘmax以下であれば、コントローラ７０は、ステップＳ２０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２１にて、Ｘ方向フィードモータ制御回路６２に、磁気センサ１０の中心位置をＸ軸方向正側に移動させるように指示する。これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路６２は、Ｘ方向モータ２５を作動させて磁気センサ１０の中心位置をＸ軸方向正側に移動させ始める。

次に、コントローラ７０は、ステップＳ２２にてＸ方向位置検出回路６１からＸ方向位置を入力し、ステップＳ２３にて入力したＸ方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達したか否か、すなわちＸ方向位置を示す値が値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸ以上になったか否かを判定する。そして、Ｘ方向位置検出回路６１から入力したＸ方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達するまで、コントローラ７０は、ステップＳ２３にて「Ｎｏ」と判定し続けて、ステップＳ２２，Ｓ２３の処理を繰り返し実行する。Ｘ方向位置検出回路６１から入力したＸ方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達すると、コントローラ７０は、ステップＳ２３にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ２４にてＸ方向フィードモータ制御回路６２に、磁気センサ１０のＸ軸方向正側への移動を停止させることを指示する。これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路６２は、Ｘ方向モータ２５の作動を停止させて、磁気センサ１０のＸ軸方向正側への移動を停止させる。その結果、磁気センサ１０は、値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸで表されたＸ軸方向位置、かつＹ軸方向初期値Ｙｓを磁気センサ１０の検出位置として、太陽電池パネルＳＰの磁界を検出し始める。

前記ステップＳ２４の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ１６に戻って、ステップＳ１６の処理によって変数ｎに変数ａ（この場合、ａ＝１）を加算して、前述のステップＳ１７，Ｓ１８のサンプリングデータの取込み処理を実行する。これらのステップＳ１７，Ｓ１８の処理により、値Ｘｓ＋(ｎ−１)・ΔＸで表されたＸ軸方向位置、かつＹ軸方向初期値Ｙｓを検出位置とする磁気センサ１０の磁界検出によるサンプリングデータがＲＡＭに新たに記憶される。具体的には、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号及び遅延参照とそれぞれ同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのサンプリングデータが、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)としてＲＡＭに記憶される。また、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号及び遅延参照信号とそれぞれ同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのサンプリングデータが、サンプリングデータ群Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)としてＲＡＭに記憶される。なお、この場合の変数ｎは「２」であり、変数ｍは「１」である。

そして、コントローラ７０は、次のＸ軸方向の検出位置（Ｘ軸方向の走査位置）を表す値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸが終了値Ｘmaxよりも大きくなるまで、ステップＳ１６〜Ｓ２４の処理により、磁気センサ１０による検出位置をＸ軸方向正側に所定値ΔＸずつ移動させるとともに、変数ｎを「１」ずつ増加させながら、サンプリングデータを取込む。そして、次のＸ軸方向の検出位置を表す値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸが終了値Ｘmaxよりも大きくなると、コントローラ７０は、ステップＳ２０にて「Ｙｅｓ」と判定して、プログラムを図５ＢのステップＳ３０に進める。この状態では、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)（ｎ＝１，２，３・・・ｎmax，ｍ＝１）がＲＡＭに記憶される。なお、値ｎmaxは、終了値Ｘmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数ｎの値であって、Ｘ軸方向における検出位置の数を表している。

コントローラ７０は、ステップＳ３０において、Ｙ方向フィードモータ制御回路６４に、磁気センサ１０による検出位置をＹ軸方向正側に移動させるように指示する。これにより、Ｙ方向フィードモータ制御回路６４は、Ｙ方向モータ３４を作動させて磁気センサ１０による検出位置をＹ軸方向正側に移動させ始める。次に、コントローラ７０は、ステップＳ３１にてＹ方向位置検出回路６３からＹ方向位置を入力し、ステップＳ３２にて入力したＹ方向位置が次のＹ軸方向の検出位置Ｙｓ＋ｍ・ΔＹに達したか否かを判定する。この次のＹ軸方向の検出位置Ｙｓ＋ｍ・ΔＹは、Ｘ軸方向の次の検出位置Ｘｓ＋ｎ・ΔＸと同様に、Ｙ軸方向の走査間隔を表す所定値ΔＹに変数ｍを乗算して初期値Ｙｓを加算した値である（図９参照）。そして、Ｙ方向位置検出回路６３から入力したＹ方向位置が次のＹ軸方向の検出位置に達するまで、コントローラ７０は、ステップＳ３２にて「Ｎｏ」と判定し続けて、ステップＳ３１，Ｓ３２の処理を繰り返し実行する。Ｙ方向位置検出回路６３から入力したＹ方向位置が次のＹ軸方向の検出位置に達すると、コントローラ７０は、ステップＳ３２にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ３３にてＹ方向フィードモータ制御回路６４に、磁気センサ１０のＹ軸方向正側への移動を停止させることを指示する。これにより、Ｙ方向フィードモータ制御回路６４は、Ｙ方向モータ３４の作動を停止させて、磁気センサ１０検出位置のＹ軸方向正側への移動を停止させる。その結果、磁気センサ１０は、値Ｘｓ＋(ｎ-１)・ΔＸ（＝Ｘｓ＋(ｎmax-１)・ΔＸ）で表されたＸ軸方向位置、かつ値Ｙｓ＋ｍ・ΔＹ（＝Ｙｓ＋ΔＹ）で表されたＹ軸方向位置を検出位置として、太陽電池パネルＳＰの表面近傍の磁界を検出し始める。

前記ステップＳ３３の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ３４にて、Ｙ方向位置検出回路６３からＹ方向位置を入力して、入力したＹ方向位置が終了値Ｙmaxによって表されたＹ軸方向の走査終了位置を越えたか否かを判定する。Ｙ方向位置が走査終了位置を越えていなければ、コントローラ７０は、ステップＳ３４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ３５にて変数ｍに「１」を加算し、ステップＳ３６にて変数ａに「−１」を乗算する。この場合、ステップＳ３５の処理によって変数ｍは「２」になり、ステップＳ３６の処理によって変数ａは「−１」になる。また、変数ｎは値ｎmaxに保たれている。前記ステップＳ３６の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ１７に戻って、ステップＳ１７，Ｓ１８の処理より、Ｋ個ずつの各サンプリングデータ群Ｓx1(ｎmax,２)，Ｓx2(ｎmax,２)，Ｓy1(ｎmax,２)，Ｓy2(ｎmax,２)をロックインアンプ６８からそれぞれ取込み記憶する。

前記ステップＳ１７，Ｓ１８の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ１９にて変数ａは「１」であるか否かを判定する。この場合、前記ステップＳ３６の処理によって変数ａは「−１」に設定されているので、コントローラ７０は、ステップＳ１９にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２５にて、値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸがＸ軸方向の初期値Ｘｓよりも小さいか否かを判定する。この場合、変数ｎはｎmaxであり、値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸは、太陽電池パネルＳＰの図９における右端から２番目の検出位置を左側へ移動させた際における次のＸ軸方向の検出位置（Ｘ軸方向の走査位置）を表す値である。値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸが初期値Ｘｓよりも小さくなければ、コントローラ７０は、ステップＳ２５にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２６にて、Ｘ方向フィードモータ制御回路６２に、磁気センサ１０による検出位置をＸ軸方向負側に移動させるように指示する。これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路６２は、Ｘ方向モータ２５を作動させて磁気センサ１０による検出位置をＸ軸方向負側に移動させ始める。

次に、コントローラ７０は、ステップＳ２７にてＸ方向位置検出回路６１からＸ方向位置を入力し、ステップＳ２８にて入力したＸ方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達したか否か、すなわちＸ方向位置を示す値が値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸ以下になったか否かを判定する。そして、Ｘ方向位置検出回路６１から入力したＸ方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達するまで、コントローラ７０は、ステップＳ２８にて「Ｎｏ」と判定し続けて、ステップＳ２７，Ｓ２８の処理を繰り返し実行する。Ｘ方向位置検出回路６１から入力したＸ方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達すると、コントローラ７０は、ステップＳ２８にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ２９にてＸ方向フィードモータ制御回路６２に、検出位置のＸ軸方向負側への移動を停止させることを指示する。これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路６２は、Ｘ方向モータ２５の作動を停止させて、磁気センサ１０による検出位置のＸ軸方向負側への移動を停止させる。その結果、磁気センサ１０は、値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸ（＝Ｘｓ＋(ｎmax−２)・ΔＸ）で表されたＸ軸方向位置、かつ値Ｙｓ＋(ｍ−１)・ΔＹｓ（＝Ｙｓ＋ΔＹｓ）で表されたＹ軸方向位置を検出位置として、太陽電池パネルＳＰの表面近傍の磁界を検出し始める。

前記ステップＳ２９の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ１６に戻って、ステップＳ１６の処理によって変数ｎに変数ａ（この場合、ａ＝−１）を加算して、前述のステップＳ１７，Ｓ１８のサンプリングデータの取込み処理を実行する。これらのステップＳ１７，Ｓ１８の処理により、前記ステップＳ１６の処理前の値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸ（＝Ｘｓ＋(ｎmax−２)・ΔＸ）で表されたＸ軸方向位置、かつ値Ｙｓ＋(ｍ−１)・ΔＹｓ（＝Ｙｓ＋ΔＹｓ）で表されたＹ軸方向位置を検出位置とするＫ個ずつの各サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)が取込み記憶される。なお、この取込み記憶されるサンプリングデータ群に関する変数ｎは値ｎmax−１であり、変数ｍは「２」である。

そして、コントローラ７０は、次のＸ軸方向の検出位置（Ｘ軸方向の走査位置）を表す値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸが初期値Ｘｓよりも小さくなるまで、ステップＳ１６〜Ｓ１９，Ｓ２５〜Ｓ２９の処理により、検出位置をＸ軸方向負側に所定値ΔＸずつ移動させるとともに、変数ｎを「１」ずつ減少させながら、サンプリングデータを取込む。そして、次のＸ軸方向の検出位置を表す値Ｘｓ＋(ｎ−２)・ΔＸが初期値Ｘｓよりも小さくなると、コントローラ７０は、ステップＳ２５にて「Ｙｅｓ」と判定して、図５ＢのステップＳ３０に進む。なお、このときの変数ｎは「１」である。この状態では、前述したサンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)（ｎ＝１，２，３・・・ｎmax，ｍ＝１）に加えて、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)（ｎ＝１，２，３・・・ｎmax，ｍ＝２）がＲＡＭに記憶される。

コントローラ７０は、前述したステップＳ３０〜Ｓ３３の処理により、Ｙ方向モータ３４を作動させて磁気センサ１０による検出位置を次のＹ軸方向検出位置Ｙｓ＋ｍ・ΔＹに移動させる。その結果、磁気センサ１０は、初期値Ｘｓで表されたＸ軸方向の初期位置、かつ値Ｙｓ＋ｍ・ΔＹ（＝Ｙｓ＋２・ΔＹ）で表されたＹ軸方向位置を検出位置として、太陽電池パネルＳＰの表面近傍の磁界を検出し始める。次に、コントローラ７０は、Ｙ方向位置検出回路６３によって検出されたＹ方向位置が終了位置を越えていないことを条件に、コントローラ７０は、ステップＳ３４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ３５にて変数ｍに「１」を加算し、ステップＳ３６にて変数ａに「−１」を乗算する。この場合、ステップＳ３５の処理によって変数ｍは「３」になり、ステップＳ３６の処理によって変数ａは「１」になる。また、変数ｎは「１」に保たれている。前記ステップＳ３６の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ１７に戻って、ステップＳ１７，Ｓ１８の処理より、Ｋ個ずつの各サンプリングデータ群Ｓx1(１,３)，Ｓx2(１,３)，Ｓy1(１,３)，Ｓy2(１,３)をロックインアンプ６８からそれぞれ取込み記憶する。

前記ステップＳ１７，Ｓ１８の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ１９にて変数ａは「１」であるか否かを判定する。この場合、前記ステップＳ３６の処理によって変数ａは「１」に設定されているので、コントローラ７０は、ステップＳ１９にて「Ｙｅｓ」と判定して、前述したステップＳ２０〜Ｓ２４，Ｓ１６〜Ｓ１９の処理を、値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸが終了値Ｘmaxよりも大きくなるまで繰り返し実行する。これにより、磁気センサ１０による検出位置がＸ軸方向正側に走査されて、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)（ｎ＝１，２，３・・・ｎmax，ｍ＝３）がＲＡＭに新たに記憶される。

そして、変数ｍを「３」に設定した状態で、磁気センサ１０の検出位置のＸ軸方向正側への走査が終了すると、ステップＳ２０の判定処理により、ステップＳ３０〜Ｓ３６の処理が実行されて、磁気センサ１０による検出位置が次のＹ軸方向位置に変更されるとともに、変数ｍ，ａが変更される。そして、前述したステップＳ１６〜Ｓ１９，Ｓ２５〜Ｓ２９の処理により、磁気センサ１０による検出位置がＸ軸方向負側へ走査され、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)（ｎ＝１，２，３・・・ｎmax，ｍ＝４）がＲＡＭに新たに記憶される。

このようなステップＳ１６〜Ｓ３６の処理により、磁気センサによる検出位置がＸ軸方向を往復するように走査されるとともにＹ軸方向正側に走査されて、Ｙ方向位置検出回路６３によって検出されるＹ方向位置が終了値Ｙmaxよりも大きくなると、コントローラ７０は、ステップＳ３４にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ３７以降の処理を実行する。この状態では、ＲＡＭ内に、Ｋ個ずつの各サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)（ｎ＝１〜ｎmax，ｍ＝１〜ｍmax）が記憶されている。なお、値ｍmaxは、終了値Ｙmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数ｍの値であって、Ｙ軸方向における検出位置の数を表している。

コントローラ７０は、ステップＳ３７にてセンサ信号取出回路６７の作動停止を指示し、ステップＳ３８にて光源駆動回路６６の作動停止を指示し、ステップＳ３９にて発光信号供給回路６５の作動停止を指示する。これらの作動停止の指示により、発光素子５０、発光信号供給回路６５、光源駆動回路６６、センサ信号取出回路６７、ロックインアンプ６８及び磁気センサ１０の作動が停止する。前記ステップＳ３９の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ４０にて、センサ支持台１１をＸ方向駆動限界位置まで移動させることをＸ方向位置検出回路６１及びＸ方向フィードモータ制御回路６２に指示するとともに、センサ支持台１１をＹ方向駆動限界位置まで移動させることをＹ方向位置検出回路６３及びＹ方向フィードモータ制御回路６４に指示して、ステップＳ４１にてデータ取得プログラムの実行を終了する。Ｘ方向フィードモータ制御回路６２は、前述の初期設定のように、Ｘ方向位置検出回路６１と協働して、センサ支持台１１をＸ方向駆動限界位置まで移動させる。Ｙ方向フィードモータ制御回路６４は、前述のように、Ｙ方向位置検出回路６３と協働して、センサ支持台１１をＹ方向駆動限界位置まで移動させる。

次に、前記データ取得プログラムで取得した所定数Ｋずつのサンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)（ｎ＝１〜ｎmax，ｍ＝１〜ｍmax）を用いて、太陽電池パネルＳＰを評価する方法について説明する。この場合、作業者は、入力装置７１を操作して、コントローラ７０に図６Ａ乃至図６Ｆの評価プログラムを実行させる。この評価プログラムにおいては、太陽電池パネルＳＰの合否判定が行われたり、作業者が太陽電池パネルＳＰの合否を判定するために、太陽電池パネルＳＰのＸ−Ｙ座標の各点における電流の大きさと向きである電流分布の画像が表示装置に表示される。そこで、評価プログラムを説明する前に、太陽電池セルＳＣの電極に異常が発生した場合について説明しておく。この種の太陽電池セルＳＣにおいては、取出電極８１，８２が内部電極８６，８８に導電性ペースト又は半田により接続されているので、取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との間の接続不良が異常の原因となる。

１つの太陽電池セルＳＣにおいて、正常な場合と異常（前記接続不良）な場合との電流の分布について、図１０を用いて説明する。（Ａ）は、×印位置にて、取出電極８１と内部電極８６との間に接続不良の異常が発生している状態を示している。（Ｂ）は、実線により、太陽電池セルＳＣが正常な状態において、取出電極８１の位置における電流の大きさを、取出電極８１のＹ方向位置に対応させて示している。また、（Ｂ）は、破線により、太陽電池セルＳＣに前記異常が発生した状態において、取出電極８１の位置における電流の大きさを、取出電極８１のＹ方向位置に対応させて示している。この場合、Ｙ方向位置に応じて電流の大きさが変化するのは、（Ａ）の矢印のように電流が流れるため、すなわち上側位置に流れる電流は下側位置にも重なって流れるためである。なお、この場合の電流の大きさとは、電流の向きとは無関係な電流の大きさの絶対値（後述するＩxy）である。したがって、（Ｂ）のグラフからは、太陽電池セルＳＣが正常な場合と異常な場合とでは、電流の大きさの変化において差があまり大きくなく、電流の大きさは共に滑らかに変化していることが分かる。これは、接続不良の異常箇所においても、取出電極８１及び内部電極８６自体には、異常が発生しているわけではなく、取出電極８１及び内部電極８６が延設されているＹ方向には前記接続不良の異常とは無関係に充分な電流が流れ得るからであると推定される。

一方、（Ｃ）は、実線により、太陽電池セルＳＣが正常な状態において、取出電極８１の位置におけるＸ方向（取出電極８１に直交する方向）の電流の大きさを、取出電極８１のＹ方向位置に対応させて示している。また、（Ｃ）は、破線により、太陽電池セルＳＣに前記異常が発生した状態において、取出電極８１の位置のＸ方向の電流の大きさを、取出電極８１のＹ方向位置に対応させて示している。この場合も、Ｙ方向位置に応じて電流の大きさが変化するのは、（Ａ）の矢印のように電流が流れるため、すなわち上側位置に流れる電流は下側位置にも重なって流れるためである。そして、（Ｃ）のグラフからは、太陽電池セルＳＣが正常な場合と異常な場合とでは、Ｘ方向の電流の大きさの変化において差が大きく、正常な場合にはＸ方向の電流の大きさは滑らかに変化しているが、異常な場合にはＸ方向の電流の大きさは異常箇所近傍で大きく変動していることが分かる。これは、接続不良の異常箇所において、異常箇所を避けて電流がＹ方向に傾いて流れ、Ｘ方向の電流の大きさが減少するためであると推定される。

一方、（Ｄ）は、実線により、太陽電池セルＳＣが正常な状態において、取出電極８１の位置近傍におけるＸ方向（取出電極８１に直交する方向）の電流の大きさを、取出電極８１のＹ方向位置に対応させて示している。また、（Ｄ）は、破線により、太陽電池セルＳＣに前記異常が発生した状態において、取出電極８１の位置近傍におけるＸ方向電流の大きさを、取出電極８１のＹ方向位置に対応させて示している。この場合も、Ｙ方向位置に応じて電流の大きさが変化するのは、太陽電池セルＳＣにおいて（Ａ）の矢印のように電流が流れるため、すなわち上側位置に流れる電流は下側位置にも重なって流れるためである。そして、（Ｄ）のグラフからは、太陽電池セルＳＣが正常な場合と異常な場合とでは、（Ｃ）の場合よりも、Ｘ方向の電流の大きさの変化において差が大きく、正常な場合にはＸ方向の電流の大きさは滑らかに変化しているが、異常な場合にはＸ方向の電流の大きさは異常箇所近傍で大きく変動していることが分かる。これも、接続不良の異常箇所において、異常箇所を避けて電流がＹ方向に傾いて流れ、Ｘ方向の電流が減少するためであると推定される。

本発明は、これらの取出電極８１の位置又は位置近傍におけるＸ方向の電流の大きさの変化に着目してなされたもので、後述する説明では、このＸ方向の電流の大きさをＩｘとして説明する。また、取出電極８２と内部電極８８との間の接続不良による異常の発生時においても同じ結果を得ている。すなわち、本発明は、取出電極８１，８２の位置又はその近傍位置におけるＸ方向の電流の大きさＩｘのＹ方向に沿った変化において、Ｘ方向の電流の大きさＩｘの変動が接続不良部分の近傍にて大きくなることに着目して、取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良を検出するようにしている。

次に、評価プログラムの実行について説明する。この評価プログラムの実行は図６ＡのステップＳ１００にて開始され、コントローラ７０は、ステップＳ１０２にて変数ｎ，ｍをそれぞれ「１」に初期設定するとともに、変数ＣＨを「０」に初期設定する。変数ｎ，ｍは、それぞれＸ，Ｙ軸方向における検出位置を指定するための変数である。そして、値ｎmax，ｍmaxは、前述のように、それぞれＸ，Ｙ軸方向における検出位置の数を表している。変数ＣＨは、詳しくは後述するが、「０」により取出電極８１，８２がＹ軸方向に延設されていることを表し、「１」により取出電極８１，８２がＸ軸方向に延設されていることを表す。前記ステップＳ１０２の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ１０４にて、変数ｎ，ｍによって指定される所定数Ｋずつのサンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)の磁界の大きさの各平均値Ｓx1，Ｓx2，Ｓy1，Ｓy2を計算する。具体的には、各サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ,ｍ)，Ｓx2(ｎ,ｍ)，Ｓy1(ｎ,ｍ)，Ｓy2(ｎ,ｍ)ごとに、Ｋ個のサンプリングデータを加算して値Ｋで除算する。

次に、コントローラ７０は、ステップＳ１０６にて、前記計算した平均値Ｓx1，Ｓx2を用いた下記式１，２の演算の実行により、Ｘ方向磁気検出信号の極大値Ｈｘと、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｘとを計算する。
Ｈｘ＝(Ｓx1²＋Ｓx2²)^1/2 …式１
θｘ＝tan^-1(Ｓx2/Ｓx1) …式２
これにより、Ｘ方向磁気検出信号としてＨｘ・sin(２πｆｔ＋θｘ)が検出されたことになる。なお、ｆは、発光信号供給回路６５から出力される発光信号及び参照信号の周波数に等しい。

次に、コントローラ７０は、ステップＳ１０８にて、前記計算した平均値Ｓy1，Ｓy2を用いた下記式３，４の演算の実行により、Ｙ方向磁気検出信号の極大値Ｈｙと、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｙとを計算する。
Ｈｙ＝(Ｓy1²＋Ｓy2²)^1/2 …式３
θｙ＝tan^-1(Ｓy2/Ｓy1) …式４
これにより、Ｙ方向磁気検出信号としてＨｙ・sin(２πｆｔ＋θｙ)が検出されたことになる。

次に、コントローラ７０は、ステップＳ１１０にて、前記計算したＨｘ，θｘ，Ｈｙ，θｙを用いた下記式５，６の演算の実行により、発光素子５０の発光量すなわち通電電流が最大となるタイミング（前記Ｘ方向磁気検出信号Ｈｘ・sin(２πｆｔ＋θｘ)及び前記Ｙ方向磁気検出信号Ｈｙ・sin(２πｆｔ＋θｙ)における２πｆｔがπ／２のタイミング）における、検査位置の磁界の強さＨxy及び磁界の向きθxyを計算する。この場合、通電電流が最大となるタイミングを採用した理由は、位相シフト量θｘ，θｙは小さく、通電電流が最大となるタイミング近傍で検査位置の磁界の強さＨxyが最大値近傍の値になるためである。なお、位相シフト量θｘ，θｙが小さくなく、通電電流が最大となるタイミング近傍で検査位置の磁界の強さＨxyが最大値近傍にならない場合には、磁界の強さＨxyが最大値近傍になるようなタイミングの角度をπ／２に代えて用いればよい。
Ｈxy＝[{Ｈｘ・sin(π/２+θx)}²＋{Ｈｙ・sin(π/２+θｙ)}²]^1/2 …式５
θxy＝tan^-1{Ｈｙ・sin(π/２+θｙ)}/{Ｈｘ・sin(π/２+θx)} …式６

次に、コントローラ７０は、ステップＳ１１２にて、太陽電池パネルＳＰに流れる電流は前記磁界の強さＨxyに比例し、かつ方向が磁界の方向θxyと−π／２異なることから、前記計算したＨxy，θxyを用いた下記式７，８の演算の実行により、通電電流が最大となるタイミングにおける、太陽電池パネルＳＰの検査位置に流れる電流の大きさＩxy及び方向θixyを計算する。ただし、値Ｋは、比例定数である。
Ｉxy＝Ｋ・Ｈxy …式７
θixy＝θxy−π／２ …式８
そして、このステップＳ１１２にて、前記計算された電流の大きさＩxy及び方向θixyは、太陽電池パネルＳＰの検査位置を表す変数ｎ，ｍを用いて電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)及び方向データθixy(ｎ，ｍ)としてＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。

次に、コントローラ７０は、ステップＳ１１４にて、前記計算したＩxy，θixyを用いた下記式９，１０の演算の実行により、太陽電池パネルＳＰの検査位置においてＸ方向及びＹ方向に流れる電流の大きさＩx，Ｉyを計算する。
Ｉx＝Ｉxy・cosθixy …式９
Ｉy＝Ｉxy・sinθixy …式１０
そして、このステップＳ１１４にて、前記計算された電流の大きさＩx，Ｉyも、太陽電池パネルＳＰの検査位置を表す変数ｎ，ｍを用いて電流の大きさデータＩx(ｎ，ｍ)，Ｉy(ｎ，ｍ)としてＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。

次に、コントローラ７０は、ステップＳ１１６にて変数ｎがＸ軸方向の検出位置数を表す値ｎmaxに達したか否かを判定する。変数ｎが値ｎmaxに達していなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１１６にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ１１８にて変数ｎに「１」を加算してステップＳ１０４に戻る。そして、前述したステップＳ１０４〜Ｓ１１４の処理を実行した後、コントローラ７０は、ステップＳ１１６にてふたたび変数ｎが値ｎmaxに達したか否かを判定する。変数ｎが値ｎmaxに達しない限り、ステップＳ１０４〜１１８の処理が繰り返し実行される。

このようなステップＳ１０４〜Ｓ１１８の繰り返し処理中、変数ｎが値ｎmaxに達すると、コントローラ７０は、ステップＳ１１６にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１２０にて変数ｍがＹ軸方向の検出位置数を表す値ｍmaxに達したか否かを判定する。変数ｍが値ｍmaxに達しなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１２０にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ１１２にて変数ｍに「１」を加算し、ステップＳ１２４にて変数ｎを「１」に初期設定して、ステップＳ１０４に戻る。そして、変数ｎが所定値ｎmaxに達するまで前述したステップＳ１０４〜Ｓ１１８の処理を繰り返し実行した後、コントローラ７０は、ステップＳ１２０にてふたたび変数ｍが値ｍmaxに達したか否かを判定する。変数ｍが値ｍmaxに達しない限り、ステップＳ１０４〜１２４の処理が繰り返し実行される。そして、変数ｍが値ｍmaxに達すると、コントローラ７０は、ステップＳ１２０にて「Ｙｅｓ」と判定して、図６ＢのステップＳ１３０に進む。

この時点では、太陽電池パネルＳＰの検査位置ごとに、電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)、電流の方向データθixy(ｎ，ｍ)、Ｘ方向の電流の大きさデータＩx(ｎ，ｍ)及びＹ方向の電流の大きさデータＩy(ｎ，ｍ)（ｎ＝１〜ｎmax，ｍ＝１〜ｍmax）が、ＲＡＭ又は記憶装置に記憶されている。

次に、コントローラ７０は、ステップＳ１３０にて、前記計算した全ての電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)の中から、取出電極８１，８２位置及びその近傍位置の電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)を取出す。この場合、電流の大きさデータＩxy(ｎ)の分布は、図１１に示すように、取出電極８１，８２位置及びその近傍位置における大きな電流の分布と、それ以外の部分における小さな電流の分布とに大別される。したがって、このステップＳ１３０においては、前記全ての電流の大きさデータＩxy(ｎ)の中から、予め決められた所定値以上の値を有する電流の大きさデータＩxy(ｎ)を抽出すればよい。

次に、太陽電池パネルＳＰのステージ４０上への置き方により、取出電極８１，８２がＹ軸方向に延設されているか、Ｘ軸方向に延設されているかを検出するステップＳ１４０〜Ｓ１６２の処理を実行する。コントローラ７０は、まず、ステップＳ１４０にて変数ｎを「１」に初期設定し、ステップＳ１４２にて、前記ステップＳ１３４の処理によって抽出した電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)において、変数ｎによって指定され、かつ変数ｍが連続している大きさデータIxy(ｎ，ｍ)の数を計算して値Ｎｎとして設定する。そして、コントローラ７０は、ステップＳ１４４にて、値Ｎｎが所定数以上であるかを判定する。この判定処理は、取出電極８１，８２が変数ｎによって指定されるＸ軸方向位置にあり、かつＹ軸方向に延設されていれば、前記値Ｎｎは１つの太陽電池セルＳＣのＹ軸方向の長さをＹ軸方向の検出間隔ΔＹ（図９参照）で除した値程度の大きさであることに基づくものである。したがって、前記所定数は、上述したように、作業者が入力した１つの太陽電池セルＳＣのＹ軸方向の長さを検出間隔ΔＹで除した値よりも若干小さな値である。この場合、値Ｎｎが所定数以上でなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１４４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１４６に進む。

ステップＳ１４６においては、コントローラ７０は、変数ｎをＸ軸方向の検出間隔ΔＸ（図９参照）に乗算した値ｎ・ΔＸが所定距離以上であるかを判定する。この処理は、後述する変数ｎの増加による検出位置のＸ軸方向への変化により、１つ分の太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の幅に対応した長さ分だけ、前記ステップＳ１４２，Ｓ１４４の処理を実行し終えたかを判定するものである。したがって、前記所定距離は、作業者が入力した１つの太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の長さにほぼ等しい。値ｎ・ΔＸが所定距離以上でなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１４６にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１４８にて変数ｎに「１」を加算して、ステップＳ１４２に戻る。そして、これらのステップＳ１４２〜Ｓ１４６からなる循環処理中に、ステップＳ１４２の処理によって計算された値Ｎｎが所定数以上になると、コントローラ７０は、ステップＳ１４４にて「Ｙｅｓ」すなわち取出電極８１，８２はＹ軸方向に延設されていると判定して、図６ＣのステップＳ１７０に進む。一方、値Ｎｎが所定数以上になったことが検出されず、値ｎ・ΔＸが所定距離以上になると、コントローラ７０は、ステップＳ１４６にて「Ｙｅｓ」すなわち取出電極８１，８２はＹ軸方向に延設されていないと判定して、ステップＳ１５０〜Ｓ１５６の処理を実行する。

ステップＳ１５０〜Ｓ１５６の処理は、取出電極８１，８２がＸ軸方向に延設されているかを検出する処理である。コントローラ７０は、まず、ステップＳ１５０にて変数ｍを「１」に初期設定し、ステップＳ１５２にて、前記ステップＳ１３４の処理によって抽出した電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)において、変数ｍによって指定され、かつ変数ｎが連続している大きさデータIxy(ｎ，ｍ)の数を計算して値Ｎｍとして設定する。そして、コントローラ７０は、ステップＳ１５４にて、値Ｎｍが所定数以上であるかを判定する。この判定処理は、取出電極８１，８２が変数ｍによって指定されるＹ軸方向位置にあり、かつＸ軸方向に延設されていれば、前記値Ｎｍは１つの太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の長さをＸ軸方向の検出間隔ΔＸ（図９参照）で除した値程度の大きさであることに基づくものである。したがって、前記所定数は、作業者が入力した１つの太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の長さを検出間隔ΔＸで除した値よりも若干小さな値である。この場合、値Ｎｍが所定数以上でなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１５４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１５６に進む。

ステップＳ１５６においては、コントローラ７０は、変数ｍをＹ軸方向の検出間隔ΔＹ（図９参照）に乗算した値ｍ・ΔＹが所定距離以上であるかを判定する。この処理は、後述する変数ｍの増加による検出位置のＹ軸方向への変化により、１つ分の太陽電池セルＳＣのＹ軸方向の幅に対応した長さ分だけ、前記ステップＳ１５２，Ｓ１５４の処理を実行し終えたかを判定するものである。したがって、前記所定距離は、作業者が入力した１つの太陽電池セルＳＣのＹ軸方向の長さにほぼ等しい。値ｍ・ΔＹが所定距離以上でなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１５６にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１５８にて変数ｍに「１」を加算して、ステップＳ１５２に戻る。そして、これらのステップＳ１５２〜Ｓ１５６からなる循環処理中に、ステップＳ１５２の処理によって計算された値Ｎｍが所定数以上になると、コントローラ７０は、ステップＳ１５４にて「Ｙｅｓ」すなわち取出電極８１，８２はＸ軸方向に延設されていると判定して、ステップＳ１６０，Ｓ１６２の処理後、図６ＣのステップＳ１７０に進む。

ステップＳ１６０においては、コントローラ７０は、前記ステップＳ１３４の処理によって抽出した電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)を電流の大きさデータIxy(ｍ，ｎ)に並び換える。これは、後述する処理において、取出電極８１，８２がＸ軸方向に延設されている場合と、取出電極８１，８２がＹ軸方向に延設されている場合との処理を共通にするもので、電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)のＸ座標値をＹ座標値に変更し、Ｙ座標値をＸ座標値に変更することになる。そして、ステップＳ１６２においては、コントローラ７０は、変数ＣＨを、前記電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)を電流の大きさデータIxy(ｍ，ｎ)に並び換えを表すとともに、取出電極８１，８２がＸ軸方向に延設されていること表す「１」に変更する。

一方、値Ｎｍが所定数以上になったことが検出されず、値ｍ・ΔＹが所定距離以上になると、コントローラ７０は、ステップＳ１５６にて「Ｙｅｓ」すなわち取出電極８１，８２はＹ軸方向に延設されていないと判定して、図６ＦのステップＳ２６８に進む。なお、このステップＳ１５６における「Ｙｅｓ」との判定は、取出電極８１，８２のＸ軸方向の延設も、Ｙ軸方向の延設も検出されないことを意味する。

次に、取出電極８１，８２の位置を示す電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ)（すなわち磁気センサ１０による検出位置群）を検出して、マトリクス状に配置した取出電極８１，８２のＸ方向及びＹ方向の順番を特定するＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙ（図７参照）を、前記検出した電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ)に割当てる図６Ｃ及び図６ＤのステップＳ１７０〜Ｓ２１０の処理について説明する。なお、値ｎ，ｍは、Ｘ軸方向及びＹ軸方向の磁気センサ１０による検出位置をそれぞれ示す変数である。まず、コントローラ７０は、図６ＣのステップＳ１７０にて、変数ｎを「１」に初期設定するとともに、Ｘ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙをそれぞれ「１」に初期設定する。

次に、コントローラ７０は、ステップＳ１７２にて、前記ステップＳ１３０にて抽出した全ての電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)に含まれて変数ｎによって指定される電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)の数を値Ｎnmとして計算する。そして、コントローラ７０は、ステップＳ１７４にて、この値Ｎnmが所定数以上であるかを判定する。これらのステップＳ１７２，Ｓ１７４の処理は、変数ｎによって指定されるＸ方向位置が取出電極８１，８２の位置に対応していれば、取出電極８１，８２の位置では電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)はかなり大きいはずであるので、値Ｎnmもかなり大きいはずである。なお、前記所定数は、取出電極８１，８２のＹ方向の合計長さとＹ方向の移動距離単位ΔＹによって決まる値であり、例えば、前記合計長さを移動距離単位ΔＹで除した値よりも若干小さな値である。変数ｎによって指定されるＸ方向位置が取出電極８１，８２の位置に対応していなければ、値Ｎnmは小さいので、コントローラ７０は、ステップＳ１７４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１７６にて変数ｎがＸ軸方向の検出位置数を表す値ｎmaxに達したか判定する。変数ｎが値ｎmaxに達していなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１７６にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１７８にて変数ｎに「１」を加算して、前記ステップＳ１７２，Ｓ１７４の処理を実行する。

変数ｎによって指定されるＸ方向位置が取出電極８１，８２の位置に対応して値Ｎnmが所定数よりも大きくなると、コントローラ７０は、ステップＳ１７４にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１８０にて、Ｙ軸方向の磁気センサ１０の検出位置を示す変数ｍを「１」に初期設定するとともに、取出電極８１，８２のＹ軸方向の検出位置の数（取出電極８１，８２の長さをＹ軸方向の移動距離単位ΔＹで除した数）をカウントするための変数ｐを「０」に初期設定して、ステップＳ１８２の判定処理を実行する。

ステップＳ１８２においては、変数ｎ，ｍによって指定されるＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)が所定の小さな値ΔＩｘ以下であるかを判定することにより、変数ｎ，ｍによって示される検出位置が取出電極８１，８２の位置にあるか、取出電極８１，８２の間の接続線９１にあるかを判定する。これは、変数ｍによって指定されるＹ軸方向位置が取出電極８１，８２に対応した位置にあるときには、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)はある程度の値を示す（図１０参照）が、変数ｍによって指定されるＹ軸方向位置が取出電極８１，８２の間の接続線９１に対応した位置にあるときには、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)はほぼ「０」である。

したがって、変数ｍによって指定されるＹ方向位置が取出電極８１，８２に対応する位置であれば、コントローラ７０は、ステップＳ１８２にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１８４にて変数ｐに「１」を加算し、ステップＳ１８６にて変数ｍに「１」を加算して、ステップＳ１８２に戻る。変数ｍの増加によって検出位置がＹ方向に移動されても、検出位置が取出電極８１，８２に対応する位置である限り、前記ステップＳ１８２〜Ｓ１８６の循環処理が繰り返し実行されて、変数ｐが変数ｍの増加に従って増加する。このステップＳ１８２〜Ｓ１８６の循環処理中、検出位置が取出電極８１，８２を超えて接続線９１の領域に入ると、コントローラ７０は、ステップＳ１８２にて「Ｙｅｓ」と判定して、図６ＤのステップＳ１８８に進む。

ステップＳ１８８においては、前記変数ｐが所定数以上であるかを判定する。この場合、所定数は、取出電極８１，８２の長さを移動距離単位ΔＹで除した値よりも若干小さな値であり、前記入力した太陽電池セルＳＣのＹ方向の長さと移動距離単位ΔＹとにより予め決められた値である。取出電極８１，８２の位置に対応したＸ方向の電流の大きさＩｘ(ｎ，ｍ)が正確に検出されていれば、変数ｐは所定数以上であるので、コントローラ７０はステップＳ１８８にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１９０にて取出電極８１，８２のＸ−Ｙ座標位置を表す電極位置座標Ｂxy(ｎ−１，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ−１，ｍ−１)内のいずれかにＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが割当てられているか否かを判定する。この判定処理は、今回検出した取出電極８１，８２の位置を表す電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ)を定義して同電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ)にＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙを割当てる前に、Ｘ方向位置が変数ｎ−１で指定される前回検出の取出電極８１，８２の位置に対応した電極位置座標Ｂxy(ｎ−１，ｍ)にＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが既に割当てられているかを判定するものである。もし、前回検出の取出電極８１，８２の位置を表す電極位置座標Ｂxy(ｎ−１，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ−１，ｍ−１)に未だＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが割当てられていなければ（すなわち電極位置座標Ｂxy(ｎ−１，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ−１，ｍ−１)が未だ定義されていなければ）、コントローラ７０は、ステップＳ１９０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１９２にて電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)を定義してＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙを割当て、ステップＳ２０２に進む。この場合、変数ｐの使用により、取出電極８１，８２の長さに対応した位置分の電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)が定義されて、この定義された電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)にＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが割当てられたことになる。

一方、前回検出の電極位置座標Ｂxy(ｎ−１，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ−１，ｍ−１)にＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが既に割当てられていれば、コントローラ７０は、ステップＳ１９０にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１９４，Ｓ１９６に進む。ステップＳ１９４においては、前回検出の電極位置座標Ｂxy(ｎ−１，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ−１，ｍ−１)に対応した位置の電流の大きさデータＩxy(ｎ−１，ｍ−ｐ)〜Ｉxy(ｎ−１，ｍ−１)の平均値Ｉavebが計算される。また、ステップＳ１９６においては、今回検出の電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)に対応した位置の電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｉxy(ｎ，ｍ−１)の平均値Ｉaveaが計算される。そして、コントローラ７０は、ステップＳ１９８にて、今回の平均値Ｉaveaが前回の平均値Ｉaveb以上であるか否かを判定する。今回の平均値Ｉaveaが前回の平均値Ｉaveb以上であれば、コントローラ７０は、ステップＳ１９８にて「Ｙｅｓ」と判定して、前回検出の電極位置座標Ｂxy(ｎ−１，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ−１，ｍ−１)に割当てられているＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙを、今回検出の電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)に割当て、ステップＳ２０２に進む。一方、今回の平均値Ｉaveaが前回の平均値Ｉaveb以上でなければ、コントローラ７０は、ステップＳ１９８にて「Ｎｏ」と判定して、前記割当ての変更を行うことなく、ステップＳ２０２に進む。これらのステップＳ１９０〜Ｓ２００の処理により、１つの取出電極８１又は８２に対しては、最も平均電流の大きな１組の電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｉxy(ｎ，ｍ−１)に対応した電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)にのみ、Ｘ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが割当てられる。ステップＳ２０２においては、コントローラ７０は、Ｙ方向電極番号ｇｙに「１」を加算して、ステップＳ２０４に進む。これは、図７のＹ方向に沿って次の取出電極８１，８２の検出を意味する。

また、前記ステップＳ１８８の判定処理において、「Ｎｏ」すなわち変数ｐが所定数未満である場合には、コントローラ７０は、ステップＳ１８８にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１９０〜Ｓ２０２の処理を実行しないで、ステップＳ２０４に進む。この場合、電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)に対する、Ｘ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙの割当ては行われない。

ステップＳ２０４においては、変数ｍが値ｍmax（すなわち終了値Ｙmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数ｍの値）に達したかが判定される。変数ｍが値ｍmaxに達していなければ、コントローラ７０は、ステップＳ２０４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２０６にて変数ｐを「０」に初期設定して、図６ＣのステップＳ１８６に進む。コントローラ７０は、ステップＳ１８６にて変数ｍに「１」を加算し、ステップＳ１８２の判定処理をふたたび実行する。ステップＳ１８２の処理は、前述のように、Ｙ方向の検出位置が取出電極８１，８２に対応しているか、取出電極８１，８２間の接続線９１に対応しているかを判定する処理である。そして、検出位置が接続線９１に対応した位置にある状態では、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)は所定値ΔＩｘ以下であり、コントローラ７０は、ステップＳ１８２にて「Ｙｅｓ」と判定して、図６ＤのステップＳ１８８に進む。この場合、変数ｐは前記ステップＳ２０６の処理により「０」に保たれるので、コントローラ７０はステップＳ１８８にて「Ｎｏ」と判定し続けて、図６ＤのステップＳ１８８，Ｓ２０４，Ｓ２０６及び図６ＣのステップＳ１８６，Ｓ１８２の循環処理を繰り返し実行する。

この循環処理中、ステップＳ１８６による変数ｍの増加により、検出位置が取出電極８１，８２に対応した位置まで来ると、前述の場合と同様に、コントローラ７０は、ステップＳ１８２にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１８２〜Ｓ１８６の循環処理を繰り返し実行する。そして、検出位置が接続線９１の領域に入ると、前述のように、コントローラ７０は、ステップＳ１８２にて「Ｙｅｓ」と判定して、図６ＤのステップＳ１８８〜Ｓ２０２の処理を実行する。これらのステップＳ１８８〜Ｓ２０２の処理により、Ｙ方向の次の取出電極８１，８２に対応した電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)が定義されて次のＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが割当てられる。また、変数ｐが所定数未満のときには、ステップＳ１８８における「Ｎｏ」との判定のもとに、Ｘ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙの割当ては行われない。

これらのステップＳ１８８〜Ｓ２０２の処理後、コントローラ７０は、前記ステップＳ２０４，Ｓ２０６の処理を実行して、ふたたび図６ＣのステップＳ１８６に進む。これにより、変数ｍの増加により、図７に示すＹ方向の取出電極８１，８２の位置を表す電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)が次々に定義されてＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが割当てられていく。そして、変数ｍが値ｍmaxに達すると、コントローラ７０は、ステップＳ２０４にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ２０８にてＸ方向電極番号ｇｘに「１」を加算し、ステップＳ２１０にてＹ方向電極番号ｇｙを「１」に戻して、図６ＣのステップＳ１７８に進む。コントローラ７０は、ステップＳ１７８にて変数ｎに「１」を加算した後、ステップＳ１７２に進み、前述したステップＳ１７２〜Ｓ１７８の循環処理により、図７に示すＸ方向の次の取出電極８１，８２の列を検出する。そして、前記ステップＳ１８２〜Ｓ２０６の処理により、次のＸ方向の列におけるＹ方向の複数の取出電極８１，８２を検出し、前記ステップＳ２０８，Ｓ２１０の処理後の図６ＣのステップＳ１７２〜Ｓ１８６及び図６ＤのステップＳ１８８〜Ｓ２０６の処理により、Ｘ方向に移動しながら次々に取出電極８１，８２を検出して、取出電極８１，８２の位置を表す電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)が次々に定義されてＸ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙが割当てられていく。そして、変数ｎが値ｎmax（終了値Ｘmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数ｎの値）に達すると、コントローラ７０は、ステップＳ１７６にて「Ｙｅｓ」と判定して、図６ＥのステップＳ２２０に進む。

次に、太陽電池パネルＳＰの合否の判定及び電流分布の画像表示を行う図６Ｅ及び図６ＦのステップＳ２２０〜Ｓ２７０の処理について説明する。まず、コントローラ７０は、ステップＳ２２０にて、変数ｋ，ｓ，ｔ，ｅｐを「１」にそれぞれ初期設定する。変数ｋは、図７に示すように、Ｘ方向電極番号ｇｘを指定するための１〜ｋmaxで変化する変数である。変数ｓは、Ｙ方向電極番号ｇｙを指定するための１〜ｓmaxで変化する変数である。変数ｔは、Ｘ方向の太陽電池セルＳＣを指定するための１〜ｔmaxで変化する変数である。変数ｅｐは、１つの太陽電池セルＳＣ内の取出電極８１，８２を指定するための変数であり、「１」により図７の左側の取出電極８２を示し、「２」により図７の右側の取出電極８１を示す。なお、前記変数ｋ，ｓ，ｔ，ｅｐの「１」への初期設定により、図７の最も上側かつ左側の取出電極８２が指定されることになる。

前記ステップＳ２２２の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２２２にて、変数ｅｐが「１」であるか否かを判定する。この初期の状態では、変数ｅｐは「１」であるので、コントローラ７０は、ステップＳ２２２にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２２４にて値ｎｅを予め決めた正の小さな整数値Ａに設定する。一方、後述するように、変数ｅｐが「２」である場合は、コントローラ７０は、ステップＳ２２２にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２２６にて値ｎｅを予め決めた絶対値の小さな負の整数値−Ａに設定する。この値ｎｅ（値Ａ，−Ａ）は、図７の取出電極８１，８２の内側の検出位置、すなわち前述したステップＳ１７０〜Ｓ２１０の処理によって変数ｇｘ，ｇｙを割当てた電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)が示すＸ方向位置の内側の検出位置（取出電極８２にあっては右側位置、取出電極８１にあっては左側位置）を指定するための値である。これは、図１０(Ｃ)(Ｄ)で説明したように、太陽電池セルＳＣの異常時（取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良）においては、取出電極８１，８２の位置よりもそれらの近傍位置のＸ方向の電流の大きさのＹ方向における変化が大きいためである。したがって、値Ａは、前記電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ−ｐ)〜Ｂxy(ｎ，ｍ−１)が示すＸ方向位置と、前記異常時の電流の大きさの変化が最大となるＸ方向位置との差に対応した値がＸ方向の検出間隔ΔＸを用いて計算して予め設定されている。

前記ステップＳ２２４の処理後のステップＳ２２８においては、コントローラ７０は、変数ｋに等しいＸ方向電極番号ｇｘ及び変数ｓに等しいＹ方向電極番号ｇｙが割当てられた電極位置座標群Ｂxy(ｎ，ｍ)の右側近傍位置の電極位置座標群Ｂxy(ｎ＋ｎｅ，ｍ)に対応したＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を抽出する。すなわち、Ｘ方向電極番号ｇｘ（＝ｋ）及びＹ方向電極番号ｇｙ（＝ｓ）によって指定される取出電極８２の右側の近傍位置であって、取出電極８２と平行な位置のＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)が抽出される。なお、このＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)は、「１」ずつ順次増加する変数ｍによって指定される取出電極８２のＹ方向の長さ分のデータ数を含む。

前記ステップＳ２２８の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２３０にて、前記抽出したＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を用いて次のような計算を実行する。まず、前記抽出したＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を、変数ｍが増加する方向に連続して所定数ごとの複数のグループ（例えば、５〜１０程度のグループ）に振り分ける。ただし、最も大きな変数ｍを含むグループにおけるデータ数は前記所定数よりも小さい可能性があるが、他のグループのデータ数は前記所定数となる。このグループへの振り分け後、グループごとに、前記抽出したＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の平均値Ｉavex(ｔ,ｓ,ｅｐ)をそれぞれ計算する。

次に、グループごとに、前記抽出したＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の最大値から最小値を減算して、減算結果を前記計算した平均値Ｉavex(ｔ,ｓ,ｅｐ)で除算して、除算結果である（最大値−最小値）／Ｉavex(ｔ,ｓ,ｅｐ)をグループごとの評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)とする。次に、グループごとに、前記抽出したＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の標準偏差を前記計算した平均値Ｉavex(ｔ,ｓ,ｅｐ)で除算して、除算結果である標準偏差／Ｉavex(ｔ,ｓ,ｅｐ)をグループごとの評価データＣ(ｔ，ｓ，ｅｐ)とする。なお、この状態では、前記振り分けたグループ数分の評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)がそれぞれ計算されることになる。そして、これらの評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)は、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の変動を表すデータとして機能する。

前記ステップＳ２３０の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２３２にて、グループごとの評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)の中から最大値を選定するとともに、グループごとの評価データＣ(ｔ，ｓ，ｅｐ)の中からも最大値を選定する。そして、コントローラ７０は、ステップＳ２３４にて前記評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)の最大値が所定の許容値よりも大きいか否かを判定するとともに、ステップＳ２３６にて前記評価データＣ(ｔ，ｓ，ｅｐ)の最大値が所定の許容値（前記ステップＳ２３４の許容値とは異なる値）よりも大きいか否かを判定する。前記評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)の最大値が所定の許容値以下であり、かつ前記評価データＣ(ｔ，ｓ，ｅｐ)の最大値が所定の許容値以下であれば、コントローラ７０は、ステップＳ２３４，Ｓ２３６にて共に「Ｎｏ」と判定して、図６ＦのステップＳ２４０に進む。

一方、前記評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)の最大値が所定の許容値よりも大きければ、コントローラ７０は、ステップＳ２３４にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２３８にてエラーデータＥｒ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を“１”に設定して、図６ＦのステップＳ２４０に進む。また、前記評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)の最大値が前記所定の許容値以下であっても、前記評価データＣ(ｔ，ｓ，ｅｐ)の最大値が所定の許容値よりも大きければ、コントローラ７０は、ステップＳ２３６にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２３８にてエラーデータＥｒ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を“１”に設定して、図６ＦのステップＳ２４０に進む。すなわち、変数ｔ，ｓ，ｅｐによって指定される取出電極８２に異常（取出電極８２と内部電極８８との接続不良）が発生し、図１０を用いて前述したように、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の変動が大きければ、変数ｔ，ｓ，ｅｐによって指定されるエラーデータＥｒ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が“１”に設定される。この“１”に設定されたエラーデータＥｒ(ｔ，ｓ，ｅｐ)は、ＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。

ステップＳ２４０においては、コントローラ７０は、変数ｅｐが「２」であるかを判定する。この場合、変数ｅｐは「１」であるので、コントローラ７０は、ステップＳ２４２にて変数ｅｐに「１」を加算して「２」に設定し、ステップＳ２４４にて変数ｋに「１」を加算して「２」に設定して、図６ＥのステップＳ２２２に戻る。この状態では、変数ｓ，ｔは「１」に初期設定されたままであり、変数ｋ，ｅｐは「２」に変更されているので、図７の最も上側かつ左から２番目の取出電極８１が指定されることになる。そして、コントローラ７０は、ステップＳ２２２にて「Ｎｏ」すなわち変数ｅｐが「１」でないと判定して、ステップＳ２２６にて値ｎｅを負の値−Ａに設定する。そして、コントローラ７０は、前述したステップＳ２２８〜Ｓ２３８の処理を実行する。ステップＳ２２８においては、値ｅｐが負の値−Ａに設定されているために、変数ｋに等しいＸ方向電極番号ｇｘ及び変数ｓに等しいＹ方向電極番号ｇｙが割当てられた電極位置座標群Ｂxy(ｎ，ｍ)の左側近傍位置の電極位置座標群Ｂxy(ｎ＋ｎｅ，ｍ)に対応したＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)が抽出される。すなわち、Ｘ方向電極番号ｇｘ（＝ｋ）及びＹ方向電極番号ｇｙ（＝ｓ）によって指定される取出電極８１の左側の近傍位置であって、取出電極８１と平行な位置のＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)が抽出される。

そして、ステップＳ２３０，２３２の処理により、図７の最も上側かつ左から２番目の取出電極８１に関しても、前記取出電極８２の場合と同様に、所定数からなるグループごとに、平均値Ｉavex(ｔ,ｓ,ｅｐ)及び評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が計算されるとともに、グループごとの評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)の最大値が選定される。そして、ステップＳ２３４〜Ｓ２３８の処理により、前記選定された最大値である評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が評価されて、前記取出電極８１に異常（取出電極８１と内部電極８６との接続不良）が発生していれば、変数ｔ，ｓ，ｅｐによって指定されるエラーデータＥｒ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が“１”に設定されてＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。

前記ステップＳ２３４〜Ｓ２３８の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２４０にて変数ｅｐが「２」であるかをふたたび判定する。この場合、変数ｅｐが「２」であるので、コントローラ７０は、ステップＳ２４０にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ２４６にて変数ｔが前記入力したＸ方向の太陽電池セルＳＣの数ｔmaxに達したか否かを判定する（図７参照）。変数ｔがＸ方向の太陽電池セルＳＣの数ｔmaxに達していなければ、コントローラ７０は、ステップＳ２４６にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ２４８にて変数ｔに「１」を加算し、ステップＳ２５０にて変数ｅｐを初期値「１」に戻し、ステップＳ２４４にて変数ｋに「１」を加算して、図６ＥのステップＳ２２２に戻る。そして、コントローラ７０は、前述した図６ＥのステップＳ２２２，Ｓ２２４，Ｓ２２８〜Ｓ２３８の処理により、図７の最も上側かつ左から３番目の取出電極８２に関して、所定数からなるグループごとに、平均値Ｉavex(ｔ,ｓ,ｅｐ)及び評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算するとともに、これらの評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を評価し、前記取出電極８２に異常（取出電極８２と内部電極８８との接続不良）が発生していれば、エラーデータＥｒ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を“１”に設定してＲＡＭ又は記憶装置に記憶する。

そして、前述した図６ＦのステップＳ２４０〜Ｓ２４２の処理により、変数ｅｐが「２」に設定されるとともに変数ｋに「１」が加算されて、図６ＥのステップＳ２２２，Ｓ２２６〜Ｓ２３８の処理が実行される。これらの処理により、図７の最も上側かつ左から４番目の取出電極８１に関して、所定数からなるグループごとに、平均値Ｉavex(ｔ,ｓ,ｅｐ)及び評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が計算されるとともに、これらの評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が評価されて、前記取出電極８１に異常（取出電極８１と内部電極８６との接続不良）が発生していれば、エラーデータＥｒ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が“１”に設定されてＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。

その後、図６ＦのステップＳ２４０〜Ｓ２５０及び図６ＥのステップＳ２２２〜Ｓ２３８の処理が繰返し実行されて、図７の最上段の全ての太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２が評価され、前記取出電極８１，８２の異常（取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良）に応じて、エラーデータＥｒ(ｔ，ｓ，ｅｐ)が“１”に設定されてＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。この状態では、変数ｔが前記入力したＸ方向の太陽電池セルＳＣの数ｔmaxに達しているので、コントローラ７０は、ステップＳ２４６にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２５２に進む。

ステップＳ２５２においては、コントローラ７０は、変数ｓが前記入力したＹ方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達したか否かを判定する（図７参照）。変数ｓがＹ方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達していなければ、コントローラ７０は、ステップＳ２５２にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ２５４にて変数ｓに「１」を加算し、ステップＳ２５６にて変数ｋ，ｔ，ｅｐを初期値「１」に戻して、図６ＥのステップＳ２２２に戻る。そして、コントローラ７０は、前述した図６ＥのステップＳ２２２〜Ｓ２３８及び図６ＦのステップＳ２４０〜Ｓ２５６の処理を繰り返し実行して、図７の最上段から２段目以降の変数ｔ，ｓ，ｅｐによって指定される取出電極８１，８２の評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算するとともに、前記取出電極８１，８２の異常（取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良）に応じて、エラーデータＥｒ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を“１”に設定してＲＡＭ又は記憶装置に記憶する。

そして、これらの図６ＥのステップＳ２２２〜Ｓ２３８及び図６ＦのステップＳ２４０〜Ｓ２５６の処理を全ての取出電極８１，８２に関して実行した後、コントローラ７０は、ステップＳ２５２にて「Ｙｅｓ」すなわち変数ｓがＹ方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達していると判定して、ステップＳ２５８に進む。

ステップＳ２５８においては、コントローラ７０は、前記ＲＡＭ又は記憶装置に記憶した電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)、電流の方向データθixy(ｎ，ｍ)、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)及びＹ方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)（ｎ＝１〜Ｎ，ｍ＝１〜Ｍ）から表示用画像データを生成して、表示装置７２に画像データによって表された画像を表示する。この画像は、例えば、太陽電池セルＳＣの検査位置ごとに、電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)に応じて明度、色彩などを異ならせて表示するとともに、電流の方向データθixy(ｎ，ｍ)によって示された方向を示す矢印を表示する。また、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)及びＹ方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)に応じて明度、色彩などを異ならせて表示するとよい。なお、取出電極８１，８２がＸ方向に延設されていて、図６ＢのステップＳ１５０〜Ｓ１６２の処理によって変数ＣＨが“１”である場合には、表示装置７２における電流の大きさデータIxy(ｍ，ｎ)、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)及びＹ方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)（ｎ＝１〜Ｎ，ｍ＝１〜Ｍ）の表示状態を９０度回転させる。

また、本実施形態では、取出電極８１，８２の異常（取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良）を視覚判断できるように、取出電極８１，８２の対応位置及びその近傍位置（取出電極８１，８２の間であって取出電極８１，８２の近傍位置）のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)のみを、取出電極８１，８２ごと又は太陽電池セルＳＣごとに表示するようにするとよい。この場合、ステップＳ２２８の処理により抽出したＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)をそれぞれ記憶しておいて、取出電極８１，８２の近傍位置に関しては、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を表示装置７２で表示する。また、取出電極８１，８２の対応位置に関しては、前記値ｎｅ分だけ左側又は右側のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)を表示装置７２で表示する。さらに、取出電極８１，８２の近傍位置及び対応位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ，ｍ)を同時に表示してもよい。

前記ステップＳ２５８の処理後、コントローラ７０は、ステップＳ２６０にて、エラーデータＥｒ(ｔ，ｓ，ｅｐ)（ｔ＝１〜ｔmax，ｓ＝１〜ｓmax，ｅｐ＝１，２）の中に“１”を示すエラーデータが存在するかを調べる。“１”を示すエラーデータが存在しなければ、コントローラ７０は、ステップＳ２６０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２６２にて表示装置７２に「合格」を表示し、ステップＳ２７２にてこの評価プログラムの実行を終了する。一方、“１”を示すエラーデータが存在すると、コントローラ７０は、ステップＳ２６０にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２６４にて表示装置７２に「不合格」を表示し、ステップＳ２６６にて、エラーデータＥ（ｔ，ｓ，ｅｐ）が“１”である変数ｔ，ｓ，ｅｐを取り出して、前記表示した画像中の変数ｔ，ｓ，ｅｐによって指定される取出電極８１，８２を欠陥ありとして表示する。

次に、図６ＢのステップＳ１５６にて「Ｙｅｓ」と判定されて、図６ＦのステップＳ２６８，Ｓ２７０の処理に進められた場合について説明する。これらは、入力ミス、検査装置の異常などにより太陽電池セルＳＣの自動的な合否の判定が不能であったり、不能である可能性が高い場合である。この場合も、コントローラ７０は、ステップＳ２６８にて、前記ステップＳ２５８の処理と同様に、電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)、電流の方向データθixy(ｎ，ｍ)、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)及びＹ方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)（ｎ＝１〜Ｎ，ｍ＝１〜Ｍ）から表示用画像データを生成して、表示装置７２に画像データによって表された画像を表示する。

特に、可能であれば、取出電極８１，８２の異常（取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良）を視覚判断できるように、取出電極８１，８２の対応位置及びその近傍位置（取出電極８１，８２の間であって取出電極８１，８２の近傍位置）のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)のみを、取出電極８１，８２ごと又は太陽電池セルＳＣごとに表示するようにするとよい。この場合には、取出電極８１，８２の位置が検出されていないので、作業者が、表示装置７２の表示画面を見ながら、表示画像を移動させて取出電極８１，８２の対応位置及びその近傍位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を表示させる必要がある。

次に、コントローラ７０は、ステップＳ２７０にて、「取出電極８１，８２の合否判定は不能」である旨を表示装置７２に表示して、ステップＳ２７２にてこの評価プログラムの実行を終了する。

上記のように動作する太陽電池セル検査装置においては、発光素子５０は、発光信号供給回路６５及び光源駆動回路６６の駆動制御により、ステージ４０上に載置した太陽電池パネルＳＰの表面全体にわたって、所定周期で強度が変化する光を均等に照射する。そして、Ｘ方向及びＹ方向スライド機構２０，３０により、磁気センサ１０で太陽電池パネルＳＰの表面全体を走査し、センサ信号取出回路６７及びロックインアンプ６８が、太陽電池パネルＳＰに発電によって流れる電流により発生する磁界であって、前記所定周期と等しい周期で強度が変化する磁界を検出する。したがって、外乱光や、外部磁界が存在しても、コストを抑えたうえで、これらの影響を受けずに、太陽電池パネルＳＰに対向する複数の箇所で磁界を検出することができる。

そして、前記検出結果に基づいて、コントローラ７０は、ステップＳ１０〜Ｓ４１，Ｓ１００〜Ｓ１２４の処理により、太陽電池パネルＳＰに対向する複数の箇所における磁界の検出結果に基づいて、太陽電池パネルＳＰの複数の箇所における電流の大きさデータＩxy(ｎ，ｍ)、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)及びＹ方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)を計算する。そして、コントローラ７０は、ステップＳ１３０、Ｓ１７０〜Ｓ２１０の処理により、太陽電池パネルＳＰ上の複数の太陽電池セルＳＣの取出電極位置Ｂxy(ｎ，ｍ)を検出する。さらに、コントローラ７０は、ステップＳ２３０〜Ｓ２５６の処理により、取出電極８１，８２の近傍位置Ｂxy(ｎ＋ｎｅ，ｍ)のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)群ごとに、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)のＹ方向に沿った変化において、Ｘ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の変動が大きい部分の変動量を表す特性値として評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算し、この評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を用いて各太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良を検出する。そして、コントローラ７０は、ステップＳ２６０〜Ｓ２６６の処理により、表示装置７２に前記接続不良の有無を表示するので、作業者は前記接続不良を視覚的に確認できる。

また、ステップＳ２５８，Ｓ２６８の処理により、コントローラ７０は、太陽電池パネルＳＰ上の複数の太陽電池セルＳＣの取出電極位置Ｂxy(ｎ，ｍ)及びその近傍位置Ｂxy(ｎ＋ｎｅ，ｍ)のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)を表示装置７２に表示する。これにより、作業者は、太陽電池セルＳＣの取出電極位置Ｂxy(ｎ，ｍ)及びその近傍位置Ｂxy(ｎ＋ｎｅ，ｍ)のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ) ，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の分布を視覚を通じて認識でき、この分布の異常から太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良を判断できるようになる。

以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の実施にあたっては、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変形も可能である。

上記実施形態においては、発光素子５０から出射される光を太陽電池パネルＳＰに照射し、太陽電池パネルＳＰの発電によって太陽電池パネルＳＰに流れる電流によって発生される磁界を磁気センサ１０で検出するようにした。しかし、これに代えて、外部から太陽電池パネルＳＰの接続線９２，９３（図７参照）に、導線Ｌ１，Ｌ２を介して電圧を印加して、太陽電池パネルＳＰに電流を流すようにしてもよい。

この変形例においては、図１２に示すように、上記発光信号供給回路６５及び光源駆動回路６６に代えて、通電信号供給回路６５ａ及び通電回路６６ａを備えている。通電信号供給回路６５ａは、上記発光信号供給回路６５と同様に構成され、「０」を基準に正負に変化する正弦波信号を通電回路６６ａに供給するとともに、前記通電信号と同期して「０」を中心として正負に変化する矩形波信号をロックインアンプ６８に供給する。通電回路６６ａは、通電信号供給回路６５ａから供給される「０」を基準に正負に変化する正弦波信号に正のオフセット電圧を加算して、前記オフセット電圧を中心に正弦波状に変化して常に正の範囲内で変化する通電信号に変換して、太陽電池パネルＳＰの接続線９２，９３に導線Ｌ１，Ｌ２を介して供給する。具体的には、図７に示すように、導線Ｌ１を接続線９２に接続して正の範囲内で変化する通電信号を供給し、導線Ｌ２を接続線９３に接続して接地する。その他の構成は、上記実施形態と同じである。

これにより、この変形例では、図７の矢印とは逆向きに電流が流れ、すなわち導線Ｌ１から取出電極８１に向かって電流が流れるとともに、取出電極８２から導線Ｌ２に向かって電流が流れ、各太陽電池セルＳＣにおいては、取出電極８１から発電セル８３を介して取出電極８２に向かって電流が流れる。したがって、取出電極８１，８２に上記実施形態とは逆向きの電流が流れるが、この変形例においても、太陽電池セルＳＣに異常（取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良）が発生した場合には、図１０(Ｃ)(Ｄ)に示すように、取出電極８１，８２位置及びそれらの内側近傍位置にてＸ方向に流れる電流の大きさデータIｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の変動が大きくなる。ただし、このＸ方向に流れる電流及びＹ方向に流れる電流の向きは逆となる。そして、他の構成は上記実施形態と同じであるので、この変形例においても、上記実施形態と同様に、太陽電池セルＳＣの異常がコントローラ７０によって自動的に検出されるとともに、作業者が視覚的に判断できるようになる。また、この場合も、通電信号供給回路６５ａ、通電回路６６ａ、センサ信号取出回路６７及びロックインアンプ６８により、外乱光や、外部磁界が存在しても、これらの影響を受けずに、太陽電池パネルＳＰに対向する複数の箇所で磁界を検出することができる。

また、上記実施形態及び変形例では、取出電極８１，８２の内側近傍位置にてＸ方向に流れる電流の大きさデータＩｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の変動により太陽電池セルＳＣに異常（取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良）を検出するようにした。しかし、これに代えて、図１０(Ｃ)に示すように、太陽電池セルＳＣに異常（取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良）が発生すれば、取出電極８１，８２位置にてＸ方向に流れる電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)も変動するので、取出電極８１，８２位置にてＸ方向に流れる電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)の変動により太陽電池セルＳＣに異常（取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良）を検出するようにしてもよい。この場合、取出電極８１，８２の位置でもＸ方向の電流の大きさが「０」でないのは、取出電極８１，８２では常にＹ方向に電流は流れるが、取出電極８１，８２の近傍位置にてＸ方向に流れる電流が存在するために、取出電極８１，８２位置にて磁界から計算した電流にはＸ方向成分が含まれるためである。なお、この場合には、図６(Ｅ)のステップＳ２２２〜Ｓ２２６の処理が不要となるとともに、ステップＳ２２８においては電極位置座標群Ｂxy(ｎ，ｍ)に対応したＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)が抽出されるとともに、ステップＳ２３０の平均値Ｉavex(ｔ，ｓ，ｅｐ)及び評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)の計算においては前記抽出されたＸ方向の電流の大きさデータ群Ｉｘ(ｎ，ｍ)が利用される。

また、上記実施形態及び変形例では、複数の太陽電池セルＳＣを有する太陽電池パネルＳＰを検査するようにした。しかし、本発明は、これに代えて、太陽電池セルＳＣを個々に検査する検査装置にも適用できる。

また、上記実施形態及び変形例においては、Ｘ方向電極番号ｇｘ及びＹ方向電極番号ｇｙを電極位置座標Ｂxy(ｎ，ｍ)に割当てる図６Ｃ及び図６ＤのステップＳ１７０〜Ｓ２１０の処理において、電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)及びＸ方向の電流の大きさデータIｘ(ｎ，ｍ)を用いて取出電極８１，８２の位置を検出するようにした。しかし、取出電極８１，８２位置を流れる電流の向きはほぼＹ方向であるので、前記電流の大きさデータIxy(ｎ，ｍ)に代えて、Ｙ方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ，ｍ)を用いるようにしてもよい。

また、上記実施形態及び変形例では、図６ＡのステップＳ１０４〜Ｓ１１２の処理より、磁気センサ１０の検出位置のＸ方向磁気検出信号の極大値Ｈｘ、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｘ、Ｙ方向磁気検出信号の極大値Ｈｙ、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｙ、磁界の強さＨxy及び磁界の向きθxyを計算して、ステップＳ１１２，Ｓ１１４の処理により、磁気センサ１０の検出位置の電流の大きさＩxy(ｎ，ｍ)、前記電流の方向θixy(ｎ，ｍ)、Ｘ方向の電流の大きさＩｘ(ｎ，ｍ)及びＹ方向の電流の大きさＩｙ(ｎ，ｍ)を計算した。そして、Ｘ方向の電流の大きさＩｘ(ｎ，ｍ)を用いて、取出電極８１，８２に関する評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算して太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良を評価するようにした。しかし、電流の大きさＩｘは磁界の大きさＨｘyに比例しており、電流の方向は磁界の方向とπ／２異なるだけである。したがって、磁界に関する情報を電流に関する情報に変換しなくても、磁気センサ１０の各検出位置のＹ方向磁気検出信号の極大値Ｈｙを、上記実施形態のＸ方向の電流の大きさＩｘ(ｎ，ｍ)に代えて用いることにより、太陽電池セルＳＣの取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良に関する評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算して前記接続不良を評価するようにしてもよい。

また、上記実施形態及び変形例では、取出電極８１，８２の位置を自動的に検出し、検出した位置及びその近傍位置のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)に関する評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算して、取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良の有無を判定するようにした。しかし、これに代えて、作業者が表示装置７２に表示される電流分布の画像を見て取出電極８１，８２の位置をコントローラ７０に指示し、コントローラ７０がこの指示された位置及びその近傍のＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)に関する評価データを計算して、取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良の有無を判定するようにしてもよい。

また、コントローラ７０は、判定まで行わなくて、評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算して表示装置７２に表示し、作業者に取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良の有無を判定させるようにしてもよい。さらに、コントローラ７０は、評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)の計算も行わずに、取出電極８１，８２の位置及びその近傍位置のＸ方向の電流の大きさＩｘ(ｎ，ｍ)，Ｉｘ(ｎ＋ｎｅ，ｍ)の分布を画像で表示装置７２に表示し、作業者はこの表示を見て取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良の有無を判定するようにしてもよい。

また、上記実施形態及び変形例においては、磁気センサ１０を載置したセンサ支持台１１をＸ，Ｙ方向に移動するようにした。しかし、これに代えて、太陽電池パネルＳＰ又は太陽電池セルＳＣをセットするステージを複数の発光素子と共にＸ，Ｙ方向に移動するようにしてもよい。また、センサ支持台１１とステージ４０の双方がＸ，Ｙ方向に移動するようにしてもよい。さらには、磁気センサ１０及び太陽電池パネルＳＰ（又は太陽電池セルＳＣ）をセットするステージを移動させずに、多数の磁気センサ１０を、マトリクス状に配置するようにしてもよい。

また、検査対象物に電圧を印加する上記変形例の形態においては、磁気センサ１０を載置したセンサ支持台１１は検査対象物である太陽電パネルＳＰ又は太陽電池セルＳＣをセットするステージ４０の下を移動するようにしたが、ステージ４０の上を移動するようにしてもよい。この場合は、磁気センサ１０が検査対象物と対向するように、センサ支持台１１を下側に向ければよい。また、検査対象物に複数の発光素子から光を照射する上記実施形態においても、センサ支持台１１を移動させる機構により複数の発光素子から照射される光が遮光される影響を無視してよければ、センサ支持台１１を下側に向け、磁気センサ１０を載置したセンサ支持台１１をステージ４０の上を移動させるようにしてもよい。

また、上記実施形態及び変形例においては、取出電極８１，８２に関する評価データＢ(ｔ，ｓ，ｅｐ)，Ｃ(ｔ，ｓ，ｅｐ)を計算して、評価データの値によって取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続不良の有無を判定するようにした。しかし、太陽電池パネルＳＰ又は太陽電池セルＳＣの形状及び大きさが１つに限定されていれば、取出電極８１，８２に関するＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)の分布と共に、正常な取出電極８１，８２に関するＸ方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ，ｍ)の分布を表示して、作業者に対比観察により取出電極８１，８２と内部電極８６，８８との接続の合否判定を行わせるようにしてもよい。

また、上記実施形態においては、複数の発光素子（ＬＥＤ）５０をマトリクス状に配置した光源を利用したが、太陽電池パネルＳＰ又は太陽電池セルＳＣをセットするステージ４０上の光量が均一になるならば、どのような光源でもよく、蛍光灯、ランプ等の光源でもよい。

また、上記実施形態及び変形例では、磁気センサとして磁気抵抗素子（ＭＲ素子）を利用したが、これに代えて、ホール素子、磁気インピーダンス素子効果センサ、フラックスゲート、超伝導量子干渉素子などを利用するようにしてもよい。

ＳＰ…太陽電池パネル、ＳＣ…太陽電池セル、１０…磁気センサ、２０…Ｘ方向スライド機構、２５…Ｘ方向モータ、３０…Ｙ方向スライド機構、３４…Ｙ方向モータ、４０…ステージ、５０…発光素子、６２…Ｘ方向フィードモータ制御回路、６４…Ｙ方向フィードモータ制御回路、６５…発光信号供給回路、６５ａ…通電信号供給回路、６６…光源駆動回路、６６ａ…通電回路、６７…センサ信号取出回路、６８…ロックインアンプ、７０…コントローラ、７１…入力装置、７２…表示装置、８１，８２…取出電極、８３…発電セル、８６，８８…内部電極、９１〜９３…接続線

Claims (4)

1. 第１方向に沿って配置されるとともに直列接続されてなり、光の照射により発電する複数の発電セルと、
   前記第１方向とは直交する第２方向に延設されるとともに、前記複数の発電セルのうちの両端の一対の発電セルにそれぞれ内部電極を介して接続されて、前記複数の発電セルによって発電された電力を取出すための一対の長尺状の取出電極と
   を備えた太陽電池セルにおける、前記内部電極に対する前記一対の取出電極の接続不良を検査する太陽電池セル検査装置において、
   太陽電池セルに対向するように配置されて、太陽電池セルの各部に流れる電流によって発生される磁界を検出する磁気センサと、
   太陽電池セルに光を照射することにより太陽電池セルを発電動作させて太陽電池セルの各部に電流を流し、又は前記一対の取出電極に電圧を印加することにより太陽電池セルの各部に電流を流し、太陽電池セルの各部に流れる電流により発生されて前記磁気センサによって検出される磁界を表す磁界信号を取出す磁界信号取出手段と、
   前記取出された磁界信号に基づいて、前記一対の取出電極位置又はその近傍位置における前記第２方向の磁界の強さ又は前記第１方向の電流の大きさを検出する検出手段と、
   前記検出手段によって検出される前記一対の取出電極位置又はその近傍位置における前記第２方向の磁界の強さ又は前記第１方向の電流の大きさを、前記一対の取出電極位置又はその近傍位置の前記第２方向に沿って設定された間隔ごとに複数のグループに振り分け、前記振り分けたグループごとに前記第２方向の磁界の強さ又は前記第１方向の電流の大きさの変動量を表す特性値を計算する変動量特性値計算手段と、
   前記計算したグループごとの特性値の最大値が所定の許容値よりも大きいとき、異常を判定する判定手段と
   を設けたことを特徴とする太陽電池セル検査装置。
2. 請求項１に記載した太陽電池セル検査装置において、さらに、
   前記検出手段によって検出される前記一対の取出電極位置又はその近傍位置における前記第２方向の磁界の強さ又は前記第１方向の電流の大きさの分布を視覚的に示す画像を表示する表示手段を設けたことを特徴とする太陽電池セル検査装置。
3. 請求項１又は２に記載した太陽電池セル検査装置において、
   前記磁界信号取出手段を、
   太陽電池セルに所定周期で強度が変化する光を照射して太陽電池セルを発電動作させる光照射手段と、
   前記発電動作によって太陽電池セルの各部に流れる電流により発生されて前記磁気センサによって検出される磁界を表す磁界信号であって、前記所定周期で変化する磁界信号を取出す周期信号取出手段とで構成した太陽電池セル検査装置。
4. 請求項１又は２に記載した太陽電池セル検査装置において、
   前記磁界信号取出手段を、
   太陽電池セルの前記一対の取出電極に所定周期で変化する電圧を印加する電圧印加手段と、
   前記電圧の印加によって太陽電池セルの各部に流れる電流により発生されて前記磁気センサによって検出される磁界を表す磁界信号であって、前記所定周期で変化する磁界信号を取出す周期信号取出手段とで構成した太陽電池セル検査装置。

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