JP5458555B2 - Sn合金めっき液へのSn成分補給方法及びSn合金めっき処理装置 - Google Patents
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Description
先ず、実施例1で用いる酸化第一錫粉末について説明する。
この酸化第一錫粉末は、以下の表1に示す、平均粒径(D50値)、比表面積、タップ密度及び溶解速度を有する。
バンプ形成後のめっき浴にSn2+を補給した。このSn2+の補給を、酸化第一錫粉末を添加する代わりに、アルカンスルホン酸錫211.5g/L、アルカンスルホン酸140g/Lの組成にて調製した錫要素液1500gを投入することにより行ったこと以外は実施例1と同様に、めっき浴の成分を補給した。
アノードとして錫製の溶解性アノードを用いたこと以外は実施例1と同じ条件で電解めっき法によりはんだ突起電極(バンプ)を形成した。またバンプ形成後のめっき浴の酸化第一錫粉末又は要素液によるSn2+、Ag+の補給は行わなかった。
実施例1及び比較例1,2におけるバンプ形成後のめっき浴、実施例1及び比較例1におけるSn2+、Ag+補給後のめっき浴、また実施例1及び比較例1,2における一晩放置後のめっき浴について、めっき浴中のSn2+、Ag+の濃度を測定した。また、それぞれのめっき浴について、目視による液色を評価した。
次に、図2に示すSn合金めっき処理装置を用い、めっき液への窒素ガス吹き込み流量を調整しながら、Sn合金めっきを行った。処理槽24におけるめっき液、被処理物及びアノードには実施例1と同じものを用いた。また、めっき条件も実施例1と同じである。
<比較例3>
吹き込み管42から窒素ガスを吹き込まない以外、実施例2と同様にしてめっき処理を行った。
実施例2と比較例3における処理槽24のSn−Agはんだめっき液の使用寿命と、18(AH/L)めっき処理後のめっき液のガードナー色数を測定した。
21 Sn合金めっき液
22 貯留槽
23 合金めっき被処理物(カソード)
24 処理槽
26 ポンプ
27 リターンパイプ
41 溶存酸素濃度計
42 吹き込み管
43 調整弁
46 コントローラ
Claims (3)
- SnとSnより貴なる元素からなるSn合金のめっき液に2価のSnイオンを補給する方法において、
酸又は酸性めっき液に対して易溶性のある酸化第一錫粉末を前記めっき液に添加し、
前記酸化第一錫粉末の平均粒径がD 50 値で10〜20μmの範囲内であり、かつ前記酸化第一錫粉末のタップ密度が0.6〜1.2g/cm 3 である
ことを特徴とするSn合金めっき液へのSn成分補給方法。 - SnとSnより貴なる元素からなるSn合金のめっき液がSn−Ag合金めっき液、Sn−Cu合金めっき液、Sn−Ag−Cu合金めっき液又はAu−Sn合金めっき液である請求項1記載のSn合金めっき液へのSn成分補給方法。
- 請求項1に記載された方法によりSn成分が補給されるSn合金めっき液を貯える貯留槽と、前記Sn合金めっき液により被処理物をめっき処理する処理槽と、前記貯留槽に貯えられためっき液を前記処理槽に供給するポンプと、前記処理槽の前記Sn合金めっき液を前記貯留槽に戻すリターンパイプとを備えたSn合金めっき処理装置であって、
前記貯留槽に貯えられたSn合金めっき液中の溶存酸素濃度を測定する溶存酸素濃度計と、前記貯留槽に貯えられたSn合金めっき液に不活性ガスを吹き込む吹き込み管と、前記吹き込み管の途中に設けられ前記不活性ガスの流量を調整する調整弁と、前記溶存酸素濃度計で測定された溶存酸素濃度に応じて前記調整弁の開度を制御するコントローラとを備え、
前記コントローラが前記Sn合金めっき液中の溶存酸素濃度を50ppm以下に制御することを特徴とするSn合金めっき処理装置。
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