JP4947220B2 - 音響センサ及びマイクロフォン - Google Patents
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Description
まず、図1及び図2を参照して本発明の実施形態1による音響センサ31の構造を説明する。図1は音響センサ31の平面図である。図2は、音響センサ31の対角方向における断面図(図1のX−X線断面)である。
直径 Wa > 離間距離 Da
とすることが望ましい。
Da > 0.25×Wa
であることが好ましい。したがって、アコースティックホール38aどうしの離間距離Daはできるだけ狭いことが好ましいが、0.25Waを下限値とする。
0.25×Wa < Da < Wa
という条件が得られる。
本発明の実施形態2による音響センサを説明する。図5は本発明の実施形態2による音響センサ61の平面図である。図6は、音響センサ61の、プレート部39を省略して示す平面図であって、併せてその一部を拡大して示す。
本発明の実施形態3による音響センサを説明する。図7は本発明の実施形態3による音響センサ71の平面図である。
本発明の実施形態4による音響センサを説明する。図8は本発明の実施形態4による音響センサ81の平面図である。
図9は、本発明の実施形態5によるマイクロフォン91を示す概略断面図である。音響センサ92は、図9に示すように、IC回路93(信号処理回路)とともにパッケージ94内に実装され、音響センサ92の電極パッド95とIC回路93とをボンディングワイヤ96で結線し、またIC回路93をボンディングワイヤ97でパッケージ94の電極部98に結線している。また、パッケージ94の上面には、音響振動をパッケージ94内に入れるための音響振動導入孔99が開口されている。
32 シリコン基板
33 ダイアフラム
34 バックプレート
35 バックチャンバ
38a、38b アコースティックホール
39 プレート部
40 固定電極膜
44 引出し配線
45 固定側電極パッド
46 可動側電極パッド
62 梁部
Claims (12)
- バックチャンバを有する半導体基板と、
前記半導体基板の上方に配設された導電性のダイアフラムと、
間隙を隔てて前記ダイアフラムを覆うようにして前記半導体基板の上面に固定された絶縁性の固定膜と、
前記ダイアフラムと対向する位置において前記固定膜に設けた導電性の固定電極膜と、
前記固定電極膜から引き出された引出し配線と、
前記引出し配線を接続された電極パッドとを備え、
音響振動を前記ダイアフラムと前記固定電極膜との間の静電容量の変化に変換する音響センサであって、
前記固定膜と前記固定電極膜からなるバックプレートには複数の音響孔が開口し、
前記引出し配線及びその近傍領域は、それぞれその他の領域よりも音響孔の開口率が小さいことを特徴とする音響センサ。 - 前記引出し配線及び前記引出し配線の近傍領域は、それぞれその他の領域よりも音響孔1個あたりの開口面積が小さいことを特徴とする、請求項1に記載の音響センサ。
- 前記引出し配線及び前記引出し配線の近傍領域は、それぞれその他の領域よりも隣り合う音響孔どうしの中心間距離が長いことを特徴とする、請求項1に記載の音響センサ。
- 前記引出し配線及び前記引出し配線の近傍領域に設けられた前記音響孔と、前記引出し配線及び前記引出し配線の近傍領域を除くその他の領域にある前記音響孔とが、同じ規則に従って配列されていることを特徴とする、請求項2に記載の音響センサ。
- 前記引出し配線又は前記引出し配線の近傍領域に設けられた比較的開口面積の小さな前記音響孔の直径が、当該音響孔どうしの離間距離の2倍よりも小さいことを特徴とする、請求項2に記載の音響センサ。
- 前記引出し配線及び前記引出し配線の近傍領域を除くその他の領域に設けられた比較的開口面積の大きな前記音響孔の直径が、当該音響孔どうしの離間距離よりも大きいことを特徴とする、請求項2に記載の音響センサ。
- 前記引出し配線及び前記引出し配線の近傍領域を除くその他の領域にある比較的開口面積の大きな前記音響孔の直径が、当該音響孔どうしの離間距離の4倍よりも小さいことを特徴とする、請求項2に記載の音響センサ。
- 前記引出し配線及び前記引出し配線の近傍領域において配列している比較的開口面積の小さな前記音響孔は、隣り合う当該音響孔どうしの中心間距離が、前記引出し配線及び前記引出し配線の近傍領域を除くその他の領域にある比較的開口面積の大きな音響孔の、隣り合う当該音響孔どうしの中心間距離と等しいことを特徴とする、請求項2に記載の音響センサ。
- 前記引出し配線に設けた音響孔から数えたとき当該引出し配線の音響孔を含めて5区画以下のエリアに含まれる音響孔を、比較的開口面積の小さな前記音響孔としたことを特徴とする、請求項2に記載の音響センサ。
- バックチャンバを有する半導体基板と、
前記半導体基板の上方に配設された導電性のダイアフラムと、
間隙を隔てて前記ダイアフラムを覆うようにして前記半導体基板の上面に固定された絶縁性の固定膜と、
前記ダイアフラムと対向する位置において前記固定膜に設けた導電性の固定電極膜と、
前記固定電極膜から引き出された引出し配線と、
前記引出し配線を接続された電極パッドとを備え、
音響振動を前記ダイアフラムと前記固定電極膜との間の静電容量の変化に変換する音響センサであって、
前記固定膜と前記固定電極膜からなるバックプレートには複数の音響孔が開口し、
前記引出し配線及びその近傍領域のうち少なくとも前記引出し配線は、前記音響孔を有しないか、あるいはその他の領域にある音響孔よりも開口率の小さな音響孔を有している(ただし、前記引出し配線に音響孔が無く、かつ、前記引出し配線の近傍領域に設けられた音響孔の開口率と前記引出し配線及び前記引出し配線の近傍領域を除くその他の領域にある音響孔の開口率とが等しい場合を除く。)ことを特徴とする音響センサ。 - 請求項1に記載した音響センサと、前記音響センサから出力された電気信号を処理する信号処理回路とを、ハウジング内に納めたマイクロフォン。
- 請求項10に記載した音響センサと、前記音響センサから出力された電気信号を処理する信号処理回路とを、ハウジング内に納めたマイクロフォン。
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