JP2010212351A - 検査装置、および検査方法 - Google Patents

Abstract

【課題】太陽電池の不良箇所を特定するためのデータを取得可能な検査装置を提供する。
【解決手段】検査装置１は、太陽電池９０の受光面の一部に対して光を照射する光源１１と、受光面に沿って光源１１を移動させるステージ１２と、光の照射によって太陽電池９０から出力される電流の電流値を測定する測定装置１５と、光の強度と、ステージ１２による光源１１の移動とを制御する制御装置１４とを備える。制御装置１４は、光源１１の移動に基づき受光面における光の照射領域を順次変更し、かつ、各照射領域において光の強度を変更する制御を行う。測定装置１５は、各照射領域に対する光の照射に基づき測定された電流値を出力する。
【選択図】図１

Description

本発明は、太陽電池の出力を検査する検査装置、および検査方法に関する。特に、本発明は、太陽電池の出力を評価する際に用いる検査装置、および検査方法に関する。

従来、太陽電池が知られている。当該太陽電池の製造後の検査や太陽電池の研究開発において、検査者や研究開発者は、太陽電池の出力特性を評価する。当該評価は、重要な検査項目または測定項目の１つである。

太陽電池の出力特性についてのデータを得る場合に、自然太陽光を太陽電池の受光面に照射することが考えられる。しかしながら、自然太陽光の照射は、季節や天候により、当該光の強度が変動する。したがって、自然太陽光を用いて上記データを得るのは現実的でない。

そこで、キセノンランプなどを用いた擬似太陽光が、自然太陽光の代わりに用いられている。擬似太陽光を用いることにより、一定の強度の光を生成できる。その結果、一定の照度で上記受光面に対して光を照射可能になる。

たとえば、特許文献１には、キセノンランプとハロゲンランプとを用いて上記擬似太陽光を実現するソーラーシミュレータが開示されている。また、近年、太陽電池のサイズは大型化しており、当該大型化に伴い、擬似太陽光の発光面を大きくした光源が作製されている。

また、特許文献２には、ＬＥＤ（Light Emitting Diode）を用いて上記擬似太陽光を実現する太陽電池の評価装置（ソーラーシミュレータ）が開示されている。

特許第３５００３５２号公報 特開２００４−２８１７０６号公報

ところで、特許文献１および特許文献２のソーラーシミュレータは、出力特性のデータを得るために、擬似太陽光を太陽電池の受光面全体に一度に照射する。したがって、このようなソーラーシミュレータを用いた場合、出力特性のデータに異常があったとき、ユーザは、太陽電池の不良箇所を特定することはできない。

また、近年、光利用効率を高めるべく、波長に対する出力特性の異なる発電層を複数備えた太陽電池が開発されている。このような太陽電池に対して上記のソーラーシミュレータを用いた場合、出力特性のデータに異常があったとき、ユーザは、不良な発電層すら特定することはできない。

本発明は、上記の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、太陽電池の不良箇所を特定するためのデータを取得可能な検査装置、および検査方法を提供することにある。他の目的は、太陽電池の不良箇所を特定可能な検査装置を提供することにある。さらに他の目的は、不良な発電層を特定可能であるとともに、特定した不良な発電層における不良箇所を特定可能な検査装置を提供することにある。

本発明のある局面に従うと、検査装置は、太陽電池の出力を検査する検査装置であって、太陽電池の受光面の一部に対して光を照射する第１光源と、受光面に沿って第１光源を移動させるステージと、光の照射によって太陽電池から出力される電流の電流値を測定する測定部と、光の強度と、ステージによる第１光源の移動とを制御する制御部とを備える。制御部は、第１光源の移動に基づき受光面における光の照射領域を順次変更し、かつ、各照射領域において光の強度を変更する制御を行う。測定部は、各照射領域に対する光の照射に基づき測定された電流値を出力する。

好ましくは、検査装置は、照射領域の位置を示した位置情報に対応付けて、当該照射領域に対する前記光の照射に基づき測定された電流値を、照射領域毎に格納する記憶部と、記憶部に格納された電流値と位置情報とに基づいて、太陽電池における不良箇所を特定し、当該特定した箇所を示す情報を出力する演算部とをさらに備える。

好ましくは、太陽電池は、受光面に沿って複数の発電部を備える。検査装置は、複数の発電部を複数のブロックに分割し、各ブロックが不良箇所か否かを判断する。ｎを２以上の自然数とすると、前記第１光源は、波長が互いに異なるｎ種類の光を照射可能である。制御部は、発光パターンが互いに異なる、第１発光面と第２発光面とを第１光源に設定する。また、制御部は、第１発光面によって、複数のブロックのうちのいずれかのブロックに対して光を照射させ、第２発光面によって、当該ブロックと電気的に接続された他のブロックに対して光を照射させる。さらに、制御部は、第２発光面からは、ｎ種類の光を同時に発光させるとともに、第１面からは、少なくとも、ｎ種類のうち１種類以上の波長の光については強度を変更した状態で光を発光させる制御を行う。また、制御部は、第１光源における第１発光面の設定位置と第２発光面の設定位置とを変更する制御とを行う。測定部は、第１発光面と第２発光面とから照射される光に基づいて出力される電流の電流値を測定する。

好ましくは、太陽電池は、受光面に沿って複数の発電部を備える。検査装置は、複数の発電部を複数のブロックに分割し、各ブロックが不良箇所か否かを判断する。検査装置は、擬似太陽光を照射する第２光源をさらに備える。制御部は、第１光源によって、複数のブロックのうちのいずれかのブロックに対して光を照射させ、第２光源によって、少なくとも、第１光源が光を照射したブロックと電気的に接続された他のブロックに対して光を照射させる制御を行う。

好ましくは、ｍを２以上の自然数とすると、太陽電池は、ｍ層の発電層を含み、各発電層は互いに電気的に直列に接続されている。ｍよりも大きな自然数をｎとすると、第１光源は、波長が互いに異なるｎ種類の光を照射可能である。制御部は、各照射領域において、各波長の光の強度を順に変更する。

好ましくは、ｎ種類の光の各ピーク波長は、各発電層の分光感度特性が最大となる各波長とは異なる。

本発明の他の局面に従うと、検査方法は、太陽電池の出力を検査する検査方法であって、太陽電池の受光面の一部に対して、光源を用いて光を照射するステップと、受光面に沿って光源を移動させるステップと、光の照射によって太陽電池から出力される電流の電流値を測定するステップと、光の強度と、ステージによる光源の移動とを制御するステップとを備える。制御するステップは、光源の移動に基づき受光面における光の照射領域を順次変更し、かつ、各照射領域において光の強度を変更するステップをさらに含む。検査方法は、各照射領域に対する光の照射に基づき測定された電流値を出力するステップをさらに備える。

太陽電池の不良箇所を特定するためのデータを取得可能となる。太陽電池の不良箇所を特定可能となる。不良な発電層と、当該発電層における不良箇所とを特定可能となる。

検査装置の概略構成を示した図である。 ステージの裏面と太陽電池の受光面とを示した図である。 光源の概略構成を示した図である。 検査装置を用いた際における、太陽電池と測定装置との接続関係を説明するための図である。 太陽電池と測定装置との他の接続関係を説明するための図である。 図２のＶI−ＶI線矢視断面図である。 各小光源よる光の照射タイミングと、測定装置が測定する電流値との対応関係を示した図である。 各発電層の分光感度特性を示した図である。 太陽電池における検査対象領域を示した図である。 各検査対象領域に光を照射した場合における出力電流の電流値を示した図である。 検査装置における処理のフローを示したフローチャートである。 各小光源よる光の照射タイミングと、測定装置が測定する電流値との対応関係を示した図である。 ステージの裏面と太陽電池の受光面とを示した図である。 他の検査装置を用いた際における、太陽電池と測定装置との接続関係を説明するための図である。 第１発光面の位置と第２発光面の位置とを、図１４の状態から変化させた場合を示した図である。 他の光源の概略構成を示した図である。 発電層が単層である場合における、当該発電層の分光感度特性を示した図である。 制御装置として機能するコンピュータシステムのハードウェア構成を表わすブロック図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態について説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについての詳細な説明は繰り返さない。

〔実施の形態１〕
本発明に係る検査装置の一実施態様について、図１から図１２を参照して説明すると以下のとおりである。

図１は、検査装置１の概略構成を示した図である。図１を参照して、検査装置１は、光源１１と、ステージ１２と、擬似太陽光源１３と、制御装置１４と、測定装置１５と、演算装置１６とを含む。検査装置１は、ステージ１２上に載置された太陽電池９０の不良箇所を特定する。太陽電池９０は、受光面（図２参照）がＺ軸の負方向を向いてステージ１２に載置される。特定方法の詳細については、後述する。また、太陽電池９０は、受光面に沿って、マトリクス状に複数の発電部を備えている。

光源１１は、発光面１１Ａを備える。光源１１は、発光面１１Ａを介して、複数の波長の光を、太陽電池の受光面の一部に対して照射する。また、光源１１は、当該光の照射により、太陽電池９０の受光面に矩形状の照射領域を形成する。

ステージ１２は、２軸ステージである。ステージ１２は、第１ガイド１２Ａと、第２ガイド１２Ｂとを備える。光源１１は、第２ガイド１２Ｂによって、Ｘ軸方向に移動可能に固定されている。第２ガイド１２Ｂは、第１ガイド１２Ａによって、Ｙ軸方向に移動可能に固定されている。

擬似太陽光源１３は、キセノンランプと光学フィルターとを備える。擬似太陽光源１３は、キセノンランプや光学フィルターなどにより、太陽電池９０の受光面全体に擬似太陽光を照射する。擬似太陽光源１３は、ステージ１２に対して太陽電池９０とは反対側（Ｚ軸負方向）に設置されている。なお、擬似太陽光源１３は、たとえばキセノンランプとハロゲンランプといった複数のランプを用いて擬似太陽光を受光面に照射する構成としてもよい。

制御装置１４は、光源１１と、ステージ１２と、擬似太陽光源１３と、測定装置１５と、演算装置１６とに電気的に接続されている。制御装置１４は、光源１１の動作と、ステージ１２の動作と、擬似太陽光源１３の動作と、測定装置１５の動作とを制御する。

また、制御装置１４は、記憶装置１４Ａを含む。記憶装置１４Ａは、少なくとも、光源１１の動作、ステージ１２の動作、擬似太陽光源１３の動作、および測定装置１５の動作を制御するためのプログラムが格納されている。なお、制御装置１４は、記憶装置１４Ａを内蔵していてもよい。

制御装置１４は、光源１１から照射される光の強度および当該光の照射タイミングを制御する。また、制御装置１４は、第１ガイド１２Ａに対する第２ガイド１２Ｂの位置と、第２ガイド１２Ｂに対する光源１１の位置とを制御する。つまり、制御装置１４は、第２ガイド１２Ｂの移動量と、光源１１の移動量を制御する。なお、第２ガイド１２Ｂは第１ガイド１２Ａによって移動する。また、光源１１は、第２ガイド１２Ｂによって移動する。このような制御により、ステージ１２は、制御装置１４からの指令に応じた位置まで、光源１１を太陽電池９０の受光面に沿って移動させることができる。さらに、制御装置１４は、擬似太陽光源１３から照射される光の強度および当該光の照射タイミングを制御する。また、制御装置１４は、測定装置１５に対して測定のタイミングを指示する。

より具体的には、制御装置１４は、光源１１の移動に基づき、上記受光面における光の照射領域を順次変更する。さらに、制御装置１４は、各照射領域において光の強度を変更する制御を行う。なお、制御装置１４による各制御の詳細については、後述する。

測定装置１５は、制御装置１４からの指令に基づき、太陽電池９０から出力される電流（以下、「出力電流」と称する）の電流値を測定する。より詳しくは、測定装置１５は、上記各照射領域において照射によって上記出力電流の電流値を測定する。そして、測定装置１５は、測定した結果を、制御装置１４に対して出力する。また、測定装置１５は、測定した結果を数値化し、測定装置１５が備える表示部に当該数値を表示（出力）してもよい。あるいは、測定装置１５は、測定装置１５が備える表示メータを当該測定した結果に応じて動作させることにより、メータ表示（出力）を行なってもよい。

制御装置１４は、測定装置１５から送られてきた電流値と、当該電流値が得られた照射領域の位置情報とを関連付けて記憶装置１４Ａに格納する。制御装置１４は、記憶装置１４Ａに格納した、上記位置情報を関連付けた電流値を演算装置１６に送る。

演算装置１６は、上記電流値と位置情報とに基づいて、太陽電池９０における不良箇所を特定する。そして、演算装置１６は、当該特定した箇所を示す情報を出力する。たとえば、演算装置１６は、演算装置１６が備えるディスプレイ（図１参照）に不良箇所を表示する。なお、演算装置１６の構成を、演算装置１６がディスプレイを備えない構成とするとともに、演算装置１６に接続された外部機器であるディスプレイに対して上記不良箇所の表示を実行させる構成としてもよい。

演算装置１６は、たとえば、電流値が所定の値よりも低い場合、当該電流値に関連付けられた位置情報により特定される箇所を、上記不良箇所と特定する。あるいは、演算装置１６は、電流値が全ての電流値の平均値よりも所定の値以上低い場合、当該低いと判断した電流値に関連付けられた位置情報により特定される箇所を、上記不良箇所と特定する。なお、不良箇所の特定方法は、上記に限定されるものではない。

ところで、太陽電池９０の最大出力を測定するためには、太陽電池９０の負荷電圧を掃引した状態で出力電流を測定する必要がある。このため、太陽電池９０の負荷電圧を掃引する機能を検査装置１が備える構成とすれば、検査装置１は、最大出力についても測定することが可能となる。

図２は、ステージ１２の裏面と太陽電池９０の受光面９０Ａとを示した図である。図２を参照して、光源１１は、ステージ１２の動作により、ＸＹ平面内で任意の位置に移動可能となる。

光源１１は、実線で示した位置において受光面９０Ａに対して光の照射を行った後、制御装置１４の制御に基づき、Ｘ軸正方向へ予め定められた距離だけ移動する。また、当該移動後、光源１１は、再度、受光面９０Ａに対して光の照射を行う。そして、上記Ｘ軸正方向への移動と、上記照射とを繰り返す。

上記Ｘ軸方向への移動を予め定められた回数行なった後は、制御装置１４は、光源１１を実線で示した位置に戻す制御を行う。その後、制御装置１４は、第２ガイド１２Ｂを予め定められた距離だけＹ軸正方向へ移動させる制御を行う。そして、上記照射と上記Ｘ軸正方向への移動とを繰り返す。

上記のような制御を制御装置１４が行うことにより、最終的に、光源１１は破線で示す位置まで移動するとともに、当該位置で光を照射する。以上により、測定装置１５は、受光面９０Ａの各照射領域において光を照射した際の出力電流の電流値を測定することができる。なお、光源１１の移動方法は、上記に限定されるものではない。また、検査を開始するに当たり、光源１１を実線で示した位置（開始位置）まで移動させる必要がある場合には、制御装置１４は、光源１１から光を照射させたまま移動させる制御を行っても構わない。

図３は、光源１１の概略構成を示した図である。図３を参照して、光源１１は、それぞれに１つの波長の光を照射する４種類の光源１１０Ａ，１１０Ｂ，１１０Ｃ，１１０Ｄを、それぞれ複数含んでいる。なお、以下では、光源１１０Ａ、光源１１０Ｂ、光源１１０Ｃ、光源１１０Ｄを、それぞれ、「小光源１１０Ａ」、「小光源１１０Ｂ」、「小光源１１０Ｃ」、「小光源１１０Ｄ」と称する。

小光源１１０Ａは、赤色（Ｒ）の光を照射する。小光源１１０Ｂは、緑色（Ｇ）の光を照射する。小光源１１０Ｃは、青色（Ｂ）の光を照射する。小光源１１０Ｄは、赤外線を照射する。また、光源１１においては、小光源１１０Ａと、小光源１１０Ｂと、小光源１１０Ｃと、小光源１１０Ｄとが、偏りのないように順序立てて配列されている。各小光源１１０Ａ〜１１０Ｄとしては、たとえば、ＬＥＤを用いることができる。

また、各照射領域においては、光の照射強度が均一であることが望ましいため、多数の小光源１１０Ａ〜１１０Ｄを密に並べておくことが好ましい。なお、各小光源１１０Ａ〜１１０Ｄの配列は、図３に示した配列に限定されるものではない。また、小光源の種類は、４種類に限定されるものではない。測定する太陽電池９０の構成や、要求される測定精度などに基づき、小光源の種類を増やしてもよい。各小光源１１０Ａ〜１１０Ｄによる光の照射タイミングの詳細については、後述する（図７）。

図４は、検査装置１を用いた際における、太陽電池９０と測定装置１５との接続関係を説明するための図である。また、図４は、図２におけるＩＶ−ＩＶ線矢視断面図を含む。図４を参照して、太陽電池９０は、上記複数の発電部の一部として、発電部９１Ａ〜９１Ｆを含む。発電部９１Ａ，９１Ｂ，９１Ｃ，９１Ｄ，９１Ｅ，９１Ｆは、この順に、互いに電気的に直列接続されている。

測定装置１５は、測定用のプローブ１５Ａ，１５Ｂを備える。プローブ１５Ａは、発電部９１Ａに対して発電部９１Ｂとは反対側に配された配線と、接続点９２Ａにおいて電気的に接続される。プローブ１５Ｂは、発電部９１Ｆに対して発電部９１Ｅとは反対側に配された配線と、接続点９２Ｂにおいて電気的に接続される。このようにプローブを接続することにより、測定装置１５は、発電部９１Ａ〜９１Ｆが発電した際の電流の電流値を測定する。

ところで、光源１１は、発光面１１Ａから光を照射する。図４の場合、発光面１１Ａから照射された光は、発電部９１Ａと９１Ｂとに照射されることになる。この場合、以下の問題が生じる。光源１１から発電部９１Ａと９１Ｂとに光が照射された場合、光源１１からは発電部９１Ｃ〜９１Ｆに光が照射されない。したがって、発電部９１Ａと発電部９１Ｂは発電を行なうが、発電部９１Ｃ〜９１Ｆは発電を行なわない。このため、発電部９１Ｃ〜９１Ｆは、抵抗として機能することになる。発電部９１Ｃ〜９１Ｆが抵抗として機能すると、接続点９２Ａおよび９２Ｂから出力される電流の値は、発電部９１Ｃ〜９１Ｆが抵抗として機能しない場合に比べて小さくなる。このため、測定装置１５における測定精度が低下する。

そこで、本実施の形態では、少なくとも光源１１が光を照射している間は、制御装置１４は、受光面９０Ａの全体に対して擬似太陽光源１３から擬似太陽光を照射する制御を行う。光源１１が光を照射している間に、上記のように擬似太陽光源１３が擬似太陽光の照射を行なうと、発電部９１Ｃ〜９１Ｆも発電を行なう。したがって、発電部９１Ｃ〜９１Ｆが抵抗として機能することがなくなり、測定装置１５における測定精度の低下を防止できる。

なお、以下では、光源１１により光が照射される各照射領域が、検査装置１による検査対象の領域であるため、当該照射領域を「検査対象領域」とも称する。また、１つの検査対象領域への光源１１からの光の照射によって、良否が判断される発電部の集まりを、「ブロック」と称する。このように定義すると、検査装置１は、複数の発電部を複数のブロックに分割し、各ブロックが不良箇所か否かを判断する構成といえる。さらには、検査装置１は、複数の発電部を、各検査対象領域に対応した複数のブロックに分割し、各ブロックが不良箇所か否かを判断する構成といえる。

図５は、太陽電池９０と測定装置１５との他の接続関係を説明するための図である。図５を参照して、プローブ１５Ａは、上述した接続点９２Ａにおいて電気的に接続される。一方、プローブ１５Ｂは、発電部９１Ｂに対して発電部９１Ａとは反対側に配された配線と、接続点９２Ｃにおいて電気的に接続される。このようにプローブを接続することにより、測定装置１５は、発電部９１Ａ，９１Ｂが発電した際の電流の電流値を測定することになる。このように、プルーブ１５Ａ，１５Ｂと配線とを接続すれば、少なくとも光源１１が光を照射している間は、擬似太陽光源１３は擬似太陽光を受光面９０Ａに照射する必要はない。

しかしながら、図５に示す場合には、光源１１を移動することにより検査対象領域を変更する度に、ユーザは、プルーブ１５Ａ，１５Ｂの接続先を変更しなければならない。プルーブ１５Ａ，１５Ｂの接続先を変更する作業は手間を要する。このため、図４に示したように、プルーブ１５Ａ，１５Ｂを接続点Ａ，Ｂに接続するとともに、擬似太陽光源１３から擬似太陽光を照射することが好ましい。

図６は、図２のＶI−ＶI線矢視断面図である。太陽電池９０は、より詳しくは、電極９３Ａ，９３Ｂと、発電層９４Ａ，９４Ｂ，９４Ｃと、配線９５とを含む。発電層９４Ａ〜９４Ｃは、互いに対向する電極９３Ａと電極９３Ｂとの間に配されている。発電層９４Ｃ，９４Ｂ，９４Ａは、この順に、電極９３Ｂ側から順に積層されている。電極９３Ａと、電極９３Ｂと、発電層９４Ａと、発電層９４Ｂと、発電層９４Ｃとは、互いに配線９５によって電気的に接続されている。より具体的には、発電層９４Ａと、発電層９４Ｂと、発電層９４Ｃとは、配線９５によって直列に接続されている。なお、本実施の形態では、発電層が３つである場合を例に挙げて説明するが、発電層は３つに限定されるものではない。なお、発電層９４Ａと発電層９４Ｂと発電層９４Ｃとが電気的に接続されていることを示すために配線９５を示したが、実際の太陽電池においては、各層が配線により接続されているわけではない。

以下では、発電層９４Ａは、赤色（Ｒ）の光を照射した場合に発電を行ない、かつ緑色（Ｇ）の光および青色（Ｂ）の光を照射した場合には発電を殆ど行なわないとする。つまり、発電層９４Ａは、小光源１１０Ａからの光が照射された場合に、主たる発電を行なうものとする。また、発電層９４Ｂは、緑の光を照射した場合に発電を行ない、かつ赤色の光および青色の光を照射した場合には発電を殆ど行なわないとする。つまり、発電層９４Ｂは、小光源１１０Ｂからの光が照射された場合に、主たる発電を行なうものとする。また、発電層９４Ｃは、青色の光を照射した場合に発電を行ない、かつ赤色の光および緑色の光を照射した場合には発電を殆ど行なわないとする。つまり、発電層９４Ｃは、小光源１１０Ｃからの光が照射された場合に、主たる発電を行なうものとする。さらに、以下では説明の便宜上、赤外線を照射した場合には発電層９４Ａで発電するものとする。

図７は、各小光源１１０Ａ〜１１０Ｄよる光の照射タイミングと、測定装置１５が測定する電流値との対応関係を示した図である。図７を参照して、各小光源１１０Ａ〜１１０Ｄは、期間Ｔａ（時間ｔ０〜時間ｔ１）において、予め定められた強度の光を発光面１１Ａから照射する。この場合、測定装置１５は、出力電流の測定の結果として、電流値Ｉｏを得る。上記照射の後、期間Ｔｓａ（時間ｔ１〜時間ｔ２）において、各小光源１１０Ａ〜１１０Ｄは光の照射を停止する。

その後、各小光源１１０Ｂ〜１１０Ｄは、期間Ｔｂ（時間ｔ２〜時間ｔ３）において、上記予め定められた強度の光を発光面１１Ａから照射する。つまり、この間、小光源１１０Ａからの赤色の光の照射は行なわない。つまり、制御装置１４は、小光源１１０Ａによって照射される光の強度を、「０」に制御する。この場合、測定装置１５は、出力電流の測定の結果として、電流値Ｉｏよりも低い電流値Ｉｒ′を得る。上記照射の後、期間Ｔｓｂ（時間ｔ３〜時間ｔ４）において、各小光源１１０Ｂ〜１１０Ｄは光の照射を停止する。

その後、各小光源１１０Ａ，１１０Ｃ，１１０Ｄは、期間Ｔｃ（時間ｔ４〜時間ｔ５）において、上記予め定められた強度の光を発光面１１Ａから照射する。つまり、この間、小光源１１０Ｂからの緑色の光の照射は行なわない。この場合、測定装置１５は、出力電流の測定の結果として、電流値Ｉｏよりも低い電流値Ｉｇ′を得る。上記照射の後、期間Ｔｓｃ（時間ｔ５〜時間ｔ６）において、各小光源１１０Ａ，１１０Ｃ，１１０Ｄは光の照射を停止する。

その後、各小光源１１０Ａ，１１０Ｂ，１１０Ｄは、期間Ｔｄ（時間ｔ６〜時間ｔ７）において、上記予め定められた強度の光を発光面１１Ａから照射する。つまり、この間、小光源１１０Ｃからの青色の光の照射は行なわない。この場合、測定装置１５は、出力電流の測定の結果として、電流値Ｉｏよりも低い電流値Ｉｂ′を得る。上記照射の後、期間Ｔｓｄ（時間ｔ７〜時間ｔ８）において、各小光源１１０Ａ，１１０Ｂ，１１０Ｄは光の照射を停止する。

その後、各小光源１１０Ａ，１１０Ｂ，１１０Ｃは、期間Ｔｅ（時間ｔ８〜時間ｔ９）において、上記予め定められた強度の光を発光面１１Ａから照射する。つまり、この間、小光源１１０Ｄからの赤外線の照射は行なわない。この場合、測定装置１５は、出力電流の測定の結果として、電流値Ｉｏよりも低い電流値Ｉｉ′を得る。

以上により、１つの検査対象領域に対する、光源１１からの光の照射が完了する。なお、小光源１１０Ａ〜１１０Ｄの発光の切替のための時間として期間Ｔｓａ〜Ｔｓｄを設けた構成を例に挙げて説明したが、期間Ｔｓａ〜Ｔｓｄは必ずしも必要ではない。また、各期間Ｔａ〜Ｔｅは、互いに同じ長さであってもよい。あるいは、各期間Ｔａ〜Ｔｅは、互いに異なる長さであってもよい。あるいは、各期間Ｔａ〜Ｔｅは、各期間Ｔａ〜Ｔｅで示される５つの期間のうち、２つから４つの期間だけが同じ長さであってもよい。また、測定装置１５が測定する電流は、太陽電池９０の負荷によって電流値が異なる。したがって、測定装置１５は、短絡電流を基準として電流値を測定することが望ましい。

なお、検査装置１は、次の検査対象領域に光源１１を移動させる際に、予め、小光源１１０Ａ〜１１０Ｄから光を照射させておく制御を行っても構わない。

制御装置１４は、より詳しくは、測定装置１５から送られてきた上記各電流値Ｉｏ，Ｉｒ′，Ｉｇ′，Ｉｂ′，Ｉｉ′と、これらの電流値が得られた検査対象領域の位置情報とを関連付けて記憶装置１４Ａに格納する。制御装置１４は、記憶装置１４Ａに格納した、上記位置情報を関連付けた各電流値Ｉｏ，Ｉｒ′，Ｉｇ′，Ｉｂ′，Ｉｉ′を演算装置１６に送る。

演算装置１６は、電流値Ｉｏから電流値Ｉｒ′を差し引くことにより、小光源１１０Ａのみが光を照射した場合に得られる出力電流の電流値Ｉｒを得る。また、演算装置１６は、電流値Ｉｏから電流値Ｉｇ′を差し引くことにより、小光源１１０Ｂのみが光を照射した場合に得られる出力電流の電流値Ｉｇを得る。さらに、演算装置１６は、電流値Ｉｏから電流値Ｉｂ′を差し引くことにより、小光源１１０Ｃのみが光を照射した場合に得られる出力電流の電流値Ｉｂを得る。また、演算装置１６は、電流値Ｉｏから電流値Ｉｉ′を差し引くことにより、小光源１１０Ｄのみが光を照射した場合に得られる出力電流の電流値Ｉｉを得る。

演算装置１６は、各検査対象領域において光を照射することにより得られた、上記各電流値Ｉｒ，Ｉｇ，Ｉｂ，Ｉｉを用いて、上述した不良箇所の特定を行なう。具体例として、電流値Ｉｒが所定の値よりも低い場合、演算装置１６は、発電層９４Ａを不良層と特定する。赤色の光の照射により、主として発電層９４Ａが発電するためである。さらに、演算装置１６は、当該電流値Ｉｒに関連付けられた位置情報により特定される箇所（発電層９４Ａの箇所）を不良箇所と特定する。

同様に、電流値Ｉｇが所定の値よりも低い場合、演算装置１６は、発電層９４Ｂを不良層と特定する。緑色の光の照射により、主として発電層９４Ｂが発電するためである。さらに、演算装置１６は、当該電流値Ｉｇに関連付けられた位置情報により特定される箇所（発電層９４Ｂの箇所）を不良箇所と特定する。

また、電流値Ｉｂが所定の値よりも低い場合、演算装置１６は、発電層９４Ｃを不良層と特定する。青色の光の照射により、主として発電層９４Ｃが発電するためである。さらに、演算装置１６は、当該電流値Ｉｂに関連付けられた位置情報により特定される箇所（発電層９４Ｃの箇所）を不良箇所と特定する。

次に、小光源１１０Ａ〜１１０Ｃが照射する光の波長について、各発電層９４Ａ〜９４Ｃの分光感度特性に基づき説明する。なお、分光感度特性とは、太陽電池出力の入射光波長依存性を表した特性である。具体的には、分光感度特性は、短絡電流の入射単色光入力に対する比である。太陽電池９０のように発電層が３つある場合には、３つの曲線が描けることになる。なお、太陽電池９０全体の分光感度特性は、当該３つの曲線を足し合わせることにより得られる。

図８は、各発電層９４Ａ〜９４Ｃの分光感度特性を示した図である。図８を参照して、曲線Ｃ１，Ｃ２，Ｃ３は、それぞれ、発電層９４Ａ、発電層９４Ｂ、発電層９４Ｃの分光感度特性を示している。また、波長λｉ，λｒ，λｇ，λｂは、それぞれ、小光源１１０Ｄによる赤外線の波長、小光源１１０Ａによる赤色の光の波長、小光源１１０Ｂによる緑色の光の波長、小光源１１０Ｃによる青色の光の波長を示している。

小光源１１０Ａが照射する光の波長は、図８に示すとおり、発電層９４Ａの分光感度特性の曲線Ｃ１において、波長の変化に対する感度の変化が大きい箇所に設定することが好ましい。同様に、小光源１１０Ｂが照射する光の波長は、発電層９４Ｂの分光感度特性の曲線Ｃ２において、波長の変化に対する感度の変化が大きい箇所に設定することが好ましい。また、小光源１１０Ｃが照射する光の波長は、発電層９４Ｃの分光感度特性の曲線Ｃ３において、波長の変化に対する感度の変化が大きい箇所に設定することが好ましい。これは、以下の理由による。

各曲線Ｃ１〜Ｃ３の最大値付近では、波長の変化に対する感度の変化が小さい。このような波長を各小光源１１０Ａ〜１１０Ｃが照射する光の波長として選択すると、以下の問題を生じる。

たとえば、発電層９４Ａに不良箇所が存在し、当該不良箇所によって、発電層９４Ａの分光感度特性が短波長側あるいは長波長側にシフトしたとする。この場合には、設定された波長λｒの光を不良箇所に照射しても、分光感度は、不良箇所がない場合に近い値の感度となる。このため、不良箇所における電流値Ｉｒは、正常箇所の電流値Ｉｒと近い値となる。それゆえ、検査装置１において、不良箇所の特定が困難となる。このため、上記波長λｒは、発電層９４Ａの分光感度特性が傾きが大きな領域に設定することが好ましい。つまり、波長λｒは、曲線Ｃ１で示される山における傾斜部に対応する値とすることが好ましい。波長λｇ、波長λｂについても、波長λｒと同様である。

ただし、山の頂上（ピーク）から外れすぎると、たとえば、発電層９４Ｂの分光感度特性の影響を大きく受けることになる。このため、波長λｒを、曲線Ｃ１で示される山の裾付近に対応する値とすることは、好ましくない。波長λｇ、波長λｂについても、波長λｒと同様である。

さらに、図８に示すとおり、曲線Ｃ１で示される山の両側の各傾斜部に対応する値に、波長λｉと波長λｒとが設定されることが好ましい。また、曲線Ｃ２で示される山の両側の各傾斜部に波長λｒと波長λｇとが設定されることが好ましい。また、曲線Ｃ３で示される山の両側の各傾斜部に対応する値に、波長λｇと波長λｂとが設定されることが好ましい。これは、以下の理由による。

各曲線Ｃ１〜Ｃ３の両側では、分光感度特性の変動要因が異なる。したがって、測定対象領域の特性の変動を詳細に把握するためには、山の両側の傾斜部に対応する値に２つの光の波長を設定することが好ましい。

図９は、太陽電池９０における検査対象領域を示した図である。図９を参照して、検査対象領域は、太陽電池９０の受光面９０Ａに対してマトリクス状に設定されている。検査装置１は、受光面９０Ａを６つの検査対象領域Ａ−１〜Ａ−６に分けて上記出力電流を測定する。つまり、検査装置１は、太陽電池９０に含まれる複数の発電部を、各検査対象領域Ａ−１〜Ａ−６に対応する６つのブロックに分割し、各ブロックの良否を判断する。

なお、検査対象領域の数は、一例であり、６個に限定されるものではない。検査対象領域の数は、光源の発光面１１Ａの大きさや、太陽電池９０の受光面９０Ａの大きさなどにより異なる。

図１０は、各検査対象領域Ａ−１〜Ａ−６に光を照射した場合における出力電流の電流値を示した図である。たとえば、検査対象領域Ａ−１に光源１１から光を照射した場合、演算装置１６が、上記電流値Ｉｒ、電流値Ｉｇ、電流値Ｉｂ、電流値Ｉｉとして、それぞ、電流値Ｉｒ１、電流値Ｉｇ１、電流値Ｉｂ１、電流値Ｉｉ１を得たことを示している。

演算装置は、図１０に示す各電流値に基づき、太陽電池９０における不良箇所（詳しくは、不良発電層および当該発電層における不良箇所）を特定する。また、複数の太陽電池において、図１０に示すような電流値のデータを収集しておくことにより、不良箇所が発生しやすい部位を予測できる。したがって、収集されたデータは、製造現場における、太陽電池の工程管理などに役立つ。

図１１は、検査装置１における処理のフローを示したフローチャートである。具体的には、図１１は、測定装置１５が、各検査対象領域において出力電流の電流値（図７参照）を測定するまでの処理を示したフローチャートである。

図１１を参照して、ステップＳ２において、検査装置１は、擬似太陽光源１３を点灯する。ステップＳ４において、検査装置１は、太陽電池９０のＩ−Ｖ特性を測定する。Ｉ−Ｖ特性とは、太陽電池９０に光を当てて負荷を変化させたときの、電流−電圧特性である。なお、ステップＳ２およびＳ４の処理は、太陽電池９０全体の特性を測定するための処理である。検査装置１は、当該処理により、太陽電池９０全体の品質検査を行なうことができる。

ステップＳ６において、検査装置１は、擬似太陽光源１３を消灯する。ステップＳ８において、検査装置１は、ステージ１２によって光源１１を検査対象領域へ移動する。ステップＳ１０において、検査装置１は、擬似太陽光源１３を点灯する。ステップＳ１２において、検査装置１は、図７に示したとおり各小光源１１０Ａ〜１１０Ｄの点灯および消灯を行い、出力電流の電流値を測定する。

ステップＳ１４において、検査装置１は、擬似太陽光源１３を消灯する。ステップＳ１６において、検査装置１は、ステージ１２によって光源１１を次の検査対象領域へ移動する。ステップＳ１８において、検査装置１は、全ての検査対象領域において出力電流の電流値を測定したか否かを判断する。検査装置１は、測定したと判断した場合（ステップＳ１８においてＹＥＳ）、一連の処理を終了する。一方、検査装置１は、終了していないと判断した場合、ステップＳ１０に処理を進める。

なお、太陽電池９０のＩ−Ｖ特性を測定する際には、光源１１やステージ１２が擬似太陽光を遮光しないように、光源１１およびステージを退避しておく必要がある。退避させる必要があるのは、後述する実施の形態２においても同様である。

ところで、上記においては、図７に示すように、４つの小光源１１０Ａ〜１１０Ｄのうち、１つの小光源（たとえば、小光源１１０Ａ）からは光を照射せずに残りの３つの小光源から光を照射する期間を設けた。しかしながら、各小光源１１０Ａ〜１１０Ｄの光の照射の手法は、図７に限定されるものではない。以下、図７とは異なる照射手法について、図１２に基づき説明する。

図１２は、各小光源１１０Ａ〜１１０Ｄよる光の照射タイミングと、測定装置１５が測定する電流値との対応関係を示した図である。図１２を参照して、各小光源１１０Ａ〜１１０Ｄは、期間Ｔａにおいて、予め定められた強度の光を発光面１１Ａから照射する。この場合、測定装置１５は、出力電流の測定の結果として、電流値Ｉｏを得る。上記照射の後、期間Ｔｓａにおいて、各小光源１１０Ａ〜１１０Ｄは光の照射を停止する。ここまでは、図７の処理と同じである。

その後、各小光源１１０Ｂ〜１１０Ｄは、期間Ｔｂにおいて、上記予め定められた強度の光を発光面１１Ａから照射する。一方、この間、小光源１１０Ａは、上記強度よりも低い強度の光を発光面１１Ａから照射する。上記照射の後、期間Ｔｓｂにおいて、各小光源１１０Ａ〜１１０Ｄは光の照射を停止する。

その後、各小光源１１０Ａ，１１０Ｃ，１１０Ｄは、期間Ｔｃにおいて、上記予め定められた強度の光を発光面１１Ａから照射する。一方、この間、小光源１１０Ｂは、上記強度よりも低い強度の光を発光面１１Ａから照射する。上記照射の後、期間Ｔｓｃにおいて、各小光源１１０Ａ〜１１０Ｄは光の照射を停止する。

その後、各小光源１１０Ａ，１１０Ｂ，１１０Ｄは、期間Ｔｄにおいて、上記予め定められた強度の光を発光面１１Ａから照射する。一方、この間、小光源１１０Ｃは、上記強度よりも低い強度の光を発光面１１Ａから照射する。上記照射の後、期間Ｔｓｄにおいて、各小光源１１０Ａ〜１１０Ｄは光の照射を停止する。

その後、各小光源１１０Ａ，１１０Ｂ，１１０Ｃは、期間Ｔｅにおいて、上記予め定められた強度の光を発光面１１Ａから照射する。一方、この間、小光源１１０Ｄは、上記強度よりも低い強度の光を発光面１１Ａから照射する。

図１２のような照射を行なうことにより、以下のメリットが得られる。たとえば、図１２においては、期間Ｔｂにおいて、全ての発電層９４Ａ〜９４Ｃが発電を行なう。このように、期間Ｔｂにおいても発電層９４Ａが発電を行なうため、期間Ｔｂにおいて発電層９４Ａが抵抗として機能してしまうことを防止できる。また、期間Ｔｃ、期間Ｔｄ、期間Ｔｅについても、期間Ｔａと同様のことが言える。したがって、検査装置１は、図１２に示したタイミングで光源１１から光を照射する方が、図７に示したタイミングで光源１１から光を照射するよりも高い精度で不良箇所を特定できる。

〔実施の形態２〕
本発明に係る検査装置の他の実施態様について、図１３から図１５を参照して説明すると以下のとおりである。

本実施の形態にかかる検査装置１Ａ（図１３参照）は、後述する光源２１１を備える点において、光源１１を備える検査装置１と異なる。また、検査装置１Ａは、光源１１と異なる光源２１１を備えるため、制御装置１４による制御も検査装置１における制御とは異なる。

検査装置１Ａは、光源２１１から検査対象領域に対して光を照射している際には、擬似太陽光源１３からの照射が必要ない。つまり、図１１におけるステップＳ１０およびステップＳ１４の処理が不要である。たとえば、この点において、検査装置１Ａと検査装置１とは、擬似太陽光源１３に対する制御が異なる。

光源２１１は、光源１１と同様、複数の波長の光を、太陽電池の受光面の一部に対して光を照射する。また、光源２１１は、光の照射により、光源１１と同様、太陽電池９０の受光面に矩形状の照射領域を形成する。光源２１１は、実施の形態１と同様、図３に示すような配列で各小光源１１０Ａ〜１１０Ｄを備えている。光源２１１の発光面は、光源１１の発光面１１Ａよりも広い。このため、光源２１１は、光源１１よりも多くの小光源１１０Ａ〜１１０Ｄを備える。

図１３は、ステージ１２の裏面と太陽電池９０の受光面９０Ａとを示した図である。図１３を参照して、光源２１１は、ステージ１２の動作により、Ｙ方向に移動可能となる。

光源２１１は、実線で示した位置において受光面９０Ａに対して光の照射を行った後、制御装置１４の制御に基づき、Ｙ軸正方向へ予め定められた距離だけ移動する。また、当該移動後、光源１１は、再度、受光面９０Ａに対して光の照射を行う。そして、上記Ｙ軸正方向への移動と、上記照射とを繰り返す。

上記のような制御を制御装置１４が行うことにより、最終的に、光源２１１は破線で示す位置まで移動するとともに、当該位置で光を照射する。以上により、測定装置１５は、受光面９０Ａの各照射領域において光を照射した際の出力電流の電流値を測定することができる。

図１４は、検査装置１Ａを用いた際における、太陽電池９０と測定装置１５との接続関係を説明するための図である。また、図１４は、図１３におけるＸＩＶ−ＸＩＶ線矢視断面図を含む。

プローブ１５Ａは、発電部９１Ａに対して発電部９１Ｂとは反対側に配された配線と、接続点９２Ａにおいて電気的に接続される。プローブ１５Ｂは、発電部９１Ｆに対して発電部９１Ｅとは反対側に配された配線と、接続点９２Ｂにおいて電気的に接続される。

制御装置１４は、発光パターンが互いに異なる、第１発光面２１１Ｃと第２発光面２１１Ｄとを光源２１１の発光面に設定する。また、制御装置１４は、第１発光面２１１Ｃの設定位置と、第２発光面２１１Ｄの設定位置とを変更する制御を行う。つまり、制御装置１４の制御に伴い、光源２１１の発光面内において、第１発光面２１１Ｃの位置と第２発光面２１１Ｄの位置とが変化する。なお、以下では、第１発光面２１１Ｃから光を照射する、光源２１１の部位を、「第１光源部２１１Ａ」と称する。また、第２発光面２１１Ｄから光を照射する、光源２１１の部位を、「第２光源部２１１Ｂ」と称する。

太陽電池９０は、実施の形態１で述べたとおり、複数の発電部は、各検査対象領域に対応する各ブロックに分割されている。また、１つのブロックに着目すると、当該ブロックに電気的に接続されたブロックと、当該ブロックとは電気的に接続されていないブロックとがある。再び、実施の形態１の図４を参照して、太陽電池９０は、少なくとも発電部９１Ａと発電部９１Ｂとを含むブロック（以下、「第１ブロック」と称する）と、少なくとも発電部９１Ｃと発電部９１Ｄとを含むブロック（以下、「第２ブロック」と称する）と、少なくとも発電部９１Ｅと発電部９１Ｆとを含むブロック（以下、「第３ブロック」と称する）とを、少なくとも含んでいる。第１ブロックは、図４に示した配線によって、第２ブロックと第３ブロックと電気的に接続されている。

再び図１４を参照して、光源１１は、第１発光面２１１Ｃによって、第１ブロックに対して光を照射する。より詳しくは、光源１１は、第１発光面２１１Ｃを介して、第１光源部２１１Ａが発光した光を、第１ブロックに含まれる各発電部に照射する。また、光源１１は、第２発光面２１１Ｄによって、第１ブロックと電気的に接続された、第２ブロックおよび第３ブロックに対して光を照射する。より詳しくは、光源１１は、第２発光面２１１Ｄを介して、第２光源部２１１Ｂが発光した光を、第２ブロックおよび第３ブロックに含まれる各発電部に照射する。

制御装置１４は、図７あるいは図１２に従ったタイミングおよび強度で、第１発光面２１１Ｃから光を照射させる制御を行う。つまり、制御装置１４は、４種類の波長の光（Ｒ，Ｇ，Ｂ，赤外）のうち１種類の波長の光（たとえば、期間Ｔａにおいては赤色（Ｒ）の光）についての強度を変更した状態で、第１発光面２１１Ｃから光を発光させる制御を行う。また、制御装置１４は、図７または図１２における時間ｔ０から時間ｔ９までの期間において、第２発光面２１１Ｄからは、４種類の波長の光（Ｒ，Ｇ，Ｂ，赤外）を同時に発光させる制御を行う。第２発光面２１１Ｄからの光の照射により、発電部９１Ｃ〜９１Ｆも発電を行なう。測定装置１５は、第１発光面２１１Ｃと第２発光面２１１Ｄとから照射される光に基づいて出力される電流の電流値を測定する。

したがって、図１４の状態においては、発電部９１Ｃ〜９１Ｆが抵抗として機能することがなくなり、測定装置１５における測定精度の低下を防止できる。このように、検査装置１Ａは、検査対象領域に対して光源２１１を照射する際、擬似太陽光源１３を用いなくても、測定精度を維持することができる。

図１５は、第１発光面２１１Ｃの位置と第２発光面２１１Ｄの位置とを、図１４の状態から変化させた場合を示した図である。図１５を参照して、制御装置１４は、第１発光面２１１Ｃによる第１ブロックに対する光の照射が終了した後、第１発光面２１１Ｃが上記第２ブロックに対して光を照射するように、第１発光面２１１Ｃの位置と第２発光面２１１Ｄの位置とを変更する制御を行う。この場合、光源１１は、第２発光面２１１Ｄによって、第１ブロックおよび第３ブロックに対して光を照射する。

また、制御装置１４は、第１発光面２１１Ｃによる第２ブロックに対する光の照射が終了した後、第１発光面２１１Ｃが上記第３ブロックに対して光を照射するように、第１発光面２１１Ｃの位置と第２発光面２１１Ｄの位置とを変更する制御を行う。

以上のように、検査装置１は、第１ブロック、第２ブロック、および第３ブロックのそれぞれが不良箇所であるか否かを判断するための出力電流の電流値を、光源２１１を移動させることなく測定することができる。なお、制御装置１４は、第１発光面２１１Ｃによる第３ブロックに対する光の照射が終了した後、ステージ１２によって光源２１１をＹ軸正方向に移動させる制御を行う。その後、制御装置１４は、上述したとおり、第１発光面２１１Ｃの位置と第２発光面２１１Ｄの位置とを変更する制御と、第１発光面２１１Ｃと第２発光面２１１Ｄとから照射される光の強度や照射タイミングの制御を行う。

ところで、上記においては、光源２１１の発光面を２つの発光面２１１Ｃ，２１１Ｄに分割した例を挙げて説明したが、光源２１１の発光面を３つ以上の発光面に分割してもよい。検査装置１は、測定により得られたデータの使用方法や、測定におけるタクトタイムに基づいて、上記分割数を決定すればよい。

また、光源２１１の上記Ｘ方向のサイズを小さくして、光源２１１を実施の形態１と同様にＸ軸方向に移動させるよう、検査装置を構成してもよい。

光源２１１の上記Ｙ方向のサイズを大きくし、太陽電池９０の受光面９０Ａと同じサイズにすれば、ステージ１２は不要となる。しかしながら、この場合、検査装置１は、擬似太陽光源１３からの擬似太陽光を受光面９０Ａに照射できない。このため、検査装置１は、太陽電池９０全体の特性を測定できなくなる。また、ＬＥＤにより構成されている光源２１１によって、擬似太陽光を作ることは非常に困難である。したがって、光源２１１を太陽電池９０の受光面９０Ａ沿って移動させる構成の方が好ましい。

＜変形例＞
（１）図１６は、光源３１１の概略構成を示した図である。実施の形態１における光源１１、および実施の形態２における光源２１１を、光源３１１に置き換えてもよい。図１６を参照して、光源３１１は、導光板３１７と、光源３１８Ａ〜３１８Ｄとを備える。

光源３１８Ａは、赤色の光を導光板３１７の第１側面に対して照射する。光源３１８Ｂは、緑色の光を導光板３１７の第２側面に対して照射する。光源３１８Ｃは、青色の光を導光板３１７の第３側面に対して照射する。光源３１８Ｄは、赤外光を導光板３１７の第４側面に対して照射する。導光板３１７は、各側面から入射した光に基づいた略均一な光を、表面から図１６の矢印方向へと照射する。

光源３１１を用いる場合、光源１１および光源２１１よりも、小光源の数を減らすことができる。したがって、光源３１１を用いることにより、光源１１，２１１を用いる場合よも、小光源の故障率を低くすることができる。また、光源１１および光源２１１ではＬＥＤが１つでも壊れると、照度にムラが生じる。このため、光源１１，２１１よりも光源３１１を用いる方が、検査装置１，１Ａの信頼性は向上する。

さらに、光源３１１は導光板３１７を備えた構成であるため、光源１１，２１１よりも照度ムラを低減できる。さらに、光源３１８Ａ〜３１８Ｄは、導光板３１７の外部に配置されるため、ユーザは、光源３１８Ａ〜３１８Ｄの取換えが容易となる。

（２）擬似太陽光源１３が擬似太陽光をパルス発光を行なう構成の場合、図１１におけるステップＳ２の処理およびステップＳ４の処理は不要である。その代わり、ステップＳ４におけるＩ−Ｖ特性の測定において、擬似太陽光源１３が擬似太陽光をパルス発光すればよい。

（３）上記においては、太陽電池９０が複数の発電層を備えた構成を例に挙げて説明した。太陽電池９０の発電層は、単層であってもよい。また、太陽電池９０が単層の場合であっても、出力電流の電流値を大きくすることにより測定装置１５における測定感度を向上させる観点から、図７および図１２のように複数の波長の光を受光面９０Ａに照射させることが好ましい。

図１７は、発電層が単層である場合における、当該発電層の分光感度特性（つまり、太陽電池の分光感度特性）を示した図である。図１７を参照して、単層の場合にも、分光感度特性を示した曲線で示される山の両側では、分光感度特性の変動要因が異なる。したがって、単層の場合にも、測定対象領域の特性の変動を詳細に把握するためには、山の両側の傾斜部に対応する値に２つの光の波長を設定することが好ましい。

（４）実施の形態１および２においては、図７および図１２に示したように、期間Ｔａ，Ｔｂ，Ｔｃ，Ｔｄ，Ｔｅにおいて、いずれか１つの波長の光を消灯、あるいは当該波長の光の強度を弱めて、出力電流を測定した。しかしながら、検査装置１が行なう測定手法は、図７および図１２に示す測定手法に限定されない。受光面９０Ａにおける照度を上げることにより測定装置１５において十分な測定感度が得るのなら、制御装置１４は、小光源１１０Ａ〜１１０Ｄを、それぞれ順に点灯および消灯する制御を行って、測定装置１５が各電流値Ｉｒ，Ｉｇ，Ｉｂ，Ｉｉを直接測定してもよい。

（５）検査装置１は、光源１１、ステージ１２、擬似太陽光源１３、制御装置１４、測定装置１５、および演算装置１６のうち、いずれか２つ以上を１つの装置として構成してもよい。たとえば、検査装置１は、制御装置１４と演算装置１６とを１つの装置として構成してもよい。また、たとえば、検査装置１は、制御装置１４と、演算装置１６（ディスプレイ含む）とを、１つの装置（たとえば、パーソナルコンピュータ）として構成してもよい。なお、検査装置１Ａについても、検査装置１と同様であるため、説明は繰り返さない。

＜その他＞
（１）図１８は、制御装置１４として機能するコンピュータシステム１８００のハードウェア構成を表わすブロック図である。

コンピュータシステム１８００は、主たる構成要素として、プログラムを実行するＣＰＵ１８１０と、コンピュータシステム１８００の使用者による指示の入力を受けるマウス１８２０およびキーボード１８３０と、ＣＰＵ１８１０によるプログラムの実行により生成されたデータ、又はマウス１８２０若しくはキーボード１８３０を介して入力されたデータを揮発的に格納するＲＡＭ１８４０と、データを不揮発的に格納するハードディスク１８５０と、ＤＶＤ−ＲＯＭ駆動装置１８６０と、モニタ１８７０と、通信ＩＦ１８８０とを含む。各構成要素は、相互にデータバスによって接続されている。ＤＶＤ−ＲＯＭ駆動装置１８６０には、ＤＶＤ−ＲＯＭ１８６１が装着される。

コンピュータシステム１８００における処理は、各ハードウェアおよびＣＰＵ１８１０により実行されるソフトウェアによって実現される。このようなソフトウェアは、ハードディスク１８５０に予め記憶されている場合がある。また、ソフトウェアは、ＤＶＤ−ＲＯＭ１８６１その他の記憶媒体に格納されて、プログラムプロダクトとして流通している場合もある。あるいは、ソフトウェアは、いわゆるインターネットに接続されている情報提供事業者によってダウンロード可能なプログラムプロダクトとして提供される場合もある。このようなソフトウェアは、ＤＶＤ−ＲＯＭ駆動装置１８６０その他の読取装置によりその記憶媒体から読み取られて、あるいは、通信ＩＦ１８８０を介してダウンロードされた後、ハードディスク１８５０に一旦格納される。そのソフトウェアは、ＣＰＵ１８１０によってハードディスク１８５０から読み出され、ＲＡＭ１８４０に実行可能なプログラムの形式で格納される。ＣＰＵ１８１０は、そのプログラムを実行する。

同図に示されるコンピュータシステム１８００を構成する各構成要素は、一般的なものである。したがって、本発明の本質的な部分は、ＲＡＭ１８４０、ハードディスク１８５０、ＤＶＤ−ＲＯＭ１８６１その他の記憶媒体に格納されたソフトウェア、あるいはネットワークを介してダウンロード可能なソフトウェアであるともいえる。なお、コンピュータシステム１８００の各ハードウェアの動作は周知であるので、詳細な説明は繰り返さない。

なお、記録媒体としては、ＤＶＤ-ＲＯＭ、ＣＤ−ＲＯＭ、ＦＤ（Flexible Disk）、ハードディスクに限られず、磁気テープ、カセットテープ、光ディスク（ＭＯ（Magnetic Optical Disc）／ＭＤ（Mini Disc）／ＤＶＤ（Digital Versatile Disc））、ＩＣ（Integrated Circuit）カード（メモリカードを含む）、光カード、マスクＲＯＭ、ＥＰＲＯＭ（Electronically Programmable Read-Only Memory）、ＥＥＰＲＯＭ（Electronically Erasable Programmable Read-Only Memory）、フラッシュＲＯＭなどの半導体メモリ等の固定的にプログラムを担持する媒体でもよい。

ここでいうプログラムとは、ＣＰＵにより直接実行可能なプログラムだけでなく、ソースプログラム形式のプログラム、圧縮処理されたプログラム、暗号化されたプログラム等を含む。

なお、演算装置１６も、制御装置１４と同様なハードウェア構成を有するため、演算装置１６のハードウェア構成についての説明は繰り返さない。

（２）特許文献２では、ＬＥＤ光の周波数や振幅を変調することにより、太陽電池の分光感度特性を得ている。したがって、当該文献に記載の評価装置では、変調手段が必須である。また、太陽電池の機種毎に太陽電池の特性が異なる場合には、ユーザは、変調周波数や変調振幅などを調整しなければならない。したがって、当該文献に記載の評価装置は、コストが高くつき、調整の煩わしい。一方、本実施の形態に係る検査装置１，１Ａは、変調手段が不要である。また、検査装置１，１Ａは、上記のような、変調周波数や変調振幅などの調整作業は必要ない。

（３）今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ 検査装置、１Ａ 検査装置、１１ 光源、１１Ａ 発光面、１２ ステージ、１２Ａ 第１ガイド、１２Ｂ 第２ガイド、１３ 擬似太陽光源、１４ 制御装置、１４Ａ 記憶装置、１５ 測定装置、１５Ａ プローブ、１５Ｂ プローブ、１６ 演算装置、９０ 太陽電池、９０Ａ 受光面、９１Ａ 発電部、９１Ｂ 発電部、９１Ｃ 発電部、９１Ｄ 発電部、９１Ｅ 発電部、９１Ｆ 発電部、９３Ａ 電極、９３Ｂ 電極、９４Ａ 発電層、９４Ｂ 発電層、９４Ｃ 発電層、９５ 配線、１１０Ａ 小光源、１１０Ｂ 小光源、１１０Ｃ 小光源、１１０Ｄ 小光源、１１０Ｄ 小光源、２１１ 光源、２１１Ａ 第１光源部、２１１Ｂ 第２光源部、２１１Ｃ 第１発光面、２１１Ｄ 第２発光面、３１１ 光源、３１７ 導光板、３１８Ａ 光源、３１８Ｂ 光源、３１８Ｃ 光源、３１８Ｄ 光源。

Claims (7)

1. 太陽電池の出力を検査する検査装置であって、
   前記太陽電池の受光面の一部に対して光を照射する第１光源と、
   前記受光面に沿って前記第１光源を移動させるステージと、
   前記光の照射によって前記太陽電池から出力される電流の電流値を測定する測定部と、
   前記光の強度と、前記ステージによる前記第１光源の移動とを制御する制御部とを備え、
   前記制御部は、前記第１光源の移動に基づき前記受光面における前記光の照射領域を順次変更し、かつ、各照射領域において前記光の強度を変更する制御を行い、
   前記測定部は、各照射領域に対する前記光の照射に基づき測定された前記電流値を出力する、検査装置。
2. 前記検査装置は、
   前記照射領域の位置を示した位置情報に対応付けて、当該照射領域に対する前記光の照射に基づき測定された前記電流値を、照射領域毎に格納する記憶部と、
   前記記憶部に格納された前記電流値と前記位置情報とに基づいて、前記太陽電池における不良箇所を特定し、当該特定した箇所を示す情報を出力する演算部とをさらに備える、請求項１に記載の検査装置。
3. 前記太陽電池は、前記受光面に沿って複数の発電部を備え、
   前記検査装置は、前記複数の発電部を複数のブロックに分割し、各ブロックが不良箇所か否かを判断するものであり、
   ｎを２以上の自然数とすると、前記第１光源は、波長が互いに異なるｎ種類の光を照射可能であり、
   前記制御部は、
   発光パターンが互いに異なる、第１発光面と第２発光面とを前記第１光源に設定し、
   前記第１発光面によって、前記複数のブロックのうちのいずれかのブロックに対して光を照射させ、前記第２発光面によって、当該ブロックと電気的に接続された他のブロックに対して光を照射させ、
   さらに、前記第２発光面からは、前記ｎ種類の光を同時に発光させるとともに、前記第１面からは、少なくとも、前記ｎ種類のうち１種類以上の波長の光については強度を変更した状態で光を発光させる制御と、
   前記第１光源における前記第１発光面の設定位置と第２発光面の設定位置とを変更する制御とを行い、
   前記測定部は、前記第１発光面と前記第２発光面とから照射される光に基づいて出力される電流の電流値を測定する、請求項２に記載の検査装置。
4. 前記太陽電池は、前記受光面に沿って複数の発電部を備え、
   前記検査装置は、前記複数の発電部を複数のブロックに分割し、各ブロックが不良箇所か否かを判断するものであり、
   前記検査装置は、擬似太陽光を照射する第２光源をさらに備え、
   前記制御部は、
   前記第１光源によって、前記複数のブロックのうちのいずれかのブロックに対して光を照射させ、
   前記第２光源によって、少なくとも、前記第１光源が光を照射したブロックと電気的に接続された他のブロックに対して光を照射させる制御を行う、請求項２に記載の検査装置。
5. ｍを２以上の自然数とすると、前記太陽電池は、ｍ層の発電層を含み、各発電層は互いに電気的に直列に接続されており、
   ｍよりも大きな自然数をｎとすると、前記第１光源は、波長が互いに異なるｎ種類の光を照射可能であり、
   前記制御部は、各照射領域において、各波長の光の強度を順に変更する、請求項１から４のいずれか１項に記載の検査装置。
6. 前記ｎ種類の光の各ピーク波長は、前記各発電層の分光感度特性が最大となる各波長とは異なる、請求項５に記載の検査装置。
7. 太陽電池の出力を検査する検査方法であって、
   前記太陽電池の受光面の一部に対して、光源を用いて光を照射するステップと、
   前記受光面に沿って前記光源を移動させるステップと、
   前記光の照射によって前記太陽電池から出力される電流の電流値を測定するステップと、
   前記光の強度と、前記ステージによる前記光源の移動とを制御するステップとを備え、
   前記制御するステップは、前記光源の移動に基づき前記受光面における前記光の照射領域を順次変更し、かつ、各照射領域において前記光の強度を変更するステップをさらに含み、
   前記検査方法は、各照射領域に対する前記光の照射に基づき測定された前記電流値を出力するステップをさらに備える、検査方法。

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