JP5454712B2 - 積層コイル部品 - Google Patents
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Description
磁性体セラミック層を積層することにより形成され、Agを主成分とするコイル形成用の内部導体を備えたセラミック積層体を焼成することにより形成された磁性体セラミック素子の内部に、前記内部導体を層間接続させることにより形成された螺旋状コイルを有する積層コイル部品であって、
前記螺旋状コイルの一対の端部が露出した前記磁性体セラミック素子の一対の側面に形成された外部電極と、前記外部電極上に湿式めっきにより形成されためっき膜とを備え、かつ、
前記内部導体の側部と、前記磁性体セラミック素子の前記螺旋状コイルの一対の端部が露出していない側面との間の領域であるサイドギャップ部における、磁性体セラミックのポア面積率が6〜20%の範囲にあること
を特徴としている。
この積層コイル部品は、上述のように、外部電極上に湿式めっきによりめっき膜が形成されており、湿式めっきによるめっき膜の形成の際に用いられるめっき液が、ポア面積率が6〜20%のポーラスなサイドギャップ部から、内部導体とその周囲の磁性体セラミックとの界面に浸透することにより、内部導体とその周囲の磁性体セラミックとの界面の結合が切断され、磁性体セラミックに加わる応力が緩和されることになる。
したがって、特性のばらつきが少なく、直流抵抗を低減することが可能で、サージなどによる内部導体の断線を抑制、防止することが可能な、信頼性の高い積層コイル部品を提供することが可能になる。
また、SnO2を0.5〜0.8重量%の割合で含有するものを用いた場合、上記効果をより確実なものにすることができる。
また、SnO2を添加すると、磁性体セラミックの透磁率が低下し、強度も低下するが、ホウケイ酸亜鉛系低軟化点結晶化ガラスを添加することにより、その低下した透磁率と強度を補うことができる。
また、磁性体セラミック素子3の両端部には、螺旋状コイル4の両端部4a,4bと導通するように一対の外部電極5a,5bが配設されている。
(1)Fe2O3を48.0mol%、ZnOを29.5mol%、NiOを14.5mol%、CuOを8.0mol%の比率で秤量した磁性体原料を調製し、ボールミルにて48時間の湿式混合を行った。
それから、湿式混合したスラリーをスプレードライヤーにより乾操し、700℃にて2時間仮焼した。
得られた仮焼物をボールミルにて16時間湿式粉砕し、粉砕終了後にバインダーを所定量混合し、セラミックスラリーを得た。
それから、このセラミックスラリーをシート状に成形して厚み25μmのセラミックグリーンシートを作製した。
なお、上記導電性ペーストとしては、不純物元素が0.1重量%以下のAg粉末と、ワニスと、溶剤とを配合してなり、Ag含有率が85重量%の導電性ペーストを用いた。コイルパターン(内部導体パターン)形成用の導電性ペーストとしては、上述のように、Agの含有量が高いもの、例えば、Ag含有率が83〜89重量%のものを用いることが望ましい。なお、不純物が多いと、酸性溶液(めっき液)により内部導体が腐食し、直流抵抗が増加するという不具合が生じる場合がある。
この未焼成の磁性体セラミック素子23は、その内部に、各内部導体パターン(コイルパターン)22がビアホール24により接続されてなる積層型の螺旋状コイルを備えている。なお、コイルのターン数は7.5ターンとした。
このときの磁性体セラミック(フェライト)と内部導体の焼成時の焼結収縮率は、磁性体セラミックが13〜20%であるのに対して、内部導体は8%である。なお、焼成温度が820℃〜910℃の範囲では内部導体の焼結収縮率はほぼ一定になるものである。
なお、内部導体の焼結収縮率は、例えば、内部導体形成用の導電性ペースト中の導電成分(Ag粉末)の含有率と、導電性ペーストに含まれるワニスおよび溶剤の種類を適宜選択することにより制御することができる。
また、内部導体の焼結収縮率が15%以上になると、磁性体セラミック素子内部にポア率の分布が生じなくなり、前記外層領域9を所定の高密度にしつつ、Niめっき液をサイドギャップから浸入させることができなくなる。
したがって、内部導体の焼結収縮率は0〜15%の範囲とすることが望ましく、5〜11%とすることがさらに好ましい。
磁性体セラミックの焼結収縮率の測定は、セラミックグリーンシートを積み重ね、実際に積層コイル部品を製造する際の条件と同じ圧力条件で圧着し、所定の寸法にカットした後焼成し、積層方向に沿う方向の焼結収縮率を熱機械分析装置(TMA)にて測定することにより行った。
まず、内部導体形成用の導電性ペーストをガラス板上に薄く延ばして乾燥した後に、乾燥物をかきとって乳鉢で粉末状に粉砕した。それから金型に入れて積層コイル部品を製造する際の条件と同じ圧力条件で一軸プレス成形し、所定の寸法にカットした後焼成し、プレス方向に沿う方向の焼結収縮率をTMAにて測定した。
なお、外部電極形成用の導電性ペーストとしては、平均粒径が0.8μmのAg粉末と耐めっき性に優れたB−Si−K系の平均粒径が1.5μmのガラスフリットとワニスと溶剤とを配合した導電性ペーストを用いた。そして、この導電性ペーストを焼き付けることにより形成された外部電極は、以下のめっき工程でめっき液によって侵食されにくい緻密なものであった。
また、Snめっき液として、硫酸スズを約70g/L、クエン酸水素アンモニウムを約100g/L、硫酸アンモニウムを約100g/Lの割合で含み、pHが5の酸性の溶液を用いた。
上述のようにして作製した積層コイル部品について、以下の方法でインピーダンスの測定、三点曲げ試験による抗折強度の測定を行った。
また、上記(6)の工程で、外部電極にめっきを施す前の段階の磁性体セラミック素子について、以下の方法でポア面積率の測定を行った。
50個の試料について、インピーダンスアナライザ(ヒューレット・パッカード社製HP4291A)を用いてインピーダンスの測定を行い平均値(n=50pcs)を求めた。
50個の試料について、EIAJ−ET−7403に規定の試験方法にて測定を行い、ワイブルプロットした場合における破壊確率=1%のときの強度を抗折強度とした(n=50pcs)。
めっき前の磁性体セラミック素子の幅方向と厚み方向で規定される断面(以下、「W−T面」という)を鏡面研磨し、収束イオンビーム加工(FIB加工)した面を走査電子顕微鏡(SEM)により観察し、焼結後の磁性体セラミック中のポア面積率を測定した。
FIB装置 :FEI製FIB200TEM
FE−SEM(走査電子顕微鏡) :日本電子製JSM−7500FA
WinROOF(画像処理ソフト):三谷商事株式会社製、Ver.5.6
図4に示すように、上述の方法で鏡面研磨した試料の研磨面に対し、入射角5°でFIB加工を行った。
SEM観察は、以下の条件で行った。
加速電圧 :15kV
試料傾斜 :0゜
信号 :二次電子
コーティング :Pt
倍率 :5000倍
ポア面積率は、以下の方法で求めた。
a)計測範囲を決める。小さすぎると測定箇所による誤差が生じる。
(この実施例では、22.85μm×9.44μmとした)
b)磁性体セラミックとポアが識別しにくければ明るさ、コントラストを調節する。
c)2値化処理を行い、ポアのみを抽出する。画像処理ソフトWinROOFの「色抽出」では完全でない場合には手動で補う。
d)ポア以外を抽出した場合はポア以外を削除する。
e)画像処理ソフトの「総面積・個数計測」で総面積、個数、ポアの面積率、計測範囲の面積を測定する。
本発明におけるポア面積率は、上述のようにして測定した値である。
これに対し、サイドギャップ部のポア面積率が小さい場合、めっき液が内部に浸透できず、内部導体と磁性体セラミックの界面で結合を切断することができなくなる。
したがって、インピーダンスの低下の抑制しつつ、高い抗折強度を確保する見地からは、試料番号2〜6のように、サイドギャップ部のポア面積率を6〜20の範囲とすること望ましい。
また、試料番号3〜5のように、ポア面積率を8〜16%とした場合、インピーダンス、および抗折強度がより安定しており、さらに好ましいことがわかる。
このSIM像は、めっき後の積層コイル部品のW−T面を鏡面研磨した後、FIBで加工した面を、SIMにより5000倍で観察したものであり、磁性体セラミックと内部導体の界面に空隙が認められないことがわかる。
破断面のSEM観察では、図6からわかるように、隙間が認められるが、これは、内部導体と磁性体セラミックの界面が解離しているので、破断時に内部導体が延びて、手前に引き出されるときに隙間が形成されたものと考えられる。なお、試料をニッパで破断した場合にも、同様の隙間が認められる。
Fe2O3:48.0mol%、ZnO:29.5mol%、NiO:14.5mol%、CuO:8.0mol%の比率で秤量した磁性体原料を、ボールミルにて48時間湿式混合してスラリーとした。
そして、このスラリーをスプレードライヤーにより乾操し、700℃にて2時間仮焼して仮焼物を得た。
ここで添加したホウケイ酸亜鉛系結晶化ガラスは、12重量%SiO2−60重量%ZnO−28重量%B2O3の組成からなるガラスで、軟化点580℃、結晶化温度690℃、粒径1.5μmのガラスである。
なお、ガラスの組成としては、上記基本組成に、BaO、K2O、CaO、Na2O、Al2O3、SnO2、SrO、MgOなどの添加物が含まれていてもよい。
その後、上記実施例1の場合の(2)〜(4)の工程と同じ方法で、内部に積層型の螺旋状コイルを備えた未焼成の積層体(磁性体セラミック素子)を作製した。
そして、この積層体を、サイドギャップ部のポア面積率が11%となるように、焼成温度を調整して、焼結させた。
表2に、ガラスの添加量を変えた磁性体セラミックを用いた各試料のインピーダンス(|Z|)の値、抗折強度の値を示す。
なお、ホウケイ酸亜鉛系結晶化ガラスの添加量は0.1〜0.5重量%の範囲とすることが好ましく、0.2〜0.4重量%の範囲とすることがさらに好ましい。
なお、ガラス軟化点が500℃未満になると、流動性が低下して磁性体セラミックの焼結を阻害したり、ガラスが蒸発して透磁率の低下を招いたりするため好ましくない。
また、ガラス軟化点が700℃を超えた場合も、やはり磁性体セラミックの焼結が阻害されて透磁率が低下し、インピーダンスが低下するため好ましくない。
(1)磁性体セラミックと内部導体の焼結収縮率差を5〜20%の範囲で調整する方法、
(2)磁性体セラミックシートの厚み(例えば10〜50μm)に対する内部導体の厚みを、例えば5〜50μmの範囲で調整する方法、
(3)磁性体セラミックシートを構成するセラミックの粒径を、例えば0.5〜5μmの範囲で調整する方法、
(4)磁性体セラミックシートのバインダー含有率を、例えば8〜15重量%の範囲で調整する方法、
(5)上記(1)〜(4)を組み合わせる方法など
によりサイドギャップのポア面積率を制御することが可能である。
この仮焼物に、ホウケイ酸亜鉛系低軟化点結晶化ガラスを0.3重量%加え、ボールミルにて16時間の湿式粉砕を行った後、バインダーを所定量添加して混合することによりセラミックスラリーを得た。
そして、この積層体を、サイドギャップ部のポア面積率が11%となるように、焼成温度を調整して、焼結させた。
表3に、SnO2の添加量を変えた各試料のインピーダンス(|Z|)の値、抗折強度、および熱衝撃試験の前後のインピーダンス(|Z|)の変化率の最大値を示す。
ただし、抗折強度とインピーダンスも低下するため、SnO2添加量は、0.3〜1.0重量%の範囲とすることが望ましい。
さらに、試料番号16,17のように、SnO2添加量を0.5〜0.8重量%の範囲とした場合、より特性の安定した積層コイル部品を得ることが可能になり特に望ましい。
したがって、本発明は、磁性体セラミック中にコイルを備えた構成を有する積層インピーダンス素子や積層インダクタなどをはじめとする種々の積層コイル部品に広く適用することが可能である。
2 内部導体
2a 内部導体の側部
3 磁性体セラミック素子
3a 磁性体セラミック素子の側面
4 螺旋状コイル
4a,4b 螺旋状コイルの両端部
5a,5b 外部電極
8 サイドギャップ部
9 外層領域
10 積層コイル部品(積層インピーダンス素子)
11 磁性体セラミック
21 セラミックグリーンシート
21a 内部導体パターンを有しないセラミックグリーンシート
22 内部導体パターン(コイルパターン)
23 積層体(未焼成の磁性体セラミック素子)
24 ビアホール
A 界面
Claims (7)
- 磁性体セラミック層を積層することにより形成され、Agを主成分とするコイル形成用の内部導体を備えたセラミック積層体を焼成することにより形成された磁性体セラミック素子の内部に、前記内部導体を層間接続させることにより形成された螺旋状コイルを有する積層コイル部品であって、
前記螺旋状コイルの一対の端部が露出した前記磁性体セラミック素子の一対の側面に形成された外部電極と、前記外部電極上に湿式めっきにより形成されためっき膜とを備え、かつ、
前記内部導体の側部と、前記磁性体セラミック素子の前記螺旋状コイルの一対の端部が露出していない側面との間の領域であるサイドギャップ部における、磁性体セラミックのポア面積率が6〜20%の範囲にあること
を特徴とする積層コイル部品。 - 前記サイドギャップ部における磁性体セラミックのポア面積率が、磁性体セラミック素子内の内部導体の上側最外層の上面と、磁性体セラミック素子の上面との間の外層領域、および、磁性体セラミック素子内の内部導体の下側最外層の下面と、磁性体セラミック素子の下面との間の外層領域における磁性体セラミックのポア面積率よりも大きいことを特徴とする請求項1記載の積層コイル部品。
- 前記磁性体セラミックが、NiCuZnフェライトを主成分とするものであって、軟化点が500〜700℃であるホウケイ酸亜鉛系低軟化点ガラスを0.1〜0.5重量%含有するものであることを特徴とする請求項1または2記載の積層コイル部品。
- 前記磁性体セラミックが、NiCuZnフェライトを主成分とするものであって、軟化点が500〜700℃であるホウケイ酸亜鉛系低軟化点ガラスを0.2〜0.4重量%含有するものであることを特徴とする請求項1または2記載の積層コイル部品。
- 前記磁性体セラミックが、NiCuZnフェライトを主成分とするものであって、軟化点が500〜700℃であるホウケイ酸亜鉛系低軟化点ガラスを0.1〜0.5重量%含有するととともに、SnO2を0.3〜1.0重量%含有するものであることを特徴とする請求項1または2記載の積層コイル部品。
- 前記磁性体セラミックが、NiCuZnフェライトを主成分とするものであって、軟化点が500〜700℃であるホウケイ酸亜鉛系低軟化点ガラスを0.1〜0.5重量%含有するととともに、SnO2を0.5〜0.8重量%含有するものであることを特徴とする請求項1または2記載の積層コイル部品。
- 前記磁性体セラミックのポア面積率に係わるポアの直径の平均値が、0.1〜0.6μmの範囲にあることを特徴とする請求項2〜6のいずれかに記載の積層コイル部品。
Priority Applications (1)
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