JP4318295B2 - 基板洗浄方法及び基板洗浄装置 - Google Patents
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Description
また、この発明の第3の基板洗浄方法は、 上記洗浄液と気体の混合流体を吐出可能なノズルを、上記被処理基板の外方の待機位置から被処理基板上の回転中心位置方向へ移動し、 上記ノズルが上記被処理基板上の回転中心位置に至る間のいずれかの位置において、ノズルから上記気体のみを吐出させながらノズルを被処理基板上の処理手前位置まで移動し、 その後、洗浄液の供給を開始し、処理時の供給量に安定された上記洗浄液と気体を吐出させながら上記ノズルを上記被処理基板の回転中心位置より被処理基板の周縁方向へ移動した後、洗浄液と気体の吐出を停止する、ことを特徴とする(請求項3)。
この場合、上記洗浄液と気体の吐出の停止は、ノズルが被処理基板の周縁端手前で行われる方が好ましい(請求項4)。また、上記ノズルから気体のみの吐出を開始する位置を、処理手前位置の上方位置であり、洗浄液と気体を吐出させる際のノズル高さよりも高くしてもよい(請求項5)。また、上記ノズルから気体のみの吐出を開始する位置を、上記被処理基板の回転中心位置の上方位置であり、洗浄液と気体を吐出させる際のノズル高さよりも高くしてもよい(請求項6)。
この発明の第3の基板洗浄装置は、第3の基板洗浄方法を具現化するもので、 上記被処理基板を回転可能に保持する保持手段と、 上記保持手段を回転する回転手段と、 上記洗浄液と気体の混合流体を吐出可能なノズルと、 上記ノズルを移動するノズル移動手段と、 上記ノズルと洗浄液供給源とを接続する洗浄液供給管路に介設される洗浄液用開閉弁と、 上記ノズルと気体供給源とを接続する気体供給管路に介設される気体用開閉弁と、 上記回転手段、ノズル移動手段、洗浄液用開閉弁及び気体用開閉弁に制御信号を伝達する制御手段と、を具備し、 上記制御手段は、上記ノズルが上記被処理体上の回転中心位置に至る間のいずれかの位置において、ノズルから上記気体のみを吐出させながらノズルを被処理基板上の回転中心位置まで移動し、その後、洗浄液の供給を開始し、処理時の供給量に安定された上記洗浄液と気体を吐出させながら上記ノズルを上記被処理基板の回転中心位置より被処理基板の周縁方向へ移動した後、洗浄液と気体の吐出を停止するように制御可能に形成される、ことを特徴とする(請求項11)。
この場合、上記制御手段により制御される洗浄液と気体の吐出の停止位置を、ノズルが被処理基板の周縁端手前とする方が好ましい(請求項12)。また、上記制御手段により制御されるノズルから気体のみの吐出を開始する位置を、処理手前位置の上方位置であり、洗浄液と気体を吐出させる際のノズル高さよりも高くしてもよい(請求項13)。また、上記ノズルから気体のみの吐出を開始する位置を、上記被処理基板の回転中心位置の上方位置であり、洗浄液と気体を吐出させる際のノズル高さよりも高くしてもよい(請求項14)。
図1は、上記洗浄装置の第1実施形態を示す概略構成図、図2は、上記洗浄装置の概略平面図、図3は、上記洗浄装置における洗浄液と気体の配管図である。
図6は、この発明に係る洗浄装置の第2実施形態を示す概略構成図、図7は、第2実施形態の洗浄装置における洗浄液と気体の配管図である。
上記実施形態では、この発明に係る洗浄装置を上はWの洗浄装置に適用する場合について説明したが、ウエハW以外に例えばLCD基板の洗浄にも適用できることは勿論である。
2 モータ(回転手段)
4 ノズル
5 ノズル移動手段
10 洗浄液供給管路
11 洗浄液制御部
13 洗浄液用開閉弁
14 サックバック弁
20 気体供給管路
21 気体制御部
23 気体用開閉弁
24 マスフローコントローラ(流量制御手段)
30 CPU(制御手段)
C0 ノズル待機位置
C1 回転中心位置(処理開始位置)
C2 処理手前位置
C3 周縁端内側位置
W 半導体ウエハ(被処理基板)
Claims (15)
- 回転する被処理基板の表面に対して洗浄液と気体の混合流体を吐出して洗浄処理を施す基板洗浄方法において、
上記洗浄液と気体の混合流体を吐出可能なノズルを、上記被処理基板の外方の待機位置から被処理基板の回転中心より偏倚した処理手前位置に移動し、
上記処理手前位置において、上記ノズルから上記気体の流量を処理時の供給量より少ない流量から増大させるように制御して吐出すると共に、洗浄液を吐出し、その状態で、上記ノズルを被処理基板の回転中心位置へ移動する間に、洗浄液と気体の混合流体の吐出量を処理時の供給量に安定させ、
その後、処理時の供給量で上記洗浄液と気体を吐出させながら上記ノズルを上記被処理基板の周縁方向へ移動した後、洗浄液と気体の吐出を停止する、ことを特徴とする基板洗浄方法。 - 回転する被処理基板の表面に対して洗浄液と気体の混合流体を吐出して洗浄処理を施す基板洗浄方法において、
上記洗浄液と気体の混合流体を吐出可能なノズルを、上記被処理基板の外方の待機位置から被処理基板上の回転中心より偏倚した処理手前位置方向へ移動し、
上記ノズルが上記被処理基板上の処理手前位置に至る間のいずれかの位置において、ノズルから上記気体のみを吐出させながらノズルを被処理基板上の処理手前位置まで移動し、
その後、洗浄液の供給を開始し、処理時の供給量に安定された上記洗浄液と気体を吐出させながら上記ノズルを上記被処理基板の回転中心位置より被処理基板の周縁方向へ移動した後、洗浄液と気体の吐出を停止する、ことを特徴とする基板洗浄方法。 - 回転する被処理基板の表面に対して洗浄液と気体の混合流体を吐出して洗浄処理を施す基板洗浄方法において、
上記洗浄液と気体の混合流体を吐出可能なノズルを、上記被処理基板の外方の待機位置から被処理基板上の回転中心位置方向へ移動し、
上記ノズルが上記被処理基板上の回転中心位置に至る間のいずれかの位置において、ノズルから上記気体のみを吐出させながらノズルを被処理基板上の回転中心位置まで移動し、
その後、洗浄液の供給を開始し、処理時の供給量に安定された上記洗浄液と気体を吐出させながら上記ノズルを上記被処理基板の回転中心位置より被処理基板の周縁方向へ移動した後、洗浄液と気体の吐出を停止する、ことを特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項1ないし3のいずれかに記載の基板洗浄方法において、
上記洗浄液と気体の吐出の停止は、ノズルが被処理基板の周縁端手前で行われることを特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項2記載の基板洗浄方法において、
上記ノズルから気体のみの吐出を開始する位置が、処理手前位置の上方位置であり、洗浄液と気体を吐出させる際のノズル高さよりも高いことを特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項3記載の基板洗浄方法において、
上記ノズルから気体のみの吐出を開始する位置が、上記被処理基板の回転中心位置の上方位置であり、洗浄液と気体を吐出させる際のノズル高さよりも高いことを特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項1ないし6のいずれかに記載の基板洗浄方法において、
上記ノズルを、被処理基板の回転中心と周縁端手前との間を複数回移動して洗浄を繰り返す、ことを特徴とする基板洗浄方法。 - 請求項1ないし7のいずれかに記載の基板洗浄方法において、
上記ノズルからの洗浄液と気体の吐出を停止した後、サックバックによりノズル先端部の洗浄液をノズル内部に吸引する、ことを特徴とする基板洗浄方法。 - 回転する被処理基板の表面に対して洗浄液と気体の混合流体を吐出して洗浄処理を施す基板洗浄装置において、
上記被処理基板を回転可能に保持する保持手段と、
上記保持手段を回転する回転手段と、
上記洗浄液と気体の混合流体を吐出可能なノズルと、
上記ノズルを移動するノズル移動手段と、
上記ノズルと洗浄液供給源とを接続する洗浄液供給管路に介設される洗浄液用開閉弁と、
上記ノズルと気体供給源とを接続する気体供給管路に介設される気体用開閉弁及び流量制御手段と、
上記回転手段、ノズル移動手段、洗浄液用開閉弁、気体用開閉弁及び流量制御手段に制御信号を伝達する制御手段と、を具備し、
上記制御手段は、上記被処理基板の回転中心より偏倚した処理手前位置において、上記ノズルから上記気体の流量を処理時の供給量より少ない流量から増大させるように制御して吐出すると共に、洗浄液を吐出し、その状態で、上記ノズルを被処理基板の回転中心位置へ移動する間に、洗浄液と気体の混合流体の吐出量を処理時の供給量に安定させ、その後、処理時の供給量で上記洗浄液と気体を吐出させながら上記ノズルを上記被処理基板の周縁方向へ移動した後、洗浄液と気体の吐出を停止するように制御可能に形成される、ことを特徴とする基板洗浄装置。 - 回転する被処理基板の表面に対して洗浄液と気体の混合流体を吐出して洗浄処理を施す基板洗浄装置において、
上記被処理基板を回転可能に保持する保持手段と、
上記保持手段を回転する回転手段と、
上記洗浄液と気体の混合流体を吐出可能なノズルと、
上記ノズルを移動するノズル移動手段と、
上記ノズルと洗浄液供給源とを接続する洗浄液供給管路に介設される洗浄液用開閉弁と、
上記ノズルと気体供給源とを接続する気体供給管路に介設される気体用開閉弁と、
上記回転手段、ノズル移動手段、洗浄液用開閉弁及び気体用開閉弁に制御信号を伝達する制御手段と、を具備し、
上記制御手段は、上記ノズルが上記被処理基板上の回転中心より偏倚した処理手前位置に至る間のいずれかの位置において、ノズルから上記気体のみを吐出させながらノズルを被処理基板上の処理手前位置まで移動し、その後、洗浄液の供給を開始し、処理時の供給量に安定された上記洗浄液と気体を吐出させながら上記ノズルを上記被処理基板の回転中心位置より被処理基板の周縁方向へ移動した後、洗浄液と気体の吐出を停止するように制御可能に形成される、ことを特徴とする基板洗浄装置。 - 回転する被処理基板の表面に対して洗浄液と気体の混合流体を吐出して洗浄処理を施す基板洗浄装置において、
上記被処理基板を回転可能に保持する保持手段と、
上記保持手段を回転する回転手段と、
上記洗浄液と気体の混合流体を吐出可能なノズルと、
上記ノズルを移動するノズル移動手段と、
上記ノズルと洗浄液供給源とを接続する洗浄液供給管路に介設される洗浄液用開閉弁と、
上記ノズルと気体供給源とを接続する気体供給管路に介設される気体用開閉弁と、
上記回転手段、ノズル移動手段、洗浄液用開閉弁及び気体用開閉弁に制御信号を伝達する制御手段と、を具備し、
上記制御手段は、上記ノズルが上記被処理基板上の回転中心位置に至る間のいずれかの位置において、ノズルから上記気体のみを吐出させながらノズルを被処理基板上の回転中心位置まで移動し、その後、洗浄液の供給を開始し、処理時の供給量に安定された上記洗浄液と気体を吐出させながら上記ノズルを上記被処理基板の回転中心位置より被処理基板の周縁方向へ移動した後、洗浄液と気体の吐出を停止するように制御可能に形成される、ことを特徴とする基板洗浄装置。 - 請求項9ないし11のいずれかに記載の基板洗浄装置において、
上記制御手段により制御される洗浄液と気体の吐出の停止位置が、ノズルが被処理基板の周縁端手前であることを特徴とする基板洗浄装置。 - 請求項10記載の基板洗浄装置において、
上記制御手段により制御されるノズルから気体のみの吐出を開始する位置が、処理手前位置の上方位置であり、洗浄液と気体を吐出させる際のノズル高さよりも高い、ことを特徴とする基板洗浄装置。 - 請求項11記載の基板洗浄装置において、
上記制御手段により制御されるノズルから気体のみの吐出を開始する位置が、上記被処理基板の回転中心位置の上方位置であり、洗浄液と気体を吐出させる際のノズル高さよりも高い、ことを特徴とする基板洗浄装置。 - 請求項9ないし14のいずれかに記載の基板洗浄装置において、
上記気体供給管路に、更にサックバック弁を介設し、
上記制御手段は、更に上記サックバック弁によりノズル先端部の洗浄液をノズル内部に吸引するように形成される、ことを特徴とする基板洗浄装置。
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