JP2002188589A - 真空排気装置および真空排気方法 - Google Patents
真空排気装置および真空排気方法Info
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
- F04C—ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; ROTARY-PISTON, OR OSCILLATING-PISTON, POSITIVE-DISPLACEMENT PUMPS
- F04C29/00—Component parts, details or accessories of pumps or pumping installations, not provided for in groups F04C18/00 - F04C28/00
- F04C29/02—Lubrication; Lubricant separation
- F04C29/026—Lubricant separation
-
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-
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- F04C29/0092—Removing solid or liquid contaminants from the gas under pumping, e.g. by filtering or deposition; Purging; Scrubbing; Cleaning
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大量生産のために、多量の腐食性ガスを長時
間にわたって繰り返し使用する場合であっても、ポンプ
内の潤滑性低下や油膜切れが抑えられ、高信頼性でメン
テナンス性に優れ、低コストの真空排気装置を提供す
る。 【解決手段】 排気手段として油回転ポンプを有する真
空排気装置において、油回転ポンプの吸気側経路に給油
手段を設け、この給油手段から吸気側経路に給油してシ
リンダー内にオイルを供給しながらポンプを作動させ排
気を行う構成とする。
間にわたって繰り返し使用する場合であっても、ポンプ
内の潤滑性低下や油膜切れが抑えられ、高信頼性でメン
テナンス性に優れ、低コストの真空排気装置を提供す
る。 【解決手段】 排気手段として油回転ポンプを有する真
空排気装置において、油回転ポンプの吸気側経路に給油
手段を設け、この給油手段から吸気側経路に給油してシ
リンダー内にオイルを供給しながらポンプを作動させ排
気を行う構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、堆積膜の形成やエ
ッチング等に用いられる真空装置を構成する真空排気装
置および該真空排気装置を用いた真空排気方法に関す
る。特に、多量のガスを使用し、堆積膜の形成やエッチ
ングを長時間に渡って繰り返し行う大量生産に好適な真
空排気装置および真空排気方法に関する。
ッチング等に用いられる真空装置を構成する真空排気装
置および該真空排気装置を用いた真空排気方法に関す
る。特に、多量のガスを使用し、堆積膜の形成やエッチ
ングを長時間に渡って繰り返し行う大量生産に好適な真
空排気装置および真空排気方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、太陽電池や電子写真用光受容部材
等を構成する機能性堆積膜を作製する方法として種々な
方法が提案されているが、一般的にこれらの方法におい
ては、反応が高真空で行われることや、不純物の混入に
より著しく膜特性が悪化するなどの理由から、チャンバ
ーや配管などを高真空に排気できる真空ポンプが必要と
される。真空ポンプとしては、一般に、低価格、取り扱
いが簡単、大気圧から排気が可能などの理由で、油回転
ポンプが幅広く使用されている。
等を構成する機能性堆積膜を作製する方法として種々な
方法が提案されているが、一般的にこれらの方法におい
ては、反応が高真空で行われることや、不純物の混入に
より著しく膜特性が悪化するなどの理由から、チャンバ
ーや配管などを高真空に排気できる真空ポンプが必要と
される。真空ポンプとしては、一般に、低価格、取り扱
いが簡単、大気圧から排気が可能などの理由で、油回転
ポンプが幅広く使用されている。
【０００３】油回転ポンプは、内部でシリンダー内に微
量のオイルを循環している。このオイルによって潤滑と
シールを保ちながらシリンダー内でローターを回転させ
て容量排気を行っている。
量のオイルを循環している。このオイルによって潤滑と
シールを保ちながらシリンダー内でローターを回転させ
て容量排気を行っている。
【０００４】しかし、チャンバー内での堆積膜の形成後
にチャンバー内に付着した堆積膜や副生成物をエッチン
グにより除去するクリーニング処理など、腐食性ガスの
ある環境で油回転ポンプを使用すると、これらのガスや
生成した粉状物によってオイルの潤滑性が低下したり、
粘度が変化したり、スラッジが発生したりし、シリンダ
ー内の油膜切れやオイル循環量の低下などが起きる。そ
の結果、排気能力の低下や焼き付き等が発生する頻度が
高くなり、油回転ポンプの耐久性が大きく低下する。
にチャンバー内に付着した堆積膜や副生成物をエッチン
グにより除去するクリーニング処理など、腐食性ガスの
ある環境で油回転ポンプを使用すると、これらのガスや
生成した粉状物によってオイルの潤滑性が低下したり、
粘度が変化したり、スラッジが発生したりし、シリンダ
ー内の油膜切れやオイル循環量の低下などが起きる。そ
の結果、排気能力の低下や焼き付き等が発生する頻度が
高くなり、油回転ポンプの耐久性が大きく低下する。
【０００５】このような問題に対して、オイルフィルト
レーションによりオイル中の粉状物やスラッジ等の異物
を除去したり、ポンプの回転毎にオイルタンクに新油の
補給および使用済みオイルの排出を行う注油式ポンプを
用いたり、頻繁にオイル交換を行ったり、耐腐食性の特
殊鉱物油を用いたり、ポンプケース内部に不活性ガスを
導入し腐食性ガスを希釈する方法を採用したり、ポンプ
各部に耐腐食性コーティングを施したりする等、種々な
対策が取られている。また、装置側の対策として、腐食
性ガスや粉状物等の異物の除去を目的とし、ポンプ吸気
側経路にコールドトラップや、ダストフィルターを取り
付ける方法などが採られている。さらに、油回転ポンプ
に代えてドライポンプ等の他のポンプを用いる場合もあ
る。
レーションによりオイル中の粉状物やスラッジ等の異物
を除去したり、ポンプの回転毎にオイルタンクに新油の
補給および使用済みオイルの排出を行う注油式ポンプを
用いたり、頻繁にオイル交換を行ったり、耐腐食性の特
殊鉱物油を用いたり、ポンプケース内部に不活性ガスを
導入し腐食性ガスを希釈する方法を採用したり、ポンプ
各部に耐腐食性コーティングを施したりする等、種々な
対策が取られている。また、装置側の対策として、腐食
性ガスや粉状物等の異物の除去を目的とし、ポンプ吸気
側経路にコールドトラップや、ダストフィルターを取り
付ける方法などが採られている。さらに、油回転ポンプ
に代えてドライポンプ等の他のポンプを用いる場合もあ
る。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来技術では、大量のガスを用い長時間連続して
繰り返し真空ポンプを作動させることは困難であった。
例えば、アモルファスシリコンからなる電力用の太陽電
池を大量に生産する場合に問題が生じる。
ような従来技術では、大量のガスを用い長時間連続して
繰り返し真空ポンプを作動させることは困難であった。
例えば、アモルファスシリコンからなる電力用の太陽電
池を大量に生産する場合に問題が生じる。
【０００７】大量のガスを用い長時間連続して繰り返し
生産を行った場合、生産時に発生した粉状物に起因して
大量のスラッジが形成され、また腐食性ガスを用いた場
合はその腐食性も大きな問題となる。この大量のスラッ
ジや腐食性ガスを有効に除去できないと、詰まりや腐食
などで油回転ポンプ内部のオイル循環量が低下したりオ
イルが劣化し、シリンダー内の油膜切れや潤滑不良が生
じ、排気能力の低下や焼き付きなどの故障が発生してし
まう。また、特にシリンダーと吸気口の接続部において
は、大量の活性な腐食性ガスに曝されるため、オイルの
劣化が激しく潤滑性などのオイル特性が著しく低下し、
さらにシリンダー内部ではシリンダーとベーンが機械的
角度をもって接触しているため、オイル特性や量の変化
により容易に油膜切れが発生しやすい。このように、シ
リンダー内に微量のオイルを循環する従来の技術では、
油膜切れや潤滑不良が生じ、油回転ポンプの機械的故障
の主原因となっていた。
生産を行った場合、生産時に発生した粉状物に起因して
大量のスラッジが形成され、また腐食性ガスを用いた場
合はその腐食性も大きな問題となる。この大量のスラッ
ジや腐食性ガスを有効に除去できないと、詰まりや腐食
などで油回転ポンプ内部のオイル循環量が低下したりオ
イルが劣化し、シリンダー内の油膜切れや潤滑不良が生
じ、排気能力の低下や焼き付きなどの故障が発生してし
まう。また、特にシリンダーと吸気口の接続部において
は、大量の活性な腐食性ガスに曝されるため、オイルの
劣化が激しく潤滑性などのオイル特性が著しく低下し、
さらにシリンダー内部ではシリンダーとベーンが機械的
角度をもって接触しているため、オイル特性や量の変化
により容易に油膜切れが発生しやすい。このように、シ
リンダー内に微量のオイルを循環する従来の技術では、
油膜切れや潤滑不良が生じ、油回転ポンプの機械的故障
の主原因となっていた。
【０００８】油回転ポンプは、大量生産など低コスト化
プロセスに好適な生産装置を構成するため、安価で装置
コストが低いこと、故障が少なく信頼性が高いこと、簡
単な構成を持ちメンテナンスが容易であることが求めら
れる。
プロセスに好適な生産装置を構成するため、安価で装置
コストが低いこと、故障が少なく信頼性が高いこと、簡
単な構成を持ちメンテナンスが容易であることが求めら
れる。
【０００９】通常のオイルフィルトレーション機構では
大量に発生するスラッジを除去しきれず、詰まりなどで
油回転ポンプ内部のオイル循環量が低下し、シリンダー
内で油膜切れや潤滑不良が生じ、排気能力の低下や焼き
付きなど問題が発生する。特に、エッチングなど大量の
腐食性ガスを使用しスラッジが大量に発生する場合、安
定して稼動するには、大量のスラッジを除去し得る大容
量のものが必要となる。同様に、コールドトラップやダ
ストフィルターを設置した場合でも大容量のものが必要
となる。また、これらの構成は、排気系に挿入され排気
コンダクタンスを低下させるため、これを抑えるために
真空ポンプ自体の大容量化も必要となる。また、従来の
オイルフィルトレーションやコールドトラップ、ダスト
フィルターなどの付加では、大容量化に伴い装置コスト
が高価になるだけでなく、それらの故障防止の為のメン
テナンスを行う手間も必要となり、メンテナンス性が悪
化し、ランニングコストが高くなるという問題がある。
大量に発生するスラッジを除去しきれず、詰まりなどで
油回転ポンプ内部のオイル循環量が低下し、シリンダー
内で油膜切れや潤滑不良が生じ、排気能力の低下や焼き
付きなど問題が発生する。特に、エッチングなど大量の
腐食性ガスを使用しスラッジが大量に発生する場合、安
定して稼動するには、大量のスラッジを除去し得る大容
量のものが必要となる。同様に、コールドトラップやダ
ストフィルターを設置した場合でも大容量のものが必要
となる。また、これらの構成は、排気系に挿入され排気
コンダクタンスを低下させるため、これを抑えるために
真空ポンプ自体の大容量化も必要となる。また、従来の
オイルフィルトレーションやコールドトラップ、ダスト
フィルターなどの付加では、大容量化に伴い装置コスト
が高価になるだけでなく、それらの故障防止の為のメン
テナンスを行う手間も必要となり、メンテナンス性が悪
化し、ランニングコストが高くなるという問題がある。
【００１０】一方、ドライポンプや注油式ポンプなどは
一般に高価であるため、これらのポンプの使用は、装置
コストを高め、結果、生産コストが高くなるという問題
がある。
一般に高価であるため、これらのポンプの使用は、装置
コストを高め、結果、生産コストが高くなるという問題
がある。
【００１１】また、ポンプ各部への耐腐食性コーティン
グや不活性ガスによる希釈は、大量のスラッジが発生す
る場合や大量の腐食性ガスを長時間にわたって繰り返し
用いる場合には、十分な効果が得られない。
グや不活性ガスによる希釈は、大量のスラッジが発生す
る場合や大量の腐食性ガスを長時間にわたって繰り返し
用いる場合には、十分な効果が得られない。
【００１２】そこで本発明の目的は、スラッジが多量に
発生したり、大量の腐食性ガスを長時間にわたって繰り
返し使用する場合であっても、ポンプ内の潤滑性低下や
油膜切れが抑えられ、高信頼性でメンテナンス性に優
れ、低コストの真空排気装置および該真空装置を用いた
真空排気方法を提供することにある。
発生したり、大量の腐食性ガスを長時間にわたって繰り
返し使用する場合であっても、ポンプ内の潤滑性低下や
油膜切れが抑えられ、高信頼性でメンテナンス性に優
れ、低コストの真空排気装置および該真空装置を用いた
真空排気方法を提供することにある。
【００１３】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記の目
的を達成すべく鋭意検討した結果、本発明を完成するに
至った。
的を達成すべく鋭意検討した結果、本発明を完成するに
至った。
【００１４】すなわち本発明は、排気手段として油回転
ポンプを有する真空排気装置において、前記油回転ポン
プの吸気側経路に給油手段を有すること特徴とする真空
排気装置。
ポンプを有する真空排気装置において、前記油回転ポン
プの吸気側経路に給油手段を有すること特徴とする真空
排気装置。
【００１５】また本発明は、前記油回転ポンプより前段
にさらに１台以上の真空ポンプが配置されていること特
徴とする上記発明の真空排気装置に関する。
にさらに１台以上の真空ポンプが配置されていること特
徴とする上記発明の真空排気装置に関する。
【００１６】また本発明は、前記給油手段がオイルフィ
ルトレーション手段を有することを特徴とする上記発明
の真空排気装置に関する。
ルトレーション手段を有することを特徴とする上記発明
の真空排気装置に関する。
【００１７】また本発明は、上記の真空排気装置を用い
た真空排気方法であって、前記油回転ポンプの吸気側経
路から給油してシリンダー内にオイルを供給しながら該
油回転ポンプを作動させて排気を行うことを特徴とする
真空排気方法に関する。
た真空排気方法であって、前記油回転ポンプの吸気側経
路から給油してシリンダー内にオイルを供給しながら該
油回転ポンプを作動させて排気を行うことを特徴とする
真空排気方法に関する。
【００１８】また本発明は、上記のオイルフィルトレー
ション手段を有する真空排気装置を用いた真空排気方法
であって、前記油回転ポンプから抜き出されオイルフィ
ルトレーションされたオイルを、前記油回転ポンプの吸
気側経路から給油してシリンダー内に供給しながら該油
回転ポンプを作動させて排気を行うことを特徴とする真
空排気方法に関する。
ション手段を有する真空排気装置を用いた真空排気方法
であって、前記油回転ポンプから抜き出されオイルフィ
ルトレーションされたオイルを、前記油回転ポンプの吸
気側経路から給油してシリンダー内に供給しながら該油
回転ポンプを作動させて排気を行うことを特徴とする真
空排気方法に関する。
【００１９】さらに本発明は、真空容器内で基板上に堆
積膜を形成し該基板を取り出した後、前記真空容器内に
付着した堆積物をエッチング除去して前記真空容器内を
クリーニングする際に行われる真空排気方法であって、
エッチングガスを前記真空容器内に供給しながら前記真
空容器内を排気することを特徴とする上記の真空排気方
法に関する。
積膜を形成し該基板を取り出した後、前記真空容器内に
付着した堆積物をエッチング除去して前記真空容器内を
クリーニングする際に行われる真空排気方法であって、
エッチングガスを前記真空容器内に供給しながら前記真
空容器内を排気することを特徴とする上記の真空排気方
法に関する。
【００２０】本発明によれば、大量生産に好適な、メン
テナンス性に優れ、低コストで高信頼性の真空排気装置
および該真空排気装置を用いた真空排気方法を提供する
ことができる。
テナンス性に優れ、低コストで高信頼性の真空排気装置
および該真空排気装置を用いた真空排気方法を提供する
ことができる。
【００２１】上記の構成を持つ本発明の真空排気装置
は、油回転ポンプの吸気側経路にオイルが給油され、給
油されたオイルは排気ガスと共に油回転ポンプの吸気口
を経て、この吸気口とシリンダーとの接合部に確実に供
給される。油回転ポンプの吸気口とシリンダーとの接合
部は最もオイルが劣化しやすい箇所であるが、この接続
部に確実に新たなオイルが供給されるため、シリンダー
とベーンが機械的角度をもって接触する部分における潤
滑性向上や油膜切れ防止の効果が得られる。
は、油回転ポンプの吸気側経路にオイルが給油され、給
油されたオイルは排気ガスと共に油回転ポンプの吸気口
を経て、この吸気口とシリンダーとの接合部に確実に供
給される。油回転ポンプの吸気口とシリンダーとの接合
部は最もオイルが劣化しやすい箇所であるが、この接続
部に確実に新たなオイルが供給されるため、シリンダー
とベーンが機械的角度をもって接触する部分における潤
滑性向上や油膜切れ防止の効果が得られる。
【００２２】さらに、シリンダーと吸気口の接合部へ供
給されたオイルはシリンダー内に吸入されるため、油回
転ポンプ内部で微量に循環するオイルは安定して循環す
る。これにより、大量のガスを使用し、長時間にわたっ
て生産を繰り返しても、シリンダー内のオイル量が維持
され効果的に潤滑とシールを保つ効果が得られる。
給されたオイルはシリンダー内に吸入されるため、油回
転ポンプ内部で微量に循環するオイルは安定して循環す
る。これにより、大量のガスを使用し、長時間にわたっ
て生産を繰り返しても、シリンダー内のオイル量が維持
され効果的に潤滑とシールを保つ効果が得られる。
【００２３】これらの結果、油膜切れやオイルの潤滑性
の低下等による、焼き付きなどの故障や、排気能力の低
下などの問題の発生を抑えることができる。すなわち、
装置の信頼性やメンテナンス性も高まり、堆積膜の形成
やエッチングを長時間安定して実施することが可能とな
り、生産コストを抑えることができる。また、安価であ
る油回転ポンプを用いているため、装置コストも低く抑
えることができる。
の低下等による、焼き付きなどの故障や、排気能力の低
下などの問題の発生を抑えることができる。すなわち、
装置の信頼性やメンテナンス性も高まり、堆積膜の形成
やエッチングを長時間安定して実施することが可能とな
り、生産コストを抑えることができる。また、安価であ
る油回転ポンプを用いているため、装置コストも低く抑
えることができる。
【００２４】
【発明の実施の形態】本発明の好適な一実施形態ついて
図面を用いて説明する。
図面を用いて説明する。
【００２５】図１は本発明の真空排気装置を示す概略構
成図である。図１において１０１は油回転ポンプを示
し、真空チャンバー（１０２）と吸気用配管（１０３）
で接続されている。また、油回転ポンプ（１０１）に
は、油回転ポンプ内のオイルを抜き出すための抜き出し
用配管（１０４ａ）を介して定量ポンプ（１０４）が接
続され、この定量ポンプから給油用配管（１０４ｂ）
が、吸気用配管（１０３）に接続されている。給油用配
管（１０４ｂ）の吸気用配管（１０３）への接続は、油
回転ポンプ（１０１）の吸気口フランジと吸気用配管フ
ランジとの接続面から５ｃｍほど吸気用配管側へ離れた
個所に接続されている。
成図である。図１において１０１は油回転ポンプを示
し、真空チャンバー（１０２）と吸気用配管（１０３）
で接続されている。また、油回転ポンプ（１０１）に
は、油回転ポンプ内のオイルを抜き出すための抜き出し
用配管（１０４ａ）を介して定量ポンプ（１０４）が接
続され、この定量ポンプから給油用配管（１０４ｂ）
が、吸気用配管（１０３）に接続されている。給油用配
管（１０４ｂ）の吸気用配管（１０３）への接続は、油
回転ポンプ（１０１）の吸気口フランジと吸気用配管フ
ランジとの接続面から５ｃｍほど吸気用配管側へ離れた
個所に接続されている。
【００２６】図３は油回転ポンプのシリンダー部の構造
図である。
図である。
【００２７】シリンダ（３０１）と偏心してローター
（３０３）があり、シリンダの内面とローター外面との
間には微小の隙間を保っている。ローター（３０３）に
はベーン（３０４）が２枚あり、回転するとベーン（３
０４）間に位置するスプリングの力と遠心力によってシ
リンダ（３０１）の内壁を摺動する。ローター（３０
３）が反時計方向に回転して吸気口（３０２）よりガス
の吸気を行い、更に回転することで排気弁（３０５）か
らガスを排気することで、真空排気を行っている。ま
た、ベーンとシリンダ内面とのシールおよび摺動部の潤
滑の為に、オイルが回転中微量供給される構造となって
いる。
（３０３）があり、シリンダの内面とローター外面との
間には微小の隙間を保っている。ローター（３０３）に
はベーン（３０４）が２枚あり、回転するとベーン（３
０４）間に位置するスプリングの力と遠心力によってシ
リンダ（３０１）の内壁を摺動する。ローター（３０
３）が反時計方向に回転して吸気口（３０２）よりガス
の吸気を行い、更に回転することで排気弁（３０５）か
らガスを排気することで、真空排気を行っている。ま
た、ベーンとシリンダ内面とのシールおよび摺動部の潤
滑の為に、オイルが回転中微量供給される構造となって
いる。
【００２８】以下に、上記の真空排気装置を用いた堆積
膜の形成、及びエッチングによるチャンバー内クリーニ
ングの手順を示す。
膜の形成、及びエッチングによるチャンバー内クリーニ
ングの手順を示す。
【００２９】油回転ポンプ（１０１）を始動しチャンバ
ー（１０２）内を排気する。所望の流量に調整された原
料ガスをガス導入管（１１１）からチャンバー（１０
２）内に導入する。高周波電源（１１２）より高周波電
力を印加し、プラズマを生起させチャンバー内に設置し
た基板（１１３）上に堆積膜を形成する。所望の堆積膜
が得られたら、高周波電力および原料ガスを停止し、チ
ャンバー（１０２）内をパージした後に油回転ポンプ
（１０１）を停止する。チャンバー（１０２）内を大気
に戻し、基板（１１３）を取り出す。
ー（１０２）内を排気する。所望の流量に調整された原
料ガスをガス導入管（１１１）からチャンバー（１０
２）内に導入する。高周波電源（１１２）より高周波電
力を印加し、プラズマを生起させチャンバー内に設置し
た基板（１１３）上に堆積膜を形成する。所望の堆積膜
が得られたら、高周波電力および原料ガスを停止し、チ
ャンバー（１０２）内をパージした後に油回転ポンプ
（１０１）を停止する。チャンバー（１０２）内を大気
に戻し、基板（１１３）を取り出す。
【００３０】再び、油回転ポンプ（１０１）を始動しチ
ャンバー（１０２）内を排気する。定量ポンプ（１０
４）を作動させ、油回転ポンプ（１０１）の吸気口付近
の吸気用配管（１０３）へ定量ポンプ（１０４）により
油回転ポンプ（１０１）から抜き出したオイルを注油す
る。
ャンバー（１０２）内を排気する。定量ポンプ（１０
４）を作動させ、油回転ポンプ（１０１）の吸気口付近
の吸気用配管（１０３）へ定量ポンプ（１０４）により
油回転ポンプ（１０１）から抜き出したオイルを注油す
る。
【００３１】所望の流量に調整されたエッチングガスを
ガス導入管（１１１）からチャンバー（１０２）内に導
入する。高周波電源（１１２）より高周波電力を印加
し、プラズマを生起させチャンバー（１０２）内に付着
した堆積膜をエッチングし、チャンバー内をクリーニン
グする。堆積膜が十分に除去されたら、高周波電力およ
び原料ガスを停止し、チャンバー（１０２）内をパージ
した後に定量ポンプ（１０４）および油回転ポンプ（１
０１）を停止する。チャンバー（１０２）内を大気に戻
す。
ガス導入管（１１１）からチャンバー（１０２）内に導
入する。高周波電源（１１２）より高周波電力を印加
し、プラズマを生起させチャンバー（１０２）内に付着
した堆積膜をエッチングし、チャンバー内をクリーニン
グする。堆積膜が十分に除去されたら、高周波電力およ
び原料ガスを停止し、チャンバー（１０２）内をパージ
した後に定量ポンプ（１０４）および油回転ポンプ（１
０１）を停止する。チャンバー（１０２）内を大気に戻
す。
【００３２】以上の手順により堆積膜形成およびチャン
バー内クリーニングを行うことができる。
バー内クリーニングを行うことができる。
【００３３】本発明において、油回転ポンプの吸気側経
路（チャンバーにとっては排気経路）に注油するオイル
は、油回転ポンプ用のオイルであれば特に制限されない
が、油回転ポンプ内のオイルを定量ポンプ等により抜き
出し循環させると、新油を別途補充する必要がない若し
くはその補充量を低減できるため、コストの点で好まし
い。また、図４に示すように、外部のオイルタンクから
新たなオイルを定量ポンプにより注油する構成としても
よい。また、これらの構成を組み合わせることもでき
る。
路（チャンバーにとっては排気経路）に注油するオイル
は、油回転ポンプ用のオイルであれば特に制限されない
が、油回転ポンプ内のオイルを定量ポンプ等により抜き
出し循環させると、新油を別途補充する必要がない若し
くはその補充量を低減できるため、コストの点で好まし
い。また、図４に示すように、外部のオイルタンクから
新たなオイルを定量ポンプにより注油する構成としても
よい。また、これらの構成を組み合わせることもでき
る。
【００３４】給油（注油）位置は、腐食性ガスによるオ
イルの劣化を少なくするために、油回転ポンプの吸気側
経路において、油回転ポンプの吸気口に近い部分が好ま
しく、さらに吸気口とシリンダーとの接合部に有効に供
給するために油回転ポンプの吸気口フランジと吸気用配
管フランジとの接続面から吸気用配管側へ１５ｃｍ以内
で離れた個所が好ましい。
イルの劣化を少なくするために、油回転ポンプの吸気側
経路において、油回転ポンプの吸気口に近い部分が好ま
しく、さらに吸気口とシリンダーとの接合部に有効に供
給するために油回転ポンプの吸気口フランジと吸気用配
管フランジとの接続面から吸気用配管側へ１５ｃｍ以内
で離れた個所が好ましい。
【００３５】給油の手段としては、定量ポンプを備えた
オイルフィルトレーション装置を設けることができる。
この場合には、図５に示すように、オイルフィルトレー
ション装置の排出ライン（排出経路）を分岐して、その
一方のライン（経路）は吸気用配管へ接続し、他方のラ
インは油回転ポンプへ接続することが好ましい。この場
合は、オイルフィルトレーションの排出圧を注油に利用
できるため別途に定量ポンプ等の付随装置が不要とな
り、低コスト化が図れると共に付随装置の故障の問題が
なく信頼性を高めることができる。
オイルフィルトレーション装置を設けることができる。
この場合には、図５に示すように、オイルフィルトレー
ション装置の排出ライン（排出経路）を分岐して、その
一方のライン（経路）は吸気用配管へ接続し、他方のラ
インは油回転ポンプへ接続することが好ましい。この場
合は、オイルフィルトレーションの排出圧を注油に利用
できるため別途に定量ポンプ等の付随装置が不要とな
り、低コスト化が図れると共に付随装置の故障の問題が
なく信頼性を高めることができる。
【００３６】オイルフィルトレーション装置を設けるこ
とによってスラッジなどの異物が除去された清浄なオイ
ルが注油されるため、シリンダー内の潤滑やシールが良
好に保たれ、排気性能の安定性や耐久性が著しく向上す
る。また、油回転ポンプの作動時には常時スラッジ等の
異物の除去が行われるため、次回のエッチング工程まで
には油回転ポンプ内のオイル全量を清浄化処理すること
も可能である。そのため、オイルフィルトレーション装
置は大容量でなくとも通常使われる容量のもので十分な
効果が得られる。このようにオイルフィルトレーション
装置を備えた場合は、より一層の優れた効果が得られる
ため、特に好ましい。
とによってスラッジなどの異物が除去された清浄なオイ
ルが注油されるため、シリンダー内の潤滑やシールが良
好に保たれ、排気性能の安定性や耐久性が著しく向上す
る。また、油回転ポンプの作動時には常時スラッジ等の
異物の除去が行われるため、次回のエッチング工程まで
には油回転ポンプ内のオイル全量を清浄化処理すること
も可能である。そのため、オイルフィルトレーション装
置は大容量でなくとも通常使われる容量のもので十分な
効果が得られる。このようにオイルフィルトレーション
装置を備えた場合は、より一層の優れた効果が得られる
ため、特に好ましい。
【００３７】給油位置における構成としては、吸気側経
路の配管（吸気用配管）やポートなどに給油用配管を単
に接続する構成でも十分な効果が得られるが、さらに吸
気側経路内の中央に突出した形状を持つノズルや、オイ
ルをシャワー状に放出可能なノズルを設けるとより効果
的である。
路の配管（吸気用配管）やポートなどに給油用配管を単
に接続する構成でも十分な効果が得られるが、さらに吸
気側経路内の中央に突出した形状を持つノズルや、オイ
ルをシャワー状に放出可能なノズルを設けるとより効果
的である。
【００３８】給油するオイル量は、油回転ポンプの回転
が良好に保たれる範囲内であれば特に制限されないが、
液量が多すぎる場合は、オイルの蒸気圧による逆拡散の
可能性があるため、潤滑性との兼ね合いで１〜５０ｍｌ
／ｍｉｎ程度が好ましい。
が良好に保たれる範囲内であれば特に制限されないが、
液量が多すぎる場合は、オイルの蒸気圧による逆拡散の
可能性があるため、潤滑性との兼ね合いで１〜５０ｍｌ
／ｍｉｎ程度が好ましい。
【００３９】本発明の真空排気装置は、油回転ポンプ以
外に一台以上の他のポンプを油回転ポンプの前段に設置
（吸気側経路に挿入）して複数のポンプ構成としてもよ
い。例えばルーツポンプを組み合わせると真空度をより
高めることが可能となる。また、この時の給油位置は、
ルーツポンプと油回転ポンプとを接続する配管に注油す
るのが好ましい。
外に一台以上の他のポンプを油回転ポンプの前段に設置
（吸気側経路に挿入）して複数のポンプ構成としてもよ
い。例えばルーツポンプを組み合わせると真空度をより
高めることが可能となる。また、この時の給油位置は、
ルーツポンプと油回転ポンプとを接続する配管に注油す
るのが好ましい。
【００４０】堆積膜の形成中や大気からの真空排気中
は、より高い真空度が求められるので、給油を停止する
のが好ましいが、給油を停止しなくても特に問題はな
い。
は、より高い真空度が求められるので、給油を停止する
のが好ましいが、給油を停止しなくても特に問題はな
い。
【００４１】
【実施例】以下に実施例および比較例を挙げて本発明を
より詳細に説明する。
より詳細に説明する。
【００４２】（実施例１）図１に示す、堆積膜形成チャ
ンバーを備えた真空排気装置を用いて、ｎｉｐ層構成の
アモルファスシリコン太陽電池を製造した。ｎ層形成時
にモノシラン（ＳｉＨ4）２５０ｍｌ／ｍｉｎ、水素
（Ｈ2）３０００ｍｌ／ｍｉｎ、フォスフィン（ＰＨ3）
２０ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電力２００Ｗ、ｉ層形成時に
モノシラン１００ｍｌ／ｍｉｎ、水素１０００ｍｌ／ｍ
ｉｎ、高周波電力２５０Ｗ、ｐ層形成時にモノシラン５
０ｍｌ／ｍｉｎ、水素４０００ｍｌ／ｍｉｎ、三弗化ホ
ウ素（ＢＦ3）２ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電力２０００Ｗ
をそれぞれ供給し各層を形成した。
ンバーを備えた真空排気装置を用いて、ｎｉｐ層構成の
アモルファスシリコン太陽電池を製造した。ｎ層形成時
にモノシラン（ＳｉＨ4）２５０ｍｌ／ｍｉｎ、水素
（Ｈ2）３０００ｍｌ／ｍｉｎ、フォスフィン（ＰＨ3）
２０ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電力２００Ｗ、ｉ層形成時に
モノシラン１００ｍｌ／ｍｉｎ、水素１０００ｍｌ／ｍ
ｉｎ、高周波電力２５０Ｗ、ｐ層形成時にモノシラン５
０ｍｌ／ｍｉｎ、水素４０００ｍｌ／ｍｉｎ、三弗化ホ
ウ素（ＢＦ3）２ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電力２０００Ｗ
をそれぞれ供給し各層を形成した。
【００４３】チャンバー内のクリーニング時に、吸気用
配管への給油量を５ｍｌ／ｍｉｎとし、四フッ化炭素
（ＣＦ4）１６００ｍｌ／ｍｉｎ、酸素（Ｏ2）４００ｍ
ｌ／ｍｉｎ、高周波電力５００Ｗを供給し、エッチング
によるチャンバー内クリーニングを行った。
配管への給油量を５ｍｌ／ｍｉｎとし、四フッ化炭素
（ＣＦ4）１６００ｍｌ／ｍｉｎ、酸素（Ｏ2）４００ｍ
ｌ／ｍｉｎ、高周波電力５００Ｗを供給し、エッチング
によるチャンバー内クリーニングを行った。
【００４４】上記の条件および実施の形態に示す手順
で、アモルファスシリコン膜のステンレス基板上への堆
積、およびチャンバー内クリーニングを繰り返し行っ
た。この様に連続して操作を継続したところ、７２バッ
チ目のクリーニング時に油回転ポンプから異音が発生し
た。８０バッチ終了後、油回転ポンプを分解して確認し
たところ、粉状物やスラッジ、オイル粘度の変化などの
若干のオイルの汚染が観察された。しかし、シリンダー
内部には大きな異常はなく、オイル交換のみで継続して
稼動可能であった。
で、アモルファスシリコン膜のステンレス基板上への堆
積、およびチャンバー内クリーニングを繰り返し行っ
た。この様に連続して操作を継続したところ、７２バッ
チ目のクリーニング時に油回転ポンプから異音が発生し
た。８０バッチ終了後、油回転ポンプを分解して確認し
たところ、粉状物やスラッジ、オイル粘度の変化などの
若干のオイルの汚染が観察された。しかし、シリンダー
内部には大きな異常はなく、オイル交換のみで継続して
稼動可能であった。
【００４５】（比較例１）図２に示す装置は、実施例１
で用いた図１の装置に対し、定量ポンプによる給油機構
が設けられていない従来の真空排気装置である。
で用いた図１の装置に対し、定量ポンプによる給油機構
が設けられていない従来の真空排気装置である。
【００４６】図２に示す、堆積膜形成チャンバーを備え
た真空排気装置を用いて、ｎｉｐ層構成のアモルファス
シリコン太陽電池量を製造した。ｎ層形成時にモノシラ
ン（ＳｉＨ4）２５０ｍｌ／ｍｉｎ、水素（Ｈ2）３００
０ｍｌ／ｍｉｎ、フォスフィン（ＰＨ3）２０ｍｌ／ｍ
ｉｎ、高周波電力２００Ｗ、ｉ層形成時にモノシラン１
００ｍｌ／ｍｉｎ、水素１０００ｍｌ／ｍｉｎ、高周波
電力２５０Ｗ、ｐ層形成時にモノシラン５０ｍｌ／ｍｉ
ｎ、水素４０００ｍｌ／ｍｉｎ、三弗化ホウ素（Ｂ
Ｆ3）２ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電力２０００Ｗをそれぞ
れ供給し各層を形成した。
た真空排気装置を用いて、ｎｉｐ層構成のアモルファス
シリコン太陽電池量を製造した。ｎ層形成時にモノシラ
ン（ＳｉＨ4）２５０ｍｌ／ｍｉｎ、水素（Ｈ2）３００
０ｍｌ／ｍｉｎ、フォスフィン（ＰＨ3）２０ｍｌ／ｍ
ｉｎ、高周波電力２００Ｗ、ｉ層形成時にモノシラン１
００ｍｌ／ｍｉｎ、水素１０００ｍｌ／ｍｉｎ、高周波
電力２５０Ｗ、ｐ層形成時にモノシラン５０ｍｌ／ｍｉ
ｎ、水素４０００ｍｌ／ｍｉｎ、三弗化ホウ素（Ｂ
Ｆ3）２ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電力２０００Ｗをそれぞ
れ供給し各層を形成した。
【００４７】チャンバー内のクリーニング時には、四フ
ッ化炭素（ＣＦ4）１６００ｍｌ／ｍｉｎ、酸素（Ｏ2）
４００ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電力５００Ｗを供給し、エ
ッチングによるチャンバー内クリーニングを行った。
ッ化炭素（ＣＦ4）１６００ｍｌ／ｍｉｎ、酸素（Ｏ2）
４００ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電力５００Ｗを供給し、エ
ッチングによるチャンバー内クリーニングを行った。
【００４８】オイルの給油を行わなかった以外は、上記
の条件および実施の形態に示す手順で、アモルファスシ
リコン膜のステンレス基板上への堆積、およびチャンバ
ー内クリーニングを繰り返し行った。この様に連続して
操作を継続したところ、２３バッチ目のクリーニング時
に油回転ポンプから異音が発生した。２７バッチ目のク
リーニング時に油回転ポンプが破損し停止した。油回転
ポンプを分解して確認したところ、シリンダー内部でオ
イル切れが生じ、シリンダー内のローターのベーンが焼
き付き、回転不能となり故障していたことが判明した。
また、スラッジの発生やオイル粘度の変化が確認され、
オイルが著しく汚染されていた。これにより、油回転ポ
ンプ内で詰まりが発生し、シリンダー内でオイル循環が
正常に行われかなったと考えられる。
の条件および実施の形態に示す手順で、アモルファスシ
リコン膜のステンレス基板上への堆積、およびチャンバ
ー内クリーニングを繰り返し行った。この様に連続して
操作を継続したところ、２３バッチ目のクリーニング時
に油回転ポンプから異音が発生した。２７バッチ目のク
リーニング時に油回転ポンプが破損し停止した。油回転
ポンプを分解して確認したところ、シリンダー内部でオ
イル切れが生じ、シリンダー内のローターのベーンが焼
き付き、回転不能となり故障していたことが判明した。
また、スラッジの発生やオイル粘度の変化が確認され、
オイルが著しく汚染されていた。これにより、油回転ポ
ンプ内で詰まりが発生し、シリンダー内でオイル循環が
正常に行われかなったと考えられる。
【００４９】（実施例２）図４に示す装置において、４
０５はオイルタンクであり新油が入っている。この新油
は、バルブ（４０６）の操作により油回転ポンプ（４０
１）の吸気口付近の吸気用配管（４０３）に給油用配管
（４０４ｂ）を介して定量給油される。給油用配管（４
０４ｂ）の吸気用配管（４０３）への接続は、油回転ポ
ンプ（４０１）の吸気口フランジと吸気用配管（４０
３）フランジとの接続面から吸気用配管（４０３）側へ
５ｃｍの個所で接続されている。その他の構成は、実施
例１と同様である。
０５はオイルタンクであり新油が入っている。この新油
は、バルブ（４０６）の操作により油回転ポンプ（４０
１）の吸気口付近の吸気用配管（４０３）に給油用配管
（４０４ｂ）を介して定量給油される。給油用配管（４
０４ｂ）の吸気用配管（４０３）への接続は、油回転ポ
ンプ（４０１）の吸気口フランジと吸気用配管（４０
３）フランジとの接続面から吸気用配管（４０３）側へ
５ｃｍの個所で接続されている。その他の構成は、実施
例１と同様である。
【００５０】図４に示す、堆積膜形成チャンバーを備え
た真空排気装置を用いて、ｎｉｐ層構成のアモルファス
シリコン太陽電池を製造した。ｎ層形成時にモノシラン
（ＳｉＨ4）２５０ｍｌ／ｍｉｎ、水素（Ｈ2）３０００
ｍｌ／ｍｉｎ、フォスフィン（ＰＨ3）２０ｍｌ／ｍｉ
ｎ、高周波電力２００Ｗ、ｉ層形成時にモノシラン１０
０ｍｌ／ｍｉｎ、水素１０００ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電
力２５０Ｗ、ｐ層形成時にモノシラン５０ｍｌ／ｍｉ
ｎ、水素４０００ｍｌ／ｍｉｎ、三弗化ホウ素（Ｂ
Ｆ3）２ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電力２０００Ｗをそれぞ
れ供給し各層を形成した。
た真空排気装置を用いて、ｎｉｐ層構成のアモルファス
シリコン太陽電池を製造した。ｎ層形成時にモノシラン
（ＳｉＨ4）２５０ｍｌ／ｍｉｎ、水素（Ｈ2）３０００
ｍｌ／ｍｉｎ、フォスフィン（ＰＨ3）２０ｍｌ／ｍｉ
ｎ、高周波電力２００Ｗ、ｉ層形成時にモノシラン１０
０ｍｌ／ｍｉｎ、水素１０００ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電
力２５０Ｗ、ｐ層形成時にモノシラン５０ｍｌ／ｍｉ
ｎ、水素４０００ｍｌ／ｍｉｎ、三弗化ホウ素（Ｂ
Ｆ3）２ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電力２０００Ｗをそれぞ
れ供給し各層を形成した。
【００５１】チャンバー内のクリーニング時に、バルブ
（４０６）により給油量を５ｍｌ／ｍｉｎとし、四フッ
化炭素（ＣＦ4）１６００ｍｌ／ｍｉｎ、酸素（Ｏ2）４
００ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電力５００Ｗを供給し、エッ
チングによるチャンバー内クリーニングを行った。
（４０６）により給油量を５ｍｌ／ｍｉｎとし、四フッ
化炭素（ＣＦ4）１６００ｍｌ／ｍｉｎ、酸素（Ｏ2）４
００ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電力５００Ｗを供給し、エッ
チングによるチャンバー内クリーニングを行った。
【００５２】上記の条件および実施の形態に示す手順
で、アモルファスシリコン膜のステンレス基板上への堆
積、およびチャンバー内クリーニングを繰り返し行っ
た。この様に新油の定量給油を行いながら連続して操作
を継続したところ、５０バッチ終了時に油回転ポンプの
オイルレベルが上限に達したので、オイルレベル下限付
近までポンプ内のオイルを排出した。さらに継続して操
作を続けたところ、９２バッチ目のクリーニング時に油
回転ポンプから異音が発生した。１００バッチ終了後、
油回転ポンプを分解して確認したところ、粉状物やスラ
ッジ、オイル粘度の変化などの若干のオイルの汚染が観
察された。しかし、シリンダー内部には大きな異常はな
く、オイル交換のみで継続して稼動可能であった。
で、アモルファスシリコン膜のステンレス基板上への堆
積、およびチャンバー内クリーニングを繰り返し行っ
た。この様に新油の定量給油を行いながら連続して操作
を継続したところ、５０バッチ終了時に油回転ポンプの
オイルレベルが上限に達したので、オイルレベル下限付
近までポンプ内のオイルを排出した。さらに継続して操
作を続けたところ、９２バッチ目のクリーニング時に油
回転ポンプから異音が発生した。１００バッチ終了後、
油回転ポンプを分解して確認したところ、粉状物やスラ
ッジ、オイル粘度の変化などの若干のオイルの汚染が観
察された。しかし、シリンダー内部には大きな異常はな
く、オイル交換のみで継続して稼動可能であった。
【００５３】（実施例３）図５に示す装置において、５
０７はオイルフィルトレーション装置であり、油回転ポ
ンプ（５０１）内のオイルを吸引し、フィルターにより
粉状物やスラッジ等の異物を除去し、その後に油回転ポ
ンプ（５０１）内へオイルを排出する構成を有してい
る。また、オイルフィルトレーション装置（５０７）の
排出ラインの分岐された一方のラインは、バルブ（５０
８）を介した後、給油用配管（５０４ｂ）として、油回
転ポンプ（５０１）とルーツポンプ（５０９）を接続す
る吸気用配管（５１０）に接続されている。給油用配管
（５０４ｂ）の吸気用配管（５１０）への接続は、油回
転ポンプ（５０１）の吸気口フランジと吸気用配管（５
１０）フランジの接続面から吸気用配管（５１０）側へ
５ｃｍの個所で接続されている。その他の構成は実施例
１と同様である。これにより、オイルフィルトレーショ
ン装置（５０７）から排出されるオイルの一部はバルブ
（５０８）の操作により吸気用配管（５１０）に定量給
油される。また、排出ラインの分岐された他方のライン
は油回転ポンプに接続され、抜き出したオイルを循環で
きるように構成されているため、オイルフィルトレーシ
ョン装置（５０７）を常時動作させ、油回転ポンプ（５
０１）が停止中でも常時オイルを清浄化させることがで
きる。さらに、ルーツポンプを設けていることにより、
真空度をより高めることができる。
０７はオイルフィルトレーション装置であり、油回転ポ
ンプ（５０１）内のオイルを吸引し、フィルターにより
粉状物やスラッジ等の異物を除去し、その後に油回転ポ
ンプ（５０１）内へオイルを排出する構成を有してい
る。また、オイルフィルトレーション装置（５０７）の
排出ラインの分岐された一方のラインは、バルブ（５０
８）を介した後、給油用配管（５０４ｂ）として、油回
転ポンプ（５０１）とルーツポンプ（５０９）を接続す
る吸気用配管（５１０）に接続されている。給油用配管
（５０４ｂ）の吸気用配管（５１０）への接続は、油回
転ポンプ（５０１）の吸気口フランジと吸気用配管（５
１０）フランジの接続面から吸気用配管（５１０）側へ
５ｃｍの個所で接続されている。その他の構成は実施例
１と同様である。これにより、オイルフィルトレーショ
ン装置（５０７）から排出されるオイルの一部はバルブ
（５０８）の操作により吸気用配管（５１０）に定量給
油される。また、排出ラインの分岐された他方のライン
は油回転ポンプに接続され、抜き出したオイルを循環で
きるように構成されているため、オイルフィルトレーシ
ョン装置（５０７）を常時動作させ、油回転ポンプ（５
０１）が停止中でも常時オイルを清浄化させることがで
きる。さらに、ルーツポンプを設けていることにより、
真空度をより高めることができる。
【００５４】図５に示す、堆積膜形成チャンバーを備え
た真空排気装置を用いて、ｎｉｐ層構成のアモルファス
シリコン太陽電池を製造した。ｎ層形成時にモノシラン
（ＳｉＨ4）２５０ｍｌ／ｍｉｎ、水素（Ｈ2）３０００
ｍｌ／ｍｉｎ、フォスフィン（ＰＨ3）２０ｍｌ／ｍｉ
ｎ、高周波電力２００Ｗ、ｉ層形成時にモノシラン１０
０ｍｌ／ｍｉｎ、水素１０００ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電
力２５０Ｗ、ｐ層形成時にモノシラン５０ｍｌ／ｍｉ
ｎ、水素４０００ｍｌ／ｍｉｎ、三弗化ホウ素（Ｂ
Ｆ3）２ｍｌ／ｍｉｎ高周波電力２０００Ｗをそれぞれ
供給し各層を形成した。
た真空排気装置を用いて、ｎｉｐ層構成のアモルファス
シリコン太陽電池を製造した。ｎ層形成時にモノシラン
（ＳｉＨ4）２５０ｍｌ／ｍｉｎ、水素（Ｈ2）３０００
ｍｌ／ｍｉｎ、フォスフィン（ＰＨ3）２０ｍｌ／ｍｉ
ｎ、高周波電力２００Ｗ、ｉ層形成時にモノシラン１０
０ｍｌ／ｍｉｎ、水素１０００ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電
力２５０Ｗ、ｐ層形成時にモノシラン５０ｍｌ／ｍｉ
ｎ、水素４０００ｍｌ／ｍｉｎ、三弗化ホウ素（Ｂ
Ｆ3）２ｍｌ／ｍｉｎ高周波電力２０００Ｗをそれぞれ
供給し各層を形成した。
【００５５】チャンバー内のクリーニング時に、バルブ
（５０８）により給油量を１０ｍｌ／ｍｉｎとし、四フ
ッ化炭素（ＣＦ4）１６００ｍｌ／ｍｉｎ、酸素（Ｏ2）
４００ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電力５００Ｗを供給し、エ
ッチングによるチャンバー内クリーニングを行った。
（５０８）により給油量を１０ｍｌ／ｍｉｎとし、四フ
ッ化炭素（ＣＦ4）１６００ｍｌ／ｍｉｎ、酸素（Ｏ2）
４００ｍｌ／ｍｉｎ、高周波電力５００Ｗを供給し、エ
ッチングによるチャンバー内クリーニングを行った。
【００５６】上記の条件および実施の形態に示す手順
で、アモルファスシリコン膜のステンレス基板上への堆
積、およびチャンバー内クリーニングを繰り返し行っ
た。この様に連続して操作を継続したところ、１００バ
ッチ終了時でも油回転ポンプの異音等の異常は発生しな
かった。油回転ポンプを分解して観察したところ、シリ
ンダー内部に異常は無く、ポンプオイルの汚染も軽微で
あった。さらに継続して操作を続けたところ、２００バ
ッチにおいて何ら問題が生じなかった。
で、アモルファスシリコン膜のステンレス基板上への堆
積、およびチャンバー内クリーニングを繰り返し行っ
た。この様に連続して操作を継続したところ、１００バ
ッチ終了時でも油回転ポンプの異音等の異常は発生しな
かった。油回転ポンプを分解して観察したところ、シリ
ンダー内部に異常は無く、ポンプオイルの汚染も軽微で
あった。さらに継続して操作を続けたところ、２００バ
ッチにおいて何ら問題が生じなかった。
【００５７】
【発明の効果】本発明によれば、上記のような真空排気
装置にすることで、大量生産のために、スラッジが多量
に発生したり、大量の腐食性ガスを長時間繰り返し使用
する場合であっても、単純で安価な装置構成および簡単
な操作方法で、油回転ポンプのシリンダー内部の潤滑や
シールを維持することが可能となる。これにより排気能
力低下や油膜切れなどの問題が発生せず、大量生産に好
適な、高信頼性でメンテナンス性に優れ、低コストの真
空排気装置および真空排気方法を提供することが可能と
なった。
装置にすることで、大量生産のために、スラッジが多量
に発生したり、大量の腐食性ガスを長時間繰り返し使用
する場合であっても、単純で安価な装置構成および簡単
な操作方法で、油回転ポンプのシリンダー内部の潤滑や
シールを維持することが可能となる。これにより排気能
力低下や油膜切れなどの問題が発生せず、大量生産に好
適な、高信頼性でメンテナンス性に優れ、低コストの真
空排気装置および真空排気方法を提供することが可能と
なった。
【図１】本発明の真空排気装置の一実施形態の説明図で
ある。
ある。
【図２】従来の真空排気装置の説明図である。
【図３】油回転ポンプのシリンダー部の構造の説明図で
ある。
ある。
【図４】本発明の真空排気装置の一実施形態の説明図で
ある。
ある。
【図５】本発明の真空排気装置の一実施形態の説明であ
る。
る。
１０１、２０１、４０１、５０１ 油回転ポンプ １０２、２０２、４０２、５０２ 真空チャンバー １０３、２０３、４０３、５０３、５１０ 吸気用配管 １０４ 定量ポンプ １０４ａ 抜き出し用配管 １０４ｂ、４０４ｂ、５０４ｂ 給油用配管 １１１、２１１、４１１、５１１ ガス導入管 １１２、２１２、４１２、５１２ 高周波電源 １１３、２１３、４１３、５１３ 基板 ３０１ シリンダー ３０２ 吸気口 ３０３ ローター ３０４ ベーン ３０５ 排気弁 ４０５ オイルタンク ４０６、５０８ バルブ ５０７ オイルフィルトレーション装置 ５０９ ルーツポンプ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.7 識別記号 ＦＩ テーマコート゛(参考） Ｈ０１Ｌ 21/3065 Ｈ０１Ｌ 21/302 Ｎ Ｆターム(参考） 3H029 AA05 AB07 AB08 BB06 BB34 BB36 BB50 CC03 CC24 CC34 CC38 CC43 4K030 AA06 AA17 BA30 DA06 KA28 LA16 5F004 AA15 BA04 BB13 BB18 BC02 CA09 DA01 DA26 5F045 AB04 AC01 AC02 AC11 BB08 BB10 CA13 DA52 EB06 EC07 EE12 EG04 EH13
Claims (6)
- 【請求項１】 排気手段として油回転ポンプを有する真
空排気装置において、前記油回転ポンプの吸気側経路に
給油手段を有すること特徴とする真空排気装置。 - 【請求項２】 前記油回転ポンプより前段にさらに１台
以上の真空ポンプが配置されていること特徴とする請求
項１に記載の真空排気装置。 - 【請求項３】 前記給油手段がオイルフィルトレーショ
ン手段を有することを特徴とする請求項１又は２に記載
の真空排気装置。 - 【請求項４】 請求項１又は２記載の真空排気装置を用
いた真空排気方法であって、前記油回転ポンプの吸気側
経路から給油してシリンダー内にオイルを供給しながら
該油回転ポンプを作動させて排気を行うことを特徴とす
る真空排気方法。 - 【請求項５】 請求項３記載の真空排気装置を用いた真
空排気方法であって、前記油回転ポンプから抜き出され
オイルフィルトレーションされたオイルを、前記油回転
ポンプの吸気側経路から給油してシリンダー内に供給し
ながら該油回転ポンプを作動させて排気を行うことを特
徴とする真空排気方法。 - 【請求項６】 真空容器内で基板上に堆積膜を形成し該
基板を取り出した後、前記真空容器内に付着した堆積物
をエッチング除去して前記真空容器内をクリーニングす
る際に行われる真空排気方法であって、エッチングガス
を前記真空容器内に供給しながら前記真空容器内を排気
することを特徴とする請求項４又は５記載の真空排気方
法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000388868A JP2002188589A (ja) | 2000-12-21 | 2000-12-21 | 真空排気装置および真空排気方法 |
| US10/013,444 US6699022B2 (en) | 2000-12-21 | 2001-12-13 | Vacuum exhaust apparatuses and vacuum exhaust methods |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000388868A JP2002188589A (ja) | 2000-12-21 | 2000-12-21 | 真空排気装置および真空排気方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002188589A true JP2002188589A (ja) | 2002-07-05 |
Family
ID=18855534
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000388868A Abandoned JP2002188589A (ja) | 2000-12-21 | 2000-12-21 | 真空排気装置および真空排気方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US6699022B2 (ja) |
| JP (1) | JP2002188589A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4218756B2 (ja) * | 2003-10-17 | 2009-02-04 | 株式会社荏原製作所 | 真空排気装置 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3066855A (en) * | 1958-05-21 | 1962-12-04 | Heraeus Gmbh W C | Multi-stake vacuum pump |
| DE2500957C3 (de) * | 1975-01-11 | 1978-10-26 | Audi Nsu Auto Union Ag, 7107 Neckarsulm | Rotationskolben-Brennkraftmaschine in Trochoidenbauart |
| JPS60219493A (ja) * | 1984-04-16 | 1985-11-02 | Mitsui Toatsu Chem Inc | 可動翼型圧縮機の油膜シ−ル用油の供給方法 |
| JPS62291488A (ja) * | 1986-06-11 | 1987-12-18 | Toshiba Corp | 油回転真空ポンプ |
| JPH0651088B2 (ja) | 1988-07-12 | 1994-07-06 | 義貴 斉藤 | 真空ポンプ用潤滑油の再生方法 |
| JPH02129371A (ja) * | 1988-11-08 | 1990-05-17 | Canon Inc | 堆積膜形成装置の洗浄方法 |
| JPH02129372A (ja) * | 1988-11-09 | 1990-05-17 | Canon Inc | 堆積膜形成装置の洗浄方法 |
| US5304405A (en) * | 1991-01-11 | 1994-04-19 | Anelva Corporation | Thin film deposition method and apparatus |
| JP2538486B2 (ja) * | 1992-08-07 | 1996-09-25 | 株式会社三浦研究所 | 超脱気装置における水封式真空ポンプの接続構造 |
| JPH06159279A (ja) | 1992-11-27 | 1994-06-07 | Shimadzu Corp | 真空ポンプ |
| US5667367A (en) * | 1994-04-08 | 1997-09-16 | Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho | Air compressor |
| JPH09195965A (ja) | 1995-10-23 | 1997-07-29 | Seiwa Sangyo Kk | 油回転真空ポンプのオイル交換方法及びその装置 |
-
2000
- 2000-12-21 JP JP2000388868A patent/JP2002188589A/ja not_active Abandoned
-
2001
- 2001-12-13 US US10/013,444 patent/US6699022B2/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US6699022B2 (en) | 2004-03-02 |
| US20020090310A1 (en) | 2002-07-11 |
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