JP6767243B2 - めっき槽にめっき液を供給するための装置および方法、並びにめっきシステム - Google Patents
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Description
一実施形態では、前記動作制御部は、前記重量の測定値の変化から前記粉体の前記めっき液への添加量を算定し、前記添加量が目標値に達するまで、前記モータを動作させる。
一実施形態では、前記ホッパーの投入口は、その先端からの距離が大きくなるにつれて口径が徐々に小さくなる接続シールを有している。
一実施形態では、前記接続シールは弾性材から構成されている。
一実施形態では、前記密閉チャンバーは、その内部空間を負圧源に連通させるための排気ポートを備える。
一実施形態では、前記密閉チャンバー内には、前記粉体容器を振動させる振動装置が配置されている。
一実施形態では、前記密閉チャンバー内には、前記粉体容器を保持する真空クランプが配置されている。
一実施形態では、前記めっき液タンクは、前記攪拌機が配置された攪拌槽と、該攪拌槽の下部に設けられた連通孔に接続されたオーバーフロー槽とを備える。
一実施形態では、前記めっき液タンクは、前記オーバーフロー槽に隣接する迂回流路をさらに備える。
一実施形態では、前記めっき液タンクは、前記オーバーフロー槽内に配置された複数のバッフル板をさらに備え、前記複数のバッフル板は交互にずらして配列されている。
一実施形態では、前記複数のめっき槽から前記装置に延びるめっき液戻り管をさらに備える。
一実施形態では、前記粉体が添加された前記めっき液を攪拌する工程をさらに含む。
一実施形態では、前記重量の測定値の変化から前記粉体の前記めっき液への添加量を算定し、前記添加量が目標値に達するまで、前記フィーダーを動作させる工程をさらに含む。
一参考例では、前記粉体導管の先端は、円錐台形状を有している。
一参考例では、前記めっき槽は複数のめっき槽からなり、該複数のめっき槽内のめっき液中の金属イオンを常時監視するとともに、前記金属イオンの濃度が所定値よりも低くなった場合に、該複数のめっき槽内のめっき液をめっき槽からめっき液タンクに移送させるとともに、めっき液を前記めっき液タンクから前記複数のめっき槽のいずれかに供給する。
基板にめっきする金属種を銅ではなく、例えばインジウムや、ニッケル、コバルト、ルテニウムといった別の金属とした場合についても、上記の粉体容器、めっきシステム、およびめっき方法を用いることができる。この場合の粉体の例としては、例えば、硫酸インジウム、硫酸ニッケル、硫酸コバルト等の硫酸塩、スルファミン酸ニッケル、スルファミン酸コバルト等のスルファミン酸塩、臭化ニッケル、塩化ニッケル、塩化コバルト等のハロゲン化物、酸化インジウム、といった粉体が挙げられる。
なお、本明細書において、「粉体」、「粉末」には、固形状の粒子、成形された粒状物、ペレット状に成形された固形物、小粒径の球体とされた銅固形物ボール、固体状の銅をリボン若しくはテープ状に成形した帯状物、またはこれらのいずれかの組み合わせからなる混合物を少なくとも含む。
2 めっき槽
5 内槽
6 外槽
8 不溶解アノード
9 アノードホルダー
11 基板ホルダー
15 めっき電源
17 めっき制御部
18a,18b 濃度測定器
20 めっき液供給装置
21 粉体容器
24 密閉チャンバー
26 投入口
27 ホッパー
28 接続シール
30 フィーダー
31 モータ
32 動作制御部
35 めっき液タンク
36 めっき液供給管
36a 分岐管
37 めっき液戻り管
37a 排出管
38 流量計
39 流量調節弁
40 ポンプ
41 フィルタ
42 純水供給ライン
43 開閉バルブ
44 流量計
45 容器本体
46 粉体導管
47 流量調節弁
48 バルブ
49 取っ手
50 キャップ
55 扉
56 手袋
58 排気ポート
61 真空クランプ
65 振動装置
66 台座
68 フレーム
70 エジェクタ
72 圧縮空気供給管
73 ブラケット
74 蓋
75 排気管
80 重量測定器
81 包囲カバー
83 不活性ガス供給ライン
85 攪拌機
86 攪拌翼
87 モータ
88 バッフル板
88a 切り欠き
91 攪拌槽
92 オーバーフロー槽
93 迂回流路
95 連通孔
110 第1連結管
112 第2連結管
113 ポンプ
115 流量計
116 めっき液排出バルブ
118 濃度測定器
W 基板
Claims (18)
- めっきに使用される金属を少なくとも含む粉体を溶解させためっき液をめっき槽に供給するための装置であって、
前記粉体を収容した粉体容器の粉体導管に連結可能な投入口を有するホッパーと、
前記ホッパーの下部開口に連通するフィーダーと、
前記フィーダーに連結されたモータと、
前記フィーダーの出口に連結され、前記粉体を前記めっき液に溶解させるめっき液タンクと、
前記フィーダーと前記めっき液タンクとの接続部を取り囲む包囲カバーと、
前記包囲カバーの内部に連通する不活性ガス供給ラインと、を備えたことを特徴とする装置。 - 前記ホッパーおよび前記フィーダーの重量を測定する重量測定器と、
前記重量の測定値の変化に基づき、前記モータの動作を制御する動作制御部をさらに備えたことを特徴とする請求項1に記載の装置。 - 前記動作制御部は、前記重量の測定値の変化から前記粉体の前記めっき液への添加量を算定し、前記添加量が目標値に達するまで、前記モータを動作させることを特徴とする請求項2に記載の装置。
- 前記ホッパーの投入口は、その先端からの距離が大きくなるにつれて口径が徐々に小さくなる接続シールを有していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の装置。
- 前記接続シールは弾性材から構成されていることを特徴とする請求項4に記載の装置。
- 前記ホッパーの投入口が内部に配置された密閉チャンバーをさらに備え、
前記密閉チャンバーは、内部に前記粉体容器を搬入可能とする扉と、前記密閉チャンバーの壁の一部を構成する手袋とを備えることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の装置。 - 前記密閉チャンバーは、その内部空間を負圧源に連通させるための排気ポートを備えることを特徴とする請求項6に記載の装置。
- 前記密閉チャンバー内には、前記粉体容器を振動させる振動装置が配置されていることを特徴とする請求項6または7に記載の装置。
- 前記密閉チャンバー内には、前記粉体容器を保持する真空クランプが配置されていることを特徴とする請求項6乃至8のいずれか一項に記載の装置。
- 前記めっき液タンクは、前記めっき液を攪拌する攪拌機を備えることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載の装置。
- 前記めっき液タンクは、前記攪拌機が配置された攪拌槽と、該攪拌槽の下部に設けられた連通孔に接続されたオーバーフロー槽とを備えることを特徴とする請求項10に記載の装置。
- 前記めっき液タンクは、前記オーバーフロー槽に隣接する迂回流路をさらに備えることを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 前記めっき液タンクは、前記オーバーフロー槽内に配置された複数のバッフル板をさらに備え、前記複数のバッフル板は交互にずらして配列されていることを特徴とする請求項11に記載の装置。
- 基板をめっきするための複数のめっき槽と、
請求項1乃至13のいずれか一項に記載の装置と、
前記装置から前記複数のめっき槽に延びるめっき液供給管とを備えたことを特徴とするめっきシステム。 - 前記複数のめっき槽から前記装置に延びるめっき液戻り管をさらに備えたことを特徴とする請求項14に記載のめっきシステム。
- めっきに使用される金属を少なくとも含む粉体をめっき液に供給する方法であって、
前記粉体を収容した粉体容器の粉体導管を、ホッパーの投入口に連結し、
前記粉体容器から前記ホッパーに前記粉体を供給し、
前記ホッパーの下部開口に連通するフィーダーと、めっき液タンクとの接続部を取り囲む包囲カバーの内部に不活性ガスを供給し、
前記粉体が貯留された前記ホッパーと、前記フィーダーの重量を測定しながら、前記フィーダーを動作させ、
前記重量の測定値の変化に基づいて、前記粉体を前記フィーダーによって前記めっき液タンク中のめっき液に添加することを特徴とする方法。 - 前記粉体が添加された前記めっき液を攪拌する工程をさらに含むことを特徴とする請求項16に記載の方法。
- 前記重量の測定値の変化から前記粉体の前記めっき液への添加量を算定し、
前記添加量が目標値に達するまで、前記フィーダーを動作させる工程をさらに含むことを特徴とする請求項16または17に記載の方法。
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