JP5029147B2 - 音響センサ - Google Patents
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Description
また、隣接する突起どうしの間隔を振動電極板又は対向電極板の全体で一定にし、かつ、隣接する突起どうしの間隔を適切な値に調整する方法では、振動電極板のバネ性がばらついたり、振動電極板と対向電極板の間に浸入した水分の毛細管力が異なったりすると、局所スティックや全体スティックが起こる恐れがある。これに対し、かかる実施態様では、突起形成領域に応じて隣接する突起どうしの間隔を変化させることによって振動電極板のスティックを軽減しているので、振動電極板のバネ性がばらついたり、振動電極板と対向電極板の間に浸入した水分の毛細管力が異なったりしても、局所スティックや全体スティックが起こりにくくなる。従って、隣接する突起どうしの間隔の設計値の許容範囲が広くなり、音響センサの特性が安定すると共に音響センサの設計及び製造が容易になる。
以下、図5〜図13を参照して本発明の第1の実施形態を説明する。まず、図5は第1の実施形態による音響センサ21を示す斜視図であり、図6はその分解斜視図である。また、図7は図5のY−Y線に沿った断面図である。
つぎに、図14〜図17により実施形態2による音響センサを説明する。第2の実施形態による音響センサの構造は、第1の実施形態による音響センサ21の構造とほぼ同じであるので、全体の構造及び説明は省略する。
(1/8)R≦r≦(1/2)R
としている。図15は、円形状の振動電極板24において、ダイアフラム28の全体に均一な圧力が加わったときの撓みの大きさを区分的に表した図である。図15から分かるように、振動電極板24は、その中心から外側に向かうに従って柔軟性が低くなって撓みが小さくなっており、その中央部aで撓みが最も大きくなっている。中心から半径rが(1/2)R以上の領域では、ダイアフラム28の弾性的な撓みの対称性が崩れているので、局所スティックは起こりにくく、これよりも外側でも突起36どうしの間隔を小さくすると全体スティックを起こす恐れがある。また、中心から半径rが(1/8)Rよりも外側の領域でもダイアフラム28の弾性的な撓みの対称性が保たれているので、中心から半径rが(1/8)Rよりも内側でしか突起36どうしの間隔を小さくしなければ、そのすぐ外側で局所スティックを生じるおそれがある。よって、突起36どうしの間隔を小さくしておく領域は、
(1/8)R≦r≦(1/2)R
のような半径rの円内の領域aとするのが望ましい。
図18は、振動電極板24に垂直な方向から見たときの、第3の実施形態による振動電極板24と音響孔31及び突起36との位置関係を表した図である。また、図19は、第3の実施形態における対向電極板25の一部を拡大して示す図である。この実施形態では、突起36を音響孔31に近接させて、あるいは音響孔31に接するように設けている。
図25は本発明の音響センサのさらに別な実施形態を示す概略断面図である。第1〜第3の実施形態では、対向電極板25に突起36を設けたが、この実施形態では、振動電極板24に突起36を設けている。このような実施形態によれば、振動電極板24の中央部が撓んで突起36間の部分が対向電極板25にくっつく局所スティックや、突起36のほぼ全体が対向電極板25にくっつく全体スティックを防止することができる。
22 シリコン基板
23 絶縁被膜
24 振動電極板
25 対向電極板
26 貫通孔
27 固定部
28 ダイアフラム
31 音響孔
36 突起
37 水分
Claims (9)
- 基板に固定され、かつ、音圧に感応する振動電極板と、
基板に固定され、かつ、前記振動電極板と空隙を介して対向した対向電極板と、
を有する音響センサにおいて、
前記振動電極板又は前記対向電極板の前記空隙側の面に複数の突起を設けるとともに、
前記対向電極板に、音圧を通過させるための音響孔を複数設け、
前記突起をそれぞれ、前記音響孔と接する位置に配置したことを特徴とする音響センサ。 - 前記振動電極板又は前記対向電極板における突起形成領域に応じて隣接する突起どうしの間隔を変化させたことを特徴とする、請求項1に記載の音響センサ。
- 前記振動電極板又は前記対向電極板のうち前記突起を設けた側の電極板において、前記振動電極板の柔軟性の高い領域又は前記柔軟性の高い領域に対向する前記対向電極板の対向領域における隣接する突起どうしの間隔が、前記振動電極板の柔軟性の低い領域又は前記柔軟性の低い領域に対向する前記対向電極板の対向領域における隣接する突起どうしの間隔よりも小さいことを特徴とする、請求項1に記載の音響センサ。
- 前記振動電極板をその可動部分の外周縁に沿って前記基板に固定し、
前記可動部分の中央部、もしくは前記対向電極板の当該中央部に対向する領域における隣接する前記突起どうしの間隔が、前記可動部分の外周部分、もしくは前記対向電極板の当該外周部分に対向する領域における隣接する前記突起どうしの間隔よりも小さいことを特徴とする、請求項3に記載の音響センサ。 - 前記振動電極板の前記可動部分は円板状に形成されており、
前記可動部分の半径をRとするとき、前記振動電極板の中央、もしくは前記対向電極板の当該中央に対向する位置を中心とする半径R/8以上R/2以下の領域における隣接する前記突起どうしの間隔が、当該領域よりも外側の領域における隣接する前記突起どうしの間隔よりも小さいことを特徴とする、請求項4に記載の音響センサ。 - 前記振動電極板の前記可動部分の外周部を前記基板に複数箇所で部分的に固定し、
前記振動電極板の固定部位どうし、もしくは前記対向電極板の当該固定部位に対向する部位どうしの中間に位置する領域における隣接する前記突起どうしの間隔が、その他の突起形成領域における隣接する前記突起どうしの間隔よりも小さいことを特徴とする、請求項3に記載の音響センサ。 - 前記突起は、複数の同心円又は複数の多角形に沿って配列されていることを特徴とする、請求項1に記載の音響センサ。
- 前記対向電極板は音圧を通過させるための音響孔を複数有し、
前記突起はそれぞれ、前記音響孔で囲まれた領域の中央部に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の音響センサ。 - 前記対向電極板は音圧を通過させるための音響孔を複数有し、
前記突起はそれぞれ、前記音響孔で囲まれた領域の中央から外れた位置に配置されていることを特徴とする、請求項1に記載の音響センサ。
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