JP5240306B2

JP5240306B2 - 太陽電池検査装置

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Publication number: JP5240306B2
Application number: JP2011028145A
Authority: JP
Inventors: 孝之林
Original assignee: Pulstec Industrial Co Ltd
Current assignee: Pulstec Industrial Co Ltd
Priority date: 2011-02-14
Filing date: 2011-02-14
Publication date: 2013-07-17
Anticipated expiration: 2031-02-14
Also published as: JP2012169395A

Description

本発明は、太陽電池に光照射により電流を流し、流れる電流により発生する磁界を測定することで太陽電池の電極の接続不良を検出する太陽電池検査装置に関する。

従来から、例えば下記特許文献１に示されているように、太陽電池に光を照射することにより太陽電池に発電させ、この発電によって太陽電池の各部に流れる電流により発生する各部の磁界を磁気センサで測定し、各部の測定磁界を用いて太陽電池の電極の接続不良を検出する太陽電池検査装置は知られている。この太陽電池検査装置においては、太陽電池をステージ上に載置して太陽電池に対してその表面に光を照射するとともに、磁気センサを太陽電池の表面又は裏面に対向させながら太陽電池の表面又は裏面に沿って移動して、太陽電池の各部に流れる電流によって発生する各部の磁界を検出するようにしている。この場合、太陽電池を載置するステージの機構、磁気センサを移動させる機構などの問題により、例えば太陽電池が柔軟性に富んだシート状の部材で構成されていて太陽電池をステージに吸引するような複雑な機構を有する必要がある場合などのように、太陽電池に対して光を照射する側の表面に磁気センサを配置する必要が生じる場合がある。

特開２０１０−１７１０６５号公報

しかし、上記のように、太陽電池に光を照射する側に磁気センサを配置すると、磁気センサ及び磁気センサを支持する機構が太陽電池に光を照射するための光源と太陽電池との間に位置することになるので、前記磁気センサ及びその支持機構による影が太陽電池上に形成される。なお、光源を太陽電池の表面に平行に広く配置した場合には、鮮明な影は形成されないにしても、太陽電池の表面には明度に差がある明るい部分と暗い部分とが生じていることは間違いない。そして、太陽電池の表面に影が形成されたり、明度に差がある明るい部分と暗い部分とが生じたりして、太陽電池の表面に光が均一に照射されていない場合、すなわち太陽電池の表面の一部が暗い場合には、測定した磁界に基づく太陽電池の電極の接続不良が精度よく検出されない。これは、太陽電池の表面の一部の暗い部分が太陽電池の各部に流れる電流に影響を与えているものと考えられる。さらに、推定を加えると、光の照射が少ない部分では、他の部分に比べて抵抗値が大きく保たれて、電流が流れ難くなるものと推定される。

本発明は、この問題を解決するためになされたもので、太陽電池に光を照射することにより電流を流し、流れる電流により発生する磁界を測定することで太陽電池の電極の接続不良を検出する太陽電池検査装置において、太陽電池に光を照射する側に磁気センサを配置しても、太陽電池の電極の接続不良を精度よく検出することができる太陽電池検査装置を提供することにある。なお、下記本発明の各構成要件の記載においては、本発明の理解を容易にするために、実施形態の対応箇所の符号を括弧内に記載しているが、本発明の各構成要件は、実施形態の符号によって示された対応箇所の構成に限定解釈されるべきものではない。

上記目的を達成するために、本発明の特徴は、太陽電池（ＳＢ）を載置するためのステージ（２０）と、ステージに対向して配置されて、ステージ上に載置された太陽電池に対して発電のために光を照射する第１光照射手段（６０）と、第１光照射手段の光の照射による発電に基づいて太陽電池に流れる電流により発生される磁界を検出する磁気検出手段（１０）と、ステージと第１光照射手段との間に配置されて、磁気検出手段をステージに対向させて支持する支持部材（３１）とを備えた太陽電池検査装置において、支持部材に取付けられて、ステージ上に載置された太陽電池の支持部材と対向する領域に光を照射する第２光照射手段（５９）を設けたことにある。この場合、例えば、支持部材は、長尺状に形成され、かつ磁気検出手段は、支持部材にその長手方向に移動可能に支持されている。また、磁気検出手段は、支持部材の長手方向に配置された複数の磁気センサで構成されている。

前記のように構成した本発明の特徴によれば、支持部材に取付けられた第２光照射手段がステージ上に載置された太陽電池の支持部材と対向する領域に光を照射するので、支持部材及び磁気検出手段が発電のために光を照射する第１光照射手段と太陽電池と間に位置しても、支持部材及び磁気検出手段による影が太陽電池上に形成されたり、太陽電池の表面に明度に大きな差がある明るい部分と暗い部分とが生じたりすることがなくなる。このように太陽電池の表面に影を形成させないようにしたり、明度に大きな差がある明るい部分と暗い部分とを生じさせないようにしたりした結果、測定した磁界に基づいて太陽電池の電極の接続不良を精度よく検出できるようになった。このことは、実験によって確認されているとともに、太陽電池の表面の一部の暗い部分が太陽電池の各部に流れる電流に影響を与なくなるためであると推定される。

また、本発明の他の特徴は、さらに、支持部材に取付けられて、ステージ上に載置された太陽電池の支持部材と対向する領域に、第１光照射手段による光が照射されないように光を遮断する遮光部材（５１Ａ，５１Ｂ）を設けたことにある。

前記のように構成した本発明の特徴によれば、遮光部材がステージ上に載置された太陽電池の支持部材と対向する領域への第１光照射手段による光の照射を遮断するので、支持部材及び磁気検出手段による第１光照射手段の光の遮断による影響が全くなくなり、太陽電池の表面には明度に差がある明るい部分と暗い部分とが全くなくなる。したがって、測定した磁界に基づいて太陽電池の電極の接続不良をさらに精度よく検出できるようになった。このことも、実験によって確認されている。

本発明の他の特徴は、さらに、磁気検出手段によって検出された磁界を表す磁界信号に基づいて、太陽電池の電極又はその近傍の位置における電極の延設方向の磁界の強さ又は前記延設方向と直交する方向の電流の大きさを検出する検出手段（９０，Ｓ３０，Ｓ１０４，Ｓ１１４）とを設けたことにある。これによれば、アモルファス太陽電池の場合によくあるように、太陽電池セル内に単位セルを直列接続した太陽電池における電極の接続不良を精度よく検出できる。

本発明の他の特徴は、さらに、前記検出された磁界の強さ又は電流の大きさの変動が大きい部分の変動量を表す特性値を計算する変動量特性値計算手段（９０，Ｓ１４４〜Ｓ１５６）を設けたことにある。これによれば、前記太陽電池セル内に単位セルを直列接続した太陽電池における電極の接続不良を数値で検出できるので、前記電極の接続不良を自動検出できるようになる。

本発明の他の特徴は、さらに、磁気検出手段によって検出された磁界を表す磁界信号に基づいて、太陽電池の電極又はその近傍の位置における電極の延設方向の電流の大きさ又は前記延設方向と直交する方向の磁界の強さを検出する検出手段（９０，Ｓ３０，Ｓ１０４，Ｓ１１２，Ｓ１１４）とを設けたことにある。これによれば、結晶系太陽電池の場合によくあるように、太陽電池セル内には単位セルの直列接続はなく、太陽電池セル間を直列接続した太陽電池における電極の接続不良及び太陽電池セル間の接続不良を精度よく検出できる。

本発明の他の特徴は、さらに、前記検出された電流の大きさ又は磁界の強さの変動量を表す特性値を計算する変動量特性値計算手段（９０，Ｓ２６０〜Ｓ２７４）を設けたことにある。これによれば、前記太陽電池セル間を直列接続した太陽電池における電極の接続不良及び太陽電池セル間の接続不良を数値で検出できるので、前記電極の接続不良を自動検出できるようになる。

本発明の他の特徴は、第１光照射手段は、太陽電池に所定周期で強度が変化する光を照射し、前記磁気検出手段によって検出される磁界を表す磁界信号のうちで、前記所定周期で変化する磁界信号を取出して検出手段に供給する周期信号取出手段を設けたことにある。これによれば、外乱光、地磁気など影響を受けることなく、第１光照射手段による太陽電池への光の照射に基づいて太陽電池に流れる電流によって発生される磁界のみを検出することができて、高精度で太陽電池の電極の接続不良を検出できるようになる。

なお、本明細書においては、単に「電流の大きさ」なる表現は、方向を問題とすることなく電流の絶対的な大きさを示す。そして、特定方向の電流の大きさに関しては、方向を特定したうえで電流の大きさを表現する。例えば、「Ｘ軸方向の電流の大きさ」、「Ｙ軸方向の電流の大きさ」などと表現する。また、この点は、磁界の強さに関しても同じである。

本発明の一実施形態に係る太陽電池検査装置の全体構成図である。図１のステージ、Ｘ方向移動機構及びＹ方向移動機構を含む磁界検出機構の概略斜視図である。上カバー内が見える状態にして、図２のＸ方向移動機構のＸ軸方向の両端部分を示す概略図である。遮光カーテンを上げた状態において、移動部材の位置する部分のＸ方向移動機構のＹ−Ｚ平面に平行な断面図である。遮光カーテンを下げた状態において、移動部材の位置する部分のＸ方向移動機構のＹ−Ｚ平面に平行な断面図である。 (Ａ)は太陽電池の面積がステージの上面の面積よりも小さい場合における太陽電池のステージ上への載置例を示す図であり、(Ｂ)は太陽電池の面積がステージの上面の面積よりも大きい場合における太陽電池のステージ上への載置例を示す図である。図１の磁気センサ及びセンサ信号取出回路の詳細回路ブロック図である。図１のロックインアンプの詳細回路ブロック図である。図1のコントローラによって実行されるデータ取得プログラムを示すフローチャートである。図1のコントローラによって実行される評価プログラムの先頭部分を示すフローチャートである。図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図９Ａに続く部分を示すフローチャートである。図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図９Ｂに続く部分を示すフローチャートである。図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図９Ａに続く他の部分を示すフローチャートである。図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図９Ｄに続く部分を示すフローチャートである。図1のコントローラによって実行される評価プログラムの図９Ｅに続く部分を示すフローチャートである。第１タイプの太陽電池の一例を示す概略平面図である。図１０の太陽電池に含まれる１つの太陽電池セルの概略平面図である。図１１ＡのＢ−Ｂ線に沿って見た太陽電池セルの拡大断面図である。第１タイプの太陽電池セルに異常が発生した場合における電流の大きさの変化を説明するための説明図である。第２タイプの太陽電池の一例を示す概略平面図である。図１３の太陽電池に含まれる１つの太陽電池セルの概略断面図である。図１３の太陽電池セルの接続状態を説明するための概略図である。図１３の太陽電池のバスバー電極位置の検出を説明するための説明図である。 (Ａ)は接続線を介したバスバー電極と裏面電極との接続状態を説明するための説明図であり、(Ｂ)はバスバー電極及び接続線に流れる電流の大きさを示すグラフである。第２タイプの太陽電池セルの電極に異常が発生した場合における電極方向の電流の大きさの変化を説明するための説明図である。第２タイプの太陽電池セルの電極に他の異常が発生した場合における電極方向の電流の大きさの変化を説明するための説明図である。第２タイプの太陽電池セルの電極にさらに他の異常が発生した場合における電極方向の電流の大きさの変化を説明するための説明図である。

ａ．構成例
以下、本発明の一実施形態に係る太陽電池検査装置の構成例について図面を用いて説明する。図1は、この太陽電池検査装置の全体概略図である。図２は、測定対象である太陽電池ＳＢの各部に流れる電流によって発生する磁界を検出するための磁界検出機構の概略斜視図である。この太陽電池検査装置は、詳しくは後述する磁気センサ１０に対向して配置されて太陽電池ＳＢを載置するためのステージ２０と、磁気センサ１０をＸ軸方向に移動させるためのＸ方向移動機構３０と、磁気センサ１０を含むＸ方向移動機構３０をＹ軸方向に移動させるためのＹ方向移動機構４０とを備えている。

ステージ２０は、方形状に形成されている。ステージ２０の表面には多数の微小孔が形成されており、これらの多数の微小孔は共通にバキュームポンプ２１に連通している。そして、バキュームポンプ２１を作動させると、ステージ２０の上面に載置された太陽電池ＳＢが微小孔を介して吸引されるようになっている。これは、後述するように、太陽電池ＳＢの中には柔軟性に富んだシート状に形成されているものもあり、このようなシート状の太陽電池ＳＢを単にステージ２０上に載置しただけでは、シート状の太陽電池ＳＢの表面に凹凸が生じて後述する磁界測定が精度よく行われないことがあるためである。このような場合は、本実施形態のように、バキュームポンプ２１でシート状の太陽電池ＳＢを吸引すれば、太陽電池ＳＢがステージ２０上に吸着され、太陽電池ＳＢの表面の高さが均一になるために、後述する磁界測定の精度が良好になる。

なお、この種のシート状の太陽電池ＳＢには様々な大きさのものが存在する。そして、シート状の太陽電池ＳＢをステージ２０上にセットして、バキュームポンプ２１を作動させる場合、太陽電池ＳＢがステージ２０の上面の面積より小さければ、図５(Ａ)に示すように、ステージ２０上の太陽電池ＳＢが存在しない部分には、別の平板Ｈを置くようにするとよい。また、シート状の太陽電池ＳＢがステージ２０の上面の面積より大きい場合には、図５(Ｂ)に示すように、太陽電池ＳＢの検査を行う部分をステージ２０上に置き、それ以外の部分を巻いたりしてステージ２０の下方に置けばよい。なお、ステージ２０はシート状の太陽電池ＳＢをセットするための構造であるが、この太陽電池検査装置は、他の種類の太陽電池ＳＢ（例えば、硬質の太陽電池ＳＢ）をステージ２０にセットして検査することも可能である。

Ｘ方向移動機構３０は、図３のＸ方向移動機構のＸ軸方向の両端部分を示す概略図、並びに図４Ａ及び図４ＢのＸ方向移動機構の断面図に示すように、Ｘ軸方向に延設された長尺状の支持部材３１を有する。支持部材３１の両端近傍には、下方に突出した方形状の凸部３１Ａ，３１Ｂを有する。支持部材３１の凸部３１Ａ，３１Ｂは、Ｙ方向移動機構４０を構成するＹ軸方向に延設された一対の支持部材４１，４２の上面に設けた溝４１ａ，４２ａ内にＹ軸方向に摺動可能に侵入している。支持部材４１，４２の溝４１ａ，４２ａは、支持部材４１，４２に延設方向（Ｙ軸方向）に沿って断面方形状に形成されている。支持部材４１，４２の下部には幅広の底部４１ｂ，４２ｂがそれぞれ設けられ、支持部材４１，４２は底部４１ｂ，４２ｂによりステージ２０のＸ軸方向両側に安定して設置されるようになっている。

支持部材４１の溝４１ａ内には、Ｙ軸方向に延設されて支持部材３１の凸部３１Ａを貫通する雄ねじ４３が収容されている。支持部材３１の凸部３１Ａ内には、雄ねじ４３に螺合した図示しないナットが組み込まれており、雄ねじ４３の回転により、支持部材３１がＹ軸方向に移動するようになっている。すなわち、雄ねじ４３と支持部材３１の凸部３１Ａ内に組み込まれたナットにより、ボールねじ機構が構成されている。雄ねじ４３の一端は、支持部材４１の一端に組み付けたＹ方向モータ４４の回転軸に連結され、雄ねじ４３の他端は支持部材４１の他端に回転可能に支持されている。これにより、Ｙ方向モータ４４の回転により雄ねじ４３が軸線周りに回転して、支持部材３１がＹ軸方向に移動する。

Ｘ方向移動機構３０の支持部材３１には、Ｘ軸方向の両端部分を除いて、断面方形状に形成されて下方に開口されるとともにＸ軸方向に延設された凹部３１ａが設けられている。この支持部材３１の凹部３１ａの前後方向内側面（Ｙ軸方向内側面）には、同一高さ位置にて断面方形状の溝３１ｂ，３１ｃがＸ軸方向に延設されて形成されている。これらの溝３１ｂ，３１ｃには、方形状に形成した移動部材３２の両側部に設けた方形状の凸部３２ａ，３２ｂが摺動可能に係合している。移動部材３２の下面には、磁気センサ１０がステージ２０に対向するように固定されている。

支持部材３１のＸ軸方向両端部にはＸ軸方向に延設された貫通孔３１ｄ，３１ｅも設けられており、これらの貫通孔３１ｄ，３１ｅ及び前述した凹部３１ａ内には、Ｘ軸方向に延設されて移動部材３２を貫通する雄ねじ３３が収容されている。移動部材３２内には、Ｙ軸方向に延設されて雄ねじ３３に螺合した図示しないナットが組み込まれており、雄ねじ３３の回転により、移動部材３２がＸ軸方向に移動するようになっている。すなわち、雄ねじ３３と移動部材３２内に組み込まれたナットにより、ボールねじ機構が構成されている。雄ねじ３３の一端は、支持部材３１の一端に組み付けたＸ方向モータ３４の回転軸に連結され、雄ねじ３３の他端は支持部材３１の他端に設けた支持部３１ｆに回転可能に支持されている。これにより、Ｘ方向モータ３４の回転により雄ねじ３３が軸線周りに回転して、移動部材３２が磁気センサ１０と共にＸ軸方向に移動する。

支持部材３１の側面上部には、軸線方向（Ｘ軸方向）に沿って、外側（Ｙ軸方向両側）にそれぞれ延設された薄板上の延設部３１ｇ、３１ｈが設けられている。これらの延設部３１ｇ，３１ｈの下面には、遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂの上端がＸ軸方向に沿ってそれぞれ固着されている。これらの遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂは、光を遮断する柔軟性材料で構成されており、図４Ｂに示すように、太陽電池ＳＢ上に下げられた状態では、移動部材３２の下方に位置する太陽電池ＳＢの表面への外部からの光の侵入が遮られる。この遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂは、支持部材３１上に固定されたカーテン用モータ５２により上下動されるようになっている。

カーテン用モータ５２の出力軸は、ギア５３ａ，５３ｂを介して回転軸５４に接続されている。回転軸５４は、その両端にて、支持部材３１に設けた支持部３１ｉ，３１ｊに回転可能に支持されている。回転軸５４の外周上には円柱状の巻取りローラ５５が固定されており、巻取りローラ５５は回転軸５４と一体的に軸線周りに回転する。巻取りローラ５５の軸線方向すなわちＸ軸方向には、適当な間隔をおいて複数組の巻取りワイヤ５６Ａ，５６Ｂの各一端がそれぞれ固定されている。これらの複数組の巻取りワイヤ５６Ａ，５６Ｂの各他端は、支持部材３１に固定した複数組のローラ５７Ａ，５７Ｂを介して下方に延設されるとともに、支持部材３１の延設部３１ｇ、３１ｈに設けた貫通孔を介してさらに下方に延設されている。巻取りワイヤ５６Ａ，５６Ｂの下端は、遮光カーテン５１Ａ、５１Ｂの下端に固定したストッパ５８Ａ，５８Ｂに固定されている。ストッパ５８Ａ，５８Ｂは、硬質かつある程度大きな質量を有する絶縁材料で形成されて、遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂの長さだけＸ軸方向に延設されている。したがって、巻取りローラ５５を図４Ａ及び図４Ｂにてカーテン用モータ５２側から見て時計方向に回転させれば、遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂは図４Ａに示すように巻き上げられる。一方、巻取りローラ５５を図４Ａ及び図４Ｂにて同方向から見て反時計方向に回転させれば、遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂは図４Ｂに示すように下げられる。また、巻取りローラ５５には、遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂを最大限に巻き上げた状態及び最大限に下げた状態で、巻取りローラ５５の回転が禁止される図示しないストッパが設けられている。

支持部材３１の両側底面には、所定の間隔をおいて複数の発光素子（ＬＥＤ）５９が固定されている。この発光素子５９は、太陽電池ＳＢに対する光の照射量が減少した箇所における抵抗値が他に比べて高くならないようにするもので、Ｘ方向移動機構３０による影に起因した抵抗値の増大に影響、特に遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂによる遮光時に前記照射量の減少した箇所の抵抗値が高くならないようにするためのものである。言い換えれば、この発光素子５９による太陽電池ＳＢへの照射は、太陽電池ＳＢに発電させる目的ではなく、太陽電池ＳＢの照射量の減少した箇所の抵抗値が他に比べて高くならないようにするためのものであるので、発光素子５９による光の照射強度は後述する発電のための発光素子６０に比べれば微弱であってもよい。

ふたたび図１の説明に戻ると、ステージ２０の上面に対向する位置であって、Ｘ方向移動機構３０よりもさらに上方の位置には、複数の発光素子（ＬＥＤ）６０が配置されている。複数の発光素子６０はマトリクス状に配置されて、太陽電池ＳＢをステージ２０上に載置した状態で、太陽電池全体に均一な光量（すなわち強度）の光が照射されるようになっている。

バキュームポンプ２１には、ポンプ駆動回路７１が接続されている。ポンプ駆動回路７１は、後述するコントローラ９０による指示により、バキュームポンプ２１の作動開始及び作動停止を制御する。

Ｘ方向モータ３４内には、Ｘ方向モータ３４の回転を検出して、その回転を表す回転信号を出力するエンコーダ３４ａが組み込まれている。この回転信号は、Ｘ方向モータ３４が所定の微少角度だけ回転するたびにハイレベルとローレベルとを交互に切替えるパルス列信号であって、回転方向を識別するために互いにπ／２だけ位相のずれたＡ相信号とＢ相信号とで構成される。回転信号は、Ｘ方向位置検出回路７２及びＸ方向フィードモータ制御回路７３に出力される。Ｘ方向位置検出回路７２は、前記回転信号のパルス数をＸ方向モータ３４の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値からＸ方向モータ３４による移動部材３２のＸ軸方向位置（すなわち磁気センサ１０のＸ軸方向位置）を検出し、検出したＸ軸方向位置をＸ方向フィードモータ制御回路７３及び後述するコントローラ９０に出力する。Ｘ方向フィードモータ制御回路７３は、コントローラ９０の指示により、Ｘ方向モータ３４の駆動及び停止を制御する。このＸ方向モータ３４の駆動時においては、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３は、エンコーダ３４ａからの回転信号を用いてＸ方向モータ３４を所定の回転速度で回転させる。

Ｘ方向位置検出回路７２におけるカウント値の初期設定は、電源投入時にコントローラ９０の指示によって行われる。すなわち、コントローラ９０は、電源投入時に、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３に移動部材３２の初期位置に対応したＸ軸方向限界位置への移動、及びＸ方向位置検出回路７２に初期設定を指示する。この指示により、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３は、Ｘ方向モータ３４を駆動して移動部材３２を初期位置に対応したＸ軸方向限界位置まで移動させる。Ｘ方向位置検出回路７２は、移動部材３２のＸ軸方向への移動中、Ｘ方向モータ３４内のエンコーダ３４ａからの回転信号を入力し続けている。そして、移動部材３２が初期位置に対応したＸ軸方向限界位置まで達してＸ方向モータ３４の回転が停止すると、Ｘ方向位置検出回路７２はエンコーダ３４ａからの回転信号の入力停止を検出して、カウント値を「０」にリセットする。このとき、Ｘ方向位置検出回路７２は、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３に出力停止のための信号を出力し、これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３はＸ方向モータ３４への駆動信号の出力を停止する。その後に、Ｘ方向モータ３４が駆動された際には、Ｘ方向位置検出回路７２は、回転信号のパルス数をＸ方向モータ３４の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値に基づいて移動部材３２のＸ軸方向位置を計算し、計算したＸ軸方向位置をＸ方向フィードモータ制御回路７３及びコントローラ９０に出力し続ける。

Ｙ方向モータ４４内には、Ｙ方向モータ４４の回転を検出して、前記Ｘ方向モータ３４と同様に、その回転を表す回転信号を出力するエンコーダ４４ａが組み込まれている。この回転信号は、Ｙ方向位置検出回路７４及びＹ方向フィードモータ制御回路７５に出力される。Ｙ方向位置検出回路７４は、前記回転信号のパルス数をＹ方向モータ４４の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値からＹ方向モータ４４による移動部材３２のＹ軸方向位置（すなわち磁気センサ１０のＹ軸方向位置）を検出し、検出したＹ軸方向位置をＹ方向フィードモータ制御回路７５及びコントローラ９０に出力する。Ｙ方向フィードモータ制御回路７５は、コントローラ９０の指示により、前記Ｘ方向フィードモータ制御回路７３の場合と同様に、Ｙ方向モータ４４の駆動及び停止を制御する。

Ｙ方向位置検出回路７４におけるカウント値の初期設定も、電源投入時にコントローラ９０の指示によって行われる。すなわち、コントローラ９０は、電源投入時に、Ｙ方向フィードモータ制御回路７５に移動部材３２の初期位置に対応したＹ軸方向限界位置への移動、及びＹ方向位置検出回路７４に初期設定を指示する。この指示により、Ｙ方向フィードモータ制御回路７５は、Ｙ方向モータ４４を駆動して移動部材３２を初期位置に対応したＹ軸方向限界位置まで移動させる。Ｙ方向位置検出回路７４は、移動部材３２のＹ軸方向への移動中、Ｙ方向モータ４４内のエンコーダ４４ａからの回転信号を入力し続けている。そして、移動部材３２が初期位置に対応したＹ軸方向限界位置まで達してＹ方向モータ４４の回転が停止すると、Ｙ方向位置検出回路７４はエンコーダ４４ａからの回転信号の入力停止を検出して、カウント値を「０」にリセットする。このとき、Ｙ方向位置検出回路７４は、Ｙ方向フィードモータ制御回路７５に出力停止のための信号を出力し、これにより、Ｙ方向フィードモータ制御回路７５はＹ方向モータ４４への駆動信号の出力を停止する。その後に、Ｙ方向モータ４４が駆動された際には、Ｙ方向位置検出回路７４は、回転信号のパルス数をＹ方向モータ４４の回転方向に応じてカウントアップ又はカウントダウンし、そのカウント値に基づいて移動部材３２のＹ軸方向位置を計算し、計算したＹ軸方向位置をＹ方向フィードモータ制御回路７５及びコントローラ９０に出力し続ける。

カーテン用モータ５２内にも、カーテン用モータ５２の回転を検出して、前記Ｘ方向モータ３４及びＹ方向モータ４４と同様に、その回転を表す回転信号を出力するエンコーダ５２ａが組み込まれている。この回転信号は、遮光カーテン用モータ駆動回路７６に出力される。遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、コントローラ９０による指示により、遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂを巻上げ及び巻下げのためにカーテン用モータ５２の駆動を制御する。具体的には、コントローラ９０から遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂの巻上げの指示があった場合には、遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、図４Ａ及び図４Ｂにて巻取りローラ５５がカーテン用モータ５２側から見て時計方向に回転するようにカーテン用モータ５２の回転を開始させる。一方、コントローラ９０から遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂの巻下げの指示があった場合には、遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、図４Ａ及び図４Ｂにて巻取りローラ５５が同方向から見て反時計方向に回転するようにカーテン用モータ５２の回転を開始させる。これらの回転開始後、遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、エンコーダ５２ａからの回転信号の入力停止によりカーテン用モータ５２の回転停止を制御する。すなわち、上述のように、巻取りローラ５５にはストッパが設けられていて、遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂを最大限に巻き上げた状態及び最大限に巻き下げた状態で巻取りローラ５５の回転が停止されるので、この状態では、エンコーダ５２ａからの回転信号が遮光カーテン用モータ駆動回路７６には入力されなくなる。したがって、遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、この回転信号の入力停止を検出して、前記遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂの巻上げた状態及び巻下げた状態でカーテン用モータ５２への駆動信号の出力を停止させることができる。

この太陽電池検査装置は、さらに、発光信号供給回路８１、第１光源駆動回路８２、センサ信号取出回路８３、ロックインアンプ８４、第２光源駆動回路８５及びコントローラ９０を備えている。発光信号供給回路８１は、正弦波発振器及び矩形波変換回路を含み、コントローラ９０によって作動制御されて、正弦波発振器によって発振される正弦波信号を発光制御信号として第１光源駆動回路８２に供給する。なお、発光制御信号は、「０」を基準に正負に変化する信号であり、その周波数は、例えば数１０ヘルツから数１００ヘルツ程度である。また、発光信号供給回路８１は、前記正弦波信号からなる発光制御信号を矩形波変換回路による変換により、前記発光制御信号と同期して「０」を中心として正負に変化する矩形波信号を生成して、参照信号としてロックインアンプ８４に出力する。第１光源駆動回路８２も、コントローラ９０によって作動制御されて、前記供給された発光制御信号によって複数の発光素子６０を同時に発光制御する。発光素子６０は、前記発光制御信号に同期して正弦波状に変化する発光強度で太陽電池ＳＢの表面を照射する。

次に、磁気センサ１０について説明しておく。磁気センサ１０は、図６に示すように、Ｘ軸方向の磁界を検出するＸ方向磁気センサ１０Ａと、Ｙ軸方向の磁界の変化を検出するＹ方向磁気センサ１０Ｂとを備えている。Ｘ方向磁気センサ１０Ａは、抵抗ｒ11，ｒ12，ｒ13及び磁気抵抗素子ＭＲ１からなるブリッジ回路で構成されており、抵抗ｒ11，ｒ13の接続点と、抵抗ｒ12及び磁気抵抗素子ＭＲ１の接続点との間に、センサ信号取出回路８３の後述する定電圧供給回路８３ａから電圧＋Ｖ，−Ｖが印加されるようになっている。また、Ｘ方向磁気センサ１０Ａにおいては、抵抗ｒ13及び磁気抵抗素子ＭＲ１の接続点と、抵抗ｒ11，ｒ12間の接続点との間の電圧をＸ方向磁気検出信号として出力する。抵抗ｒ11，ｒ12，ｒ13の値は同じであり、磁界の強さが「０」であるときの磁気抵抗素子ＭＲ１の抵抗値に等しい。これにより、ほぼ「０」を基準としたＸ軸方向の磁界の正負の変化により、Ｘ方向磁気検出信号はほぼ「０」を基準にＸ軸方向の磁界の大きさに比例して正負に変化する電圧信号となる。

Ｙ方向磁気センサ１０Ｂは、抵抗ｒ21，ｒ22，ｒ23及び磁気抵抗素子ＭＲ２からなるブリッジ回路で構成されており、抵抗ｒ21，ｒ22の接続点と、抵抗ｒ23及び磁気抵抗素子ＭＲ２の接続点との間に、センサ信号取出回路８３の後述する定電圧供給回路８３ｂから電圧＋Ｖ，−Ｖが印加されるようになっている。また、Ｙ方向磁気センサ１０Ｂにおいては、抵抗ｒ22及び磁気抵抗素子ＭＲ２の接続点と、抵抗ｒ21，ｒ23間の接続点との間の電圧をＹ方向磁気検出信号として出力する。抵抗ｒ21，ｒ22，ｒ23の値は同じであり、磁界の強さが「０」であるときの磁気抵抗素子ＭＲ２の抵抗値に等しい。これにより、ほぼ「０」を基準としたＹ軸方向の磁界の正負の変化により、Ｙ方向磁気検出信号はほぼ「０」を基準にＹ軸方向の磁界の大きさに比例して正負に変化する電圧信号となる。

センサ信号取出回路８３は、定電圧供給回路８３ａ，８３ｂ及び増幅器８３ｃ，８３ｄを備えている。定電圧供給回路８３ａ，８３ｂは、コントローラ９０からの指示により、Ｘ方向磁気センサ１０Ａ及びＹ方向磁気センサ１０Ｂに対して、定電圧＋Ｖ，−Ｖを供給する。増幅器８３ｃ、８３ｄは、Ｘ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号をそれぞれ増幅してロックインアンプ８４に出力する。

ロックインアンプ８４は、図７に詳細に示すように、Ｘ方向磁気センサ１０Ａから増幅器８３ｃを介して供給されるＸ方向磁気検出信号を入力するハイパスフィルタ８４ａと、Ｙ方向磁気センサ１０Ｂから増幅器８３ｄを介して供給されるＹ方向磁気検出信号を入力するハイパスフィルタ８４ｂとを備えている。ハイパスフィルタ８４ａ，８４ｂは、Ｘ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号に含まれる、磁界の強さに比例した信号成分以外の不要な成分を取り除くとともに、信号をグランドレベルを中心に変化するようにする。

ハイパスフィルタ８４ａの出力は、増幅器８４ｃを介して位相検波回路８４ｄ，８４ｅに供給される。位相検波回路８４ｄ，８４ｅは、それぞれ乗算器によって構成されている。位相検波回路８４ｄは、ハイパスフィルタ８４ａ及び増幅器８４ｃを介して供給されるＸ方向磁気検出信号に、発光信号供給回路８１からの参照信号を乗算してローパスフィルタ８４ｆに出力する。位相検波回路８４ｅは、ハイパスフィルタ８４ａ及び増幅器８４ｃを介して供給されるＸ方向磁気検出信号に、発光信号供給回路８１からの参照信号を位相シフト回路８４ｇで９０度位相を遅らせた遅延参照信号を乗算してローパスフィルタ８４ｈに出力する。これにより、ローパスフィルタ８４ｆにはＸ方向磁気検出信号の発光制御信号（参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ８４ｆは供給された成分信号をローパスフィルタ処理してＸ方向磁気検出信号の発光制御信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。ローパスフィルタ８４ｈにはＸ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号（遅延参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ８４ｈは供給された成分信号をローパスフィルタ処理してＸ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。

ハイパスフィルタ８４ｂの出力は、増幅器８４ｉを介して位相検波回路８４ｊ，８４ｋに供給される。位相検波回路８４ｊ，８４ｋには、ローパスフィルタ８４ｍ，８４ｎが接続されている。位相検波回路８４ｊ，８４ｋ及びローパスフィルタ８４ｍ，８４ｎは、前述した位相検波回路８４ｄ，８４ｅ及びローパスフィルタ８４ｆ，８４ｈと同様に構成されている。これにより、ローパスフィルタ８４ｍにはＹ方向磁気検出信号の発光制御信号（参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ８４ｍは供給された成分信号をローパスフィルタ処理してＹ方向磁気検出信号の発光制御信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。ローパスフィルタ８４ｎにはＹ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号（遅延参照信号）と同期した成分が供給され、ローパスフィルタ８４ｎは供給された成分信号をローパス処理してＹ方向磁気検出信号の発光制御信号よりも９０度位相を遅らせた信号と同期した成分の大きさを表す信号を出力する。ローパスフィルタ８４ｆ，８４ｈ，８４ｍ，８４ｎは、Ａ／Ｄ変換器８４ｏ，８４ｐ，８４ｑ，８４ｒにそれぞれ接続されている。Ａ／Ｄ変換器８４ｏ，８４ｐ，８４ｑ，８４ｒは、所定の時間間隔ごとに、ローパスフィルタ８４ｆ，８４ｈ，８４ｍ，８４ｎからの信号をそれぞれＡ／Ｄ変換してコントローラ９０に供給する。

ふたたび図１の説明に戻り、第２光源駆動回路８５は、コントローラ９０により指示されて、複数の発光素子５９を同時に点灯させる。この場合、複数の発光素子５９を点灯制御する駆動信号は、直流信号でもよいし、発光信号供給回路８１が出力する信号の周期とは異なった周期の信号でもよい。また、上述のように、発光素子５９による太陽電池ＳＢへの照射は、太陽電池ＳＢに発電させる目的ではなく、太陽電池ＳＢの発光素子６０の光の照射量が減少した箇所の抵抗値が他に比べて高くならないようにするためのものであるので、駆動信号の大きさは第１光源駆動回路８２に比べて微弱であってもよい。

コントローラ９０は、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭを備えたマイクロコンピュータと、ハードディスクや不揮発性メモリなどの記憶装置と、入出力インタフェース等から構成される電子制御装置である。コントローラ９０は、記憶装置に記憶された図８のデータ取得プログラム及び図９Ａ乃至図９Ｆの評価プログラムを実行してこの太陽電池検査装置の動作を制御する。コントローラ９０には、作業者が各種パラメータや処理等を指示するための入力装置９１と、作業者に対して作動状況等を視覚的に知らせるための表示装置９２とが接続されている。

ｂ．太陽電池例
次に、本実施形態に係る太陽電池検査装置によって検査される太陽電池ＳＢの構成について、２種類のタイプを例にして説明しておく。第１タイプの太陽電池ＳＢは、アモルファス太陽電池の場合がよくあるように、太陽電池ＳＢを構成する複数の太陽電池セルＳＣ内にそれぞれ電池の直列接続構造を有するものである。また、第２タイプの太陽電池ＳＢは、結晶系太陽電池の場合によくあるように、前記電池の直列接続構造を有さないものである。まず、第１タイプの太陽電池ＳＢについて説明すると、この太陽電池ＳＢは、図１０に示すように、マトリクス状に配置された多数の太陽電池セルＳＣが、基板１００上に固定されている。本実施形態では、Ｘ軸方向にｓmax個、Ｙ軸方向にｔmax個の太陽電池セルＳＣが配置されているものとする。

各太陽電池セルＳＣは、図１１Ａ及び図１１Ｂに示すように、方形状に形成され、外部に電力を取出すための長尺状の一対の取出電極（正電極及び負電極）１０１，１０２を上面にて平行に延設させており、一対の取出電極１０１，１０２の間を前記取出電極１０１，１０２と同一方向に延設させた複数の発電セル１０３を直列接続した構造を有している。各発電セル１０３は、表面電極１０３ａ、半導体層１０３ｂ及び裏面電極１０３ｃからなる。半導体層１０３ｂは、図示左側をＰ層とするとともに図示右側をＮ層としており、発生電流は裏面電極１０３ｃから表面電極１０３ａの方向に流れる。隣り合う発電セル１０３，１０３間は、一方の表面電極１０３ａと他方の裏面電極１０３ｃが導電層１０４によって電気的に接続され、かつ絶縁層１０５によって絶縁されている。一端（図示上側端）の発電セル１０３の表面電極１０３ａは、導電層からなる内部電極１０６を介して取出電極１０１に接続され、この発電セル１０３の外側には絶縁層１０７ａが設けられている。他端（図示下側端）の発電セル１０３の裏面電極１０３ｃは、導電層からなる内部電極１０８を介して取出電極１０２に接続されており、この発電セル１０３の外側には絶縁層１０７ｂが設けられている。この太陽電池セルＳＣの上面はガラス層１０９で覆われており、取出電極１０１，１０２は、内部電極１０６，１０８に導電性ペースト又は半田により接続されている。

そして、図１０に示すように、Ｘ軸方向に配置されたｓmax個の太陽電池セルＳＣの各電極１０１，１０２は接続線１１１でそれぞれ直列に接続され、この直列に接続されたｓmax個の電極１０１，１０２は接続線１１２，１１３によりそれぞれ並列に接続されている。そして、接続線１１２，１１３から電力が出力されるようになっている。なお、この太陽電池セルＳＣの検査の場合には、接続線１１２，１１３間に後述する抵抗Ｒcsが導線Ｌ１，Ｌ２を介して接続される。そして、電流は図示矢印の方向に流れる。

次に、第２タイプの太陽電池ＳＢについて説明すると、この太陽電池ＳＢも、図１３に示すように、マトリクス状に配置された多数の太陽電池セルＳＣが、基板２００上に固定されている。この場合も、Ｘ軸方向にｓmax個、Ｙ軸方向にｔmax個の太陽電池セルＳＣが配置されているものとする。各太陽電池セルＳＣは、例えば図１４Ａの拡大概略断面図に示すように、裏面電極２０１、ｐ＋形層２０２、ｐ形層２０３、ｎ形層２０４及び反射防止膜２０５を積層して構成されている。また、太陽電池セルＳＣは、平板状かつ長尺状に形成され等間隔で横方向に配列された複数のグリッド電極（受光面電極）２０６を備え、グリッド電極２０６の下端面はｎ形層２０４に接続されて上端面を上方に突出させている。複数のグリッド電極２０６の上端面には、棒状に形成した一対のバスバー電極２０７がそれらの下面にて接続されている。

そして、Ｘ軸方向に配置されたｓmax個の太陽電池セルＳＣは直列に接続され、この直列に接続されたｓmax個の太陽電池セルＳＣからなるｔmax組の太陽電池セルＳＣ群がそれぞれ並列に接続されている。この場合、Ｘ軸方向に配置されたｓmax個の太陽電池セルＳＣにおいては、図１４Ｂに示すように、裏面電極２０１を隣の太陽電池セルＳＣのバスバー電極２０７に接続線２０８を介して接続するようにしている。また、直列に接続されたｓmax個の太陽電池セルＳＣからなるｔmax組の太陽電池セルＳＣ群においては、Ｘ軸方向一端の太陽電池セルＳＣの裏面電極２０１が接続線２１１によって共通に接続されるとともに、太陽電池セルＳＣ群のＸ軸方向他端の太陽電池セルＳＣのバスバー電極２０７が接続線２１２によって共通に接続されている。そして、接続線２１１，２１２から電力が出力されるようになっている。なお、この場合も、太陽電池セルＳＣの検査の場合には、接続線２１１，２１２間に後述する抵抗Ｒcsが導線Ｌ１，Ｌ２を介して接続される。そして、電流は図示矢印の方向に流れる。

ｃ．作動説明
次に、上記のように構成した太陽電池検査装置の動作について説明する。作業者は、図１０又は図１３に示すように、検査対象となる太陽電池ＳＢに導線Ｌ１，Ｌ２を介して小さな抵抗Ｒcs（例えば、５オーム程度の抵抗）を接続して、ステージ２０上の所定位置に載置する。抵抗Ｒcsを接続する理由は、発光素子６０を用いた光の照射により、太陽電池セルＳＣの発電による電流が太陽電池セルＳＣを流れるようにするためである。なお、この場合、電極（取出電極１０１，１０２又はバスバー電極２０７）の延設方向がＸ軸方向となるように、太陽電池ＳＢをステージ２０上に載置する。この状態で、太陽電池検査装置の電源が投入されると、上述したように、コントローラ９０の指示により、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３及びＹ方向フィードモータ制御回路７５は、移動部材３２（すなわち磁気センサ１０）をＸ軸方向及びＹ軸方向の限界位置に移動させるとともに、Ｘ方向位置検出回路７２及びＹ方向位置検出回路７４は検出されるＸ軸方向位置及びＹ軸方向位置を初期値に設定する。

次に、作業者は、入力装置９１を操作することにより、太陽電池ＳＢの計測に必要なパラメータを入力する。この場合、必要なパラメータとしては、例えば、太陽電池セルＳＣ（取出電極１０１，１０２、バスバー電極２０７など）のＸ軸方向の長さ、ステージ２０上に存在するＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmax、太陽電池ＳＢのタイプ（上述した太陽電池セルＳＣ内に直列接続構造を有する第１タイプの太陽電池ＳＢか、第２タイプなどのそれ以外の太陽電池ＳＢか）などである。この入力されたパラメータは、コントローラ９０に記憶される。また、後述するデータ処理プログラムや評価プログラムにて使用されるＸ軸方向終了位置Ｘmaxなどが、この入力されたパラメータから計算されて記憶される。

この状態で、作業者は、入力装置９１を操作することにより、バキュームポンプ２１の作動開始をコントローラ９０に入力指示する。これにより、コントローラ９０はポンプ駆動回路７１を制御して、バキュームポンプ２１を作動させる。このバキュームポンプ２１の作動により、ステージ２０の上面に載置された太陽電池ＳＢが微小孔を介して吸引されて、太陽電池ＳＢがステージ２０上に固定される。したがって、太陽電池ＳＢが柔軟性に富んだシート状のものであっても、太陽電池ＳＢがステージ２０状に吸着され、太陽電池ＳＢの表面の高さが均一になるために、後述する磁界測定の精度が良好になる。なお、バキュームポンプ２１による太陽電池ＳＢの吸引が必要ない場合には、特に、バキュームポンプ２１を作動させる必要はない。

次に、作業者は、入力装置９１を操作することにより、コントローラ９０を介してＹ方向フィードモータ制御回路７５に指示して、磁気センサ１０がＸ軸方向に延設された電極（第１タイプの太陽電池ＳＢであれば取出電極１０１，１０２、第２タイプの太陽電池ＳＢであればバスバー電極２０７）に対向する位置に来るように、Ｙ方向モータ４４を作動させる。この磁気センサ１０の移動は、作業者の視覚判断により行えばよいが、電極の位置検出装置などを用いた自動制御を含めてもよい。なお、最初は、Ｙ軸方向の初期位置に近い電極位置（図１０の最下段の取出電極１０２の位置又は図１３の最下段のバスバー電極２０７の位置）に合わせる。この場合、遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂが巻上げられた状態で、支持部材３１がＹ軸方向に移動される。遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂが巻上げられていなければ、作業者は、入力装置９１を操作することにより、コントローラ９０を介して遮光カーテン用モータ駆動回路７６に対して、遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂを巻上げる方向にカーテン用モータ５２を回転させるように指示する。これにより、遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、カーテン用モータ５２を回転させて遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂを上限位置まで巻上げて、カーテン用モータ５２による遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂの巻上げ動作を終了する。

次に、作業者は、入力装置９１を操作して、コントローラ９０に図８のデータ取得プログラムの実行を開始させる。すなわち、太陽電池ＳＢの計測の開始をコントローラ９０に指示する。この指示に応答して、コントローラ９０は、図８のステップＳ１０にてデータ取得プログラムの実行を開始し、ステップＳ１２にて変数ｎを「１」に初期設定する。変数ｎは、太陽電池ＳＢの電極位置（又はその近傍位置）における磁気センサ１０によるＸ軸方向の磁界検出位置を示す変数である。次に、コントローラ９０は、ステップＳ１４にて、遮光カーテン用モータ駆動回路７６に対して、遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂを下げる方向にカーテン用モータ５２を回転させるように指示する。遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、カーテン用モータ５２を回転させて、遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂを下限位置まで、すなわちストッパ５８Ａ，５８Ｂが太陽電池ＳＢの上面に接するまで下げる。そして、遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、カーテン用モータ５２の作動を停止させて遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂの巻下げ動作を終了する。これにより、磁気センサ１０による磁界の検出対象となる電極位置（第１タイプの太陽電池ＳＢであれば取出電極１０１，１０２の位置、第２タイプの太陽電池ＳＢであればバスバー電極２０７の位置）は外部の光から遮断されることになる。

前記ステップＳ１４の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ１６にて、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３に対して磁気センサ１０をＸ軸方向に移動して検査位置がＸ軸方向の初期値Ｘｓによって表される初期位置になるように指示する。この指示に応答して、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３は、Ｘ方向位置検出回路７２からＸ軸方向検出位置（Ｘ軸方向の検査位置すなわち測定位置）を入力しながら、Ｘ軸方向検出位置が初期値Ｘｓに一致するまでＸ方向モータ３４を駆動制御する。前記ステップＳ１６の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ１８にてＸ方向位置検出回路７２から磁気センサ１０のＸ軸方向位置を入力して、ステップＳ２０にてこの入力したＸ軸方向位置が前記初期値Ｘｓに等しい位置か否かを判定する。そして、前記入力したＸ軸方向位置が前記初期値Ｘｓに等しい位置になるまで、コントローラ９０は、ステップＳ２０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１８，Ｓ２０の循環処理を繰り返す。前記入力したＸ軸方向位置が前記初期値Ｘｓに等しい位置になると、コントローラ９０は、ステップＳ２０にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２２以降の処理を実行する。

ステップＳ２２においては、コントローラ９０は、発光信号供給回路８１の作動開始を指示する。この指示に応答して、発光信号供給回路８１は、正弦波状の発光制御信号を第１光源駆動回路８２に供給するとともに、前記発光制御信号と同期した矩形波状の参照信号をロックインアンプ８４に供給し始める。次に、コントローラ９０は、ステップＳ２４にて第１光源駆動回路８２の作動開始を指示する。この指示に応答して、第１光源駆動回路８２は、前記供給された発光制御信号に応じて正弦波状に変化する駆動制御信号を発光素子６０に供給して、発光素子６０を発光制御し始める。次に、コントローラ９０は、ステップＳ２６にて第２光源駆動回路８５の作動開始を指示する。この指示に応答して、第２光源駆動回路８５は発光素子５９を発光させ、発光素子５９は遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂによって遮光された空間内を照射し始める。次に、コントローラ９０は、ステップＳ２８にてセンサ信号取出回路８３の作動開始を指示する。この指示に応答して、センサ信号取出回路８３内の定電圧供給回路８３ａ，８３ｂは、Ｘ方向磁気センサ１０Ａ及びＹ方向磁気センサ１０Ｂに定電圧信号＋Ｖ，−Ｖを供給し始める。これにより、Ｘ方向磁気センサ１０Ａ及びＹ方向磁気センサ１０ＢによるＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号が、増幅器８３ｃ，８３ｄを介してロックインアンプ８４にそれぞれ供給され始める。

このＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号について説明する。前記発光素子６０の発光制御により、発光素子６０は、その発光強度を前記発光制御信号に同期して正弦波状に変化させながら、遮光された部分を除く太陽電池ＳＢの表面に均等に光を照射する。この光の照射により、太陽電池ＳＢの各太陽電池セルＳＣは前記発光強度に応じて電力を発電し始める。この電力の発電により、各太陽電池セルＳＣには電流が流れ始めるとともに、導線Ｌ１，Ｌ２を介して抵抗Ｒcsにも電流が流れ始める（図１０及び図１３の矢印参照）。各太陽電池セルＳＣの表裏面近傍には、前記電流による磁界が発生する。そして、Ｘ方向磁気センサ１０Ａは、Ｘ軸方向の磁界Ｈの強さに比例した電圧をＸ方向磁気検出信号として出力し始める。また、Ｙ方向磁気センサ１０Ｂは、Ｙ軸方向の磁界Ｈの強さに比例した電圧をＹ方向磁気検出信号として出力し始める。これらのＸ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号は、前記発光素子６０の発光強度が正弦波状に変化するので、正弦波状に変化する信号である。ただし、Ｘ方向磁気検出信号及びＹ方向磁気検出信号の位相は、発光素子６０を駆動制御するための正弦波状の発光制御信号とは若干異なる。

ロックインアンプ８４においては、入力されたＸ方向磁気検出信号がハイパスフィルタ８４ａ及び増幅器８４ｃを介して位相検波回路（乗算器）８４ｄ，８４ｅにそれぞれ供給されるとともに、入力されたＹ方向磁気検出信号がハイパスフィルタ８４ｂ及び増幅器８４ｉを介して位相検波回路（乗算器）８４ｊ，８４ｋにそれぞれ供給される。位相検波回路８４ｄ，８４ｊには、発光信号供給回路８１からの矩形波状の参照信号が供給されている。また、位相検波回路８４ｅ，８４ｋには、前記参照信号の位相を位相シフト回路８４ｇで９０度遅らせた遅延参照信号が供給されている。そして、位相検波回路８４ｄ，８４ｅは、増幅器８４ｃを介して供給されたＸ方向磁気検出信号に参照信号及び遅延参照信号をそれぞれ乗算して、乗算した信号をローパスフィルタ８４ｆ，８４ｈを介してＡ／Ｄ変換器８４ｏ，８４ｐにそれぞれ供給する。位相検波回路８４ｊ，８４ｋは、増幅器８４ｃを介して供給されたＹ方向磁気検出信号に参照信号及び遅延参照信号をそれぞれ乗算して、乗算した信号をローパスフィルタ８４ｍ，８４ｎを介してＡ／Ｄ変換器８４ｑ，８４ｒにそれぞれ供給する。

ここで、ローパスフィルタ８４ｆ，８４ｈ，８４ｍ，８４ｎは供給された信号の成分の大きさを表す信号すなわち正弦波状の信号の振幅に比例した大きさを表す信号を出力するように機能する。したがって、Ａ／Ｄ変換器８４ｏには、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号（すなわち発光制御信号）に同期した信号成分の大きさを表す信号が供給される。Ａ／Ｄ変換器８４ｐには、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号から９０度だけ位相の遅れた信号成分の大きさを表す信号が供給される。Ａ／Ｄ変換器８４ｑには、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号に同期した信号成分の大きさを表す信号が供給される。Ａ／Ｄ変換器８４ｒには、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号から９０度だけ位相の遅れた信号成分の大きさを表す信号が供給される。そして、Ａ／Ｄ変換器８４ｏ，８４ｐ，８４ｑ，８４ｒは、それぞれ供給された信号を所定時間ごとにサンプリングしてＡ／Ｄ変換し、Ａ／Ｄ変換したサンプリングデータをコントローラ９０に供給する。したがって、コントローラ９０には前記各信号成分の所定時間ごとの大きさを表すサンプリングデータが所定時間ごとに供給されるようになる。

前記ステップＳ２８の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ３０にて、ロックインアンプ８４のＡ／Ｄ変換器８４ｏ，８４ｐ，８４ｑ，８４ｒから供給されるサンプリングデータを取込み、ステップＳ３２にて取込んだ各サンプリングデータの数が所定数Ｋに達したか否かを判定する。この所定数Ｋは、例えば数個から数十個の各サンプリングデータの数を表す値に設定されている。各サンプリングデータの数が所定数Ｋに達していなければ、コントローラ９０は、ステップＳ３２にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ３０にてＡ／Ｄ変換器８４ｏ，８４ｐ，８４ｑ，８４ｒから次に出力されるサンプリングデータを取込む。そして、Ａ／Ｄ変換器８４ｏ，８４ｐ，８４ｑ，８４ｒから取込んだ各サンプリングデータの数が所定数Ｋに達すると、コントローラ９０は、ステップＳ３２にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ３４以降の処理を実行する。ステップＳ３０にて取込まれたサンプリングデータは、変数ｎによって指定されるサンプリングデータ群として、ＲＡＭに記憶される。

具体的には、Ａ／Ｄ変換器８４ｏから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＸ方向磁気検出信号の参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ)としてＲＡＭに記憶される。Ａ／Ｄ変換器８４ｐから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＸ方向磁気検出信号の遅延参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓx2(ｎ)としてＲＡＭに記憶される。Ａ／Ｄ変換器８４ｐから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＹ方向磁気検出信号の参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓy1(ｎ)としてＲＡＭに記憶される。Ａ／Ｄ変換器８４ｒから取込んだ所定数Ｋのサンプリングデータ、すなわちＹ方向磁気検出信号の遅延参照信号と同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのデータは、サンプリングデータ群Ｓy2(ｎ)としてＲＡＭに記憶される。なお、この場合の変数ｎは、「１」である。

前記ステップＳ３２の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ３４にて、値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸがＸ軸方向の終了値Ｘmaxよりも大きいか否かを判定する。値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸは、Ｘ軸方向の走査間隔を表す所定値ΔＸに変数ｎを乗算して初期値Ｘｓを加算した値であり、次のＸ軸方向の検出位置（Ｘ軸方向の走査位置すなわち測定位置）を表す値である。値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸが終了値Ｘmax以下であれば、コントローラ９０は、ステップＳ３４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ３６にて、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３に、磁気センサ１０の中心位置をＸ軸方向正側に移動させるように指示する。これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３は、Ｘ方向モータ３４を作動させて磁気センサ１０の中心位置をＸ軸方向正側に移動させ始める。

次に、コントローラ９０は、ステップＳ３８にてＸ方向位置検出回路７２からＸ軸方向位置を入力し、ステップＳ４０にて入力したＸ軸方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達したか否か、すなわちＸ軸方向位置を示す値が値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸ以上になったか否かを判定する。そして、Ｘ方向位置検出回路７２から入力したＸ軸方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達するまで、コントローラ９０は、ステップＳ４０にて「Ｎｏ」と判定し続けて、ステップＳ３８，Ｓ４０の処理を繰り返し実行する。Ｘ方向位置検出回路７２から入力したＸ軸方向位置が次のＸ軸方向の検出位置に達すると、コントローラ９０は、ステップＳ４０にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ４２にてＸ方向フィードモータ制御回路７３に、磁気センサ１０のＸ軸方向正側への移動を停止させることを指示する。これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３は、Ｘ方向モータ３４の作動を停止させて、磁気センサ１０のＸ軸方向正側への移動を停止させる。その結果、磁気センサ１０は、値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸで表されたＸ軸方向位置を磁気センサ１０の検出位置として、太陽電池ＳＢの磁界を検出し始める。前記ステップＳ４２の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ４４にて変数ｎに「１」を加算することにより、変数ｎを次の検出位置を表す値に変更して、ステップＳ３０に戻る。

そして、コントローラ９０は、前述のステップＳ３０，Ｓ３２のサンプリングデータの取込み処理を実行する。これらのステップＳ３０，Ｓ３２の処理により、値Ｘｓ＋(ｎ−１)・ΔＸで表されたＸ軸方向位置を検出位置とする磁気センサ１０の磁界検出によるサンプリングデータがＲＡＭに新たに記憶される。具体的には、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号及び遅延参照とそれぞれ同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのサンプリングデータが、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ)，Ｓx2(ｎ)としてＲＡＭに記憶される。また、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号及び遅延参照信号とそれぞれ同期した信号成分の大きさを表す所定数Ｋのサンプリングデータが、サンプリングデータ群Ｓy1(ｎ)，Ｓy2(ｎ)としてＲＡＭに記憶される。なお、この場合の変数ｎは「２」である。

そして、コントローラ９０は、次のＸ軸方向の検出位置（Ｘ軸方向の走査位置）を表す値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸが終了値Ｘmaxよりも大きくなるまで、ステップＳ３０〜Ｓ４４の処理により、磁気センサ１０による検出位置をＸ軸方向正側に所定値ΔＸずつ移動させるとともに、変数ｎを「１」ずつ増加させながら、サンプリングデータを取込む。そして、次のＸ軸方向の検出位置を表す値Ｘｓ＋ｎ・ΔＸが終了値Ｘmaxよりも大きくなると、コントローラ９０は、ステップＳ３４にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ４６以降に進む。この状態では、サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ)，Ｓx2(ｎ)，Ｓy1(ｎ)，Ｓy2(ｎ)（ｎ＝１，２，３・・・ｎmax）がＲＡＭに記憶される。なお、値ｎmaxは、終了値Ｘmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数ｎの値であって、Ｘ軸方向における検出位置の数を表している。

コントローラ９０は、ステップＳ４６にてセンサ信号取出回路８３の作動停止を指示し、ステップＳ４８にて第１光源駆動回路８２の作動停止を指示し、ステップＳ５０にて第２光源駆動回路８５の作動停止を指示し、ステップＳ５２にて発光信号供給回路８１の作動停止を指示する。これらの作動停止の指示により、発光素子５９，６０、発光信号供給回路８１、第１光源駆動回路８２、センサ信号取出回路８３、ロックインアンプ８４、第２光源駆動回路８５及び磁気センサ１０の作動が停止する。前記ステップＳ５２の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ５４にて、移動部材３２をＸ軸方向駆動限界位置まで移動させることをＸ方向位置検出回路７２及びＸ方向フィードモータ制御回路７３に指示する。これにより、Ｘ方向フィードモータ制御回路７３は、前述の初期設定のように、Ｘ方向位置検出回路７２と協働して、移動部材３２をＸ軸方向駆動限界位置まで移動させる。次に、コントローラ９０は、ステップＳ５６にて遮光カーテン用モータ駆動回路７６に対して遮光解除を指示して、ステップＳ５８にてデータ取得プログラムの実行を終了する。遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、カーテン用モータ５２を回転させて、遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂを上限位置まで巻上げる。そして、遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂが上限位置まで持ち上げられると、遮光カーテン用モータ駆動回路７６は、カーテン用モータ５２の作動を停止させて遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂの巻上げ動作を終了する。これにより、磁気センサ１０による磁界の検出対象となる電極位置（第１タイプの太陽電池ＳＢであれば取出電極１０１，１０２の位置、第２タイプの太陽電池ＳＢであればバスバー電極２０７の位置）における遮光が解除される。

次に、前記データ取得プログラムで取得した所定数Ｋずつのサンプリングデータ群Ｓx1(ｎ)，Ｓx2(ｎ)，Ｓy1(ｎ)，Ｓy2(ｎ)（ｎ＝１〜ｎmax）を用いて、太陽電池ＳＢを評価する方法について説明する。この場合、作業者は、入力装置９１を操作して、コントローラ９０に図９Ａ乃至図９Ｆの評価プログラムを実行させる。この評価プログラムにおいては、太陽電池ＳＢの合否判定が行われたり、作業者が太陽電池ＳＢの合否を判定するために、太陽電池ＳＢの電極位置における電流の大きさと向きである電流分布の画像が表示装置に表示される。そこで、評価プログラムを説明する前に、太陽電池セルＳＣの電極に異常が発生した場合について説明しておく。

まず、図１０、図１１Ａ及び図１１Ｂに示す第１タイプの太陽電池ＳＢの異常について説明する。この種の太陽電池セルＳＣにおいては、取出電極１０１，１０２が内部電極１０６，１０８に導電性ペースト又は半田により接続されているので、取出電極１０１，１０２と内部電極１０６，１０８との間の接続不良が異常の原因となる。

１つの太陽電池セルＳＣにおいて、正常な場合と異常な場合（前記接続不良の場合）との電流の分布について、図１２を用いて説明する。（Ａ）は、１つの太陽電池セルＳＣに着目して１対の取出電極１０１，１０２の間に抵抗Ｒcsを接続した等価回路を示し、×印位置にて、取出電極１０１と内部電極１０６との間に接続不良の異常が発生している状態を示している。（Ｂ）は、実線により、太陽電池セルＳＣが正常な状態において、取出電極１０１の位置における電流の大きさを、取出電極１０１のＸ軸方向位置に対応させて示している。また、（Ｂ）は、破線により、太陽電池セルＳＣに前記異常が発生した状態において、取出電極１０１の位置における電流の大きさを、取出電極１０１のＸ軸方向位置に対応させて示している。この場合、Ｘ軸方向位置に応じて電流の大きさが変化するのは、（Ａ）の矢印のように電流が流れるため、すなわち右側位置に流れる電流は左側位置にも重なって流れるためである。なお、この場合の電流の大きさとは、電流の向きとは無関係な電流の大きさの絶対値（後述するＩxy）である。したがって、（Ｂ）のグラフからは、太陽電池セルＳＣが正常な場合と異常な場合とでは、電流の大きさの変化において差があまり大きくなく、電流の大きさは共に滑らかに変化していることが分かる。これは、接続不良の異常箇所においても、取出電極１０１及び内部電極１０６自体には、異常が発生しているわけではなく、取出電極１０１及び内部電極１０６が延設されているＹ軸方向には前記接続不良の異常とは無関係に充分な電流が流れ得るからであると推定される。

一方、（Ｃ）は、実線により、太陽電池セルＳＣが正常な状態において、取出電極１０１の位置におけるＹ軸方向（取出電極１０１に直交する方向）の電流の大きさを、取出電極１０１のＸ軸方向位置に対応させて示している。また、（Ｃ）は、破線により、太陽電池セルＳＣに前記異常が発生した状態において、取出電極１０１の位置のＹ軸方向の電流の大きさを、取出電極１０１のＸ軸方向位置に対応させて示している。この場合も、Ｘ軸方向位置に応じて電流の大きさが変化するのは、（Ａ）の矢印のように電流が流れるため、すなわち右側位置に流れる電流は左側位置にも重なって流れるためである。そして、（Ｃ）のグラフからは、太陽電池セルＳＣが正常な場合と異常な場合とでは、Ｙ軸方向の電流の大きさの変化において差が大きく、正常な場合にはＹ軸方向の電流の大きさは滑らかに変化しているが、異常な場合にはＹ軸方向の電流の大きさは異常箇所近傍で大きく変動していることが分かる。これは、接続不良の異常箇所において、異常箇所を避けて電流がＸ軸方向に傾いて流れ、Ｙ軸方向の電流の大きさが減少するためであると推定される。

一方、（Ｄ）は、実線により、太陽電池セルＳＣが正常な状態において、取出電極１０１の位置近傍におけるＹ軸方向（取出電極１０１に直交する方向）の電流の大きさを、取出電極１０１のＸ軸方向位置に対応させて示している。また、（Ｄ）は、破線により、太陽電池セルＳＣに前記異常が発生した状態において、取出電極１０１の位置近傍におけるＹ軸方向電流の大きさを、取出電極１０１のＸ軸方向位置に対応させて示している。この場合も、Ｘ軸方向位置に応じて電流の大きさが変化するのは、太陽電池セルＳＣにおいて（Ａ）の矢印のように電流が流れるため、すなわち右側位置に流れる電流は左側位置にも重なって流れるためである。そして、（Ｄ）のグラフからは、太陽電池セルＳＣが正常な場合と異常な場合とでは、（Ｃ）の場合よりも、Ｙ軸方向の電流の大きさの変化において差が大きく、正常な場合にはＹ軸方向の電流の大きさは滑らかに変化しているが、異常な場合にはＹ軸方向の電流の大きさは異常箇所近傍で大きく変動していることが分かる。これも、接続不良の異常箇所において、異常箇所を避けて電流がＸ軸方向に傾いて流れ、Ｙ軸方向の電流が減少するためであると推定される。

本発明は、これらの取出電極１０１の位置又は位置近傍におけるＸ軸方向の電流の大きさの変化に着目してなされたもので、後述する説明では、このＹ軸方向の電流の大きさをＩｙとして説明する。また、取出電極１０２と内部電極１０８との間の接続不良による異常の発生時においても同じ結果を得ている。すなわち、本発明は、取出電極１０１，１０２の位置又はその近傍位置におけるＹ軸方向の電流の大きさＩｙのＸ軸方向に沿った変化において、Ｙ軸方向の電流の大きさＩｙの変動が接続不良部分の近傍にて大きくなることに着目して、取出電極１０１，１０２と内部電極１０６，１０８との接続不良を検出するようにしている。

次に、図１３、図１４Ａ及び図１４Ｂに示す第２タイプの太陽電池ＳＢの異常について説明する。図１７は、太陽電池セルＳＣの電極の１つが断線している場合における電流の大きさの分布の実験結果を示している。(Ａ)は、１つの太陽電池セルＳＣに着目して、一対のバスバー電極２０７，２０７と一対の裏面電極２０１，２０１との間に抵抗Ｒcsを接続した等価回路を示している。なお、電流の方向は、図示右方向を正とする。この状態で、図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさは、Ｘ軸方向位置において次のように変化する。まず、断線が生じていない場合には、図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさの分布は、(Ｂ)のＡに示すように、Ｘ軸方向位置が変化してもほぼ一定となった。一方、バスバー電極２０７側を断線させた場合（(Ａ)のＢ断線）、図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさは、(Ｂ)のＢに示すように、断線箇所に近い左部であるＸ軸方向位置では小さく、右方に向かうに従って大きくなる。また、裏面電極２０１側を断線させた場合（(Ａ)のＣ断線）、図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさは、(Ｂ)のＣに示すように、断線箇所に遠い左部であるＸ軸方向位置では大きく、右方に向かうに従って小さくなる。これらは、断線箇所に近い位置の電流が流れ難く、断線した位置から離れるに従って、グリッド電極２０６などを介して流れ込む電流が増加するためであると推定される。

(Ｃ)は、前述したＡ，Ｂ，Ｃの条件下で、下側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさのＸ軸方向における分布を示している。この場合、(Ｂ)の場合とは逆に、上側のバスバー電極２０７の断線箇所に近いＸ軸方向位置の電流の大きさは大きく、前記断線箇所から離れたＸ軸方向位置ほど電流の大きさは小さくなる。これは、上側のバスバー電極２０７を流れることができなくなった分の電流が下側のバスバー電極２０７に流れ込んでいるためと推定される。このように、バスバー電極２０７側及び裏面電極２０１側を断線させた場合には、上側及び下側のバスバー電極２０７，２０７に流れる電流の大きさは、断線してない場合に比べて極めて大きく変化することが分かる。なお、前記説明では、電流の大きさ（電流の絶対値）の変化について説明したが、バスバー電極２０７内を流れる電流の向きはほぼＸ軸方向であるので、Ｘ軸方向の電流の大きさを用いても同じ結果が得られる。

図１８は、太陽電池セルＳＣの上側のバスバー電極２０７の接触抵抗が大きい場合における電流の大きさの分布の実験結果を示している。(Ａ)は、１つの太陽電池セルＳＣに着目して、上側のバスバー電極２０７に抵抗ｒを直列に接続した等価回路を示している。この場合、抵抗ｒを、上側のバスバー電極２０７に、５０ｃｍ及び１５０ｃｍの電線を直列に接続することにより実現している。なお、上下のバスバー電極２０７，２０７間の距離は、例えば５ｃｍである。また、この場合も、電流の方向は、図示右方向を正とする。このような抵抗ｒにより、図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさは、Ｘ軸方向位置において次のように変化する。まず、正常時（上側のバスバー電極２０７に抵抗ｒが接続されていない場合）には、図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさの分布は、(Ｂ)のＡに示すように、Ｘ軸方向位置が変化してもほぼ一定となった。一方、上側のバスバー電極２０７に５０ｃｍの電線を直列に接続した場合には、図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさは、(Ｂ)のＢに示すように、抵抗ｒが接続されている側の左部であるＸ軸方向位置では小さく、右方に向かうに従って大きくなる。また、上側のバスバー電極２０７に１５０ｃｍの電線を直列に接続した場合には、図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさは、(Ｂ)のＣに示すように、抵抗ｒが接続されている側の左部であるＸ軸方向位置ではさらに小さくなる。これらは、抵抗ｒが大きくて電流が流れ難い位置の電流が小さくなり、前記電流が流れ難い位置から離れるに従って、グリッド電極２０６などを介して流れ込む電流が増加するためであると推定される。そして、この電流の変化は、前記図１７の断線の場合に比べて小さいものである。

(Ｃ)は、前述したＡ，Ｂ，Ｃの条件下で、下側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさのＸ軸方向における分布を示している。この場合には、(Ｂ)の場合とは異なり、上側のバスバー電極２０７に抵抗ｒが接続されている側のＸ軸方向位置の電流の大きさはある程度大きく、前記抵抗ｒが接続された箇所から離れたＸ軸方向位置の電流の大きさはある程度小さい。この場合も、上側のバスバー電極２０７を流れることができなくなった分の電流が下側のバスバー電極２０７に流れ込んでいるためと推定される。このように、バスバー電極２０７側の接触抵抗が大きくなった場合も、前記断線の場合よりはその変化は小さいが、上側及び下側のバスバー電極２０７，２０７に流れる電流の大きさは、接触抵抗が正常な場合に比べて極めて大きく変化することが分かる。また、裏面電極２０１側の接触抵抗が大きくなった場合も、同様な現象が現われる。なお、この場合も、前記説明では、電流の大きさ（電流の絶対値）の変化について説明したが、バスバー電極２０７内を流れる電流の向きはほぼＸ軸方向であるので、Ｘ軸方向の電流の大きさを用いても同じ結果が得られる。

図１９は、太陽電池セルＳＣのバスバー電極２０７とグリッド電極２０６との間に接触不良が生じている場合における電流の大きさの分布の実験結果を示している。(Ａ)は、１つの太陽電池セルＳＣに着目して、上側のバスバー電極２０７が図示右部位置（図示×印位置）にてグリッド電極２０６と接触不良である状態の等価回路を示している。なお、この場合も、電流の方向は、図示右方向を正とする。この状態で、図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさは、Ｘ軸方向位置において次のように変化する。まず、バスバー電極２０７とグリッド電極２０６との間に接触不良が生じていない場合には、図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさの分布は、(Ｂ)のＡに示すように、若干は変化するもののＸ軸方向位置が変化してもほぼ一定となった。一方、バスバー電極２０７とグリッド電極２０６との間に接触不良が生じた場合、図示上側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさは、(Ｂ)のＢに示すように、接触不良位置から遠い左部であるＸ軸方向位置では大きく、接触不良位置である右方に向かうに従って小さくなる。これは、接触不良位置では、バスバー電極２０７に流れる電流が減少するためであると推定される。

(Ｃ)は、前述したＡ，Ｂの条件下で、下側のバスバー電極２０７に流れる電流の大きさのＸ軸方向における分布を示している。この場合、(Ｂ)の場合とは逆に、上側のバスバー電極２０７の接触不良に近い右部であるＸ軸方向位置の電流の大きさは大きく、前記接触不良箇所から離れたＸ軸方向位置ほど電流の大きさは小さくなる。これは、上側のバスバー電極２０７を流れることができなくなった分の電流が下側のバスバー電極２０７に流れ込んでいるためと推定される。このように、バスバー電極２０７とグリッド電極２０６との間に接触不良が生じた場合も、上側及び下側のバスバー電極２０７，２０７に流れる電流の大きさは、接触不良が生じていない場合に比べて極めて大きく変化することが分かる。なお、前記説明では、電流の大きさ（電流の絶対値）の変化について説明したが、この場合も、バスバー電極２０７内を流れる電流の向きはほぼＸ軸方向であるので、Ｘ軸方向の電流の大きさを用いても同じ結果が得られる。

次に、評価プログラムの実行について説明する。この評価プログラムの実行は図９ＡのステップＳ１００にて開始され、コントローラ９０は、ステップＳ１０２にて変数ｎを「１」に初期設定する。変数ｎは、この場合も、Ｘ軸方向における検出位置を指定するための変数である。そして、値ｎmaxは、前述のように、それぞれＸ軸方向における検出位置の数を表している。前記ステップＳ１０２の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ１０４にて、変数ｎによって指定される所定数Ｋずつのサンプリングデータ群Ｓx1(ｎ)，Ｓx2(ｎ)，Ｓy1(ｎ)，Ｓy2(ｎ)の磁界の大きさの各平均値Ｓx1，Ｓx2，Ｓy1，Ｓy2を計算する。具体的には、各サンプリングデータ群Ｓx1(ｎ)，Ｓx2(ｎ)，Ｓy1(ｎ)，Ｓy2(ｎ)ごとに、Ｋ個のサンプリングデータを加算して値Ｋで除算する。

次に、コントローラ９０は、ステップＳ１０６にて、前記計算した平均値Ｓx1，Ｓx2を用いた下記式１，２の演算の実行により、Ｘ方向磁気検出信号の極大値Ｈｘと、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｘとを計算する。
Ｈｘ＝(Ｓx1²＋Ｓx2²)^1/2 …式１
θｘ＝tan^-1(Ｓx2/Ｓx1) …式２
これにより、Ｘ方向磁気検出信号としてＨｘ・sin(２πｆｔ＋θｘ)が検出されたことになる。なお、ｆは、発光信号供給回路８１から出力される発光信号及び参照信号の周波数に等しい。

次に、コントローラ９０は、ステップＳ１０８にて、前記計算した平均値Ｓy1，Ｓy2を用いた下記式３，４の演算の実行により、Ｙ方向磁気検出信号の極大値Ｈｙと、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｙとを計算する。
Ｈｙ＝(Ｓy1²＋Ｓy2²)^1/2 …式３
θｙ＝tan^-1(Ｓy2/Ｓy1) …式４
これにより、Ｙ方向磁気検出信号としてＨｙ・sin(２πｆｔ＋θｙ)が検出されたことになる。

次に、コントローラ９０は、ステップＳ１１０にて、前記計算したＨｘ，θｘ，Ｈｙ，θｙを用いた下記式５，６の演算の実行により、発光素子６０の発光量すなわち通電電流が最大となるタイミング（前記Ｘ方向磁気検出信号Ｈｘ・sin(２πｆｔ＋θｘ)及び前記Ｙ方向磁気検出信号Ｈｙ・sin(２πｆｔ＋θｙ)における２πｆｔがπ／２のタイミング）における、検査位置の磁界の強さＨxy及び磁界の向きθxyを計算する。この場合、通電電流が最大となるタイミングを採用した理由は、位相シフト量θｘ，θｙは小さく、通電電流が最大となるタイミング近傍で検査位置の磁界の強さＨxyが最大値近傍の値になるためである。なお、位相シフト量θｘ，θｙが小さくなく、通電電流が最大となるタイミング近傍で検査位置の磁界の強さＨxyが最大値近傍にならない場合には、磁界の強さＨxyが最大値近傍になるようなタイミングの角度をπ／２に代えて用いればよい。
Ｈxy＝[{Ｈｘ・sin(π/２+θx)}²＋{Ｈｙ・sin(π/２+θｙ)}²]^1/2 …式５
θxy＝tan^-1{Ｈｙ・sin(π/２+θｙ)}/{Ｈｘ・sin(π/２+θx)} …式６

次に、コントローラ９０は、ステップＳ１１２にて、太陽電池ＳＢに流れる電流は前記磁界の強さＨxyに比例し、かつ方向が磁界の方向θxyとπ／２異なることから、前記計算したＨxy，θxyを用いた下記式７，８の演算の実行により、通電電流が最大となるタイミングにおける、太陽電池ＳＢの検査位置に流れる電流の大きさＩxy及び方向θixyを計算する。ただし、値Ｋは、比例定数である。
Ｉxy＝Ｋ・Ｈxy …式７
θixy＝θxy＋π／２ …式８
そして、このステップＳ１１２にて、前記計算された電流の大きさＩxy及び方向θixyは、太陽電池ＳＢの検査位置を表す変数ｎを用いて電流の大きさデータＩxy(ｎ)及び方向データθixy(ｎ)としてＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。

次に、コントローラ９０は、ステップＳ１１４にて、前記計算したＩxy，θixyを用いた下記式９，１０の演算の実行により、太陽電池ＳＢの検査位置においてＸ軸方向及びＹ軸方向に流れる電流の大きさＩx，Ｉyを計算する。
Ｉx＝Ｉxy・cosθixy …式９
Ｉy＝Ｉxy・sinθixy …式１０
そして、このステップＳ１１４にて、前記計算された電流の大きさＩx，Ｉyも、太陽電池ＳＢの検査位置を表す変数ｎを用いて電流の大きさデータＩx(ｎ)，Ｉy(ｎ)としてＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。

次に、コントローラ９０は、ステップＳ１１６にて変数ｎがＸ軸方向の検出位置数を表す値ｎmaxに達したか否かを判定する。変数ｎが値ｎmaxに達していなければ、コントローラ９０は、ステップＳ１１６にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ１１８にて変数ｎに「１」を加算してステップＳ１０４に戻る。そして、前述したステップＳ１０４〜Ｓ１１４の処理を実行した後、コントローラ９０は、ステップＳ１１６にてふたたび変数ｎが値ｎmaxに達したか否かを判定する。変数ｎが値ｎmaxに達しない限り、ステップＳ１０４〜１１８の処理が繰り返し実行される。

このようなステップＳ１０４〜Ｓ１１８の繰り返し処理中、変数ｎが値ｎmaxに達すると、コントローラ９０は、ステップＳ１１６にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１２０にて、検査対象である太陽電池ＳＢが太陽電池セルＳＣ内にそれぞれ電池の直列接続構造を有するもの（図１０の第１タイプの太陽電池ＳＢ）であるか否かを判定する。検査対象である太陽電池ＳＢが太陽電池セルＳＣ内にそれぞれ電池の直列接続構造を有するものであれば、コントローラ９０は、ステップＳ１２０にて「Ｙｅｓ」と判定して、図９ＢのステップＳ１２４以降に進む。この時点では、太陽電池ＳＢの検査位置ごとに、電流の大きさデータＩxy(ｎ)、電流の方向データθixy(ｎ)、Ｘ軸方向の電流の大きさデータＩx(ｎ)及びＹ軸方向の電流の大きさデータＩy(ｎ)（ｎ＝１〜ｎmax）が、ＲＡＭ又は記憶装置に記憶されている。

ステップＳ１２４においては、コントローラ９０は、Ｘ軸方向の磁気センサ１０の検出位置を示す変数ｎを「１」に初期設定し、取出電極１０１（又は１０２）のＸ軸方向の検出位置の数（取出電極１０１，１０２の長さをＸ軸方向の移動距離単位ΔＸで除した数）をカウントするための変数ｐを「０」に初期設定し、取出電極１０１（又は１０２）のＸ方向電極番号ｇを「１」に初期設定する。そして、コントローラ９０は、ステップＳ１２６にて、変数ｎによって指定されるＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ)が所定の小さな基準値以上であるかを判定することにより、変数ｎによって示される検出位置が取出電極１０１（又は１０２）の位置にあるか、取出電極１０１（又は１０２）の間の接続線１１１にあるかを判定する。これは、変数ｎによって指定されるＸ軸方向位置が取出電極１０１，１０２に対応した位置にあるときには、Ｙ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ)はある程度大きな値を示す（図１０参照）が、変数ｎによって指定されるＸ軸方向位置が取出電極１０１，１０２の間の接続線１１１に対応した位置にあるときには、Ｙ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ)はほぼ「０」である。

したがって、変数ｎによって指定されるＸ軸方向位置が取出電極１０１，１０２に対応する位置であれば、コントローラ９０は、ステップＳ１２６にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１２８にて変数ｐに「１」を加算し、ステップＳ１３０にて変数ｎに「１」を加算して、ステップＳ１２６に戻る。変数ｎの増加によって検出位置がＸ軸方向に移動されても、検出位置が取出電極１０１，１０２に対応する位置である限り、前記ステップＳ１２６〜Ｓ１３０の循環処理が繰り返し実行されて、変数ｐが変数ｎの増加に従って増加する。このステップＳ１２６〜Ｓ１３０の循環処理中、検出位置が取出電極１０１，１０２を超えて接続線１１１の領域に入ると、コントローラ９０は、ステップＳ１２６にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１３２に進む。

ステップＳ１３２においては、コントローラ９０は、前記変数ｐが所定数以上であるかを判定する。この場合、所定数は、取出電極１０１，１０２の長さを移動距離単位ΔＸで除した値よりも若干小さな値であり、前記入力した太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の長さと移動距離単位ΔＸとにより予め決められた値である。取出電極１０１，１０２の位置に対応したＹ軸方向の電流の大きさＩｙ(ｎ)が正確に検出されていれば、変数ｐは所定数以上であるので、コントローラ９０はステップＳ１３２にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１３４にてＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ−ｐ)〜Ｉｙ(ｎ−１)に電極番号ｇを割当てる。そして、コントローラ９０は、ステップＳ１３６にて、電極番号ｇに「１」を加算して、ステップＳ１３８に進む。これは、図１０のＸ軸方向に沿って次の取出電極１０１，１０２の検出を意味する。

また、前記ステップＳ１３２の判定処理において、「Ｎｏ」すなわち変数ｐが所定数未満である場合には、コントローラ９０は、ステップＳ１３２にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１３４，Ｓ１３６の処理を実行しないで、ステップＳ１３８に進む。この場合、Ｙ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ−ｐ)〜Ｉｙ(ｎ−１)に電極番号ｇの割当ては行われない。

ステップＳ１３８においては、変数ｎが値ｎmax（すなわち終了値Ｘmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数ｎの値）に達したかが判定される。変数ｎが値ｎmaxに達していなければ、コントローラ９０は、ステップＳ１３８にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１４０にて変数ｐを「０」に初期設定して、ステップＳ１３０に進む。コントローラ９０は、前述のように、ステップＳ１３０にて変数ｎに「１」を加算し、ステップＳ１２６の判定処理をふたたび実行する。ステップＳ１２６の処理は、前述のように、Ｘ軸方向の検出位置が取出電極１０１，１０２に対応しているか、取出電極１０１，１０２間の接続線１１１に対応しているかを判定する処理である。そして、検出位置が接続線１１１に対応した位置にある状態では、Ｙ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ)は基準値未満であり、コントローラ９０は、ステップＳ１２６にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１３２に進む。この場合、変数ｐは前記ステップＳ１４０の処理により「０」に保たれるので、コントローラ９０は、ステップＳ１３２にて「Ｎｏ」と判定し続けて、ステップＳ１３８，Ｓ１４０，Ｓ１３０，Ｓ１２６，Ｓ１３２の循環処理を繰り返し実行する。

この循環処理中、ステップＳ１３０による変数ｎの増加により、検出位置が取出電極１０１，１０２に対応した位置まで来ると、前述の場合と同様に、コントローラ９０は、ステップＳ１２６にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１２６〜Ｓ１３０の循環処理を繰り返し実行する。そして、検出位置が接続線１１１の領域に入ると、前述のように、コントローラ９０は、ステップＳ１２６にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１３２〜Ｓ１３６の処理を実行する。そして、これらのステップＳ１３２〜Ｓ１３６の処理により、Ｘ軸方向の次の取出電極１０１，１０２に対応したＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ−ｐ)〜Ｉｙ(ｎ−１)に次の電極番号ｇが割当てられる。また、変数ｐが所定数未満のときには、ステップＳ１３２における「Ｎｏ」との判定のもとに、電極番号ｇの割当ては行われない。

これらのステップＳ１３２〜Ｓ１３６の処理後、コントローラ９０は、前記ステップＳ１３８，Ｓ１４０の処理を実行して、ふたたびステップＳ１３０に進む。これにより、変数ｎの増加により、図１０に示すＸ軸方向に一列に延設された複数の取出電極１０１，１０２に対応したＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ−ｐ)〜Ｉｙ(ｎ−１)に次々に電極番号ｇ（ｇ＝１〜ｓmax）が割当てられていく。そして、変数ｎが値ｎmaxに達すると、コントローラ９０は、ステップＳ１３８にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ１４２にて変数ｇが初期に入力したＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに等しいか否かを判定する。この判定処理は、前記ステップＳ１２４〜Ｓ１４０の処理によってＸ軸方向の全ての取出電極１０１，１０２が検出された否かを判定するものである。全ての取出電極１０１，１０２が正確に検出されていれば、変数ｇは前記数ｓmaxに等しく、コントローラ９０は、ステップＳ１４２にて「Ｙｅｓ」と判定して、図９ＣのステップＳ１４４に進む。一方、取出電極１０１，１０２が正確に検出されていなければ、変数ｇは前記数ｓmaxに等しくなく、コントローラ９０は、ステップＳ１４２にて「Ｎｏ」と判定して、図９ＣのステップＳ１６８に進む。

まず、全ての取出電極１０１，１０２が正確に検出された場合について説明すると、コントローラ９０は、ステップＳ１４４にて電極番号ｇを指定するための変数ｓを「１」に初期設定して、ステップＳ１４６にて変数ｓに等しい電極番号ｇが割当てられたＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ)を抽出する。すなわち、電極番号ｇ（＝ｓ）によって指定される取出電極１０１，１０２の位置又はその近傍位置における、Ｙ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ)が抽出される。なお、このＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ)は、「１」ずつ順次増加する変数ｎによって指定される取出電極１０１，１０２のＸ軸方向の長さ分のデータ数を含む。

前記ステップＳ１４６の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ１４８にて、前記抽出したＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ)を用いて次のような計算を実行する。まず、前記抽出したＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ)を、変数ｎが増加する方向に連続して所定数ごとの複数のグループ（例えば、５〜１０程度のグループ）に振り分ける。ただし、最も大きな変数ｎを含むグループにおけるデータ数は前記所定数よりも小さい可能性があるが、他のグループのデータ数は前記所定数となる。このグループへの振り分け後、グループごとに、前記抽出したＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ)の平均値の絶対値を平均値Ａ(ｓ)としてそれぞれ計算する。

次に、グループごとに、前記抽出したＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ)の最大値から最小値を減算して、減算結果を前記計算した平均値Ａ(ｓ)で除算して、除算結果である（最大値−最小値）／Ａ(ｓ)をグループごとの評価データＢ(ｓ)とする。次に、グループごとに、前記抽出したＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ)の標準偏差を前記計算した平均値Ａ(ｓ)で除算して、除算結果である標準偏差／Ａ(ｓ)をグループごとの評価データＣ(ｓ)とする。なお、この状態では、前記振り分けたグループ数分の評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)がそれぞれ計算されることになる。そして、これらの評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)は、Ｙ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ)の変動を表すデータとして機能する。

前記ステップＳ１４８の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ１５０にて、グループごとの評価データＢ(ｓ)のうちのいずれかが所定の許容値よりも大きいか否かを判定するとともに、グループごとの評価データＣ(ｓ)のうちのいずれかが所定の許容値よりも大きいか否かを判定する。なお、前記所定の許容値は、評価データＢ(ｓ)と評価データＣ(ｓ)とで異なる値に設定されている。前記評価データＢ(ｓ)が所定の許容値よりも大きいか、又は前記評価データＣ(ｓ)が所定の許容値よりも大きければ、コントローラ９０は、ステップＳ１５０にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１５２にてエラーデータＥｒ(ｓ)を“１”に設定して、ステップＳ１５４に進む。一方、前記評価データＢ(ｓ)が所定の許容値以下であり、かつ前記評価データＣ(ｓ)も所定の許容値以下であれば、コントローラ９０は、ステップＳ１５０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１５４に進む。これにより、変数ｓによって指定される取出電極１０１，１０２に異常（取出電極１０１，１０２と内部電極１０６，１０８との接続不良）が発生し、図１２を用いて前述したように、Ｙ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ)の変動が大きければ、変数ｓによって指定されるエラーデータＥｒ(ｓ)が“１”に設定される。この“１”に設定されたエラーデータＥｒ(ｓ)は、ＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。

ステップＳ１５４においては、変数ｓが前記入力したＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達したか否かを判定する（図１０参照）。変数ｓがＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達していなければ、コントローラ９０は、ステップＳ１５４にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ１５６にて変数ｓに「１」を加算して、ステップＳ１４６に戻る。そして、コントローラ９０は、前述したステップＳ１４６〜Ｓ１５２の処理により、図１０の次の取出電極１０１，１０２に関して、所定数からなるグループごとに、平均値Ａ(ｓ)及び評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)を計算するとともに、これらの評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)を評価し、前記取出電極１０１，１０２に異常が発生していれば、エラーデータＥｒ(ｓ)を“１”に設定してＲＡＭ又は記憶装置に記憶する。

そして、これらのステップＳ１４６〜Ｓ１５４の処理を全ての取出電極１０１，１０２に関して実行した後、コントローラ９０は、ステップＳ１５４にて「Ｙｅｓ」すなわち変数ｓがＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達していると判定して、ステップＳ１５８に進む。

ステップＳ１５８においては、コントローラ９０は、前記ＲＡＭ又は記憶装置に記憶した電流の大きさデータＩxy(ｎ)及びＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ)を用いて、電極番号ｇによって指定される太陽電池セルＳＣごとに、表示用画像データを生成して、表示装置９２に画像データによって表された画像を表示する。この画像は、例えば、太陽電池セルＳＣの検査位置ごとに、Ｘ軸方向に沿って、電流の大きさデータＩxy(ｎ)に応じて明度、色彩などを異ならせて表示するとともに、Ｙ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ)に応じて明度、色彩などを異ならせて表示するとよい。

前記ステップＳ１５８の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ１６０にて、エラーデータＥｒ(ｓ)（ｓ＝１〜ｓmax）の中に“１”を示すエラーデータが存在するかを調べる。“１”を示すエラーデータＥｒ(ｓ)が存在しなければ、コントローラ９０は、ステップＳ１６０にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ１６２にて表示装置９２に「合格」を表示し、ステップＳ１７２にてこの評価プログラムの実行を終了する。一方、“１”を示すエラーデータＥｒ(ｓ)が存在すると、コントローラ９０は、ステップＳ１６０にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ１６４にて表示装置９２に「不合格」を表示し、ステップＳ１６６にて、エラーデータＥ（ｓ）が“１”である変数ｓを取り出して、前記表示した画像中の変数ｓによって指定される取出電極１０１，１０２を欠陥ありとして表示する。これによれば、作業者は、表示装置９２の表示状態から、太陽電池セルＳＣの異常（取出電極１０１，１０２の接続不良）を確実かつ容易に認識できる。

次に、前記ステップＳ１２４〜Ｓ１４０の処理によって取出電極１０１，１０２が正確に検出されていなくて、図９ＢのステップＳ１４２にて「Ｎｏ」と判定された場合について説明する。この場合には、コントローラ９０は、ステップＳ１６８にて、電流の大きさデータＩxy(ｎ)、電流の方向データθixy(ｎ)、Ｘ軸方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ)及びＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ)（ｎ＝１〜ｎmax）から表示用画像データを生成して、表示装置９２に画像データによって表された画像を表示する。

特に、可能であれば、取出電極１０１，１０２の異常（取出電極１０１，１０２と内部電極１０６，１０８との接続不良）を視覚判断できるように、取出電極１０１，１０２の対応位置又はその近傍位置（取出電極１０１，１０２の間であって取出電極１０１，１０２の近傍位置）のＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ)のみを、取出電極１０１，１０２ごと又は太陽電池セルＳＣごとに表示するようにするとよい。この場合には、取出電極１０１，１０２の位置が検出されていないので、作業者が、表示装置９２の表示画面を見ながら、表示画像を移動させて取出電極１０１，１０２の対応位置又はその近傍位置のＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ)を表示させる必要がある。これによれば、作業者は、表示装置９２による表示状態から、太陽電池セルＳＣの異常（取出電極１０１，１０２の接続不良）を判断することができる場合がある。

次に、コントローラ９０は、ステップＳ１７０にて、「取出電極１０１，１０２の合否判定は不能」である旨を表示装置９２に表示して、ステップＳ１７２にてこの評価プログラムの実行を終了する。

上述のようにして、Ｘ軸方向に一列に配置された複数の取出電極１０１，１０２の異常検出が終了したら、作業者は、入力装置９１を操作することにより、コントローラ９０を介してＹ方向フィードモータ制御回路７５に指示して、磁気センサ１０がＸ軸方向に延設されたＹ軸方向の隣の取出電極１０１，１０２に対向する位置に来るように、Ｙ方向モータ４４を作動させる。この場合も、磁気センサ１０の移動は、作業者の視覚判断によって行ってもよいし、電極の位置検出装置などを用いた自動制御を含めてもよい。そして、コントローラ９０に、図８のデータ取得プログラム及び図９Ａ〜図９Ａの評価プログラムを上述したように実行させて、前記取出電極１０１，１０２のＹ軸方向の隣の取出電極１０１，１０２の異常を検出する。そして、全ての取出電極１０１，１０２の異常検出の終了をもって第１タイプの太陽電池ＳＢの検査の終了とする。

上記作動説明からも理解できるように、第１タイプの太陽電池（太陽電池セル内に直列接続構造を有する太陽電池）においては、取出電極１０１，１０２又はその近傍の位置において、取出電極１０１，１０２の延設方向であるＸ軸方向と直交するＹ軸方向に流れる電流の大きさＩｙを検出するようにしたので、アモルファス太陽電池の場合によくあるように、太陽電池セルＳＣ内に単位セルを直列接続した太陽電池ＳＢにおける取出電極１０１，１０２の接続不良を精度よく検出できる。また、さらに、この前記検出された電流の大きさＩｙの変動が大きい部分の変動量を表す特性値すなわち評価値Ｂ(ｓ)，Ｃ(ｓ)，を計算するようにしたので、前記取出電極１０１，１９２の接続不良の自動検出できるようになる。

次に、検査対象である太陽電池ＳＢが太陽電池セルＳＣ内にそれぞれ電池の直列接続構造を有しないもの（図１３の第２タイプの太陽電池ＳＢ）の検査について説明する。なお、この場合、作業者は、入力装置９１を操作することにより、コントローラ９０を介してＹ方向フィードモータ制御回路７５を指示して、磁気センサ１０がＸ軸方向に延設されたバスバー電極２０７に対向する位置に来るように、Ｙ方向モータ４４を作動させる。そして、上述した図８のデータ取得プログラム及び図９Ａの評価プログラムをコントローラ９０に実行させる。この場合、コントローラ９０は、図９ＡのステップＳ１２０にて「Ｎｏ」と判定して、図９ＤのステップＳ２０４〜Ｓ２２２の処理を実行する。この場合も、この時点では、太陽電池ＳＢの検査位置ごとに、電流の大きさデータＩxy(ｎ)、電流の方向データθixy(ｎ)、Ｘ軸方向の電流の大きさデータＩx(ｎ)及びＹ軸方向の電流の大きさデータＩy(ｎ)（ｎ＝１〜ｎmax）が、ＲＡＭ又は記憶装置に記憶されている。そして、この場合には、主にＸ−Ｙ平面内の電流の大きさデータＩxy(ｎ)を用いる。

ステップＳ２０４〜Ｓ２２０の処理は、図９ＢのステップＳ１２４〜Ｓ１４０の処理とほぼ同じであり、異なる点は、ステップＳ２０６，Ｓ２１４の処理である。ステップＳ２０６においては、上記ステップＳ１２４のＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ)に代えて電流の大きさデータＩxy(ｎ)が用いられ、変数ｎによって指定される電流の大きさデータＩxy(ｎ)が所定の小さな基準値以上であるかを判定することにより、変数ｎによって示される検出位置が太陽電池セルＳＣ上（バスバー電極２０７）の位置にあるのか、太陽電池セルＳＣ間（接続線２０８）の位置にあるかを判定する。これは、バスバー電極２０７の位置に比べて接続線２０８の位置では、電流の大きさデータＩxy(ｎ)が極めて小さくなるからである。すなわち、図１３に示すように、複数のバスバー電極２０７はＸ軸方向に沿って配置されている。そして、複数のバスバー電極２０７は、図１４Ｂ及び図１６(Ａ)に示すように、接続線２０８によって裏面電極２０１に接続されている。この場合、バスバー電極２０７を流れる電流の大きさデータIxy(ｎ)は大きいが、接続線２０８を流れる電流はＸ−Ｙ平面を流れる電流だけではなく、Ｚ方向（上下方向）に流れる成分を含むために小さい。したがって、複数のバスバー電極２０７に沿ってＹ方向に流れる電流は、図１６(Ｂ)に示すように、バスバー電極２０７に対応する位置では大きく、接続線２０８に対応した位置では小さい。したがって、前記ステップＳ２０６の判定処理により、上記図９ＢのステップＳ１２６の場合と同様に、バスバー電極２０７，２０７の位置と接続線２０８の位置とが検出される。

また、ステップＳ２１４においては、上記ステップＳ１３４のＹ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉｙ(ｎ−ｐ)〜Ｉｙ(ｎ−１)に代えて、電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ−ｐ)〜Ｉxy(ｎ−１)に電極番号ｇを割当てる。そして、これらのステップＳ２０４〜Ｓ２２０の処理により、各バスバー電極２０８の検出位置における電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ−ｐ)〜Ｉxy(ｎ−１)に、「１」ずつ増加する電極番号ｇが順次割当てられる。そして、上記図９Ｂの場合と同様に、変数ｎが値ｎmax（すなわち終了値Ｘmax直前の検出位置によるサンプリングデータ群に関する変数ｎの値）に達すると、コントローラ９０は、ステップＳ２１８にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２２２にて変数ｇが初期に入力したＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに等しいか否かを判定する。この場合、全てのバスバー電極２０７が正確に検出されていて変数ｇが前記数ｓmaxに等しければ、コントローラ９０は、ステップＳ２２２にて「Ｙｅｓ」と判定して、図９ＦのステップＳ２６０に進む。一方、全てのバスバー電極２０７が正確に検出されていなくて変数ｇが前記数ｓmaxに等しくなければ、コントローラ９０は、ステップＳ２２２にて「Ｎｏ」と判定して、図９ＥのステップＳ２３０に進む。

ステップＳ２３０においては、コントローラ９０は、各電極番号ｇが割当てられている電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)ごとに、電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)にそれぞれ対応した複数の検出位置ｎのＸ軸方向の中央値Ａven(ｇ)をそれぞれ計算する。次に、コントローラ９０は、ステップＳ２３２にて電極番号ｇを指定するための変数ｓを「１」に初期設定して、ステップＳ２３４にて、変数ｓ＋１によって指定される中央値Ａven(ｓ＋１)から変数ｓによって指定される中央値Ａven(ｓ)及び値ｃｅを減算した絶対値｜Ａven(ｓ＋１)−Ａven(ｓ)−ｃｅ｜が所定の小さな値Δｐ以下であるかを判定する。値ｃｅは、１つの太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の長さ（バスバー電極２０７の長さに等しい）を移動距離単位ΔＸで除した値である。したがって、値ｃｅは、１つのバスバー電極２０７の延設方向における位置検出数に等しい。

今、隣合う1対のバスバー電極２０７がＸ軸方向にて連続して検出されていれば、前記絶対値｜Ａven(ｓ＋１)−Ａven(ｓ)−ｃｅ｜はほぼ「０」である。したがって、この場合には、コントローラ９０は、ステップＳ２３４にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２３６にて変数ｓに「１」を加算し、ステップＳ２３８にて変数ｓ＋１によって指定される次の中央値Ａven(ｓ＋１)が存在していることを条件に「Ｙｅｓ」と判定して、ふたたびステップＳ２３４の判定処理を実行する。一方、図１５のＹ軸方向の３列目のように、Ｘ軸方向の４番目のバスバー電極２０７が検出されていない場合、変数ｓが「３」であるとき、前記絶対値｜Ａven(ｓ＋１)−Ａven(ｓ)−ｃｅ｜はほぼ値ｃｅとなる。この場合には、コントローラ９０は、ステップＳ２３４にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ２４０にて、変数ｓ＋１以上の電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の電極番号ｇをそれぞれ電極番号ｇ＋１に変更、すなわち変数ｓ＋１以上の電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の電極番号ｇを「１」ずつ増加させる。

次に、コントローラ９０は、ステップＳ２４２にて変数ｓに等しい電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の変数ｎ（検出位置を示す値）に値ｃｅをそれぞれ加算した値ｎ＋ｃｅに対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ＋ｃｅ)を新たに定義し、定義した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ＋ｃｅ)に変数ｓ＋１に等しい電極番号ｇを割当て、変数ｎの中央値Ａven(ｇ)を計算する。これにより、図１５のＹ軸方向の３列目でＸ軸方向の４番目のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算され、電極番号ｇも順番にＸ軸方向の全ての電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)に割当てられる。

また、図１５のＹ軸方向の４列目のように、Ｘ軸方向の３番目及び４番目のバスバー電極２０７が連続して検出されていない場合、変数ｓが「２」であるとき、前記絶対値｜Ａven(ｓ＋１)−Ａven(ｓ)−ｃｅ｜はほぼ値２・ｃｅとなる。そして、この場合には、前述のステップＳ２４０，Ｓ２４２の処理により、Ｙ軸方向に４列目でＸ軸方向の３番目のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算され、電極番号ｇも順番にＸ軸方向の全ての電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)に割当てられる。しかし、この場合には、この補充によっても、ステップＳ２３６の処理によって変数ｓが「３」になったとき、前記絶対値｜Ａven(ｓ＋１)−Ａven(ｓ)−ｃｅ｜はほぼ値ｃｅとなる。したがって、ステップＳ２３６の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ２３８にて「Ｙｅｓ」と判定し、ステップＳ２３４にて「Ｎｏ」と判定して、ふたたびステップＳ２４０，Ｓ２４２の処理を実行する。これにより、Ｙ軸方向に４列目でＸ軸方向の４番目のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算され、電極番号ｇも順番にＸ軸方向の全ての電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)に割当てられる。その結果、４列目のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の数もバスバー電極２０７（太陽電池セルＳＣ）の数に等しくなる。なお、３つ以上の電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)がＸ軸方向の中間位置にて欠落しても同様に、前記ステップＳ２３４〜Ｓ２４２の処理により、欠落した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)は補充される。

前記ステップＳ２３４〜Ｓ２４２の処理中、変数ｓ＋１によって指定される中央値Ａven(ｓ＋１)が存在しなくなると、すなわちＸ軸方向の次の電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の中央値Ａven(ｓ＋１)が存在しなくなると、コントローラ９０は、ステップＳ２３８にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２４４にて変数ｓが初期に入力したＸ軸方向の太陽電池セルの数smaxに等しいかを判定する。この場合も、変数ｇが前記数ｓmaxに等しければ、コントローラ９０は、ステップＳ２４４にて「Ｙｅｓ」と判定して、図９ＦのステップＳ２６０に進む。

一方、図１５のＹ軸方向の５列目及び６列目のように、Ｘ軸方向の最後のバスバー電極２０７が検出されていない場合、又は図１５のＹ軸方向の７列目及び８列目のように、Ｘ軸方向の最初のバスバー電極２０７が検出されていない場合には、前述したステップＳ２３４，Ｓ２４０，Ｓ２４２の処理では、電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の欠落を補充できない。そして、この場合には、中央値Ａven(ｓ＋１)（すなわち次の中央値Ａven(ｓ)）が存在しなくなった時点でも、変数ｓがＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数smaxに等しくなく、コントローラ９０は、ステップＳ２４４にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２４６に進む。

ステップＳ２４６においては、コントローラ９０は、変数ｓによって指定される中央値Ａven(ｓ)に前記所定値ｃｅ（太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の検出位置数）を加算した値Ａven(ｓ)＋ｃｅを中心値Ａven(ｓ)＋ｃｅとし、中心値Ａven(ｓ)＋ｃｅから値ａを減算したＸ軸方向の検出位置Ａven(ｓ)＋ｃｅ−ａから前記中心値Ａven(ｓ)＋ｃｅに値ａを加算したＸ軸方向の検出位置Ａven(ｓ)＋ｃｅ＋ａまでの検出位置ｎ（＝Ａven(ｓ)＋ｃｅ−ａ〜Ａven(ｓ)＋ｃｅ＋ａ）によって指定される電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の中から最大値を抽出して最大電流値Ｉmaxとする。なお、値ａは、５〜数１０程度の予め決められた値である。これにより、Ｘ軸方向の図１５の最も右側の検出されたバスバー電極２０７の中央値Ａven(ｓ)よりもさらに値ｃｅ（バスバー電極２０７の長さ分に対応）だけ右側の所定幅の検出位置が定義され、この定義された検出位置における電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の中から最大電流値Ｉmaxが定義される。そして、コントローラ９０は、ステップＳ２４８にて前記最大電流値Ｉmaxが設定値以上であるかを判定する。なお、この設定値は、太陽電池セルＳＣが存在するならば、太陽電池セルＳＣが異常であっても、そのバスバー電極２０７位置にて検出される比較的小さな予め決められた電流値である。

そして、前記位置にバスバー電極２０７が存在して、前記最大電流値Ｉmaxが設定値以上であれば、コントローラ９０は、ステップＳ２４８にて「Ｙｅｓ」と判定してステップＳ２５０に進む。これは、図１５のＹ軸方向の５列目又は６列目のように、Ｘ軸方向の最後のバスバー電極２０７が検出されていない場合の処理である。ステップＳ２５０においては、変数ｓに等しい電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の変数ｎに所定値ｃｅをそれぞれ加算した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ＋ｃｅ)を新たに定義し、新たに定義した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ＋ｃｅ)に変数ｓ＋１に等しい電極番号ｇを割当て、検出位置ｎの中央値Ａven(ｇ)を計算する。これにより、検出されていなかったＸ軸方向の図示右側のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算される。そして、コントローラ９０は、前記ステップＳ２３６以降の処理を実行するが、図１５のＸ方向の５列目のように、Ｘ軸方向の最後の１つのバスバー電極２０７が検出されていなかった場合には、ステップＳ２３６の処理によって増加された変数ｓはＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数smaxを示すことになるので、ステップＳ２３８にて「Ｎｏ」と判定されるとともに、ステップＳ２４４にて「Ｙｅｓ」と判定されて図９ＦのステップＳ２６０以降に進められる。

しかし、図１５のＸ方向の６列目のように、Ｘ軸方向の最後の２つのバスバー電極２０７が検出されていなかった場合には、ステップＳ２４４にてふたたび「Ｎｏ」と判定されて、前述したステップＳ２４６〜Ｓ２５０からなる処理が実行されて、検出されていなかったＸ軸方向の図示右側のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)がさらに補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算される。その結果、Ｘ軸方向の全てのバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)が補充される。さらに、Ｘ軸方向の最後の３つ以上のバスバー電極２０７が検出されていなかった場合にも、前述したステップＳ２４６〜Ｓ２５０からなる処理が実行されて、検出されていなかったＸ軸方向の図示右側のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算される。

次に、図１５のＹ軸方向の７列目及び８列目のように、Ｘ軸方向の最初（図示左側）のバスバー電極２０７が検出されていない場合について説明する。この場合には、前記ステップＳ２４６の処理によって計算されるＸ軸方向位置（すなわち検出位置（Ａven(ｓ)＋ｃｅ−ａ）〜（Ａven(ｓ)＋ｃｅ＋ａ）には、太陽電池セルＳＣは存在しない。したがって、この場合には、コントローラ９０は、ステップＳ２４８にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２５２に進む。ステップＳ２５２においては、コントローラ９０は、最初に検出されたバスバー電極２０７（図１５のＹ軸方向の７列目及び８列目の最も左側のバスバー電極）に関する中央値Ａven(１)から前記所定値ｃｅ（太陽電池セルＳＣのＸ軸方向の検出位置数）を減算した値を中心値Ａven(１)−ｃｅとし、中心値Ａven(１)−ｃｅから値ａを減算したＸ軸方向の検出位置Ａven(１)−ｃｅ−ａから前記中心値Ａven(１)−ｃｅに値ａを加算したＸ軸方向の検出位置Ａven(１)−ｃｅ＋ａまでの検出位置ｎ（＝Ａven(１)−ｃｅ−ａ〜Ａven(１)−ｃｅ＋ａ）によって指定される電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の中から最大値を抽出して最大電流値Ｉmaxとする。なお、この場合も、値ａは、５〜数１０程度の予め決められた値である。これにより、Ｘ軸方向の図示最も左側の検出されたバスバー電極２０７の中央値Ａven(１)よりもさらに値ｃｅ（バスバー電極２０７の長さ分に対応）だけ左側の所定幅の検出位置が定義され、この定義された検出位置における電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の中から最大電流値Ｉmaxが定義される。そして、コントローラ９０は、ステップＳ２５４にて前記最大電流値Ｉmaxが設定値以上であるかを判定する。なお、この場合も、設定値は、太陽電池セルＳＣが存在するならば、太陽電池セルＳＣが異常であっても、そのバスバー電極２０７位置にて検出される比較的小さな予め決められた電流値である。

そして、前記位置にバスバー電極２０７が存在して、前記最大電流値Ｉmaxが設定値以上であれば、コントローラ９０は、ステップＳ２５４にて「Ｙｅｓ」と判定してステップＳ２５６に進む。これは、図１５のＹ軸方向の７列目又は８列目のように、Ｘ軸方向の最初のバスバー電極２０７が検出されていない場合の処理である。ステップＳ２５６にて、値「１」以上の電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の電極番号ｇをそれぞれ電極番号ｇ＋１に変更、すなわち電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の電極番号ｇを「１」ずつ増加させる。

次に、コントローラ９０は、ステップＳ２５８にて値「２」に等しい電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の変数ｎ（検出位置を示す値）から値ｃｅをそれぞれ減算した値ｎ−ｃｅに対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ―ｃｅ)を新たに定義し、定義した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ＋ｃｅ)に値「１」に等しい電極番号ｇを割当て、変数ｎの中央値Ａven(ｇ)を計算する。これにより、図１５のＹ軸方向の７列目及び８列目でＸ軸方向の最初のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算され、電極番号ｇも順番にＸ軸方向の全ての電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)に割当てられる。

そして、コントローラ９０は、図９ＥのステップＳ２３６以降の処理を実行するが、図１５のＹ軸方向の７列目のように、Ｘ軸方向の最初の１つのバスバー電極２０７のみが検出されていなかった場合には、ステップＳ２３６の処理によって増加された変数ｓは電極番号ｇはＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数smaxを示すことになるので、ステップＳ２３８にて「Ｎｏ」と判定されるとともに、ステップＳ２４４にて「Ｙｅｓ」と判定されて図９ＦのステップＳ２６０以降に進められる。

しかし、図１５のＹ軸方向の８列目のように、Ｘ軸方向の最初の２つのバスバー電極２０７が検出されていなかった場合には、ステップＳ２４４，Ｓ２４８にてふたたび「Ｎｏ」と判定されて、前述したステップＳ２５２〜Ｓ２５８からなる処理が実行されて、検出されていなかったＸ軸方向の前方（図１５の左側）のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算される。その結果、全てのバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)が補充される。さらに、Ｘ軸方向の最初の３つ以上のバスバー電極２０７が検出されていなかった場合にも、前述したステップＳ２５２〜Ｓ２５８からなる処理が実行されて、検出されていなかったＸ軸方向の前方のバスバー電極２０７に対応した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)が補充されるとともに、その中央値Ａven(ｇ)も計算される。

また、ステップＳ２４８において「Ｎｏ」と判定されるとともに、ステップＳ２５４においても「Ｎｏ」と判定された場合には、コントローラ９０は、図９ＣのステップＳ１６８以降に進む。これは、バスバー電極２０７に対応した全ての電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の補充ができない場合には、太陽電池検査装置に異常が発生していて、太陽電池ＳＢの異常を的確に検出できない可能性が高いためである。そして、この場合には、上述した図９ＣのステップＳ１６８，Ｓ１７０の処理により、電流の大きさデータＩxy(ｎ)、電流の方向データθixy(ｎ)、Ｘ軸方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ)及びＹ軸方向の電流の大きさデータＩｙ(ｎ)（ｎ＝１〜ｎmax）から表示用画像データが生成されて、表示装置９２に画像データによって表された画像が表示されるとともに、「取出電極１０１，１０２の合否判定は不能」である旨が表示装置９２に表示される。これにより、バスバー電極２０７に関する全ての電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の補充ができない場合でも、作業者は、表示装置９２による表示状態から、第２タイプの太陽電池ＳＢの異常を判断することができる場合もある。

次に、図９ＤのステップＳ２２２及び図９ＥのステップＳ２４４にて「Ｙｅｓ」と判定された場合、すなわちバスバー電極２０７に関する全ての電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の補充ができた場合の処理について説明する。

この場合、コントローラ９０は、ステップＳ２６０にて、電極番号ｇ（＝１〜smax）が割当てられている全ての電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)のデータであって、各大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の両端部に対応する大きさデータ群Ｉxy(ｎ)を除いた全ての大きさデータ群Ｉxy(ｎ)のトータル平均値Ｉavetxを計算する。この処理により、図１３において、Ｘ軸方向に配列された全てのバスバー電極２０７の各両端部を除いて各バスバー電極２０７に流れる電流の検出位置ごとのＸ軸方向の電流のトータル平均値Ｉavetxが計算される。各バスバー電極２０７の両端部の電流の大きさデータＩxy(ｎ)を除く理由は、この両端部ではＸ−Ｙ平面内の電流成分が安定しないことがあるためで、両端部の長さとしてはバスバー電極２０７の全長の数パーセントから２０パーセント程度である。

次に、コントローラ９０は、ステップＳ２６２にて、電極番号ｇを指定するための変数ｓを「１」に初期設定して、ステップＳ２６４にて、変数ｓに等しい電極番号ｇが割当てられた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)から、前記ステップＳ２６０の場合と同様に両端部を除いた電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)を抽出する。そして、ステップＳ２６６にて、前記抽出した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)を用いて次のような計算を実行する。まず、変数ｓに等しい電極番号ｇが割当てられた１つのバスバー電極２０７に流れる平均電流として、前記抽出した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の平均値Ａ(ｓ)を計算する。この平均値Ａ(ｓ)は、ＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。

次に、前記ステップＳ２６６にて、前記計算した平均値Ａ(ｓ)を前記ステップＳ２６０の処理により計算したトータル平均値Ｉavetxで除算して、除算結果Ａ(ｓ)／Ｉavetxを１つのバスバー電極２０７に流れる電流レベルを評価するための評価データＢ(ｓ)としてＲＡＭ又は記憶装置に記憶しておく。また、前記抽出した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の最大値から最小値を減算して、減算結果を前記計算した平均値Ａ(ｓ)で除算して、除算結果（最大値−最小値）／Ａ(ｓ)を、１つのバスバー電極２０７に流れる電流レベルの変動を評価するための評価データＣ(ｓ)としてＲＡＭ又は記憶装置に記憶しておく。また、前記抽出した電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の標準偏差σを前記計算した平均値Ａ(ｓ)で除算して、除算結果σ／Ａ(ｓ)を、１つのバスバー電極２０７に流れる電流レベルの変動を評価するための評価データＤ(ｓ)としてＲＡＭ又は記憶装置に記憶しておく。

前記ステップＳ２６６の処理後、コントローラ９０は、ステップＳ２６８にて、評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)，Ｄ(ｓ)のうちのいずれかが所定の許容値よりも大きいか否かを判定する。なお、前記所定の許容値は、評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)，Ｄ(ｓ)ごとにそれぞれ異なる。評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)，Ｄ(ｓ)のうちのいずれかが所定の許容値よりも大きければ、コントローラ９０は、ステップＳ２６８にて「Ｙｅｓ」と判定して、ステップＳ２７０にてエラーデータＥｒ(ｓ)を“１”に設定して、ステップＳ２７２に進む。一方、全ての評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)，Ｄ(ｓ)がそれぞれ各許容値以下であれば、コントローラ９０は、ステップＳ２６８にて「Ｎｏ」と判定して、ステップＳ２７２に進む。これにより、変数ｓによって指定されるバスバー電極２０７に関する異常が発生して、図１７〜図１９を用いて前述したように、Ｘ軸方向の電流の大きさデータ群Ｉxy(ｎ)の変動が大きければ、すなわち評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)，Ｄ(ｓ)が大きくなった場合には、変数ｓによって指定されるエラーデータＥｒ(ｓ)が“１”に設定される。この“１”に設定されたエラーデータＥｒ(ｓ)は、ＲＡＭ又は記憶装置に記憶される。

ステップＳ２７２においては、変数ｓが前記入力したＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達したか否かを判定する（図１３参照）。変数ｓがＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達していなければ、コントローラ９０は、ステップＳ２７２にて「Ｎｏ」と判定し、ステップＳ２７４にて変数ｓに「１」を加算して、ステップＳ２６４に戻る。そして、コントローラ９０は、前述したステップＳ２６４〜Ｓ２７０の処理により、図１３の次のバスバー電極２０７に関して、平均値Ａ(ｓ)及び評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)，Ｄ(ｓ)を計算するとともに、これらの評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)
，Ｄ(ｓ)を評価し、前記バスバー電極２０７に関して異常が発生していれば、エラーデータＥｒ(ｓ)を“１”に設定してＲＡＭ又は記憶装置に記憶する。

そして、これらのステップＳ２６４〜Ｓ２７０の処理を全てのバスバー電極２０７に関して実行した後、コントローラ９０は、ステップＳ２７２にて「Ｙｅｓ」すなわち変数ｓがＸ軸方向の太陽電池セルＳＣの数ｓmaxに達していると判定して、ステップＳ２７６に進む。

ステップＳ２７６においては、コントローラ９０は、上記図９ＣのステップＳ１５８の処理と同様に、前記ＲＡＭ又は記憶装置に記憶した電流の大きさデータＩxy(ｎ)及びＸ軸方向の電流の大きさデータＩｘ(ｎ)を用いて、電極番号ｇによって指定される太陽電池セルＳＣごとに、表示用画像データを生成して、表示装置９２に画像データによって表された画像を表示する。

前記ステップＳ２７６の処理後、コントローラ９０は、上述した図９ＣのステップＳ１６０〜Ｓ１６６の処理を実行して、ステップＳ１７２にてこの評価プログラムの実行を終了する。これらのステップＳ１６０〜Ｓ１６６の処理により、エラーデータＥｒ(ｓ)（ｓ＝１〜ｓmax）の中に“１”を示すエラーデータが存在しなければ、表示装置９２に「合格」を表示する。また、 “１”を示すエラーデータＥｒ(ｓ)が存在する場合には、表示装置９２に「不合格」を表示するとともに、変数ｓによって指定されるバスバー電極２０７を欠陥ありとして表示する。これによれば、作業者は、表示装置９２の表示状態から、第２タイプの太陽電池ＳＢの異常を確実かつ容易に認識できる。

また、この第２タイプの太陽電池ＳＢの場合も、上述した第１タイプの太陽電池ＳＢの場合と同様に、Ｘ軸方向に一列に配置された複数のバスバー電極２０７に関する異常検出が終了したら、作業者は、入力装置９１を操作することにより、コントローラ９０を介してＹ方向フィードモータ制御回路７５に指示して、磁気センサ１０がＸ軸方向に延設されたＹ軸方向の隣のバスバー電極２０７に対向する位置に来るように、Ｙ方向モータ４４を作動させる。そして、コントローラ９０に、図８のデータ取得プログラム及び図９Ａ〜図９Ａの評価プログラムを上述したように実行させて、前記バスバー電極２０７のＹ軸方向の隣のバスバー電極２０７に関する異常を検出する。そして、全てのバスバー電極２０７に関する異常検出の終了をもって第２タイプの太陽電池ＳＢの検査の終了とする。

上記作動説明からも理解できるように、第２タイプの太陽電池（結晶系太陽電池）においては、バスバー電極２０７又はその近傍の位置において、バスバー電極２０７の延設方向であるＸ軸方向に流れる電流の大きさＩxy（Ｘ軸方向の電流Ｉｘにほぼ等しい）を検出するようにしたので、結晶系太陽電池の場合によくあるように、太陽電池セルＳＣ内には単位セルの直列接続はなく、太陽電池セルＳＣ間を直列接続した太陽電池ＳＢにおけるバスバー電極２０７などの接続不良を精度よく検出できる。さらに、前記検出された電流Ｉxyの大きさの変動が大きい部分の変動量を表す特性値すなわち評価値Ｂ(ｓ)，Ｃ(ｓ)，Ｄ(ｓ)を計算するようにしたので、前記電極の接続不良の自動検出できるようになる。

さらに、上記のような太陽電池検査装置においては、支持部材３１に取付けられた発光素子５９がステージ２０上に載置された太陽電池ＳＢの支持部材３１と対向する領域に光を照射する。したがって、支持部材３１、移動部材３２、磁気センサ１０などが発電のために光を照射する発光素子６０と太陽電池ＳＢと間に位置しても、支持部材３１、移動部材３２、磁気センサ１０などによる影が太陽電池ＳＢ上に形成されたり、太陽電池ＳＢの表面には明度に大きな差がある明るい部分と暗い部分とが生じたりすることがなくなる。その結果、この太陽電池検査装置によれば、太陽電池ＳＢには電流が適切に流れ、測定した磁界に基づいて太陽電池の電極の接続不良を精度よく検出できるようになる。

また、上記のような太陽電池検査装置においては、支持部材３１に取付けた遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂは、ステージ２０上に載置された太陽電池ＳＢの支持部材３１、移動部材３２、磁気センサ１０などと対向する領域に、発光素子６０による光が照射されないように光を遮断する。その結果、支持部材３１、移動部材３２、磁気センサ１０などによる発光素子６０の光の遮断による影響が全くなくなり、太陽電池ＳＢの表面には明度に差がある明るい部分と暗い部分とが全くなくなる。したがって、測定した磁界に基づいて太陽電池ＳＢの電極の接続不良をさらに精度よく検出できるようになった。

また、上記太陽電池検査装置においては、発光素子６０は、発光信号供給回路８１及び第１光源駆動回路８２の駆動制御により、ステージ２０上に載置した太陽電池ＳＢの表面全体にわたって、所定周期で強度が変化する光を均等に照射する。そして、磁気センサ１０が太陽電池ＳＢに発電によって流れる電流により発生する磁界を検出し、センサ信号取出回路８３及びロックインアンプ８４は、太陽電池ＳＢに発電によって流れる電流により発生する磁界であって、前記所定周期と等しい周期で強度が変化する磁界を検出する。したがって、外乱光や、外部磁界が存在しても、コストを抑えたうえで、これらの影響を受けずに、太陽電池ＳＢに発生する磁界を検出することができる。

ｄ．変形例
以上、本発明の一実施形態について説明したが、本発明の実施にあたっては、上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の目的を逸脱しない限りにおいて種々の変形も可能である。

上記実施形態では、遮光カーテン５１Ａ，５１Ｂによって太陽電池ＳＢの測定箇所に光が照射されないように遮光した。しかし、前記遮光を行うことができ、かつ太陽電池ＳＢと接触させても太陽電池ＳＢに影響を与えないものであれば、どのような遮光部材を用いてもよい。この場合、例えば、先端が柔軟性のある絶縁物で形成された遮光板や、遮光ガラスをスライドさせて遮光を行うようにしてもよい。

また、上記実施形態においては、磁気センサ１０を移動部材３２に固定し、移動部材３２をＸ軸方向に延設された支持部材３１にＸ軸方向に変位可能に支持させて、移動部材３２をＸ方向モータ３４でＸ軸方向の移動させることにより、磁気センサ１０を太陽電池ＳＢに対してＸ軸方向に走査するようにした。また、支持部材３１をＹ軸方向に延設された支持部材４１，４２にＹ軸方向に変位可能に支持させて、支持部材３１をＹ方向モータ４４でＹ軸方向の移動させることにより、磁気センサ１０を太陽電池ＳＢに対してＹ軸方向にも走査するようにした。しかし、これに代えて、支持部材３１の延設方向（Ｘ方向）に沿って複数の磁気センサをそれぞれ取付けて、太陽電池ＳＢに流れる電流によって発生する磁界の検出において、磁気センサをＸ軸方向に移動させることなく、Ｘ軸方向に沿った各位置の磁界を複数の磁気センサによってそれぞれ検出するようにしてもよい。この場合も、Ｙ軸方向の走査に関しては、支持部材３１をＹ方向モータ４４でＹ軸方向に移動させる。

また、上記実施形態においては、１つの磁気センサ１０を移動させて磁界測定を行ったが、複数の磁気センサを取出電極１０１，１０２及びバスバー電極２０７の延設方向の直角方向（Ｙ軸方向）に配置し、複数のラインで同時に磁界測定を行うようにしてもよい。これによれば、複数のラインのうちで、最適なラインの測定結果を選択して検査を行うことができるようになり、測定精度がさらに向上する。

また、上記実施形態においては、Ｙ軸方向の測定位置（取出電極１０２，１０２又はバスバー電極２０７がＸ軸方向に延設されているＹ軸方向位置）を定めて、磁気センサ１０の位置を調整して磁界の測定を行った。しかし、これに代えて、支持部材３１、移動部材３２及び磁気センサ１０をＹ軸方向に沿って複数組設けて、Ｙ軸方向の複数の測定位置を同時測定できるようにしてもよい。

また、上記実施形態では、図９ＡのステップＳ１０４〜Ｓ１１０の処理より、磁気センサ１０の検出位置のＸ方向磁気検出信号の極大値Ｈｘ、Ｘ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｘ、Ｙ方向磁気検出信号の極大値Ｈｙ、Ｙ方向磁気検出信号の参照信号に対する位相シフト量θｙ、磁界の強さＨxy及び磁界の向きθxyを計算して、ステップＳ１１２，Ｓ１１４の処理により、磁気センサ１０の検出位置の電流の大きさＩxy(ｎ)、前記電流の方向θixy(ｎ)、Ｘ軸方向の電流の大きさＩｘ(ｎ)及びＹ軸方向の電流の大きさＩｙ(ｎ)を計算した。そして、第１タイプの太陽電池ＳＢにおいては、ステップＳ１４６，Ｓ１４８の処理により、Ｙ軸方向の電流の大きさＩｙ(ｎ)を用いて、取出電極１０１，１０２に関する評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)を計算して太陽電池セルＳＣの取出電極１０１，１０２と内部電極１０６，１０８との接続不良を評価するようにした。しかし、電流の大きさＩｙは磁界の強さＨｙに比例しており、電流の方向は磁界の方向とπ／２異なるだけである。したがって、磁界に関する情報を電流に関する情報に変換しなくても、磁気センサ１０の各検出位置の磁界の強さＨxyから下記式１１により求めたＸ軸方向の磁界の大きさＨｘ’を、上記実施形態のＹ軸方向の電流の大きさＩｙ(ｎ)に代えて用いることにより、太陽電池セルＳＣの取出電極１０１，１０２と内部電極１０６，１０８との接続不良に関する評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)を計算して前記接続不良を評価するようにしてもよい。
Ｈｘ’＝Ｈxy・cosθxy …式１１

また、第２タイプの太陽電池ＳＢにおいては、ステップＳ２６０，Ｓ２６４，Ｓ２６６の処理により、電流の大きさＩxyを用いて、バスバー電極２０７に流れる電流の評価のための評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)，Ｄ(ｓ)を計算した。しかし、上述のように、バスバー電極２０７位置を流れる電流の向きはほぼＸ方向であるので、前記電流の大きさＩxy(ｎ)に代えて、Ｘ軸方向の電流の大きさIｘ(ｎ)の絶対値を用いるようにしてもよい。さらに、電流の大きさＩxyは磁界の大きさＨxyに比例しており、電流の方向θixyは磁界の方向θxyとπ／２異なるだけである。したがって、磁界に関する情報を電流に関する情報に変換しなくても、磁気センサ１０の各検出位置の磁界の強さＨxy及び磁界の強さＨxyから下記式１２により求めたY軸方向磁界の大きさＨｙ’の絶対値を、上記実施形態及び変形例の電流の大きさＩxy(ｎ)及びＸ軸方向の電流の大きさＩｘ(ｎ)の絶対値にそれぞれ代えて用いることにより、各太陽電池セルＳＣに関する評価データを計算して太陽電池パネルＳＰを評価するようにしてもよい。
Ｈｙ’＝Ｈxy・sinθxy …式１２

上記実施形態においては、第２タイプの太陽電池ＳＢの検査においては、バスバー電極２０７の非検出時におけるバスバー電極２０７の補充を行うようにしたが、第１タイプの太陽電池ＳＢの検査においては、取出電極１０１，１０２の非検出時の補充については考慮しなかった。これは、取出電極１０１，１０２の検出においては、検出されたＹ軸方向の電流の大きさＩｙ(ｎ)に起因して取出電極１０１，１０２が検出されないとことはほとんどなく、それ以外の特別な理由による場合が多いためである。しかしながら、この第１タイプの太陽電池ＳＢの検査においても、第２タイプの太陽電池ＳＢの検査におけるバスバー電極２０７の補充と同様に、図９ＢのステップＳ１４２にて「Ｎｏ」と判定されたとき、すなわちＸ軸方向の全ての取出電極１０１，１０２が検出されないとき、図９ＣのステップＳ１６８の処理を実行する前に、図９ＥのステップＳ２３０〜Ｓ２５８の処理に相当する処理を実行して、取出電極１０１，１０２の補充処理を実行するようにしてもよい。

また、コントローラ９０は、判定まで行わなくて、評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)，Ｄ(ｓ)を計算して表示装置９２に表示し、作業者に取出電極１０１，１０２と内部電極１０６，１０８との接続不良及びバスバー電極２０７等の接続不良の有無を判定させるようにしてもよい。さらに、コントローラ９０は、評価データＢ(ｓ)，Ｃ(ｓ)，Ｄ(ｓ)の計算も行わずに、第１タイプの太陽電池ＳＢにおいては、取出電極１０１，１０２の位置又はその近傍位置のＹ軸方向の電流の大きさＩｙ(ｎ)の分布を画像、又はＸ軸方向の磁界Ｈｘ’を表示装置９２に表示し、作業者はこの表示を見て取出電極１０１，１０２と内部電極１０６，１０８との接続不良の有無を判定するようにしてもよい。また、第２タイプの太陽電池ＳＢにおいては、バスバー電極２０７の位置又はその近傍位置の電流の大きさＩxy(ｎ)、Ｘ軸方向の電流の大きさＩｘ(ｎ)、磁界の強さＨxy又はＹ方向の磁界の強さＨｙ’を表示装置９２に表示し、作業者はこの表示を見てバスバー電極２０７などの接続不良の有無を判定するようにしてもよい。

また、上記実施形態においては、複数の発光素子（ＬＥＤ）６０をマトリクス状に配置した光源を利用したが、太陽電池ＳＢ又は太陽電池セルＳＣをセットするステージ２０上の光量が均一になるならば、どのような光源でもよく、蛍光灯、ランプ等の光源でもよい。また、発光素子５９に関しても、蛍光灯、ランプ等の光源でもよい。

また、上記実施形態では、複数の太陽電池セルＳＣを有する太陽電池ＳＢを検査するようにした。しかし、本発明は、これに代えて、太陽電池セルＳＣを個々に検査する検査装置にも適用できる。

また、上記実施形態及び変形例では、磁気センサとして磁気抵抗素子（ＭＲ素子）を利用したが、これに代えて、ホール素子、磁気インピーダンス素子効果センサ、フラックスゲート、超伝導量子干渉素子などを利用するようにしてもよい。

１０…磁気センサ、２０…ステージ、２１…バキュームポンプ、３０…Ｘ方向移動機構、３１…支持部材、３２…移動部材、３４…Ｘ方向モータ、４０…Ｙ方向移動機構、４１，４２…支持部材、４４…Ｙ方向モータ、５９…発光素子、５１Ａ，５１Ｂ…遮光カーテン、５２…カーテン用モータ、５５…巻取りローラ、６０…発光素子、８１…発光信号供給回路、８３…センサ信号取出回路、８４…ロックインアンプ、９０…コントローラ、９１…入力装置、９２…表示装置、１００…基板、１０１，１０２…取出電極、１０３…発電セル、１１１，１１２，１１３…接続線、２００…基板、２０１…裏面電極、２０７…バスバー電極、２０８，２１１，２１２…接続線

Claims

太陽電池を載置するためのステージと、
前記ステージに対向して配置されて、前記ステージ上に載置された太陽電池に対して発電のために光を照射する第１光照射手段と、
前記第１光照射手段の光の照射による発電に基づいて前記太陽電池に流れる電流により発生される磁界を検出する磁気検出手段と、
前記ステージと前記第１光照射手段との間に配置されて、前記磁気検出手段を前記ステージに対向させて支持する支持部材とを備えた太陽電池検査装置において、
前記支持部材に取付けられて、前記ステージ上に載置された太陽電池の前記支持部材と対向する領域に光を照射する第２光照射手段を設けたことを特徴とする太陽電池検査装置。
さらに、前記支持部材に取付けられて、前記ステージ上に載置された太陽電池の前記支持部材と対向する領域に、前記第１光照射手段による光が照射されないように光を遮断する遮光部材を設けたことを特徴とする請求項１に記載した太陽電池検査装置。
前記支持部材は、長尺状に形成され、かつ
前記磁気検出手段は、前記支持部材にその長手方向に移動可能に支持されている請求項１又は２に記載した太陽電池検査装置。
前記支持部材は、長尺状に形成され、かつ
前記磁気検出手段は、前記支持部材の長手方向に配置された複数の磁気センサで構成されている請求項１又は２に記載した太陽電池検査装置。
さらに、前記磁気検出手段によって検出された磁界を表す磁界信号に基づいて、太陽電池の電極又はその近傍の位置における前記電極の延設方向の磁界の強さ又は前記延設方向と直交する方向の電流の大きさを検出する検出手段とを設けたことを特徴とする請求項１乃至４のうちのいずれか一つに記載の太陽電池検査装置。
さらに、前記検出された磁界の強さ又は電流の大きさの変動が大きい部分の変動量を表す特性値を計算する変動量特性値計算手段を設けたことを特徴とする請求項５に記載した太陽電池検査装置。
さらに、前記磁気検出手段によって検出された磁界を表す磁界信号に基づいて、太陽電池の電極又はその近傍の位置における前記電極の延設方向の電流の大きさ又は前記延設方向と直交する方向の磁界の強さを検出する検出手段とを設けたことを特徴とする請求項１乃至４のうちのいずれか一つに記載の太陽電池検査装置。
さらに、前記検出された電流の大きさ又は磁界の強さの変動量を表す特性値を計算する変動量特性値計算手段を設けたことを特徴とする請求項７に記載した太陽電池検査装置。
前記第１光照射手段は、太陽電池に所定周期で強度が変化する光を照射し、
さらに、前記磁気検出手段によって検出される磁界を表す磁界信号のうちで、前記所定周期で変化する磁界信号を取出して前記検出手段に供給する周期信号取出手段を設けたことを特徴とする請求項５乃至７のうちのいずれか１つに記載した太陽電池検査装置。