JP5363910B2 - 真空ポンプ - Google Patents
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- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 62
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 46
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 22
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 22
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims description 14
- 239000006227 byproduct Substances 0.000 claims description 11
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 claims description 11
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 10
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 6
- 238000005086 pumping Methods 0.000 claims description 5
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 claims description 4
- 238000000151 deposition Methods 0.000 claims description 3
- 230000008021 deposition Effects 0.000 claims description 3
- 238000012544 monitoring process Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 3
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims description 2
- 101100441092 Danio rerio crlf3 gene Proteins 0.000 claims 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 10
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 6
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 6
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 description 6
- 239000000047 product Substances 0.000 description 4
- 238000010926 purge Methods 0.000 description 4
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 4
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 3
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 2
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 2
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000007921 spray Substances 0.000 description 2
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 235000015278 beef Nutrition 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 1
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 239000012809 cooling fluid Substances 0.000 description 1
- 239000000110 cooling liquid Substances 0.000 description 1
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 1
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 1
- 239000003599 detergent Substances 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- 238000007865 diluting Methods 0.000 description 1
- 238000010790 dilution Methods 0.000 description 1
- 239000012895 dilution Substances 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- -1 fluorine Chemical class 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 239000012212 insulator Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004014 plasticizer Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000009257 reactivity Effects 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
- 239000011343 solid material Substances 0.000 description 1
- 239000003760 tallow Substances 0.000 description 1
- 239000002699 waste material Substances 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
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-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C28/00—Control of, monitoring of, or safety arrangements for, pumps or pumping installations specially adapted for elastic fluids
- F04C28/28—Safety arrangements; Monitoring
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C25/00—Adaptations of pumps for special use of pumps for elastic fluids
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/0007—Injection of a fluid in the working chamber for sealing, cooling and lubricating
- F04C29/0014—Injection of a fluid in the working chamber for sealing, cooling and lubricating with control systems for the injection of the fluid
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/0092—Removing solid or liquid contaminants from the gas under pumping, e.g. by filtering or deposition; Purging; Scrubbing; Cleaning
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/123—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially or approximately radially from the rotor body extending tooth-like elements, co-operating with recesses in the other rotor, e.g. one tooth
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/126—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with radially from the rotor body extending elements, not necessarily co-operating with corresponding recesses in the other rotor, e.g. lobes, Roots type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C18/00—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids
- F04C18/08—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing
- F04C18/12—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type
- F04C18/14—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons
- F04C18/16—Rotary-piston pumps specially adapted for elastic fluids of intermeshing-engagement type, i.e. with engagement of co-operating members similar to that of toothed gearing of other than internal-axis type with toothed rotary pistons with helical teeth, e.g. chevron-shaped, screw type
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2220/00—Application
- F04C2220/10—Vacuum
- F04C2220/12—Dry running
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C2270/00—Control; Monitoring or safety arrangements
- F04C2270/80—Diagnostics
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Description
本発明の目的は、ポンプ技術と関連した上述の問題を解決することにある。
かくして、本発明の範囲は、プロセスチャンバとプロセスチャンバを排気する本発明のポンプとを有する化学的気相成長装置であって、使用中、堆積物は、化学的気相成長プロセスの副生物であることを特徴とする化学的気相成長装置に及ぶ。
流体の送り出しは、例えば、ソレノイド弁制御方式を用いてポンプの作動中、所定の間隔で起こる。さらに、例えばロータ速度、電力消費量及び体積ガス流量から成る群のうち少なくとも1つを測定することによりポンプの性能をモニタするモニタ工程を実施するのがよい。これら測定パラメータを用いると、ポンプの内部作業面上における堆積物の堆積の程度を判定することができる。次に、流体流量を計算するのがよく、この流量は、上記において判定された堆積物の累積量を補償するのに十分な送り出し流体の流量である。次に、ロータに送られている流体の流量を調節して新たな計算値を反映するのがよい。
(a)ポンプの性能をモニタする工程と、
(b)モニタした性能に基づいてポンプの内部作業面上の堆積物の堆積速度を計算する工程と、
(c)上記工程(b)で判定された堆積物の堆積速度を補償するのに必要な流体流量を計算する工程と、
(d)上記工程(c)で得た計算値を反映するようロータに送られている流体の流量の調整を行う工程とを含むことを特徴とする方法が更に提供される。
乾式ポンプ装置の制御装置は、コンピュータに具体化できるマイクロプロセッサを有するのがよく、このコンピュータは、コンピュータにインストールされると、上述の方法の工程(a)から工程(d)を実施するようにするコンピュータソフトウェアにより任意的にプログラムされる。このプログラムのキャリヤ媒体は、フロッピー(登録商標)ディスク、CD、ミニディスク又はディジタルテープから選択することができるが、厳密には、これらには限定されない。
図1及び図2に示す例示のポンプはスクリューポンプであるが、本発明は、任意の他形式の真空ポンプ、特に、クローポンプに適用できるということが計画されている。
図1の例では、2つのロータ1が、外ハウジング5内に設けられており、この外ハウジングは、ポンプのステータとして働く。2つの逆方向に回転する互いに噛み合ったロータ1は、これらの中心軸線が互いに平行に位置するように位置決めされている。ロータは、軸受10を介して設けられ、モータ11(図2に示す)によって駆動される。注入ポート2が、図1及び図2の例では、ロータの長さに沿って設けられ(図3では実線で示されている)、これらポート2は、ロータの互いに噛み合った領域から見てロータの反対側の側部でポンプ内に側方に設けられている。しかしながら、ポートをステータ5の周りの任意の半径方向位置に配置してもよい。これら位置のうち幾つかは、図3に示されている。
プロセス物質が蝋質又は脂肪質である場合、適合性のある溶剤を導入して希釈/洗浄機能を実行する必要がある。かかる溶剤は、液体又は蒸気の形態で提供できる。適合性のある有効な洗浄媒体、例えば、炭化水素を主成分とする製品又は炭化水素に溶ける製品の場合にはキシレンを又は水性又は水に溶ける製品の場合には水を用いるのがよく、変形例として、洗剤を用いてもよい。
2 注入ポート
5 ステータ
10 軸受
11 モータ
20 制御システム
21 ポンプ
22 供給導管
24 パージガスシステム
Claims (25)
- 半導体プロセスに利用するためのスクリュー型構成の真空ポンプであって、
ねじを設けた2つのロータ要素と、
ステータ要素と、
ハウジングとを備え、
前記ハウジングは、前記ロータ要素および前記ステータ要素を包囲していて、かつ、半導体プロセスのプロセスチャンバから圧送流体を受け入れる入口と、前記入口から見て下流側に位置した複数のポートを有しており、
前記複数のポートは、前記ハウジングの周りに放射状に配置されていて、
前記複数のポートは、前記ロータ要素の長さに沿って配置されていて、
前記複数のポートは、前記入口から見て、前記ロータ要素のねじ山の最初の2つの完全なターンの後に配置されており、
さらに、前記複数のポートを介して前記ハウジング内へ流体を注入する手段を有し、
前記流体は、前記ロータ要素および前記ステータ要素の表面に付着した粒子及び堆積物のうちの少なくとも一方と反応して、前記粒子及び堆積物を前記ロータ要素および前記ステータ要素の表面から除去するように構成されており、
前記ハウジングは、二重殻型の壁を含み、前記ハウジングの内殻は、前記ステータ要素を形成しており、キャビティが前記壁の内殻と外殻との間に形成されており、
使用中、前記キャビティを通して液体を通過させて、前記要素の温度を上昇させることができるようになっている、
ことを特徴とする真空ポンプ。 - 前記ポートのうち少なくとも1つは、使用中、流体を噴霧するノズルを有することを特徴とする、請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記ノズルは、前記ポート内に一体に形成されていることを特徴とする、請求項2に記載の真空ポンプ。
- 前記ハウジングの内殻は、前記ステータ要素を形成することを特徴とする、請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記真空ポンプは、ねじを設けた2つのロータ要素を有するスクリューポンプであることを特徴とする、請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記少なくとも1つのポートは、前記入口から見て前記ロータ要素のねじ山の最初の完全に2つのターンの後に配置されていることを特徴とする、請求項5に記載の真空ポンプ。
- 前記流体は、液体であることを特徴とする、請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記流体は、前記真空ポンプが使用中にあるとき、前記ロータ要素に付着堆積した粒子を溶解させる溶剤であることを特徴とする、請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記流体は、蒸気であることを特徴とする、請求項1に記載の真空ポンプ。
- 前記流体は、前記粒子と反応する反応性物質を含むことを特徴とする、請求項8に記載の真空ポンプ。
- 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、ロータ要素及びステータ要素と、前記要素を包囲していて、少なくとも1つのポートを備えたハウジングと、要素表面に付着した粒子と反応して前記粒子を前記要素表面から除去できる反応性物質を含む流体を前記少なくとも1つのポートを介して前記ハウジング内へ注入する手段とを有していることを特徴とする真空ポンプ。
- 前記流体は、ハロゲンを含むことを特徴とする、請求項10又は11に記載の真空ポンプ。
- 前記流体は、ClF3、F2、NF3 のうちの1つを含むことを特徴とする、請求項12に記載のポンプ。
- プロセスチャンバと、前記プロセスチャンバを排気するための、請求項1〜13のうちいずれか一項に記載されている真空ポンプとを有する化学的気相成長装置であって、
使用中、堆積物は、化学的気相成長プロセスの副生物であることを特徴とする化学的気相成長装置。 - 請求項1に記載の真空ポンプ内の堆積物を管理する方法であって、
前記方法は、
前記ポートを介して前記ハウジング内へ流体を注入して、前記ロータ要素および前記ステータ要素の表面に衝突させることと、
前記液体を前記キャビティに通すことと、
前記ロータ要素および前記ステータ要素の温度を上昇させ、前記ロータ要素および前記ステータ要素の表面から堆積物を除去することと、
を含むことを特徴とする方法。 - 前記流体は、液体であることを特徴とする、請求項15に記載の方法。
- 前記流体は、前記真空ポンプが使用中にあるとき、前記ロータ要素に付着堆積した粒子を溶解させる溶剤であることを特徴とする、請求項16に記載の方法。
- 前記流体は、蒸気であることを特徴とする、請求項15に記載の方法。
- 前記流体は、前記真空ポンプが使用中にあるとき、前記ロータ要素に付着堆積した粒子を溶解させる溶剤であり、前記流体は、前記粒子と反応する反応性物質を含むことを特徴とする、請求項15に記載の方法。
- 請求項15に記載の真空ポンプ内の堆積物を管理する方法であって、真空ポンプは、ロータ要素及びステータ要素と、前記要素を包囲していて、少なくとも1つのポートを備えたハウジングとを有しており、前記方法は、要素表面に付着した粒子と反応して前記粒子を要素表面から除去できる反応性物質を含む流体を前記少なくとも1つのポートを介してハウジング内へ注入する工程を含むことを特徴とする方法。
- 前記流体は、ハロゲンを含むことを特徴とする、請求項19又は20に記載の方法。
- 前記流体は、ClF3、F2、NF3 のうちの1つを含むことを特徴とする、請求項21に記載の方法。
- 前記流体は、作動中、所定の時間間隔で注入されることを特徴とする、請求項15に記載の方法。
- 請求項15に記載の方法であって、
(a)真空ポンプの性能をモニタする工程と、
(b)モニタした性能に基づいて要素内面上の堆積物の堆積度を判定する工程と、
(c)前記工程(b)で判定された堆積物の堆積度を補償するのに必要な流体流量を計算する工程と、
(d)前記工程(c)で得た計算値を反映するよう注入流体の流量を調節する工程と、を含むことを特徴とする方法。 - 前記真空ポンプは、前記流体を送り出しているとき、不作動状態であり、前記方法は、トルクを前記真空ポンプのロータに加えて残存妨害力に打ち勝つ工程を含むことを特徴とする、請求項24に記載の方法。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
GB0223767A GB0223767D0 (en) | 2002-10-14 | 2002-10-14 | Pump cleaning |
GB0223767.5 | 2002-10-14 | ||
GB0322238.7 | 2003-09-23 | ||
GB0322238A GB0322238D0 (en) | 2003-09-23 | 2003-09-23 | Pump cleaning |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005501307A Division JP4881617B2 (ja) | 2002-10-14 | 2003-10-06 | 洗浄設備を備えた回転ピストン型真空ポンプ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009270580A JP2009270580A (ja) | 2009-11-19 |
JP5363910B2 true JP5363910B2 (ja) | 2013-12-11 |
Family
ID=32109240
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005501307A Expired - Lifetime JP4881617B2 (ja) | 2002-10-14 | 2003-10-06 | 洗浄設備を備えた回転ピストン型真空ポンプ |
JP2009188370A Expired - Lifetime JP5363910B2 (ja) | 2002-10-14 | 2009-08-17 | 真空ポンプ |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005501307A Expired - Lifetime JP4881617B2 (ja) | 2002-10-14 | 2003-10-06 | 洗浄設備を備えた回転ピストン型真空ポンプ |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7819646B2 (ja) |
EP (2) | EP2267313B1 (ja) |
JP (2) | JP4881617B2 (ja) |
KR (1) | KR101151954B1 (ja) |
AU (1) | AU2003269250A1 (ja) |
TW (1) | TWI329160B (ja) |
WO (1) | WO2004036047A1 (ja) |
Families Citing this family (21)
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---|---|---|---|---|
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2003
- 2003-10-06 KR KR1020057006390A patent/KR101151954B1/ko active IP Right Grant
- 2003-10-06 EP EP10181073.7A patent/EP2267313B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-06 US US10/531,563 patent/US7819646B2/en active Active
- 2003-10-06 WO PCT/GB2003/004330 patent/WO2004036047A1/en active Application Filing
- 2003-10-06 EP EP03751029A patent/EP1552152B1/en not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-06 AU AU2003269250A patent/AU2003269250A1/en not_active Abandoned
- 2003-10-06 JP JP2005501307A patent/JP4881617B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2003-10-14 TW TW092128419A patent/TWI329160B/zh not_active IP Right Cessation
-
2009
- 2009-08-17 JP JP2009188370A patent/JP5363910B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1552152B1 (en) | 2013-03-20 |
TWI329160B (en) | 2010-08-21 |
JP4881617B2 (ja) | 2012-02-22 |
EP2267313B1 (en) | 2014-10-01 |
US7819646B2 (en) | 2010-10-26 |
JP2006503229A (ja) | 2006-01-26 |
AU2003269250A1 (en) | 2004-05-04 |
KR20050065593A (ko) | 2005-06-29 |
JP2009270580A (ja) | 2009-11-19 |
EP1552152A1 (en) | 2005-07-13 |
EP2267313A1 (en) | 2010-12-29 |
TW200422521A (en) | 2004-11-01 |
US20060120909A1 (en) | 2006-06-08 |
WO2004036047A1 (en) | 2004-04-29 |
KR101151954B1 (ko) | 2012-06-01 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A601 | Written request for extension of time |
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A602 | Written permission of extension of time |
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|
A602 | Written permission of extension of time |
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|
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R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
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|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
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R350 | Written notification of registration of transfer |
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R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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EXPY | Cancellation because of completion of term |