JP5380510B2 - 不揮発性半導体記憶装置 - Google Patents
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Description
図1は、第1実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の概略構成を示すブロック図である。
図1において、この不揮発性半導体記憶装置には、メモリセルアレイ1、ロウ選択回路2、ウェル電位設定回路3、ソース電位設定回路4、カラム選択回路5、データ入出力バッファ6、制御回路7およびセンスアンプ回路8が設けられている。
図2において、ブロックBi(1≦i≦n、i及びnは正の整数)には、l(lは正の整数)本のワード線WL1〜WLl、セレクトゲート線SGD、SGSおよびソース線SCEが設けられている。また、ブロックB1〜Bnには、m(mは正の整数)本のビット線BL1〜BLmが共通に設けられている。
図3において、ウェル11上には電荷蓄積層15およびセレクトゲート電極19、20が配置され、電荷蓄積層15上には制御ゲート電極16が配置されている。なお、ウェル11と電荷蓄積層15とは、不図示のトンネル絶縁膜を介して絶縁することができる。電荷蓄積層15と制御ゲート電極16とは、不図示の電極間絶縁膜を介して絶縁することができる。ここで、1個の電荷蓄積層15とその上の制御ゲート電極16とで1個のメモリセルを構成することができる。
また、しきい値分布Cはしきい値分布BCから生成される。そのため、しきい値分布BCの低レベル側の裾が高くすることにより、しきい値分布Cを生成するまでに必要な書き込み電圧VWの印加回数が少なくなる。その結果、しきい値分布Cが、しきい値分布A、Bに与えるセル間干渉を小さくすることができる。すなわち、しきい値分布A、Bのしきい値変動を小さくすることができる。特に、高い書き込み電圧を必要とするしきい値分布Cの書き込み回数(書き込み電圧VWを印加する回数)を少なくすることは、セル間干渉を小さくする効果が大きい。
図5において、図4(a)のしきい値分布LMが生成されると、選択セルに書き込み電圧VWを印加し、その選択セルの書き込み動作を実行することでしきい値分布BCを生成する(T1、Cパルス書き込み動作)。この時、書き込み電圧VWはプログラム電圧VPにオフセット電圧ΔVP1を加算することが好ましい。なお、オフセット電圧ΔVP1は、ステップアップ電圧ΔVP3より大きな値に設定することができる。なお、Cパルス書き込み動作を複数回行うことも可能である。その結果、しきい値分布BCの低レベル側の裾を高くすることにより、しきい値分布BCからしきい値分布Cへの書き込み電圧の印加回数を少なくすることができる。
図6において、書き込み制御部7aは、書き込み電圧VWをVP+ΔVP1に設定し(S1)、しきい値分布Cに書き込まれる選択セルの書き込み動作を実行する(S2、Cパルス書き込み動作)。
図7は、第2実施形態に係る不揮発性半導体記憶装置の書き込み電圧および書き込みベリファイ電圧の印加方法を示すタイミングチャートである。第2実施形態は、第1実施形態のCパルス書き込み動作、及び、探索ベリファイ動作を通常書き込み動作に取り入れた形態である。第1実施形態と同様の構成、動作においてはその説明を省略する。
Claims (5)
- 複数のメモリセルがマトリックス状に配置されたメモリセルアレイと、
前記メモリセルの書き込み動作、しきい値分布の目標ベリファイレベルに基づいて書き込みベリファイ動作を制御する制御回路とを備え、
前記制御回路は、第1のしきい値分布についての第1書き込み動作を行い、前記第1のしきい値分布の第1ベリファイ動作を行い、前記第1ベリファイ動作の結果に基づいて第2書き込み動作を行い、第2のしきい値分布についての第3書き込み動作を開始し、
前記第1ベリファイ動作では、前記第1のしきい値分布の低レベル領域と高レベル領域が探索され、前記第2書き込み動作では、前記低レベル領域が高レベル側にシフトされることで前記第2のしきい値分布が生成されることを特徴とする不揮発性半導体記憶装置。 - 前記制御回路は、前記第2書き込み動作後に前記第1ベリファイ動作を行うことなく前記第3書き込み動作を行うことを特徴とする請求項1に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記制御回路は、前記第3書き込み動作において、前記第1のしきい値分布に書き込まれる前記メモリセルに書き込みも行うことを特徴とする請求項2に記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記制御回路は、前記第1のしきい値分布に書き込まれる前記メモリセルに対してのみ前記第1書き込み動作を行うことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の不揮発性半導体記憶装置。
- 前記第1のしきい値分布は前記第2のしきい値分布よりも低いレベルであることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の不揮発性半導体記憶装置。
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