JP5345223B2 - 接合部材の製造方法及び摩擦攪拌接合装置 - Google Patents

接合部材の製造方法及び摩擦攪拌接合装置 Download PDF

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Description

本発明は、プローブを回転させて二つの被接合部材を摩擦攪拌接合して接合部材を製造する方法、及び摩擦攪拌接合装置に関する。
摩擦攪拌接合方法は、ツールを回転させつつ、このツールの先端に設けられているプローブを被接合部材に挿入し、回転ツールを移動させることにより、回転ツールと被接合部材との間に生じる摩擦熱による塑性流動により、被接合部材の接合を図る技術である。
この摩擦攪拌接合方法は、接合部分が接合時に高熱で溶融されないために、被接合部材に歪や変形が生じ難い等の利点がある。
この摩擦攪拌接合の接合信頼性を高める技術としては、例えば、特許文献1,2に記載の技術がある。
摩擦攪拌接合では、接合部中の接合終点を形成するプローブ終点位置で、プローブを引き抜くと、接合終点近傍にプローブ引抜穴が残り、この接合終点近傍の接合信頼性に不安が残る。そこで、特許文献1,2に記載の技術では、プローブをプローブ終点位置まで移動させた後、直ちに、この位置でプローブを引き抜かず、プローブ終点位置から外れた位置に移動させてから、プローブを引き抜いている。この技術では、以上のように、プローブ終点位置から外れた位置でプローブを引き抜くことで、プローブ引抜穴を接合終点から遠ざけ、接合終点近傍の接合信頼性の向上を図っている。
特開2005−95951号公報 特開2007−289976号公報
上記特許文献1,2に記載の技術では、確かに接合信頼性を向上させることができるものの、接合部中の接合始点と、この接合始点を形成する際のプローブ始点位置との間や、接合終点とプローブ終点位置との間で、被接合部材の界面の酸化膜が残存する量が多く、接合信頼性に不安が残る、という問題点がある。
本発明は、このような従来技術の問題点に着目し、接合信頼性の向上を図ることができる接合部材の製造方法、及び摩擦攪拌接合装置を提供することを目的とする。
上記問題点を解決するための接合部材の製造方法に係る発明は、
互いに接している二つの被接合部材の接合予定部中に回転しているプローブを入れ、該接合予定部を連続的に摩擦攪拌接合して接合部材を製造する、接合部材の製造方法において、
前記被接合部材中に接合始点を形成する際の前記プローブの位置であるプローブ始点位置から、該被接合部材中に接合終点を形成する際の該プローブの位置であるプローブ終点位置へ、該プローブを回転させつつ移動させる主接合工程と、
前記プローブ始点位置と前記プローブ終点位置とのうちの少なくとも一方の位置で、所定時間だけ前記プローブを回転させる滞留工程と、
前記主接合工程を実施した後、前記プローブ終点位置から外れた位置であるプローブ引抜位置へ、前記プローブを回転させつつ移動させる終点位置回避工程と、
前記プローブ引抜位置で、前記プローブを前記被接合部材から引き抜く引抜工程と、を含み、
前記所定時間は、前記プローブ始点位置から前記プローブ終点位置へ前記プローブを移動させる際の移動速度で、該プローブが設けられているツールの先端面の外径分の距離を移動できる時間以上であり、
前記終点位置回避工程では、前記接合予定部内で、前記プローブ終点位置から前記プローブ始点位置側へ所定距離戻り、該所定距離戻った位置を前記プローブ引抜位置とすし、
前記終点位置回避工程では、前記プローブ終点位置の該プローブを被接合部材側へわずかに押し込んでから、該プローブの押し込み量を維持しつつ、該プローブを前記プローブ引抜位置へ移動させる。
上記発明によれば、プローブ始点位置又はプローブ終点位置で滞留工程を実施するので、プローブ始点位置まわり又はプローブ終点位置まわりでの塑性流動が進んで、摩擦攪拌接合が促進される。この結果、本発明では、プローブ始点位置まわり又はプローブ終点位置まわりでの、各被接合部材の界面の酸化膜は、著しく減少し、これらの位置まわりでの接合信頼性をより高めることができる。
また、所定時間を定めると、前記プローブ始点位置まわり、又は前記プローブ終点位置まわりを、プローブ始点位置とプローブ終点位置との間の中間部分での塑性流動と同等以上に塑性流動させることができる。
さらに、引抜位置滞留工程を行うと、プローブ引抜位置まわりの塑性流動が促され、このプローブ引抜位置に形成されるプローブ引抜孔が滑らかな形状になり、このプローブ引抜穴への応力集中を緩和することができる。
また、前記プローブ引抜位置では、所定時間だけ前記プローブを回転させる引抜位置滞留工程を含んでいてもよい。この引抜位置滞留工程を行うと、プローブ引抜位置まわりの塑性流動が促され、このプローブ引抜位置に形成されるプローブ引抜孔が滑らかな形状になり、このプローブ引抜穴への応力集中を緩和することができる。
本発明では、プローブ始点位置まわり又はプローブ終点位置まわりでの塑性流動が進むので、これらの位置まわりでの各被接合部材の界面の酸化膜は、著しく減少し、これらの位置まわりでの接合信頼性をより高めることができる。
本発明に係る一実施形態における、挿入工程直後の被接合部材の状態を示す説明図である。 本発明に係る一実施形態における、プローブ始点位置での滞留工程直後の被接合部材の状態を示す説明図である。 本発明に係る一実施形態における、主接合工程中の被接合部材の状態を示す説明図である。 本発明に係る一実施形態における、主接合工程直後の被接合部材の状態を示す説明図である。 本発明に係る一実施形態における、プローブ終点位置での滞留工程直後の被接合部材の状態を示す説明図である。 本発明に係る一実施形態における、終点位置回避工程中にツールを押し込んだ際の被接合部材の状態を示す説明図である。 本発明に係る一実施形態における、終点位置回避工程直後の被接合部材の状態を示す説明図である。 本発明に係る一実施形態における、引抜工程後の被接合部材の状態を示す説明図である。 プローブ引抜穴を示す説明図である。 本発明に係る一実施形態における、接合過程中でのツールの移動軌跡を示す説明図である。 本発明に係る一実施形態の変形例における、接合過程中でのツールの移動軌跡を示す説明図である。 本発明に係る一実施形態における摩擦攪拌接合装置の構成を示す説明図である。 本発明に係る一実施形態におけるパラメータ入力画面を示す説明図である。
以下、本発明に係る一実施形態について図面を用いて説明する。
本実施形態の摩擦攪拌接合装置は、図12に示すように、先端にプローブが設けられているツール10が装着され、このツール10を回転及び移動させる機構部20と、この機構部20を制御する制御部30と、を備えている。
機構部20は、ツール10が装着される主軸21と、この主軸21を保持する主軸保持する主軸保持ヘッド22と、水平方向(Y方向)に伸びるY方向ガイド23yを有し、主軸保持ヘッド22が取り付けられる門型枠23と、被接合部材が上面に取り付けられ、水平方向であってY方向と垂直なX方向に被接合部材を移動させる定盤24と、を備えている。機構部20は、さらに、図示されていないが、機構部20の各機構を駆動させる油圧回路や電源回路や、各種センサ等を備えている。
主軸保持ヘッド22は、主軸21を保持して、この主軸21を回転させる機構(不図示)と、主軸21を鉛直方向(Z方向)に移動させるZ方向移動機構(不図示)と、門型枠23に設けられているY方向ガイド23yに沿って主軸21をY方向に移動させるY方向移動機構(不図示)と、を有している。
制御部30は、ディスプレイ31と、入力キー32と、コンピュータ33と、コンピュータ33が作成した制御信号を機構部20の油圧回路や電源回路へ送る一方で、機構部20の各種センサからの信号を受信してコンピュータ33に送るインタフェース34と、を備えている。なお、本実施形態において、入出力手段は、ディスプレイ31と入力キー32とコンピュータ33とを有して構成され、制御実行手段は、コンピュータ33とインタフェース34とを有して構成される。
ツール10は、図8に示すように、円形のショルダ面13を有するショルダ部12と、ショルダ部12のショルダ面13から突出しているプローブ11と、を有している。すなわち、ショルダ面13は、プローブ11が設けられるツールの先端面を成している。なお、本実施形態では、ショルダ部12とプローブ11とは一体回転するが、両者は必ずしも一体回転する必要はない。
次に、以上で説明した摩擦攪拌接合装置の動作と共に、二つの被接合部材を摩擦攪拌接合により接合して接合部材を製造する手順について説明する。なお、以下では、二つの被接合部材の重ね合わせ接合を例にして説明する。
まず、オペレータは、図12に示す摩擦攪拌接合装置の定盤24上に、図10に示すように、二つの被接合部材1,2を重ね合わせて、これを冶具等を用いて固定する。
続いて、オペレータは、摩擦攪拌接合装置の初期設定を行う。この初期設定では、ツール10の原点合わせや、各種パラメータの入力処理を行う。
各種パレメータの入力処理では、コンピュータ33は、ディスプレイ31にパラメータ入力画面を表示させる。このパラメータ入力画面には、図13に示すように、プローブ長の入力欄31aと、プローブ径の入力欄31bと、ショルダ面の外径であるショルダ径の入力欄31cと、被接合部材に接合始点を形成する際のプローブの位置であるプローブ始点位置の入力欄31dと、被接合部材に接合終点を形成する際のプローブの位置であるプローブ終点位置の入力欄31eと、プローブを引き抜く位置であるプローブ引抜位置の入力欄31fと、ツール回転速度の入力欄31gと、ツール移動速度の入力欄31hと、プローブ始点位置での滞留処理の時間の入力欄31iと、プローブ終点位置での滞留処理の時間の入力欄31jと、プローブ引抜位置での滞留処理の時間の入力欄31kとが、少なくとも表示される。
オペレータは、入力キー32(図12)を操作して、以上で説明したパラメータの入力欄のそれぞれに、数値を入力する。但し、プローブ始点位置での滞留時間の入力欄31iと、プローブ終点位置での滞留時間の入力欄31jと、プローブ引抜位置での滞留時間の入力欄31kとには、必ず入力しなければならない分けではないが、以下では、全ての入力欄31i,31j,31kに滞留時間を入力したものとする。また、ここで、プローブ始点位置、プローブ終点位置、プローブ引抜位置等のプローブ位置として入力される位置は、図8に示すように、プローブ11の中心線Cとショルダ面13との交点Cpの位置である。なお、プローブ位置として入力される位置は、プローブ11の中心線C上であって、プローブ11の先端の位置であってもよい。
ここで、以上で述べた滞留処理について、簡単に説明する。滞留処理は、プローブ始点位置、プローブ終点位置、プローブ引抜位置のいずれかで実行される。滞留処理は、以上のいずれかの位置で、プローブ11を回転させつつも移動させず、該当位置まわりでの被接合部材の摩擦攪拌を促進する処理である。滞留時間は、この滞留処理を施す時間である。
以上の初期設定が終了すると、摩擦攪拌接合装置の制御部30(図12)は、機構部20を動作させて、二つの被接合部材の摩擦攪拌接合による接合を開始させる。
摩擦攪拌接合装置は、まず、図1に示すように、プローブ11を回転させつつ、パラメータ入力処理で入力されたパラメータ始点位置Spへプローブ11を移動させる。つまり、摩擦攪拌接合装置は、プローブ11の被接合部材への挿入工程を実行する。なお、図1、及び以下の説明で用いる図2〜図8は、いずれも、図10におけるA−A線断面の状態を示している。
この挿入工程で、プローブ11の先端が被接合部材1の表面に接した後、徐々に、プローブ11が被接合部材1内に挿入される。回転しているプローブ11及びショルダ面13と被接合部材1とが接触すると、両者間に摩擦熱が発生し、この摩擦熱により、プローブ11まわりの被接合部材1,2は塑性流動し、塑性流動領域(又は動的再結晶領域)Aが形成される。
発明者は、摩擦攪拌接合している被接合部材1,2の断面を詳細に調べた結果、プローブ11がプローブ始点位置Spに至った時点において、プローブ11まわりに塑性流動領域Aが形成させるものの、この塑性流動領域Aでの塑性流動が十分ではないために、この塑性流動領域A内に二つの被接合部材1,2の界面の酸化膜4が残ってしまうことを見出した。
このため、背景技術の欄で述べた技術のように、プローブ11がプローブ始点位置Spに至った後、直ちに、プローブ11をプローブ終点位置Epへ移動させた場合、プローブ始点位置Spを基準にして、プローブ11の移動方向と反対側の塑性流動領域A内には、前述の界面酸化膜4が残ることになる。塑性流動領域A内にこの界面酸化膜4が残っていると、この部分での接合強度は低いものとなる。
そこで、本実施形態では、プローブ11がプローブ始点位置Spに至った後、直ちに、プローブ11をプローブ終点位置Epへ移動させず、このプローブ始点位置Spで、所定時間、プローブ11を回転させつつも移動させない滞留工程を実行するようにしている。
この滞留工程を実行すると、図2に示すように、塑性流動領域が僅かに広がるとともに、広がった塑性流動領域A内での塑性流動が進み、摩擦攪拌接合が促進されて、図1における塑性流動領域A内の界面酸化膜4が事実上消滅する。
この滞留工程を実行する時間、つまり滞留時間としては、パラメータ入力処理で入力したショルダ面13の外径であるショルダ径d(図8)を、同じくパラメータ入力処理で入力したツール移動速度vで移動した場合にかかる時間以上であることが好ましい。具体的には、ツール移動速度等によるが、例えば、4秒以上であることが好ましい。
基本的に、接合予定部内で、プローブ始点位置Spとプローブ終点位置Epとの間の中間部分では、摩擦攪拌時間が(ショルダ径)/(プローブ移動速度)となる。そこで、本実施形態では、プローブ始点位置Sp、プローブ終点位置Epでも、前述の中間部分と同等以上の摩擦攪拌時間を確保するため、上記滞留時間を設定している。
本実施形態では、パラメータ入力処理で、プローブ始点位置Spでの滞留時間の入力欄31i、プローブ終点位置Epでの滞留時間の入力欄31jに滞留時間を入力した際、この滞留時間が、先に入力したショルダ径dを、同じく先に入力したツール移動速度vで移動した場合にかかる時間未満であると、コンピュータ33(図12)が判断すると、このコンピュータ33は、入力された滞留時間を受け付けないか、または、ディスプレイ31に表示されている入力欄31i,31j(図13)内を点滅させて、当該滞留時間が適切でない旨を警告する。
滞留時間が終了すると、図3に示すように、ツール10は、プローブ終点位置Epへ向かってツール移動速度vで移動を開始し、主接合工程が開始される。この滞留時間が終了した時点以降での塑性流動領域A,Aの境界上であって、ツール移動方向と反対側の点が接合始点Sjとなる。
プローブ11が、図4に示すように、プローブ終点位置Epに至ると、主接合工程が終了し、ここでも、滞留工程が実行される。ところで、このプローブ11がプローブ終点位置Epに至った時点での塑性流動領域A内で、プローブ11を基準にして、これまでプローブ移動方向の側には、二つの被接合部材1,2の界面の酸化膜4が残る。
そこで、本実施形態では、このプローブ終点位置Epでも、プローブ始点位置Spと同様に、滞留工程を実行する。
この滞留工程を実行すると、図5に示すように、塑性流動領域が僅かに広がるとともに、広がった塑性流動領域A内での塑性流動が進み、摩擦攪拌接合が促進されて、図4における塑性流動領域A内の界面酸化膜4が事実上消滅する。また、広がった塑性流動領域Aの境界上であって、これまでのツール移動方向側の点が接合終点Ejとなる。
滞留工程が終了すると、図6に示すように、ツール10は、プローブ11の先端側へ僅かに進む。つまり、ツール10は、プローブ11が被接合部材1内に僅かに押し込まれる。そして、このツール10は、プローブ引抜位置Ppへ向かってツール移動速度で移動を開始する。本実施形態において、このプローブ引抜位置Ppは、図10に示すように、プローブ始点位置Spからプローブ終点位置Epへのプローブ11の移動軌跡F上に存在する。
摩擦攪拌接合を行った場合、図6に示すように、被接合部材1の表面1bのレベルは、摩擦攪拌接合前の表面1aのレベルよりも、プローブ11が伸びている方向、言い換えると、被接合部材1の厚さ方向に僅かに変化する。つまり、摩擦攪拌接合を行った場合、被接合部材1の表面1aは僅かに沈む。
このため、プローブ11をプローブ終点位置Epからプローブ引抜位置Ppへ移動させる際、プローブ終点位置Epで、プローブ11が伸びている方向へツール10を僅かに移動させないと、ツール10のショルダ面13が被接合部材1の新たな表面1bと十分に接触しないことになり、ショルダ面13と被接合部材1の新たな表面1bとの間で摩擦熱が発生しなくなる。そこで、本実施形態では、プローブ終点位置Epでの滞留時間が終了すると、プローブ11が伸びている方向へツール10を僅かに移動させ、ツール10のショルダ面13が被接合部材1の新たな表面1bと十分に接触するようにしている。
プローブ11が伸びている方向へ移動した時点でのプローブ位置は、プローブ11が伸びている方向において、プローブ引抜位置Ppと同じである。そこで、摩擦攪拌接合装置のコンピュータ33(図12)は、プローブ11が伸びている方向における、プローブ終点位置Epとプローブ引抜位置Ppとの間の距離tを求め、この距離tを、プローブ11が伸びている方向の移動量としている。
ツール10は、図7に示すように、プローブ終点位置Epで被接合部材1内に僅かに押し込まれた後、前述したように、プローブ引抜位置Ppへ向かってツール移動速度vで移動を開始する。この際、ツール10の移動距離、つまり、このツール移動方向におけるプローブ終点位置Epとプローブ引抜位置Ppとの間の距離Dは、ショルダ径dの半分、つまりショルダ半径d/2以上であることが好ましく、ここでは、ショルダ径dにしている。
なお、本実施形態において、終点位置回避工程は、プローブ終点位置Epでの滞留工程を終了してから、ツール10をプローブ終点位置Epで被接合部材1内に僅かに押し込み、プローブ引抜位置Ppまで移動させる工程である。この終点位置回避工程の終了時点で生成された塑性流動領域A5は、図7に示すように、終点位置回避工程の開始時点で生成された塑性流動領域Aよりも、被接合部材1,2の厚み方向に僅かに広がる。これは、終点位置回避工程の開始時点でツール10を被接合部材1内に僅かに押し込むからである。
プローブ11がプローブ引抜位置Ppに至ると、ここでも、滞留工程が実行させる。なお、このプローブ引抜位置Ppでのプローブ11のまわりは、既に一度、プローブ11が通過し、摩擦攪拌接合が行われた領域なので、プローブ始点位置Spやプローブ終点位置Epでのように、被接合部材1,2の界面の酸化膜は残っていない。
しかしながら、プローブ11がプローブ引抜位置Ppに至った時点で、プローブ11を直ちに引き上げると、図9に示すように、プローブ引抜穴6には、プローブ外周面に形成されている溝に入り込んだ被接合部材の残さ6aが、プローブ引抜穴6の内周面に残ると共に、プローブの先端面とプローブの周面との角の形状が残り、プローブ引抜穴6の内周面は荒れ、しかも、プローブ引抜穴6の内周面と底面との角6bも鋭くなる。これは、プローブがプローブ引抜位置Ppに至った直後では、プローブのまわりの被接合部材の塑性流動性が十分ではないからである。このように、プローブ引抜穴6の内周面が荒れたり、内周面と底面との角6bが鋭くなると、鋭い角等に応力が集中してしまう。
そこで、本実施形態では、プローブ引抜位置Ppでも滞留処理を実行し、プローブ引抜位置Ppでのプローブ11まわりの被接合部材の塑性流動性を高めている。この結果、このプローブ引抜位置Ppでの滞留工程が終了し、プローブを被接合部材1,2から引き抜くと(引抜工程)、図8に示すように、プローブ引抜穴5の内周面が滑らかになり、内周面と底面との角部5bは丸みを帯びる。これは、プローブ11まわりの被接合部材の塑性流動性が高まったため、プローブ外周面に形成されている溝に入り込んだ被接合部材の残さが、プローブ11の引抜工程で、プローブ引抜穴5の内周面に沿って流れ落ちるためである。
このプローブ引抜位置Ppで滞留処理を実行する時間、つまり滞留時間としては、例えば、パラメータ入力処理で入力したショルダ径dの半分、つまりショルダ半径d/2を、同じくパラメータ入力処理で入力したツール移動速度で移動した場合にかかる時間以上であることが好ましい。具体的には、ツール移動速度等によるが、例えば、2秒以上であることが好ましい。
本実施形態では、パラメータ入力処理で、プローブ引抜位置Ppでの滞留時間の入力欄31kに滞留時間を入力した際、この滞留時間が、先に入力したショルダ径の半分d/2を、同じく先に入力したツール移動速度で移動した場合にかかる時間未満であると、コンピュータ33(図12)が判断すると、このコンピュータ33は、入力された滞留時間を受け付けないか、または、ディスプレイ31に表示されている入力欄31k内を点滅させて、当該滞留時間が適切でない旨を警告する。
プローブ引抜工程が終了すると、被接合部材1と被接合部材2との間の接合が終了し、接合部材3が生成される。
以上のように、本実施形態では、プローブ終点位置Epでプローブ11を引き抜かず、プローブ終点位置Epから外れた位置でプローブ11を引き抜いているので、接合終点Ej近傍にプローブ引抜穴が存在しなくなる。この結果、本実施形態では、接合終点Ej近傍での接合信頼性を高めることができる。
さらに、本実施形態では、プローブ始点位置Sp及びプローブ終点位置Epで滞留工程を実行しているので、プローブ始点位置Spまわり及びプローブ終点位置Epまわりでの塑性流動が進んで、摩擦攪拌接合が促進される。この結果、プローブ始点位置Spまわり及びプローブ終点位置Epまわりでの、被接合部材1,2の界面の酸化膜4は、著しく減少又は消滅し、これらの位置での接合信頼性をより高めることができる。
また、本実施形態では、プローブ引抜位置Ppでも滞留処理を実行しているので、プローブ引抜位置Ppでの塑性流動性が向上し、プローブ引抜穴5の内面が滑らかで且つ鋭い角がなくなり、プローブ引抜穴5に対する応力集中を緩和することができる。
なお、本実施形態では、プローブ始点位置Spとプローブ終点位置Epの両方で、滞留処理を実行しているが、本発明は、これに限定されるものではなく、いずれか一方の位置のみで実行してもよい。例えば、接合始点Sj近傍には、大きな荷重がかからず、接合始点Sj近傍での接合強度を上げる必要性がない場合には、プローブ始点位置Spでの滞留処理は実行しなくてもよい。
さらに、本実施形態では、プローブ引抜位置Ppでも滞留処理を実行しているが、このプローブ引抜位置Pp近傍での接合信頼性を上げる必要がない場合には、このプローブ引抜位置Ppでの滞留処理も実行しなくてもよい。
また、本実施形態では、図10に示すように、プローブ始点位置Spからプローブ終点位置Epへのプローブ11の移動軌跡F上に、プローブ引抜位置Ppを設定しているが、このプローブ引抜位置Ppをプローブ11の移動軌跡F上に設定する必要性はなく、例えば、図11に示すように、プローブ11の移動軌跡F外にプローブ引抜位置Ppを設定してもよい。
また、以上の実施形態は、二つの被接合部材の重ね合わせ接合に本発明を適用したものであるが、本発明はこれに限定されるものではなく、例えば、二つの被接合部材の突合せ接合に本発明を適用してもよい。
本発明は、互いに接している二つの被接合部材の接合予定部中に回転しているプローブを入れ、該接合予定部を連続的に摩擦攪拌接合して接合部材を製造する、接合部材の製造方法であって、前記被接合部材中に接合始点を形成する際の前記プローブの位置であるプローブ始点位置から、該被接合部材中に接合終点を形成する際の該プローブの位置であるプローブ終点位置へ、該プローブを回転させつつ移動させる主接合工程と、前記プローブ始点位置と前記プローブ終点位置とのうちの少なくとも一方の位置で、所定時間だけ前記プローブを回転させる滞留工程とを実施する接合部材の製造方法に関する。本発明によれば、プローブ始点位置まわり又はプローブ終点位置まわりでの接合信頼性をより高めることができる。
10 ツール
11 プローブ
12 ショルダ部
13 ショルダ面
20 機構部
30 制御部
Sj 接合始点
Ej 接合終点
Sp プローブ始点位置
Ep プローブ終点位置
Pp プローブ引抜位置

Claims (2)

  1. 互いに接している二つの被接合部材の接合予定部中に回転しているプローブを入れ、該接合予定部を連続的に摩擦攪拌接合して接合部材を製造する、接合部材の製造方法において、
    前記被接合部材中に接合始点を形成する際の前記プローブの位置であるプローブ始点位置から、該被接合部材中に接合終点を形成する際の該プローブの位置であるプローブ終点位置へ、該プローブを回転させつつ移動させる主接合工程と、
    前記プローブ始点位置と前記プローブ終点位置とのうちの少なくとも一方の位置で、所定時間だけ前記プローブを回転させる滞留工程と、
    前記主接合工程を実施した後、前記プローブ終点位置から外れた位置であるプローブ引抜位置へ、前記プローブを回転させつつ移動させる終点位置回避工程と、
    前記プローブ引抜位置で、前記プローブを前記被接合部材から引き抜く引抜工程と、を含み、
    前記所定時間は、前記プローブ始点位置から前記プローブ終点位置へ前記プローブを移動させる際の移動速度で、該プローブが設けられているツールの先端面の外径分の距離を移動できる時間以上であり、
    前記終点位置回避工程では、前記接合予定部内で、前記プローブ終点位置から前記プローブ始点位置側へ所定距離戻り、該所定距離戻った位置を前記プローブ引抜位置とし、
    前記終点位置回避工程では、前記プローブ終点位置の該プローブを被接合部材側へわずかに押し込んでから、該プローブの押し込み量を維持しつつ、該プローブを前記プローブ引抜位置へ移動させる接合部材の製造方法。
  2. 請求項1に記載の接合部材の製造方法において、
    前記プローブ引抜位置で、所定時間だけ前記プローブを回転させる引抜位置滞留工程を含む接合部材の製造方法。
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