JP5454345B2 - 音響センサ及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1(A)及び図1(B)は、特許文献1の図7及び図8に開示された音響センサをパッケージ内に実装した状態を示す概略断面図である。この音響センサ11は、バックチャンバ13を開口されたシリコン基板12の上にダイアフラム14(振動薄膜)を張り、ダイアフラム14を覆うようにしてシリコン基板12の上にバックプレート15を設けている。また、このような音響センサ11は、通常は、図1(A)及び図1(B)に示すように、IC回路16とともにパッケージ17内に実装し、音響センサ11の電極パッド18とIC回路16とをボンディングワイヤ19で結線し、またIC回路16をボンディングワイヤ20でパッケージ17の電極部21に結線する。
特許文献2の図2には、シリコン基板の上面の外周縁まで構造物を設けてシリコン基板の上面を覆ったものが開示されている。しかし、この音響センサでは、バックプレート(上層導電膜を設けたプレート)とは別な部材(表層保護膜など)によってシリコン基板の上面外周部を覆っている。そのため、製造時の工数が増加し、生産性が悪いという問題があった。
つぎに、音響センサ31のMEMS技術による製造方法を説明する。図4(A)−図4(D)及び図5(A)−図5(C)は、音響センサ31の製造工程を示す概略断面図である。
32 シリコン基板
33 ダイアフラム
34 バックプレート
35 バックチャンバ
37 アンカー
38 アコースティックホール
39 プレート部
40 固定電極膜
41 土台部
45 固定側電極パッド
46 可動側電極パッド
47 密着層
49 梁部カバー領域
50 境界領域
51 土台被覆部
52 平坦部
53 保護膜
61 犠牲層
62 空洞成形部
Claims (13)
- バックチャンバを有する半導体基板と、前記半導体基板の上方に配設された導電性のダイアフラムと、間隙を隔てて前記ダイアフラムを覆うようにして前記半導体基板の上面に固定された絶縁性の固定膜と、前記ダイアフラムと対向する位置において前記固定膜に設けた導電性の固定電極膜と、前記固定電極膜と前記ダイアフラムの間の静電容量の変化を電気信号として外部へ出力するための電極端子とを備えた音響センサであって、
前記半導体基板の上面外周部が前記固定膜と同じ材料からなる保護膜によって覆われていて、前記保護膜の外周が前記半導体基板の上面外周と一致しており、
前記保護膜の外周部は、前記固定膜と異なる材料からなり前記保護膜よりも薄い密着層を介在させて前記半導体基板の表面に固定され、
前記保護膜の内周部は、前記固定膜と異なる材料からなる厚膜層を介在させて前記半導体基板の表面に固定されていることを特徴とする音響センサ。 - 前記電極端子は、前記厚膜層の形成されている領域において前記保護膜に設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の音響センサ。
- 前記密着層と前記厚膜層は、同じ材料によって形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の音響センサ。
- 前記密着層及び前記厚膜層は、絶縁性材料によって形成されていることを特徴とする、請求項1に記載の音響センサ。
- 前記保護膜と前記固定膜とは連続しており、前記保護膜と前記固定膜との境界領域は、前記半導体基板の上面に密着していることを特徴とする、請求項1に記載の音響センサ。
- バックチャンバを有する半導体基板と、前記半導体基板の上方に配設された導電性のダイアフラムと、間隙を隔てて前記ダイアフラムを覆うようにして前記半導体基板の上面に固定された絶縁性の固定膜と、前記ダイアフラムと対向する位置において前記固定膜に設けた導電性の固定電極膜と、前記固定電極膜と前記ダイアフラムの間の静電容量の変化を電気信号として外部へ出力するための電極端子とを備えた音響センサの製造方法であって、
前記半導体基板の上面に堆積させた犠牲層の内部にダイアフラムを形成する工程と、
前記犠牲層をエッチングして表面が前記固定膜の内面形状をした空間成形部を形成する工程と、
前記空間成形部を形成した後、前記半導体基板の上面外周部の少なくとも一部に、前記固定膜と異なる材料からなり前記保護膜よりも薄い密着層を形成する工程と、
整形された前記犠牲層の上に前記固定膜を形成するとともに、前記密着層を介在させて、かつ、外周が前記半導体基板の上面外周と一致するようにして、前記固定膜と同じ材料からなる保護膜によって前記半導体基板の上面外周部を覆う工程と、
前記半導体基板に前記バックチャンバを形成する工程と、
前記犠牲層をエッチングにより除去して前記ダイアフラムを空間で支持させるとともに、前記ダイアフラムと前記固定膜の内面との間に間隙を形成する工程と、
を有することを特徴とする音響センサの製造方法。 - 前記空間成形部を形成する際、前記犠牲層によって前記空間成形部と分離して前記空間成形部の外側に厚膜層を形成し、ついで、前記厚膜層の外側に前記密着層を形成することを特徴とする、請求項6に記載の音響センサの製造方法。
- 前記密着層と前記厚膜層は、同じ材料によって形成されていることを特徴とする、請求項7に記載の音響センサの製造方法。
- 前記密着層及び前記厚膜層は、絶縁性材料によって形成されていることを特徴とする、請求項7に記載の音響センサの製造方法。
- 前記密着層の厚さは、前記固定膜と前記固定電極膜からなるバックプレートの内面と前記ダイアフラムとの間の間隔よりも小さいことを特徴とする、請求項7に記載の音響センサの製造方法。
- 前記厚膜層の厚さは、前記固定膜と前記固定電極膜からなるバックプレートの内面と前記ダイアフラムとの間の間隔よりも大きいことを特徴とする、請求項7に記載の音響センサの製造方法。
- 前記厚膜層の厚さは、前記固定膜と前記固定電極膜からなるバックプレートの内面と前記ダイアフラムとの間の間隔と、前記半導体基板の上面と前記ダイアフラムとの間の間隔との和の距離に等しいことを特徴とする、請求項7に記載の音響センサの製造方法。
- 前記保護膜と前記固定膜を連続させて同時に形成するとともに、前記保護膜と前記固定膜との境界領域を前記半導体基板の上面に密着させることを特徴とする、請求項7に記載の音響センサの製造方法。
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