JP5308291B2 - 基板洗浄装置 - Google Patents
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Description
10 回転保持部
11 スピンベース
20 処理カップ
30 スプラッシュガード
50 ヘッド駆動部
60 洗浄ヘッド
61 筒状体
62 流路
64 吐出孔
66 流入口
67 流出口
72 高圧ポンプ
73 フィルター
76 ストップバルブ
80 液柱
90 制御部
W 基板
Claims (4)
- 基板に洗浄液を吐出して洗浄処理を行う基板洗浄装置であって、
基板を保持する保持手段と、
複数の吐出孔が穿設された洗浄ヘッドと、
前記洗浄ヘッドの内部に洗浄液を加圧供給する加圧手段と、
を備え、
前記複数の吐出孔のそれぞれの孔径は10μm以上15μm以下であり、
前記加圧手段によって洗浄液が加圧供給されているときの前記洗浄ヘッドの内部の液圧は1MPa以上10MPa以下であり、
前記保持手段に保持された基板と前記複数の吐出孔との洗浄処理時の距離は1mm以上10mm以下であることを特徴とする基板洗浄装置。 - 請求項1記載の基板洗浄装置において、
前記洗浄ヘッドに60個以上200個以下の吐出孔が穿設されることを特徴とする基板洗浄装置。 - 請求項1または請求項2記載の基板洗浄装置において、
前記洗浄ヘッドの内部を貫通して洗浄液の流路が設けられ、
前記複数の吐出孔は前記流路と連通し、
前記流路の流出口にはストップバルブが接続され、
洗浄処理時には、前記加圧手段によって前記流路の流入口から洗浄液を加圧供給しつつ前記ストップバルブを閉止することを特徴とする基板洗浄装置。 - 請求項3に記載の基板洗浄装置において、
前記保持手段に保持された基板の上方の処理位置とその上方から外れた待機位置との間で前記洗浄ヘッドを移動させるヘッド移動手段をさらに備え、
洗浄処理開始時に前記ヘッド移動手段によって前記処理位置に向けて移動される前記洗浄ヘッドが前記保持手段に保持された基板の洗浄領域に到達する前に前記ストップバルブを閉止することを特徴とする基板洗浄装置。
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