JP5305853B2

JP5305853B2 - 給気システムおよび給気方法

Info

Publication number: JP5305853B2
Application number: JP2008294325A
Authority: JP
Inventors: 一樹中野; 雅一長谷川; 太朗山口; 洋二佐々木; 満高比良; 寿男笹木
Original assignee: Dai Dan Co Ltd
Current assignee: Dai Dan Co Ltd
Priority date: 2008-11-18
Filing date: 2008-11-18
Publication date: 2013-10-02
Anticipated expiration: 2028-11-18
Also published as: JP2010121817A

Description

本発明は、加湿空気における水分量を調節しつつ、その加湿空気を給気対象室に供給する給気システムおよび給気方法に関する。

電子デバイス工場には排気を有する設備が多く、その補償のために多量の外気をダクトを介して導入する。また、工場のクリーンルーム内を年間を通じて恒温恒湿に保つために、湿度の低い冬期には多量の加湿を行う必要がある。加湿方式には、制御性を考慮して蒸気加湿を採用するのが一般的である。一方、温度に関しては、クリーンルーム内の装置負荷が非常に大きいため、冬期においても冷房が必要になる場合が多い。冬期や中間期にはクリーンルームの冷却と蒸気加湿とが必要となり、冷却用の冷熱源と加湿用の温熱源（ボイラ）とを同時に運転する状況が生じる。このようなクリーンルームの加湿方式として、水加湿は極めて省エネルギー性の高い方式である。水が蒸発する際に気化熱を奪うため、冬期や中間期において従来必要であった、水を蒸気にするエネルギー（温熱）と空気を冷やすエネルギー（冷熱）との両方を減らすことができる。

水加湿で空気に含有させることが可能な水分量は、被加湿空気の温湿度によって異なる。水の蒸発の容易さは周囲環境の相対湿度に依存する。相対湿度が低いほど蒸発し易く、相対湿度が高くなると蒸発量は低下する。特に、被加湿空気の温度が低いときに含有させることができる水分量は少ない。そのため、外気の温度が低いときには空調機や外調機内でそのまま水加湿を行っても、必要な水分量を乗せることができないから、加湿前に被加湿空気を加熱する方法が採用されている。水加湿は、気化式と水噴霧式とに大別される。水噴霧式には超音波式や一流体噴霧式、二流対噴霧式、遠心式等があるが、電子デバイス工場に適した省蒸気や省エネルギー技術として二流体噴霧式が注目されている。二流体噴霧式では、所定の圧力の純水と圧縮空気とを噴射ノズルで混合し、水粒子を微細化することで、蒸発し易さを向上させている。

クリーンルームからの還気に水噴霧をする場合、水噴霧加湿量を可能な限り増やし、その分蒸気加湿量を減らすことが省エネルギーとＣＯ２排出量削減に有効である。噴霧する水の蒸発の容易さは、周囲環境の相対湿度に依存するが、噴霧量を増やして相対湿度が８０〜９０％に達すると、蒸発しきれない水分がダクトの内面に付着したり、一端蒸発した水分がダクト内面で凝縮することで、ダクト内面に濡れ（ドレン）が生じる。ダクト内面に濡れが多量に生じると、純水が無駄になるばかりではなく、ダクトの腐食やバクテリアの繁殖等の問題が生じる。また、相対湿度を測定する相対湿度センサは、一般的に濡れに弱く、高い湿度環境での使用に適さない。

二流体噴霧式を利用した加湿装置の一例として、二流体水噴射ノズルの圧縮空気量と水量とを調節して送気ダクトからクリーンルームに給気する空気を目標の湿度に保持することで、クリーンルームを所定の湿度に加湿する加湿装置がある（特許文献１参照）。この加湿装置では、水供給側の比例弁の開度に基づき、アナログ変換器によって空気供給側の比例弁の開度を決定するフィードフォワード制御を採用している。加湿装置は、水供給側の比例弁および空気供給側の比例弁の上流側に設置されてそれら比例弁の入口圧力を一定に保持する減圧弁と、クリーンルーム内の湿度と目標湿度との差を検出して水供給側の比例弁の開度を決定する湿度指示調節計とを備え、湿度指示調節計の出力をアナログ変換器によって変換し、水供給側の比例弁の開度に基づいて空気供給側の比例弁の開度を決定する。この加湿装置は、二流体水噴射ノズルの水量と圧縮空気量とを比例制御することで、二流体水噴射ノズルにおける水噴霧に必要な圧縮空気量を最低限に抑えることができる。
特開２００７−１３９４０３号公報

前記公報に開示の加湿装置は、要求された湿度の空気をクリーンルームに給気すべく二流体水噴射ノズルから送気ダクト内に所定量の水を噴霧するが、要求される空気の湿度によっては多量の水を噴霧する必要がある。二流体水噴射ノズルから送気ダクト内に多量の水を噴霧すると、蒸発しきれない水がノズルの下流側に延びる送気ダクトの内周面に水滴となって付着（結露）する場合がある。送気ダクトの内周面に濡れや結露が生じた場合は、二流体水噴射ノズルから噴霧された水のすべてが送気ダクト内において十分に蒸発しておらず、送気ダクト内の空気に結露の分だけ水蒸気が含まれない結果となり、送気ダクトからクリーンルームに給気される空気を目標の湿度に保持することができない。また、送気ダクトの内周面に濡れや結露が生じると、送気ダクトを腐食させ、ダクトの耐用年数を短縮させてしまう場合があるとともに、ダクト内面でバクテリアが繁殖する場合がある。

本発明の目的は、送気ダクト内で水噴霧式加湿を行う際、加湿ユニットの下流側に延びる送気ダクトの内周面における濡れや結露の発生を防止することができる給気システムおよび給気方法を提供することにある。本発明の他の目的は、目標の湿度の空気を給気対象室に給気することができる給気システムおよび給気方法を提供することにある。

前記課題を解決するための本発明の第１の前提は、給気対象室に空気を給気する送気ダクトと、送気ダクト内に所定量の水を噴霧する加湿ユニットと、加湿目標値に応じて加湿ユニットから噴霧する水量を調節する水量調節手段を有するコントローラとを備えた給気システムである。

前記第１の前提における本発明の給気システムの第１の特徴としては、給気システムが、加湿ユニットの下流側に延びる送気ダクトに接続されて該送気ダクトに外気を給気する外気ダクトを備え、コントローラが、加湿ユニットと外気ダクトとの間に延びる送気ダクト内の相対湿度を求めるとともに、外気ダクトの下流側に延びる送気ダクト内の相対湿度を求める需求手段を含み、水量調節手段では、需求手段によって求めたそれら相対湿度があらかじめ設定された制限値を超えないように加湿ユニットから噴霧する水量を調節することにある。

前記第１の特徴を有する給気システムの一例として、需求手段では、外気ダクトから給気される外気の温度、相対湿度と外気ダクトの下流側に延びる送気ダクト内の温度、相対湿度とを用い、外気に対する送気の風量比を利用して加湿ユニットの下流側であってかつ外気ダクトと送気ダクトとの接続部より上流側における相対湿度を求めている。

前記第１の前提における本発明の給気システムの第２の特徴としては、給気システムが、加湿ユニットの下流側に延びる送気ダクトに接続されて該送気ダクトに外気を給気する外気ダクトを備え、コントローラが、加湿ユニットの上流側に延びる送気ダクト内の温度、相対湿度と外気ダクトから給気される外気の温度、相対湿度と外気ダクトの下流側に延びる送気ダクト内の温度、相対湿度とを用いて加湿ユニットの下流側における相対湿度を求める需求手段を含み、水量調節手段では、需求手段によって求めた相対湿度があらかじめ設定された制限値を超えないように加湿ユニットから噴霧する水量を調節することにある。

前記課題を解決するための本発明の第２の前提は、給気対象室に空気を給気する送気ダクトと、送気ダクト内に所定量の水を噴霧する加湿ユニットと、加湿目標値に応じて加湿ユニットから噴霧する水量を調節するコントローラとを備えた給気方法である。

前記第２の前提における本発明の給気方法の特徴としては、給気方法が、加湿ユニットの下流側に延びる送気ダクトに接続された外気ダクトを備え、コントローラが、加湿ユニットと外気ダクトとの間に延びる送気ダクト内の相対湿度を求めるとともに、外気ダクトの下流側に延びる送気ダクト内の相対湿度を求め、求めたそれら相対湿度のうちの少なくとも一方が制限値を超えないように加湿ユニットから噴霧する水量を調節することにある。

本発明にかかる給気システムおよび給気方法によれば、加湿目標値に応じて加湿ユニットから噴霧する水量を調節しつつ、加湿ユニットの下流側における相対湿度があらかじめ設定された制限値を超えないように加湿ユニットから噴霧する水量を調節するから、加湿ユニットから噴霧する水量の供給過多を防ぐことができ、送気ダクトの内周面に対する濡れや結露の発生を防ぐことができる。給気システムおよび給気方法は、ダクト内面における濡れや結露の発生を防ぐことができるから、ダクトの腐食やダクト内面におけるバクテリアの繁殖を防ぐことができる。

給気システムおよび給気方法は、加湿ユニットと外気ダクトとの間に延びる送気ダクト内の相対湿度を求めるとともに、外気ダクトの下流側に延びる送気ダクト内の相対湿度を求め、加湿目標値に応じて加湿ユニットから噴霧する水量を調節しつつ、加湿ユニットと外気ダクトとの間に延びる送気ダクト内の相対湿度と外気ダクトの下流側に延びる送気ダクト内の相対湿度とのうちの少なくとも一方が制限値内にあるように噴霧水量を調節するから、加湿ユニットから噴霧する水量の供給過多を防ぐことができ、送気ダクトの内周面に対する濡れや結露の発生を確実に防ぐことができる。この給気システムおよび給気方法は、ダクト内面における濡れや結露の発生を防ぐことができるから、ダクトの腐食やダクト内面におけるバクテリアの繁殖を防ぐことができる。

給気システムは、加湿ユニットの上流側に延びる送気ダクト内の温度、相対湿度と外気ダクトから給気される外気の温度、相対湿度と外気ダクトの下流側に延びる送気ダクト内の温度、相対湿度とを用いて加湿ユニットの下流側における相対湿度を求めることで、加湿ユニットの下流側に相対湿度を測定するための相対湿度センサを配置することなく、空気線図を利用して加湿ユニットの下流側における相対湿度を求めることができるから、水分に弱い相対湿度センサを加湿ユニットの下流側に設置することによるその測定誤差をなくし、加湿目標値に応じて加湿ユニットから噴霧する水量を調節しつつ、加湿ユニットの下流側における送気ダクト内の相対湿度があらかじめ設定された制限値を超えないように加湿ユニットから噴霧する水量を調節することができる。この給気システムは、送気ダクト内の相対湿度が制限値内にあるように噴霧水量を調節するから、加湿ユニットから噴霧する水量の供給過多を防ぐことができ、送気ダクトの内周面に対する濡れや結露の発生を防ぐことができる。

給気システムは、外気ダクトから給気される外気の温度、相対湿度と外気ダクトの下流側に延びる送気ダクト内の温度、相対湿度とを用い、外気に対する送気の風量比を利用して加湿ユニットの下流側における相対湿度を求めることで、加湿ユニットの下流側に相対湿度を測定するための相対湿度センサを配置することなく、空気線図を利用して加湿ユニットの下流側における相対湿度を求めることができるから、水分に弱い相対湿度センサを加湿ユニットの下流側に設置することによるその測定誤差をなくし、加湿目標値に応じて加湿ユニットから噴霧する水量を調節しつつ、加湿ユニットの下流側における送気ダクト内の相対湿度があらかじめ設定された制限値を超えないように加湿ユニットから噴霧する水量を調節することができる。この給気システムは、送気ダクト内の相対湿度が制限値内にあるように噴霧水量を調節するから、加湿ユニットから噴霧する水量の供給過多を防ぐことができ、送気ダクトの内周面に対する濡れや結露の発生を防ぐことができる。

添付の図面を参照し、本発明にかかる給気システムおよび給気方法の詳細を説明すると、以下のとおりである。図１は、一例として示す給気システム１０Ａの構成図であり、図２は、空気線図を利用して相対湿度を求める需求手段の一例を説明する図である。図３は、コントローラ１５によって実行される水量変更の規則の一例を説明する図である。図２の空気線図では、横軸に乾球温度（℃）が表され、縦軸に絶対湿度（ｋｇ／ｋｇ）が表されている。なお、空気線図のうちの最上部に延びる曲線がエンタルピー曲線であり、エンタルピー曲線の直下に延びる曲線が相対湿度１００％のときの曲線（以下、相対湿度１００％曲線）であり、その下方に延びる複数の曲線が各相対湿度曲線である。図２では、相対湿度曲線の一部を省略している。

給気システム１０Ａは、送気ダクト１１、加湿ユニット１２、乾球温度測定第１センサ１３、露点温度測定第１センサ１４、コントローラ１５から形成されている。送気ダクト１１は、給気対象室１６から流出する還気１７を引き取り、還気１７に水分を加えた加湿空気１８を再び給気対象室１６に給気する。送気ダクト１１では、還気１７が加湿空気１８に変わる。送気ダクト１１には、図示はしていないが、還気１７や加湿空気１８を矢印Ｌ１で示す方向へ給気するファンが取り付けられている。なお、給気対象室１６に特に限定はなく、あらゆる室にこのシステム１０Ａを利用することができる。

加湿ユニット１２は、複数の噴射ノズル３６を有する。それらノズル３６には、水の供給を開始または停止する電磁弁１９が接続されている。加湿ユニット１２は、ノズル３６や電磁弁１９の他に、図示はしていないが、エアコンプレッサーやエアフィルター、オイルフィルター等から形成された駆動系、濾過器や圧力タンク等から形成された給水系を備えている。それら噴射ノズル３６は、送気ダクト１１の内部に設置されている。ユニット１２における加湿方式は、一流体ノズル方式や二流体ノズル方式、超音波方式、遠心式等の水噴霧方式を採用している。

加湿ユニット１２では、電磁弁１９を開くことで噴射ノズル３６から微細化された霧状の水を噴霧し、電磁弁１９を開く個数（開個数）を調節することで、ノズル３６から噴霧される水量を調節することができる。電磁弁１９は、インターフェイス２０（有線または無線）を介してコントローラ１５に接続されている。加湿ユニット１２によって送気ダクト１１内に所定量の水を噴霧することで、給気対象室１６から引き取った還気１７に湿気を与え、還気１７を加湿空気１８に変えることができる。

乾球温度測定第１センサ１３と露点温度測定第１センサ１４とは、加湿ユニット１２の下流側に延びる送気ダクト１１（加湿ユニット１２と給気対象室１６との間に延びる送気ダクト１１）に設置されている。乾球温度測定第１センサ１３と露点温度測定第１センサ１４とは、インターフェイス２１を介してコントローラ１５に接続されている。乾球温度測定第１センサ１３は、加湿空気１８の乾球温度を時系列に計測し、計測した乾球温度をコントローラ１５に出力する。露点温度測定第１センサ１４は、加湿空気１８の露点温度を時系列に計測し、計測した露点温度をコントローラ１５に出力する。

コントローラ１５は、中央処理部（ＣＰＵまたはＭＰＵ）とメモリとを備えたコンピュータである。コントローラ１５のメモリには、給気方法を実行するアプリケーションが格納され、さらに、空気線図、第１露点温度ＤＰ１および第１相対湿度ＲＨ１の目標値、待ち時間（たとえば、１０秒または２０秒）が格納されている。第１露点温度ＤＰ１の目標値（加湿目標値）や第１相対湿度ＲＨ１の目標値（制限値）は、給気対象室１６に給気する加湿空気１８の温度と相対湿度とに応じてあらかじめ定められており、所定の範囲で設定される。それらの目標値や待ち時間は、テンキーユニットやキーボード等の入力装置を介してコントローラ１５に入力される。なお、目標値や待ち時間は、任意に設定可能であり、いつでも自由に変更することができる。コントローラ１５は、加湿空気１８の第１露点温度ＤＰ１や第１相対湿度ＲＨ１を監視するとともに、電磁弁１９の開個数を監視しつつ、電磁弁１９の開個数をコントロールする。

コントローラ１５の中央処理部は、オペレーティングシステムによる制御に基づいて、メモリに格納されたアプリケーションを起動し、起動したアプリケーションに従って、以下の各手段を実行する。中央処理部は、乾球温度測定第１センサ１３から出力された乾球温度と露点温度測定第１センサ１４から出力された露点温度とに基づいて、加湿空気１８の第１露点温度ＤＰ１および第１相対湿度ＲＨ１を求める第１需求手段（需求手段）を実行する。中央処理部は、第１需求手段によって求めた第１露点温度ＤＰ１および第１相対湿度ＲＨ１に基づいて加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を調節する水量調節手段を実行する。

第１需求手段では、乾球温度測定第１センサ１３が所定の時間間隔で計測した複数の乾球温度の移動平均を算出し、それら乾球温度の移動平均を第１乾球温度ＤＢ１としている。その一例は以下のとおりである。たとえば１秒毎に乾球温度測定第１センサ１３が加湿空気１８の乾球温度を計測し、計測した乾球温度をコントローラ１５に１秒毎に出力する。コントローラ１５は、１０秒間分の乾球温度（１０個の乾球温度）を積算し、算出した積算値を乾球温度の総数（１０個）で除して平均値を求め、その平均値を第１乾球温度ＤＢ１とする。さらに、最初の乾球温度の計測値から未来に向かって１秒経過した後の乾球温度を最初としてそれから１０秒間分の乾球温度（１０個の乾球温度）を積算し、算出した積算値を乾球温度の総数（１０個）で除して平均値を求め、その平均値を第１乾球温度ＤＢ１とする。このように、未来に向かって単位時間ｎ個分だけ進んだときの積算値をｎ個で除して第１乾球温度ＤＢ１を算出し、第１乾球温度ＤＢ１の算出を未来に向かって所定の時間間隔で時系列に行う。この給気システム１０Ａは、第１乾球温度ＤＢ１として移動平均を採用することで、乾球温度を平均化しつつそれの計測誤差を少なくすることができる。

また、第１需求手段では、露点温度測定第１センサ１４が所定の時間間隔で計測した複数の露点温度の移動平均を算出し、それら露点温度の移動平均を第１露点温度ＤＰ１としている。その一例は以下のとおりである。たとえば１秒毎に露点温度測定第１センサ１４が加湿空気１８の露点温度を計測し、計測した露点温度をコントローラ１５に１秒毎に出力する。コントローラ１５は、１０秒間分の露点温度（１０個の露点温度）を積算し、算出した積算値を露点温度の総数（１０個）で除して平均値を求め、その平均値を第１露点温度ＤＰ１とする。さらに、最初の露点温度の計測値から未来に向かって１秒経過した後の露点温度を最初としてそれから１０秒間分の露点温度（１０個の露点温度）を積算し、算出した積算値を露点温度の総数（１０個）で除して平均値を求め、その平均値を第１露点温度ＤＰ１とする。このように、未来に向かって単位時間ｎ個分だけ進んだときの積算値をｎ個で除して第１露点温度ＤＰ１を算出し、第１露点温度ＤＰ１の算出を未来に向かって所定の時間間隔で時系列に行う。この給気システム１０Ａは、第１露点温度ＤＰ１として移動平均を採用することで、露点温度を平均化しつつそれの計測誤差を少なくすることができる。なお、第１需求手段における移動平均は、単純移動平均であるが、加重移動平均または指数平滑移動平均を採用することもできる。

第１需求手段では、算出した第１露点温度ＤＰ１と第１乾球温度ＤＢ１とを図２に示す空気線図に当て嵌めて第１相対湿度ＲＨ１を求める。空気線図は、乾球温度（℃）と露点温度（℃）と絶対湿度（ｋｇ／ｋｇ）と相対湿度（％）と比エンタルピー（ｋｃａｌ／ｋｇ）の相関関係を表している。ゆえに、露点温度、乾球温度、相対湿度、絶対湿度、比エンタルピーのうちの二つがわかれば、他の１つを空気線図から求めることができる。第１需求手段では、空気線図を利用し、算出した第１乾球温度ＤＢ１から縦方向へ第１線分Ｎ１を延ばし、算出した第１露点温度ＤＰ１から縦方向へ第２線分Ｎ２を延ばすとともに、相対湿度１００％曲線と第２線分Ｎ２との交点から横方向右方に第３線分Ｎ３を延ばし、第１線分Ｎ１と第３線分Ｎ３との交点における相対湿度曲線が示す第１相対湿度ＲＨ１を読み取る。この給気システム１０Ａは、第１露点温度ＤＰ１と第１乾球温度ＤＢ１とを所定の空気線図に当て嵌めて第１相対湿度ＲＨ１を求めるから、第１露点温度ＤＰ１と第１乾球温度ＤＢ１とから正確な第１相対湿度ＲＨ１を求めることができる。

水量調節手段では、図３に示すように、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値内にある場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量をそのまま維持し、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とがそれらの目標値未満である場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を増加させる。さらに、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過している場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を減少させる。

第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値内にあるとは、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのいずれか一方が目標値内にあり、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのいずれか他方が目標値未満である場合、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と双方が目標値内にある場合である。また、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過している場合とは、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのいずれか一方が目標値を超過し、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのいずれか他方が目標値内または目標値未満である場合、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値を超過している場合である。

図４は、コントローラ１５によって実行されるシステム運転の一例を説明するフローチャートであり、図５は、図４から続くフローチャートである。図４，５を参照しつつ、給気システム１０Ａの運転を説明すると以下のとおりである。給気システム１０Ａを起動すると、加湿ユニット１２、乾球温度測定第１センサ１３、露点温度測定第１センサ１４、コントローラ１５、ファンが稼動する。

コントローラ１５は、システム１０Ａの起動時に初期運転を行う（Ｓ−１０）。初期運転においてコントローラ１５は、あらかじめ設定された第１露点温度目標値および第１相対湿度目標値をメモリから抽出し、第１露点温度ＤＰ１や第１相対湿度ＲＨ１がそれらの目標値に合致するように、フィードバック制御を実行する。なお、それら目標値を変更する場合は、入力装置を介してコントローラ１５にあらたな第１露点温度目標値および第１相対湿度目標値を入力する。入力されたあらたな目標値は、コントローラ１５のメモリに格納される。コントローラ１５は、目標値が変更されると、変更された目標値を採用してシステム１０Ａの運転を行う。

システム１０Ａが起動すると、ファンによって給気対象室１６からの還気１７が送気ダクト１１に流入し、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から水が噴霧され、還気１７が加湿空気１８となって送気ダクト１１から給気対象室１６に給気される。システム１０Ａの起動時では、加湿ユニット１２につながる電磁弁１９の開個数が初期設定の個数で運転される。

システム１０Ａの運転中、乾球温度測定第１センサ１３が計測した加湿空気１８の乾球温度がコントローラ１５に入力され、露点温度測定第１センサ１４が計測した加湿空気１８の露点温度がコントローラ１５に入力される。コントローラ１５は、乾球温度の移動平均を算出して第１乾球温度ＤＢ１を求め、露点温度の移動平均を算出して第１露点温度ＤＰ１を求める（Ｓ−１１）。さらに、第１乾球温度ＤＢ１と第１露点温度ＤＰ１とを空気線図に当て嵌めて第１相対湿度ＲＨ１を求める（第１需要手段）（Ｓ−１２）。

コントローラ１５は、第１露点温度ＤＰ１と第１露点温度目標値とを比較し、第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較する。コントローラ１５は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあると判断すると、コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更することなく現状維持し、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量をそのまま維持する（水量調節手段）（Ｓ−１４）。コントローラ１５は、水量を維持した後、システム１０ＡのＯＮ／ＯＦＦスイッチによって運転を継続するかを判断する（Ｓ−１５）。システム１０ＡのスイッチがＯＮであるかぎり運転を継続し、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。システム１０ＡのスイッチがＯＦＦになると、コントローラ１５はシステム１０Ａの運転を停止する。

コントローラ１５は、ステップ１３（Ｓ−１３）において第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にないと判断すると、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満であるかを判断する（Ｓ−１６）。コントローラ１５は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満であると判断すると、待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−１７）、待ち時間が経過していると判断すると、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を増加させる（水量調節手段）（Ｓ−１８）。コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を初期設定のそれよりも増やし、ノズル３６から噴霧される水量を増やす。ノズル３６から噴霧される水量が増えると、還気１７に混入される水分の量が多くなり、加湿空気１８の湿度が運転当初よりも上昇する。

ステップ１７（Ｓ−１７）において待ち時間が経過していないと判断すると、コントローラ１５は、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。具体的には、先に求めた第１露点温度ＤＰ１と第１露点温度目標値とを比較するとともに、先に求めた第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較し、その第１露点温度ＤＰ１とその第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ノズル３６から噴霧する水量を増加させた後、コントローラ１５は、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。具体的には、湿度が上昇した加湿空気１８の乾球温度が乾球温度測定第１センサ１３によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力される。さらに、湿度が上昇した加湿空気１８の露点温度が露点温度測定第１センサ１４によって計測され、その露点温度がコントローラ１５に入力される。コントローラ１５は、乾球温度の移動平均を算出して第１乾球温度ＤＢ１を求め、露点温度の移動平均を算出して第１露点温度ＤＰ１を求める（Ｓ−１１）。さらに、第１乾球温度ＤＢ１と第１露点温度ＤＰ１とを空気線図に当て嵌めて第１相対湿度ＲＨ１を求める（第１需要手段）（Ｓ−１２）。次に、第１露点温度ＤＰ１と第１露点温度目標値とを比較するとともに、第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較し、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ノズル３６から噴霧する水量を増加させた後、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満であると判断すると、コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更後のそれよりもさらに増やし、ノズル３６から噴霧される水量を一層増加させる（水量調節手段）。この場合、コントローラ１５は、水量の増加を実施してから設定された待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−１７）、待ち時間が経過していない場合、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。待ち時間が経過している場合は直ちに水量の再増加を実施する（Ｓ−１８）。コントローラ１５は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内に入るまで、電磁弁１９の開個数を増やし、ノズル３６から噴霧する水量を増加させる。

ステップ１６（Ｓ−１６）においてコントローラ１５は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満でないと判断すると、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過しているかを判断する（Ｓ−１９）。第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過していると判断すると、コントローラ１５は、待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−２０）、待ち時間が経過していると判断すると、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を減少させる（水量調節手段）（Ｓ−２１）。コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更後のそれよりも少なくし、ノズル３６から噴霧される水量を減らす。ノズル３６から噴霧される水量が減ると、還気１７に混入される水分の量が少なくなり、加湿空気１８の湿度が下降する。

ステップ２０（Ｓ−２０）において待ち時間が経過していないと判断すると、コントローラ１５は、ノズル３６から噴霧する水量を減少させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。具体的には、先に求めた第１露点温度ＤＰ１と第１露点温度目標値とを比較するとともに、先に求めた第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較し、その第１露点温度ＤＰ１とその第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ノズル３６から噴霧する水量を減少させた後、コントローラ１５は、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。具体的には、湿度が下降した加湿空気１８の乾球温度が乾球温度測定第１センサ１３によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力される。さらに、湿度が下降した加湿空気１８の露点温度が露点温度測定第１センサ１４によって計測され、その露点温度がコントローラ１５に入力される。コントローラ１５は、乾球温度の移動平均を算出して第１乾球温度ＤＢ１を求め、露点温度の移動平均を算出して第１露点温度ＤＰ１を求める（Ｓ−１１）。さらに、第１乾球温度ＤＢ１と第１露点温度ＤＰ１とを空気線図に当て嵌めて第１相対湿度ＲＨ１を求める（第１需要手段）（Ｓ−１２）。次に、第１露点温度ＤＰ１と第１露点温度目標値とを比較するとともに、第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較し、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ノズル３６から噴霧する水量を減少させた後、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満であると判断すると、コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更後のそれよりも増やし、ノズル３６から噴霧される水量を増加させる（水量調節手段）。この場合、コントローラ１５は、水量の減少を実施してから設定された待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−１７）、待ち時間が経過していない場合、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。待ち時間が経過している場合は直ちに水量の再増加を実施する（Ｓ−１８）。コントローラ１５は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内に入るまで、電磁弁１９の開個数を増やし、ノズル３６から噴霧する水量を増加させる。

この給気システム１０Ａおよび給気方法は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値内にある場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量をそのまま維持し、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方が目標値未満であったとしても、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることはないから、目標湿度の加湿空気１８を給気対象室１６に給気しつつ、ノズル３６から噴霧する水量の供給過多を防ぐことができ、送気ダクト１１の内周面の濡れや内周面における結露の発生を防ぐことができる。

給気システム１０Ａおよび給気方法は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満である場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を増加させるから、目標湿度よりも低い状態にある加湿空気１８を直ちに目標湿度の加湿空気１８に変更することができ、目標湿度の加湿空気１８を給気対象室１６に確実に給気することができる。給気システム１０Ａおよび給気方法は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過している場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を減少させるから、ノズル３６から噴霧する水量の供給過多を直ちに修正することができ、送気ダクト１１の内周面の濡れや内周面における結露の発生を確実に防ぐことができる。

この給気システム１０Ａおよび給気方法は、加湿ユニット１２において水量の増減を実施してから所定の待ち時間経過後に、加湿ユニット１２において水量の再増減を実施するから、加湿空気１８の湿度が安定し、加湿空気１８を目標湿度の加湿空気１８に確実に変更することができる。給気システム１０Ａおよび給気方法は、目標の湿度を有する加湿空気１８を給気対象室１６に給気することができるから、給気対象室１６における乾燥を防止することができ、給気対象室１６の作業性が向上する。また、給気対象室１６における静電気の発生を抑制することができるから、引火、回路の静電破壊、ゴミの付着による回路破壊等を予防することができる。

図６は、他の一例として示す給気システム１０Ｂの構成図であり、図７は、空気線図を利用して相対湿度を求める需求手段の他の一例を説明する図である。図８は、コントローラ１５によって実行される水量変更の規則の他の一例を説明する図である。この給気システム１０Ｂおよび給気方法が図１のそれと異なるのは、図１の給気システム１０Ａの構成に加え、乾球温度測定第２センサ２２および露点温度測定第２センサ２３と外気ダクト２４とが含まれる点にあり、その他の構成は図１の給気システム１０Ａと同一であるから、図１と同一の符号を付すことで、この給気システム１０Ｂにおけるその他の構成の説明は省略する。

給気システム１０Ｂは、送気ダクト１１、加湿ユニット１２、外気ダクト２４、乾球温度測定第１センサ１３、露点温度測定第１センサ１４、乾球温度測定第２センサ２２、露点温度測定第２センサ２３、コントローラ１５から形成されている。送気ダクト１１は、給気対象室１６から流出する還気１７を引き取り、加湿空気１８に外気２５を混合した混合空気２６を再び給気対象室１６に給気する。送気ダクト１１では、還気１８が加湿空気１９に変わり、加湿空気１９と外気２０とが混合されて加湿空気１９が混合空気２１に変わる。送気ダクト１１には、図示はしていないが、還気１７や加湿空気１８、混合空気２６を矢印Ｌ１で示す方向へ給気するファンが取り付けられている。

外気ダクト２４は、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６の下流側に延びる送気ダクト１１（加湿ユニット１２と給気対象室１６との間に延びる送気ダクト１１）に連結されている。外気ダクト２４は、外気２５を取り入れ、その外気２５を送気ダクト１１内に給気する。外気ダクト２４には、図示はしていないが、外気２５を矢印Ｌ２で示す送気ダクト１１に向かって給気するファンが取り付けられている。送気ダクト１１と外気ダクト２４との連結箇所２７には、ミキシングチャンバー（図示せず）が取り付けられている。ミキシングチャンバーでは、外気ダクト２４から給気された外気２５と加湿空気１８とが混合され、混合空気２６が作られる。混合空気２６は、ミキシングチャンバーから送気ダクト１１を通って給気対象室１６に給気される。

乾球温度測定第２センサ２２と露点温度測定第２センサ２３とは、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６と外気ダクト２５（ミキシングチャンバー）との間に延びる送気ダクト１１に設置されている。乾球温度測定第２センサ２２と露点温度測定第２センサ２３とは、インターフェイス２８を介してコントローラ１５に接続されている。乾球温度測定第２センサ２２は、加湿空気１８の乾球温度を時系列に計測し、計測した乾球温度をコントローラ１５に出力する。露点温度測定第２センサ２３は、加湿空気１８の露点温度を時系列に計測し、計測した露点温度をコントローラ１５に出力する。

コントローラ１５のメモリには、空気線図、第１露点温度ＤＰ１の目標値（加湿目標値）、第１相対湿度ＲＨ１の目標値（制限値）、第２相対湿度ＲＨ２（制限値）の目標値、待ち時間（たとえば、１０秒または２０秒）が格納されている。第１露点温度ＤＰ１の目標値、第１相対湿度ＲＨ１の目標値、第２相対湿度ＲＨ２の目標値は、給気対象室１６に給気する混合空気２６の温度と相対湿度とに応じてあらかじめ定められており、所定の範囲で設定される。それらの目標値や待ち時間は、入力装置を介してコントローラ１５に入力される。なお、目標値や待ち時間は、任意に設定可能であり、いつでも自由に変更することができる。コントローラ１５は、混合空気２６の第１露点温度ＤＰ１や第１相対湿度ＲＨ１を監視し、加湿空気１８の第２相対湿度ＲＨ２を監視するとともに、電磁弁１９の開個数を監視しつつ、電磁弁１９の開個数をコントロールする。

コントローラ１５の中央処理部は、オペレーティングシステムによる制御に基づいて、メモリに格納されたアプリケーションを起動し、起動したアプリケーションに従って、以下の各手段を実行する。中央処理部は、乾球温度測定第１センサ１３から出力された乾球温度と露点温度測定第１センサ１４から出力された露点温度とに基づいて、混合空気２６の第１露点温度ＤＰ１および第１相対湿度ＲＨ１を求める第１需求手段（需求手段）を実行し、乾球温度測定第２センサ２２から出力された乾球温度と露点温度測定第２センサ２３から出力された露点温度とに基づいて、加湿空気１８の第２相対湿度ＲＨ２を求める第２需求手段（需求手段）を実行する。中央処理部は、第１需求手段によって求めた第１露点温度ＤＰ１および第１相対湿度ＲＨ１と第２需要手段によって求めた第２相対湿度ＲＨ２とに基づいて、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を調節する水量調節手段を実行する。

図１のシステム１０Ａと同様に、第１需求手段では、乾球温度測定第１センサ１３が所定の時間間隔で計測した複数の乾球温度の移動平均を算出し、それら乾球温度の移動平均を第１乾球温度ＤＢ１としている。また、第１需求手段では、露点温度測定第１センサ１４が所定の時間間隔で計測した複数の露点温度の移動平均を算出し、それら露点温度の移動平均を第１露点温度ＤＰ１としている。給気システム１０Ｂは、第１乾球温度ＤＢ１として移動平均を採用することで、乾球温度を平均化しつつそれの計測誤差を少なくすることができ、第１露点温度ＤＰ１として移動平均を採用することで、露点温度を平均化しつつそれの計測誤差を少なくすることができる。

第２需求手段では、乾球温度測定第２センサ２２が所定の時間間隔で計測した複数の乾球温度の移動平均を算出し、それら乾球温度の移動平均を第２乾球温度ＤＢ２としている。その一例は以下のとおりである。たとえば１秒毎に乾球温度測定第２センサ２２が加湿空気１８の乾球温度を計測し、計測した乾球温度をコントローラ１５に１秒毎に出力する。コントローラ１５は、１０秒間分の乾球温度（１０個の乾球温度）を積算し、算出した積算値を乾球温度の総数（１０個）で除して平均値を求め、その平均値を第２乾球温度ＤＢ２とする。さらに、最初の乾球温度の計測値から未来に向かって１秒経過した後の乾球温度を最初としてそれから１０秒間分の乾球温度（１０個の乾球温度）を積算し、算出した積算値を乾球温度の総数（１０個）で除して平均値を求め、その平均値を第２乾球温度ＤＢ２とする。このように、未来に向かって単位時間ｎ個分だけ進んだときの積算値をｎ個で除して第２乾球温度ＤＢ２を算出し、第２乾球温度ＤＢ２の算出を未来に向かって所定の時間間隔で時系列に行う。この給気システム１０Ｂは、第２乾球温度ＤＢ２として移動平均を採用することで、乾球温度を平均化しつつそれの計測誤差を少なくすることができる。

また、第２需求手段では、露点温度測定第２センサ２７が所定の時間間隔で計測した複数の露点温度の移動平均を算出し、それら露点温度の移動平均を第２露点温度ＤＰ２としている。その一例は以下のとおりである。たとえば１秒毎に露点温度測定第２センサ２３が加湿空気１８の露点温度を計測し、計測した露点温度をコントローラ１５に１秒毎に出力する。コントローラ１５は、１０秒間分の露点温度（１０個の露点温度）を積算し、算出した積算値を露点温度の総数（１０個）で除して平均値を求め、その平均値を第２露点温度ＤＰ２とする。さらに、最初の露点温度の計測値から未来に向かって１秒経過した後の露点温度を最初としてそれから１０秒間分の露点温度（１０個の露点温度）を積算し、算出した積算値を露点温度の総数（１０個）で除して平均値を求め、その平均値を第２露点温度ＤＰ２とする。このように、未来に向かって単位時間ｎ個分だけ進んだときの積算値をｎ個で除して第２露点温度ＤＰ２を算出し、第２露点温度ＤＰ２の算出を未来に向かって所定の時間間隔で時系列に行う。この給気システム１０Ｂは、第２露点温度ＤＰ２として移動平均を採用することで、露点温度を平均化しつつそれの計測誤差を少なくすることができる。なお、第２需求手段における移動平均は、単純移動平均であるが、加重移動平均または指数平滑移動平均を採用することもできる。

第１需求手段では、算出した第１露点温度ＤＰ１と第１乾球温度ＤＢ１とを図７に示す空気線図に当て嵌めて第１相対湿度ＲＨ１を求める。第１需求手段では、空気線図を利用し、算出した第１乾球温度ＤＢ１から縦方向へ第１線分Ｎ１を延ばし、算出した第１露点温度ＤＰ１から縦方向へ第２線分Ｎ２を延ばすとともに、相対湿度１００％曲線と第２線分Ｎ２との交点から横方向右方に第３線分Ｎ３を延ばし、第１線分Ｎ１と第３線分Ｎ３との交点における相対湿度曲線が示す第１相対湿度ＲＨ１を読み取る。この給気システム１０Ｂは、第１露点温度ＤＰ１と第１乾球温度ＤＢ１とを所定の空気線図に当て嵌めて第１相対湿度ＲＨ１を求めるから、第１露点温度ＤＰ１と第１乾球温度ＤＢ１とから正確な第１相対湿度ＲＨ１を求めることができる。

第２需求手段では、算出した第２露点温度ＤＰ２と第２乾球温度ＤＢ２とを図７に示す空気線図に当て嵌めて第２相対湿度ＲＨ２を求める。第２需求手段では、空気線図を利用し、算出した第２乾球温度ＤＢ２から縦方向へ第４線分Ｎ４を延ばし、算出した第２露点温度ＤＰ２から縦方向へ第５線分Ｎ５を延ばすとともに、相対湿度１００％曲線と第５線分Ｎ５との交点から横方向右方に第６線分Ｎ６を延ばし、第４線分Ｎ４と第６線分Ｎ６との交点における相対湿度曲線が示す第２相対湿度ＲＨ２を読み取る。この給気システム１０Ｂは、第２露点温度ＤＰ２と第２乾球温度ＤＢ２とを所定の空気線図に当て嵌めて第２相対湿度ＲＨ２を求めるから、第２露点温度ＤＰ２と第２乾球温度ＤＢ２とから正確な第２相対湿度ＲＨ２を求めることができる。

水量調節手段では、図８に示すように、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値内にある場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量をそのまま維持し、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とがそれらの目標値未満である場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を増加させる。さらに、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値を超過している場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を減少させる。

第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値内にあるとは、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのいずれか１つが目標値内にあり、他の２つが目標値未満である場合、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とうちの２つがそれらの目標値内にあり、他の１つが目標値未満である場合、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのすべてがそれらの目標値内にある場合である。

また、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値を超過している場合とは、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのいずれか１つが目標値を超過し、他の２つが目標値未満または目標値内である場合、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とうちの２つがそれらの目標値を超過し、他の１つが目標値未満または目標値内である場合、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのすべてがそれらの目標値を超過している場合である。

図９は、コントローラ１５によって実行されるシステム運転の他の一例を説明するフローチャートであり、図１０は、図９から続くフローチャートである。図９，１０を参照しつつ、給気システム１０Ｂの運転を説明すると以下のとおりである。給気システム１０Ｂを起動すると、加湿ユニット１２、乾球温度測定第１センサ１３、露点温度測定第１センサ１４、乾球温度測定第２センサ２２、露点温度測定第２センサ２３、コントローラ１５、ファンが稼動する。

コントローラ１５は、システム１０Ｂの起動時に初期運転を行う（Ｓ−１０）。初期運転においてコントローラ１５は、あらかじめ設定された第１露点温度目標値や第１相対湿度目標値、第２相対湿度目標値をメモリから抽出し、第１露点温度ＤＰ１や第１相対湿度ＲＨ１、第２相対湿度ＲＨ２がそれらの目標値に合致するように、フィードバック制御を実行する。なお、それら目標値を変更する場合は、入力装置を介してコントローラ１５にあらたな第１露点温度目標値や第１相対湿度目標値、第２相対湿度目標値を入力する。入力されたあらたな目標値は、コントローラ１５のメモリに格納される。コントローラ１５は、目標値が変更されると、変更された目標値を採用してシステム１０Ｂの運転を行う。

システム１０Ｂが起動すると、ファンによって給気対象室１６からの還気１７が送気ダクト１１に流入し、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から水が噴霧され、還気１８が加湿空気１８となってミキシングチャンバーに向かう。外気ダクト２４からの外気２５がミキシングチャンバーに流入し、ミキシングチャンバーにおいて加湿空気１８と外気２５とが混合され、混合空気２６となって送気ダクト１１から給気対象室１６に給気される。システム１０Ｂの起動時では、加湿ユニット１２につながる電磁弁２２の開個数が初期設定の個数で運転される。

システム１０Ｂの運転中、乾球温度測定第１センサ１３が計測した混合空気２６の乾球温度がコントローラ１５に入力され、露点温度測定第１センサ１４が計測した混合空気２６の露点温度がコントローラ１５に入力される。さらに、乾球温度測定第２センサ２２が計測した加湿空気２８の乾球温度２がコントローラ１５に入力され、露点温度測定第２センサ２３が計測した加湿空気１８の露点温度がコントローラ１５に入力される。

コントローラ１５は、混合空気２６の乾球温度の移動平均を算出して第１乾球温度ＤＢ１を求め、混合空気２６の露点温度の移動平均を算出して第１露点温度ＤＰ１を求める。さらに、加湿空気１８の乾球温度の移動平均を算出して第２乾球温度ＤＢ２を求め、加湿空気１８の露点温度の移動平均を算出して第２露点温度ＤＰ２を求める（Ｓ−１１）。コントローラ１５は、第１乾球温度ＤＢ１と第１露点温度ＤＰ１とを空気線図に当て嵌めて第１相対湿度ＲＨ１を求め（第１需要手段）、第２乾球温度ＤＢ２と第２露点温度ＤＰ２とを空気線図に当て嵌めて第２相対湿度ＲＨ２を求める（第２需要手段）（Ｓ−１２）。

コントローラ１５は、第１露点温度ＤＰ１と第１露点温度目標値とを比較し、第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較するとともに、第２相対湿度ＲＨ２と第２相対湿度目標値とを比較する。コントローラ１５は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値の範囲内にあると判断すると、コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更することなく現状維持し、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量をそのまま維持する（水量調節手段）（Ｓ−１４）。コントローラ１５は、水量を維持した後、システム１０ＢのＯＮ／ＯＦＦスイッチによって運転を継続するかを判断する（Ｓ−１５）。システム１０ＢのスイッチがＯＮであるかぎり運転を継続し、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。システム１０ＢのスイッチがＯＦＦになると、コントローラ１５はシステム１０Ｂの運転を停止する。

コントローラ１５は、ステップ１３（Ｓ−１３）において第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値の範囲内にないと判断すると、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのすべてがそれらの目標値未満であるかを判断する（Ｓ−１６）。コントローラ１５は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのすべてがそれらの目標値未満であると判断すると、待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−１７）、待ち時間が経過していると判断すると、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を増加させる（水量調節手段）（Ｓ−１８）。

コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を初期設定のそれよりも増やし、ノズル３６から噴霧される水量を増加させる。ノズル３６から噴霧される水量が増えると、還気１７に混入される水分の量が多くなり、加湿空気１８の湿度が運転当初よりも上昇する。湿度が上昇した加湿空気１８はミキシングチャンバーにおいて外気２５と混合される。加湿空気１８の湿度が上昇する結果、加湿空気１８と外気２５とを混合した混合空気２６の湿度も上昇する。

ステップ１７（Ｓ−１７）において待ち時間が経過していないと判断すると、コントローラ１５は、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。具体的には、先に求めた第１露点温度ＤＰ１と第１露点温度目標値とを比較し、先に求めた第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較するとともに、先に求めた第２相対湿度ＲＨ２と第２相対湿度目標値とを比較し、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ノズル３６から噴霧する水量を増加させた後、コントローラ１５は、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。具体的には、湿度が上昇した混合空気２６の乾球温度が乾球温度測定第１センサ１３によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力される。湿度が上昇した混合空気２６の露点温度が露点温度測定第１センサ１４によって計測され、その露点温度がコントローラ１５に入力される。さらに、湿度が上昇した加湿空気１８の乾球温度が乾球温度測定第２センサ２２によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力される。湿度が上昇した加湿空気１８の露点温度が露点温度測定第２センサ２３によって計測され、その露点温度がコントローラ１５に入力される。

コントローラ１５は、混合空気２６の乾球温度の移動平均を算出して第１乾球温度ＤＢ１を求め、混合空気２６の露点温度の移動平均を算出して第１露点温度ＤＰ１を求める。さらに、加湿空気１８の乾球温度の移動平均を算出して第２乾球温度ＤＢ２を求め、加湿空気１８の露点温度の移動平均を算出して第２露点温度ＤＰ２を求める（Ｓ−１１）。コントローラ１５は、第１乾球温度ＤＢ１と第１露点温度ＤＰ１とを空気線図に当て嵌めて第１相対湿度ＲＨ１を求め（第１需要手段）、第２乾球温度ＤＢ２と第２露点温度ＤＰ２とを空気線図に当て嵌めて第２相対湿度ＲＨ２を求める（第２需要手段）（Ｓ−１２）。次に、第１露点温度ＤＰ１と第１露点温度目標値とを比較し、第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較するとともに、第２相対湿度ＲＨ２と第２相対湿度目標値とを比較し、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ノズル３６から噴霧する水量を増加させた後、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのすべてがそれらの目標値未満であると判断すると、コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更後の開度よりもさらに増やし、ノズル３６から噴霧される水量を一層増加させる（水量調節手段）。この場合、コントローラ１５は、水量の増加を実施してから設定された待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−１７）、待ち時間が経過していない場合、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。待ち時間が経過している場合は直ちに水量の再増加を実施する（Ｓ−１８）。コントローラ１５は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値の範囲内に入るまで、電磁弁１９の開個数を増やし、ノズル３６から噴霧する水量を増加させる。

ステップ１６（Ｓ−１６）においてコントローラ１５は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのすべてがそれらの目標値未満でないと判断すると、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値を超過しているかを判断する（Ｓ−１９）。第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値を超過していると判断すると、コントローラ１５は、待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−２０）、待ち時間が経過していると判断すると、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を減少させる（水量調節手段）（Ｓ−２１）。

コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更後のそれよりも少なくし、ノズル３６から噴霧される水量を減少させる。ノズル３６から噴霧される水量が減ると、還気１７に混入される水分の量が少なくなり、加湿空気１８の湿度が下降する。湿度が下降した加湿空気１８はミキシングチャンバーにおいて外気２５と混合される。加湿空気１８の湿度が下降する結果、加湿空気１８と外気２５とを混合した混合空気２６の湿度も下降する。

ステップ２０（Ｓ−２０）において待ち時間が経過していないと判断すると、コントローラ１５は、ノズル３６から噴霧する減少を増加させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。具体的には、先に求めた第１露点温度ＤＰ１と第１露点温度目標値とを比較し、先に求めた第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較するとともに、先に求めた第２相対湿度ＲＨ２と第２相対湿度目標値とを比較し、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ノズル３６から噴霧する水量を減少させた後、コントローラ１５は、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。具体的には、湿度が下降した混合空気２６の乾球温度が乾球温度測定第１センサ１３によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力され、湿度が下降した混合空気２６の露点温度が露点温度測定第１センサ１４によって計測され、その露点温度がコントローラ１５に入力される。さらに、湿度が下降した加湿空気１８の乾球温度が乾球温度測定第２センサ２２によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力され、湿度が下降した加湿空気１８の露点温度が露点温度測定第２センサ２３によって計測され、その露点温度がコントローラ１５に入力される。

コントローラ１５は、混合空気２６の乾球温度の移動平均を算出して第１乾球温度ＤＢ１を求め、混合空気２６の露点温度の移動平均を算出して第１露点温度ＤＰ１を求めるとともに、加湿空気１８の乾球温度の移動平均を算出して第２乾球温度ＤＢ２を求め、加湿空気１８の露点温度の移動平均を算出して第２露点温度ＤＰ２を求める（Ｓ−１１）。さらに、第１乾球温度ＤＢ１と第１露点温度ＤＰ１とを空気線図に当て嵌めて第１相対湿度ＲＨ１を求め（第１需要手段）、第２乾球温度ＤＢ２と第２露点温度ＤＰ２とを空気線図に当て嵌めて第２相対湿度ＲＨ２を求める（第２需要手段）（Ｓ−１２）。次に、第１露点温度ＤＰ１と第１露点温度目標値とを比較し、第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較するとともに、第２相対湿度ＲＨ２と第２相対湿度目標値とを比較し、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ノズル３６から噴霧する水量を減少させた後、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのすべてがそれらの目標値未満であると判断すると、コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更後のそれよりも増やし、ノズル３６から噴霧される水量を増加させる（水量調節手段）。この場合、コントローラ１５は、水量の減少を実施してから設定された待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−１７）、待ち時間が経過していない場合、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。待ち時間が経過している場合は直ちに水量の再増加を実施する（Ｓ−１８）。コントローラ１５は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値の範囲内に入るまで、電磁弁１９の開個数を増やし、ノズル３６から噴霧する水量を増加させる。

この給気システム１０Ｂおよび給気方法は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値内にある場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量をそのまま維持し、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度とのうちの少なくとも１つが目標値未満であったとしても、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることはないから、目標湿度の混合空気２６を給気対象室１６に給気しつつ、ノズル３６から噴霧する水量の供給過多を防ぐことができ、送気ダクト１１の内周面の濡れや内周面における結露の発生を防ぐことができる。

給気システム１０Ｂおよび供給方法は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とがそれらの目標値未満である場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を増加させるから、目標湿度よりも低い状態にある混合空気２６を直ちに目標湿度の混合空気２６に変更することができ、目標湿度の混合空気２６を給気対象室１６に確実に給気することができる。給気システム１０Ｂおよび供給方法は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１と第２相対湿度ＲＨ２とのうちの少なくとも１つがそれらの目標値を超過している場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を減少させるから、ノズル３６から噴霧する水量の供給過多を直ちに修正することができ、送気ダクト１１の内周面の濡れや内周面における結露の発生を確実に防ぐことができる。

この給気システム１０Ｂおよび給気方法は、加湿ユニット２２において水量の増減を実施してから所定の待ち時間経過後に、加湿ユニット２２において水量の再増減を実施するから、混合空気２１の湿度が安定し、混合空気２１を目標湿度の混合空気２１に確実に変更することができる。給気システム１０Ｂおよび給気方法は、目標の湿度を有する混合空気２１を給気対象室１７に給気することができるから、給気対象室１７における乾燥を防止することができ、給気対象室１７の作業性が向上する。また、給気対象室１７における静電気の発生を抑制することができるから、引火、回路の静電破壊、ゴミの付着による回路破壊等を予防することができる。

図１１は、他の一例として示す給気システム１０Ｃの構成図であり、図１２は、空気線図を利用して相対湿度ＲＨ１を求める需求手段の一例を説明する図である。図１３は、コントローラ１５によって実行される水量変更の規則の他の一例を説明する図である。この給気システム１０Ｃおよび給気方法が図１のそれと異なるのは、送気ダクト１１に乾球温度測定第１センサ１３と露点温度測定第１センサ１４とが取り付けられておらず、それらセンサ１３，１４の替わりに乾球温度測定第３センサ３０と相対湿度測定第１センサ３１とが取り付けられている点にあり、その他の構成は図１の給気システム１０Ａと同一であるから、図１と同一の符号を付すことで、この給気システム１０Ｃにおけるその他の構成の説明は省略する。

給気システム１０Ｃは、送気ダクト１１、加湿ユニット１２、乾球温度測定第３センサ３０、相対湿度測定第１センサ３１、コントローラ１５から形成されている。送気ダクト１１は、給気対象室１６から流出する還気１７を引き取り、還気１７に水分を加えた加湿空気１８を再び給気対象室１６に給気する。送気ダクト１１では、還気１７が加湿空気１８に変わる。送気ダクト１１には、図示はしていないが、還気１７や加湿空気１８を矢印Ｌ１で示す方向へ給気するファンが取り付けられている。

乾球温度測定第３センサ３０と相対湿度測定第１センサ３１とは、加湿ユニット１２の上流側に延びる送気ダクト１１（給気対象室１６と加湿ユニット１２との間に延びる送気ダクト１１）に設置されている。乾球温度測定第３センサ３０と相対湿度測定第１センサ３１とは、インターフェイス３２を介してコントローラ１５に接続されている。乾球温度測定第３センサ３０は、還気１７の乾球温度を時系列に計測し、計測した乾球温度をコントローラ１５に出力する。相対湿度測定第１センサ３１は、還気１７の相対湿度を時系列に計測し、計測した相対湿度をコントローラ１５に出力する。なお、乾球温度測定第３センサ３０に替えて、露点温度測定第３センサを使用することもできる。この場合、露点温度測定第３センサは、還気１７の露点温度を時系列に計測し、計測した乾球温度をコントローラ１５に出力する。

コントローラ１５のメモリには、空気線図、第３乾球温度ＤＢ３の目標値（加湿目標値）、第１相対湿度ＲＨ１の目標値（制限値）、待ち時間（たとえば、１０秒または２０秒）、加湿ユニット１２の下流側（加湿ユニット１２と給気対象室１６との間に延びる送気ダクト１１）の第２絶対湿度ＤＡ２［ｋｇ／ｋｇ］を求める計算式が格納されている。第３乾球温度ＤＢ３の目標値、第１相対湿度ＲＨ１の目標値は、給気対象室１６に給気する加湿空気１８の湿度に応じてあらかじめ定められており、所定の範囲で設定される。それらの目標値や待ち時間は、入力装置を介してコントローラ１５に入力される。なお、目標値や待ち時間は、任意に設定可能であり、いつでも自由に変更することができる。コントローラ１５は、還気１７の第３乾球温度ＤＢ３や加湿空気の第１相対湿度ＲＨ１を監視し、電磁弁１９の開個数を監視しつつ、電磁弁１９の開個数をコントロールする。

コントローラ１５の中央処理部は、乾球温度測定第３センサ３０から出力された乾球温度［℃］、相対湿度測定第１センサ３１から出力された相対湿度［％］、加湿ユニット１２から噴霧する水の水量［ｋｇ／ｈ］、加湿ユニット１２を通過する風量［ｍ^３／ｈ］、加湿ユニット下流側の第１および第２絶対湿度ＤＡ１，ＤＡ２［ｋｇ／ｋｇ］、エンタルピー［ｋｃａｌ／ｋｇ］に基づいて、加湿ユニット下流側の加湿空気１８の第１相対湿度ＲＨ１を求める第３需求手段（需求手段）を実行する。中央処理部は、第３乾球温度ＤＢ３と第３需求手段によって求めた第１相対湿度ＲＨ１とに基づいて、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を調節する水量調節手段を実行する。なお、コントローラ１５は、加湿ユニット１２を通過する風量が固定ならば、その風量を使用し、加湿ユニット１２を通過する風量が可変ならば、たとえばファンのインバータの回転数からその風量を求める。水量は、加湿ユニット１２からコントローラ１５に出力される。

図１のシステム１０Ａと同様に、第３需求手段では、乾球温度測定第３センサ３０が所定の時間間隔で計測した複数の乾球温度の移動平均を算出し、それら乾球温度の移動平均を第３乾球温度ＤＢ３としている。また、第３需求手段では、相対湿度測定第１センサ３１が所定の時間間隔で計測した複数の相対湿度の移動平均を算出し、それら相対湿度の移動平均を第３相対湿度ＲＨ３としている。給気システム１０Ｂは、第３乾球温度ＤＢ３として移動平均を採用することで乾球温度を平均化しつつそれの計測誤差を少なくすることができ、第３相対湿度ＲＨ３として移動平均を採用することで、相対湿度を平均化しつつそれの計測誤差を少なくすることができる。

第３需求手段では、算出した第３乾球温度ＤＢ３と第３相対湿度ＲＨ３とを空気線図に当て嵌めて加湿ユニット１２の上流側の第１絶対湿度ＤＡ１を求める。具体的に、図１２に示すように、算出した第３乾球温度ＤＢ３［℃］から縦方向へ第１線分Ｎ１を延ばし、算出した第３相対湿度ＲＨ３とその第１線分Ｎ１との交点から横方向へ第２線分Ｎ２を延ばし、その第２線分Ｎ２が示す第１絶対湿度ＤＡ１［ｋｇ／ｋｇ］を読み取る。次に、計算式：｛水量／（風量／０．８３［ｍ^３／ｋｇ］空気容積）＋第１絶対湿度ＤＡ１｝によって加湿ユニット１２の下流側の第２絶対湿度ＤＡ２［ｋｇ／ｋｇ］を求める。求めた第３相対湿度ＲＨ３からエンタルピー曲線に向かって第３線分Ｎ３を延ばし、計算した第２絶対湿度ＤＡ２から横方向へ第４線分Ｎ４を延ばし、第３線分Ｎ３と第４線分Ｎ４との交点を求め、その交点における相対湿度を加湿ユニット１２の下流側の第１相対湿度ＲＨ１とする。

水量調節手段では、図１３に示すように、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値内にある場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量をそのまま維持し、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とがそれらの目標値未満である場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を増加させる。さらに、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過している場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を減少させる。

第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値内にあるとは、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのいずれか一方が目標値内にあり、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのいずれか他方が目標値未満である場合、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１と双方が目標値内にある場合である。また、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過している場合とは、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのいずれか一方が目標値を超過し、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのいずれか他方が目標値内または目標値未満である場合、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値を超過している場合である。

図１４は、コントローラ１５によって実行されるシステム運転の他の一例を説明するフローチャートであり、図１５は、図１４から続くフローチャートである。図１４，１５を参照しつつ、給気システム１０Ｃの運転を説明すると以下のとおりである。給気システム１０Ｃを起動すると、加湿ユニット１２、乾球温度測定第３センサ３０、相対湿度測定第１センサ３１、コントローラ１５、ファンが稼動する。コントローラ１５は、システム１０Ｃの起動時に初期運転を行う（Ｓ−１０）。初期運転においてコントローラ１５は、あらかじめ設定された第３乾球温度目標値および第１相対湿度目標値をメモリから抽出し、第３乾球温度ＤＢ３や第１相対湿度ＲＨ１がそれらの目標値に合致するように、フィードバック制御を実行する。

システム１０Ｃが起動すると、ファンによって給気対象室１６からの還気１７が送気ダクト１１に流入し、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から水が噴霧され、還気１７が加湿空気１８となって送気ダクト１１から給気対象室１６に給気される。システム１０Ｃの起動時では、加湿ユニット１２につながる電磁弁１９の開個数が初期設定の個数で運転される。

システム１０Ｃの運転中、乾球温度測定第３センサ３０が計測した還気１７の乾球温度がコントローラ１５に入力され、相対湿度測定第１センサ３１が計測した還気１７の相対湿度がコントローラ１５に入力される。コントローラ１５は、乾球温度の移動平均を算出して第３乾球温度ＤＢ３を求め、相対湿度の移動平均を算出して第３相対湿度ＲＨ３を求める（Ｓ−１１）。さらに、第３乾球温度ＤＢ３と第２相対湿度ＲＨ２とを空気線図に当て嵌めて第１絶対湿度ＤＡ１を求め、計算式によって第２絶対湿度ＤＡ２［ｋｇ／ｋｇ］を求めるとともに、求めた第３相対湿度ＲＨ３を空気線図に当て嵌めて第１相対湿度ＲＨ１を求める（第３需要手段）（Ｓ−１２）。

コントローラ１５は、第３乾球温度ＤＢ３と第３乾球温度目標値とを比較し、第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較する。コントローラ１５は、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあると判断すると、コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更することなく現状維持し、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量をそのまま維持する（水量調節手段）（Ｓ−１４）。コントローラ１５は、水量を維持した後、システム１０ＡのＯＮ／ＯＦＦスイッチによって運転を継続するかを判断する（Ｓ−１５）。システム１０ＡのスイッチがＯＮであるかぎり運転を継続し、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。システム１０ＡのスイッチがＯＦＦになると、コントローラ１５はシステム１０Ａの運転を停止する。

コントローラ１５は、ステップ１３（Ｓ−１３）において第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にないと判断すると、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満であるかを判断する（Ｓ−１６）。コントローラ１５は、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満であると判断すると、待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−１７）、待ち時間が経過していると判断すると、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を増加させる（水量調節手段）（Ｓ−１８）。コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を初期設定のそれよりも増やし、ノズル３６から噴霧される水量を増加させる。ノズル３６から噴霧される水量が増えると、還気１７に混入される水分の量が多くなり、加湿空気１８の湿度が運転当初よりも上昇する。

ステップ１７（Ｓ−１７）において待ち時間が経過していないと判断すると、コントローラ１５は、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。具体的には、先に求めた第３乾球温度ＤＢ３と第３乾球温度目標値とを比較するとともに、先に求めた第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較し、その第３乾球温度ＤＢ３とその第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ノズル３６から噴霧する水量を増加させた後、コントローラ１５は、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。具体的には、湿度が上昇した還気１７の乾球温度が乾球温度測定第３センサ３０によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力される。さらに、湿度が上昇した還気１７の相対湿度が相対湿度測定第１センサ３１によって計測され、その相対湿度がコントローラ１５に入力される。コントローラ１５は、乾球温度の移動平均を算出して第３乾球温度ＤＢ３を求め、相対湿度の移動平均を算出して第３相対湿度ＲＨ３を求める（Ｓ−１１）。さらに、空気線図と計算式とから第１相対湿度ＲＨ１を求める（第３需要手段）（Ｓ−１２）。次に、第３乾球温度ＤＢ３と第３乾球温度目標値とを比較するとともに、第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較し、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ノズル３６から噴霧する水量を増加させた後、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満であると判断すると、コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更後のそれよりもさらに増やし、ノズル３６から噴霧される水量を一層増加させる（水量調節手段）。この場合、コントローラ１５は、水量の増加を実施してから設定された待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−１７）、待ち時間が経過していない場合、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。待ち時間が経過している場合は直ちに水量の再増加を実施する（Ｓ−１８）。コントローラ１５は、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内に入るまで、電磁弁１９の開個数を増やし、ノズル３６から噴霧する水量を増加させる。

ステップ１６（Ｓ−１６）においてコントローラ１５は、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満でないと判断すると、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過しているかを判断する（Ｓ−１９）。第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過していると判断すると、コントローラ１５は、待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−２０）、待ち時間が経過していると判断すると、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を減少させる（水量調節手段）（Ｓ−２１）。コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更後のそれよりも少なくし、ノズル３６から噴霧される水量を減少させる。ノズル３６から噴霧される水量が減ると、還気１７に混入される水分の量が少なくなり、加湿空気１８の湿度が下降する。

ステップ２０（Ｓ−２０）において待ち時間が経過していないと判断すると、コントローラ１５は、ノズル３６から噴霧する水量を減少させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。具体的には、先に求めた第３乾球温度ＤＢ３と第３乾球温度目標値とを比較するとともに、先に求めた第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較し、その第３乾球温度ＤＢ３とその第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ノズル３６から噴霧する水量を減少させた後、コントローラ１５は、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。具体的には、湿度が下降した還気１７の乾球温度が乾球温度測定第３センサ３０によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力される。さらに、湿度が下降した還気の相対湿度が相対湿度測定第２センサ１４によって計測され、その相対湿度がコントローラ１５に入力される。コントローラ１５は、乾球温度の移動平均を算出して第３乾球温度ＤＢ３を求め、相対湿度の移動平均を算出して第３相対湿度ＲＨ３を求める（Ｓ−１１）。さらに、空気線図と計算式とから第１相対湿度ＲＨ１を求める（第３需要手段）（Ｓ−１２）。次に、第３乾球温度ＤＢ３と第３乾球温度目標値とを比較するとともに、第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較し、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ノズル３６から噴霧する水量を減少させた後、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満であると判断すると、コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更後のそれよりも増やし、ノズル３６から噴霧される水量を増加させる（水量調節手段）。この場合、コントローラ１５は、水量の減少を実施してから設定された待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−１７）、待ち時間が経過していない場合、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。待ち時間が経過している場合は直ちに水量の再増加を実施する（Ｓ−１８）。コントローラ１５は、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内に入るまで、電磁弁１９の開個数を増やし、ノズル３６から噴霧する水量を増加させる。

給気システム１０Ｃおよび給気方法は、加湿ユニット１２の下流側に相対湿度を測定するための相対湿度センサを配置することなく、空気線図や計算式を利用して加湿ユニット１２の下流側における第１相対湿度ＲＨ１を求めることができるから、水分に弱い相対湿度センサを加湿ユニット１２の下流側に設置することによるその測定誤差をなくし、加湿目標値（第３乾球温度目標値）に応じて加湿ユニット１２から噴霧する水量を調節しつつ、加湿ユニット１２の下流側における第１相対湿度ＲＨ１があらかじめ設定された第１相対湿度目標値（制限値）を超えないように加湿ユニット１２から噴霧する水量を調節することができる。

給気システム１０Ｃおよび給気方法は、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値内にある場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量をそのまま維持し、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方が目標値未満であったとしても、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることはないから、目標湿度の加湿空気１８を給気対象室１６に給気しつつ、ノズル３６から噴霧する水量の供給過多を防ぐことができ、送気ダクト１１の内周面の濡れや内周面における結露の発生を防ぐことができる。

給気システム１０Ｃおよび給気方法は、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満である場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を増加させるから、目標湿度よりも低い状態にある加湿空気１８を直ちに目標湿度の加湿空気１８に変更することができ、目標湿度の加湿空気１８を給気対象室１６に確実に給気することができる。給気システム１０Ｃおよび給気方法は、第３乾球温度ＤＢ３と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過している場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を減少させるから、ノズル３６から噴霧する水量の供給過多を直ちに修正することができ、送気ダクト１１の内周面の濡れや内周面における結露の発生を確実に防ぐことができる。

給気システム１０Ｃおよび給気方法は、加湿ユニット１２において水量の増減を実施してから所定の待ち時間経過後に、加湿ユニット１２において水量の再増減を実施するから、加湿空気１８の湿度が安定し、加湿空気１８を目標湿度の加湿空気１８に確実に変更することができる。給気システム１０Ｃおよび給気方法は、目標の湿度を有する加湿空気１８を給気対象室１６に給気することができるから、給気対象室１６における乾燥を防止することができ、給気対象室１６の作業性が向上する。また、給気対象室１６における静電気の発生を抑制することができるから、引火、回路の静電破壊、ゴミの付着による回路破壊等を予防することができる。

図１６は、他の一例として示す給気システム１０Ｄの構成図であり、図１７は、空気線図を利用して相対湿度ＲＨ１を求める需求手段の他の一例を説明する図である。なお、コントローラ１５によって実行される水量変更の規則は図１のシステム１０Ａのそれと同一であるから、図３を援用し、その図示は省略する。この給気システム１０Ｄおよび給気方法が図１のそれと異なるのは、送気ダクト１１に乾球温度測定第１センサ１３が取り付けられておらず、乾球温度測定第３センサ３０と相対湿度測定第１センサ３１とが取り付けられている点にあり、その他の構成は図１の給気システム１０Ａと同一であるから、図１と同一の符号を付すことで、この給気システム１０Ｄにおけるその他の構成の説明は省略する。

給気システム１０Ｄは、送気ダクト１１、加湿ユニット１２、露点温度測定第１センサ１４、乾球温度測定第３センサ３０、相対湿度測定第１センサ３１、コントローラ１５から形成されている。送気ダクト１１は、給気対象室１６から流出する還気１７を引き取り、還気１７に水分を加えた加湿空気１８を再び給気対象室１６に給気する。送気ダクト１１では、還気１７が加湿空気１８に変わる。送気ダクト１１には、図示はしていないが、還気１７や加湿空気１８を矢印Ｌ１で示す方向へ給気するファンが取り付けられている。

露点温度測定第１センサ１４は、加湿空気１８の露点温度を時系列に計測し、計測した露点温度をコントローラ１５に出力する。乾球温度測定第３センサ３０と相対湿度測定第１センサ３１とは、加湿ユニット１２の上流側に延びる送気ダクト１１（給気対象室１６と加湿ユニット１２との間に延びる送気ダクト１１）に設置されている。乾球温度測定第３センサ３０と相対湿度測定第１センサ３１とは、インターフェイス３２を介してコントローラ１５に接続されている。乾球温度測定第３センサ３０は、還気１７の乾球温度を時系列に計測し、計測した乾球温度をコントローラ１５に出力する。相対湿度測定第１センサ３１は、還気１７の相対湿度を時系列に計測し、計測した相対湿度をコントローラ１５に出力する。なお、乾球温度測定第３センサ３０に替えて、露点温度測定第３センサを使用することもできる。この場合、露点温度測定第３センサは、還気１７の露点温度を時系列に計測し、計測した露点温度をコントローラ１５に出力する。

コントローラ１５のメモリには、空気線図、第１露点温度ＤＰ１の目標値（加湿目標値）、第１相対湿度ＲＨ１の目標値（制限値）、待ち時間（たとえば、１０秒または２０秒）が格納されている。第１露点温度ＤＰ１の目標値、第１相対湿度ＲＨ１の目標値は、給気対象室１６に給気する加湿空気１８の湿度に応じてあらかじめ定められており、所定の範囲で設定される。それらの目標値や待ち時間は、入力装置を介してコントローラ１５に入力される。なお、目標値や待ち時間は、任意に設定可能であり、いつでも自由に変更することができる。コントローラ１５は、加湿空気の第１露点温度ＤＰ１や第１相対湿度ＲＨ１を監視し、電磁弁１９の開個数を監視しつつ、電磁弁１９の開個数をコントロールする。

コントローラ１５の中央処理部は、露点温度測定第１センサ１４から出力された露点温度［℃］、乾球温度測定第３センサ３０から出力された乾球温度［℃］、相対湿度測定第１センサ３１から出力された相対湿度［％］に基づいて、加湿ユニット下流側の加湿空気１８の第１相対湿度ＲＨ１を求める第４需求手段（需求手段）を実行する。中央処理部は、第１露点温度ＤＰ１と第４需求手段によって求めた第１相対湿度ＲＨ１とに基づいて、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を調節する水量調節手段を実行する。

図１，１０のシステム１０Ａ，１０Ｃと同様に、第３需求手段では、露点温度測定第１センサ１４が所定の時間間隔で計測した複数の露点温度の移動平均を算出し、それら露点温度の移動平均を第１露点温度ＤＰ１としている。また、第３需求手段では、乾球温度測定第３センサ３０が所定の時間間隔で計測した複数の乾球温度の移動平均を算出し、それら乾球温度の移動平均を第３乾球温度ＤＢ３としている。さらに、相対湿度測定第１センサ３１が所定の時間間隔で計測した複数の相対湿度の移動平均を算出し、それら相対湿度の移動平均を第３相対湿度ＲＨ３としている。

第４需求手段では、算出した第３乾球温度ＤＢ３と第３相対湿度ＲＨ３とを空気線図に当て嵌めて加湿ユニット１２の上流側のエンタルピー［ｋｃａｌ／ｋｇ］を求め、算出した第１露点温度ＤＰ１を空気線図に当て嵌めて加湿ユニット１２の下流側の第１相対湿度ＲＨ１１を求める。具体的に、図１７に示すように、算出した第３乾球温度ＤＢ３と第３相対湿度ＲＨ３との交点からエンタルピー曲線に向かって第１線分Ｎ１を延ばし、算出した第１露点温度ＤＰ１から縦方向へ第２線分Ｎ２を延ばすとともに第２線分Ｎ２と相対湿度１００％曲線との交点から横方向へ第３線分Ｎ３を延ばし、第１線分Ｎ１と第３線分Ｎ３との交点を求め、その交点における相対湿度を加湿ユニット１２の下流側の第１相対湿度ＲＨ１とする。

図１８は、コントローラ１５によって実行されるシステム運転の他の一例を説明するフローチャートであり、図１９は、図１８から続くフローチャートである。図１８，１９を参照しつつ、給気システム１０Ｄの運転を説明すると以下のとおりである。給気システム１０Ｄを起動すると、加湿ユニット１２、露点温度測定第１センサ１４、乾球温度測定第３センサ３０、相対湿度測定第１センサ３１、コントローラ１５、ファンが稼動する。コントローラ１５は、システム１０Ｄの起動時に初期運転を行う（Ｓ−１０）。初期運転においてコントローラ１５は、あらかじめ設定された第１露点温度目標値および第１相対湿度目標値をメモリから抽出し、第１露点温度ＤＰ１や第１相対湿度ＲＨ１がそれらの目標値に合致するように、フィードバック制御を実行する。

システム１０Ｄが起動すると、ファンによって給気対象室１６からの還気１７が送気ダクト１１に流入し、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から水が噴霧され、還気１７が加湿空気１８となって送気ダクト１１から給気対象室１６に給気される。システム１０Ｄの起動時では、加湿ユニット１２につながる電磁弁１９の開個数が初期設定の個数で運転される。

システム１０Ｄの運転中、露点温度測定第１センサ１４が計測した加湿空気１８の露点温度がコントローラ１５に入力され、乾球温度測定第３センサ３０が計測した還気１７の乾球温度がコントローラ１５に入力されるとともに、相対湿度測定第１センサ３１が計測した還気１７の相対湿度がコントローラ１５に入力される。コントローラ１５は、露点温度の移動平均を算出して第１露点温度ＤＰ１を求め、乾球温度の移動平均を算出して第３乾球温度ＤＢ３を求め、相対湿度の移動平均を算出して第３相対湿度ＲＨ３を求める（Ｓ−１１）。さらに、第１露点温度ＤＰ１と第３乾球温度ＤＢ３と第３相対湿度ＲＨ３とを空気線図に当て嵌めて第１相対湿度ＲＨ１を求める（第４需要手段）（Ｓ−１２）。

コントローラ１５は、ステップ１３（Ｓ−１３）において第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にないと判断すると、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満であるかを判断する（Ｓ−１６）。コントローラ１５は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満であると判断すると、待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−１７）、待ち時間が経過していると判断すると、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を増加させる（水量調節手段）（Ｓ−１８）。コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を初期設定のそれよりも増やし、ノズル３６から噴霧される水量を増加させる。ノズル３６から噴霧される水量が増えると、還気１７に混入される水分の量が多くなり、加湿空気１８の湿度が運転当初よりも上昇する。

ノズル３６から噴霧する水量を増加させた後、コントローラ１５は、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。具体的には、湿度が上昇した加湿空気１８の露点温度が露点温度測定第１センサ１４によって計測され、その露点温度がコントローラ１５に入力される。湿度が上昇した還気１７の乾球温度が乾球温度測定第３センサ３０によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力される。さらに、湿度が上昇した還気１７の相対湿度が相対湿度測定第１センサ３１によって計測され、その相対湿度がコントローラ１５に入力される。

コントローラ１５は、露点温度の移動平均を算出して第１露点温度ＤＰ１を求め、乾球温度の移動平均を算出して第３乾球温度ＤＢ３を求めるとともに、相対湿度の移動平均を算出して第３相対湿度ＲＨ３を求める（Ｓ−１１）。さらに、第１露点温度ＤＰ１と第３乾球温度ＤＢ３と第３相対湿度ＲＨ３とを空気線図に当て嵌めて第１相対湿度ＲＨ１を求める（第４需要手段）（Ｓ−１２）。次に、第１露点温度ＤＰ１と第１露点温度目標値とを比較するとともに、第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較し、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ステップ１６（Ｓ−１６）においてコントローラ１５は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満でないと判断すると、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過しているかを判断する（Ｓ−１９）。第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過していると判断すると、コントローラ１５は、待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−２０）、待ち時間が経過していると判断すると、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を減少させる（水量調節手段）（Ｓ−２１）。コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更後のそれよりも少なくし、ノズル３６から噴霧される水量を減少させる。ノズル３６から噴霧される水量が減ると、還気１７に混入される水分の量が少なくなり、加湿空気１８の湿度が下降する。

ノズル３６から噴霧する水量を減少させた後、コントローラ１５は、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。具体的には、湿度が下降した加湿空気１８の露点温度が露点温度測定第１センサ１４によって計測され、その露点温度がコントローラ１５に入力される。湿度が下降した還気１７の乾球温度が乾球温度測定第３センサ３０によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力される。さらに、湿度が下降した還気１７の相対湿度が相対湿度測定第１センサ３１によって計測され、その相対湿度がコントローラ１５に入力される。

給気システム１０Ｄおよび給気方法は、加湿ユニット１２の下流側に相対湿度を測定するための相対湿度センサを配置することなく、空気線図を利用して加湿ユニット１２の下流側における第１相対湿度ＲＨ１を求めることができるから、水分に弱い相対湿度センサを加湿ユニット１２の下流側に設置することによるその測定誤差をなくし、加湿目標値（第１露点温度目標値）に応じて加湿ユニット１２から噴霧する水量を調節しつつ、加湿ユニット１２の下流側における第１相対湿度ＲＨ１があらかじめ設定された第１相対湿度目標値（制限値）を超えないように加湿ユニット１２から噴霧する水量を調節することができる。

給気システム１０Ｄおよび給気方法は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値内にある場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量をそのまま維持し、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方が目標値未満であったとしても、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることはないから、目標湿度の加湿空気１８を給気対象室１６に給気しつつ、ノズル３６から噴霧する水量の供給過多を防ぐことができ、送気ダクト１１の内周面の濡れや内周面における結露の発生を防ぐことができる。

給気システム１０Ｄおよび給気方法は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満である場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を増加させるから、目標湿度よりも低い状態にある加湿空気１８を直ちに目標湿度の加湿空気１８に変更することができ、目標湿度の加湿空気１８を給気対象室１６に確実に給気することができる。給気システム１０Ｄおよび給気方法は、第１露点温度ＤＰ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過している場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を減少させるから、ノズル３６から噴霧する水量の供給過多を直ちに修正することができ、送気ダクト１１の内周面の濡れや内周面における結露の発生を確実に防ぐことができる。

給気システム１０Ｄおよび給気方法は、加湿ユニット１２において水量の増減を実施してから所定の待ち時間経過後に、加湿ユニット１２において水量の再増減を実施するから、加湿空気１８の湿度が安定し、加湿空気１８を目標湿度の加湿空気１８に確実に変更することができる。給気システム１０Ｄおよび給気方法は、目標の湿度を有する加湿空気１８を給気対象室１６に給気することができるから、給気対象室１６における乾燥を防止することができ、給気対象室１６の作業性が向上する。また、給気対象室１６における静電気の発生を抑制することができるから、引火、回路の静電破壊、ゴミの付着による回路破壊等を予防することができる。

図２０は、他の一例として示す給気システム１０Ｅの構成図であり、図２１は、空気線図を利用して相対湿度ＲＨ１を求める需求手段の他の一例を説明する図である。図２２は、コントローラ１５によって実行される水量変更の規則の他の一例を説明する図である。この給気システム１０Ｅおよび給気方法が図１のそれと異なるのは、送気ダクト１１に露点温度測定第１センサ１４が取り付けられておらず、露点温度測定第１センサ１４の替わりに相対湿度測定第２センサ３３が取り付けられ、乾球温度測定第３センサ３０と相対湿度測定第１センサ３１とが取り付けられている点、さらに、外気ダクト２４が含まれ、その外気ダクト２４に乾球温度測定第４センサ３４と相対湿度測定第３センサ３５とが取り付けられている点にあり、その他の構成は図１の給気システム１０Ａと同一であるから、図１と同一の符号を付すことで、この給気システム１０Ｅにおけるその他の構成の説明は省略する。

給気システム１０Ｅは、送気ダクト１１、加湿ユニット１２、外気ダクト２４、乾球温度測定第１センサ１３、相対湿度測定第２センサ３３、乾球温度測定第３センサ３０、相対湿度測定第１センサ３１、乾球温度測定第４センサ３４、相対湿度測定第３センサ３５、コントローラ１５から形成されている。送気ダクト１１は、給気対象室１６から流出する還気１７を引き取り、加湿空気１８に外気２５を混合した混合空気２６を再び給気対象室１６に給気する。送気ダクト１１では、還気１８が加湿空気１９に変わり、加湿空気１９と外気２０とが混合されて加湿空気１９が混合空気２１に変わる。送気ダクト１１には、図示はしていないが、還気１７や加湿空気１８、混合空気２６を矢印Ｌ１で示す方向へ給気するファンが取り付けられている。

乾球温度測定第１センサ１３と相対湿度測定第２センサ３３とは、外気ダクト２４（ミキシングチャンバー）の下流側に延びる送気ダクト１１に取り付けられている。乾球温度測定第１センサ１３と相対湿度測定第２センサ３３とは、インターフェイス２１を介してコントローラ１５に接続されている。乾球温度測定第１センサ１３は、混合空気２６の乾球温度を時系列に計測し、計測した乾球温度をコントローラ１５に出力する。相対湿度測定第２センサ３３は、混合空気２６の相対湿度を時系列に計測し、計測した相対湿度をコントローラ１５に出力する。なお、乾球温度測定第１センサ１３に替えて、露点温度測定第１センサを使用することもできる。この場合、露点温度測定第１センサは、混合空気２６の露点温度を時系列に計測し、計測した露点温度をコントローラ１５に出力する。

乾球温度測定第３センサ３０と相対湿度測定第１センサ３１とは、加湿ユニット１２の上流側に延びる送気ダクト１１（給気対象室１６と加湿ユニット１２との間に延びる送気ダクト１１）に設置されている。乾球温度測定第３センサ３０と相対湿度測定第１センサ３１とは、インターフェイス３２を介してコントローラ１５に接続されている。乾球温度測定第３センサ３０は、還気１７の乾球温度を時系列に計測し、計測した乾球温度をコントローラ１５に出力する。相対湿度測定第１センサ３１は、還気１７の相対湿度を時系列に計測し、計測した相対湿度をコントローラ１５に出力する。なお、乾球温度測定第３センサ３０に替えて、露点温度測定第３センサを使用することもできる。この場合、露点温度測定第３センサは、還気１７の露点温度を時系列に計測し、計測した露点温度をコントローラ１５に出力する。

乾球温度測定第４センサ３４と相対湿度測定第２センサ３５とは、外気ダクト２４に設置されている。乾球温度測定第４センサ３４と相対湿度測定第２センサ３５とは、インターフェイス３６を介してコントローラ１５に接続されている。乾球温度測定第４センサ３４は、外気２５の乾球温度を時系列に計測し、計測した乾球温度をコントローラ１５に出力する。相対湿度測定第２センサ３５は、外気２５の相対湿度を時系列に計測し、計測した相対湿度をコントローラ１５に出力する。なお、乾球温度測定第４センサ３４に替えて、露点温度測定第４センサを使用することもできる。露点温度測定第４センサは、外気２５の露点温度を時系列に計測し、計測した露点温度をコントローラ１５に出力する。

コントローラ１５のメモリには、空気線図、第１乾球温度ＤＢ１の目標値（加湿目標値）、第１相対湿度ＲＨ１の目標値（制限値）、待ち時間（たとえば、１０秒または２０秒）が格納されている。第１乾球温度ＤＢ１の目標値、第１相対湿度ＲＨ１の目標値は、給気対象室１６に給気する混合空気１８の湿度に応じてあらかじめ定められており、所定の範囲で設定される。それらの目標値や待ち時間は、入力装置を介してコントローラ１５に入力される。なお、目標値や待ち時間は、任意に設定可能であり、いつでも自由に変更することができる。コントローラ１５は、混合空気の第１乾球温度ＤＢ１や加湿空気の第１相対湿度ＲＨ１を監視し、電磁弁１９の開個数を監視しつつ、電磁弁１９の開個数をコントロールする。

コントローラ１５の中央処理部は、乾球温度測定第１センサ１３から出力された乾球温度［℃］、相対湿度測定第２センサ３３から出力された相対湿度［％］、乾球温度測定第３センサ３０から出力された乾球温度［℃］、相対湿度測定第１センサ３１から出力された相対湿度［％］、乾球温度測定第４センサ３４から出力された乾球温度［℃］、相対湿度測定第２センサ３５から出力された相対湿度［％］に基づいて、加湿ユニット下流側の加湿空気１８の第１相対湿度ＲＨ１を求める第５需求手段（需求手段）を実行する。中央処理部は、第１乾球温度ＤＢ１と第５需求手段によって求めた第１相対湿度ＲＨ１とに基づいて、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を調節する水量調節手段を実行する。

図１，１０のシステム１０Ａ，１０Ｃと同様に、第５需求手段では、乾球温度測定第１センサ１３が所定の時間間隔で計測した複数の乾球温度の移動平均を算出し、それら乾球温度の移動平均を第１乾球温度ＤＢ１とし、相対湿度測定第２センサ３３が所定の時間間隔で計測した複数の相対湿度の移動平均を算出し、それら相対湿度の移動平均を第４相対湿度ＲＨ４としている。乾球温度測定第３センサ３０が所定の時間間隔で計測した複数の乾球温度の移動平均を算出し、それら乾球温度の移動平均を第３乾球温度ＤＢ３とし、相対湿度測定第１センサ３１が所定の時間間隔で計測した複数の相対湿度の移動平均を算出し、それら相対湿度の移動平均を第３相対湿度ＲＨ３としている。さらに、第５需求手段では、乾球温度測定第４センサ３４が所定の時間間隔で計測した複数の乾球温度の移動平均を算出し、それら乾球温度の移動平均を第４乾球温度ＤＢ４とし、相対湿度測定第２センサ３５が所定の時間間隔で計測した複数の相対湿度の移動平均を算出し、それら相対湿度の移動平均を第５相対湿度ＲＨ５としている。

第５需求手段では、算出した第３乾球温度ＤＢ３と第３相対湿度ＲＨ３とを空気線図に当て嵌めて加湿ユニット１２の上流側のエンタルピー［ｋｃａｌ／ｋｇ］を求め、算出した第１乾球温度ＤＢ１、第４相対湿度ＲＨ４、第４乾球温度ＤＢ４、第５相対湿度ＲＨ５を空気線図に当て嵌めて加湿ユニット１２の下流側の第１相対湿度ＲＨ１１を求める。具体的に、図２１に示すように、算出した第３乾球温度ＤＢ３と第３相対湿度ＲＨ３との交点からエンタルピー曲線に向かって第１線分Ｎ１を延ばし、算出した第１乾球温度ＤＢ１および第４相対湿度ＲＨ４の交点と算出した第４乾球温度ＤＢ４および第５相対湿度ＲＨ５の交点とを第２線分Ｎ２で結び、さらに、第２線分Ｎ２を第１線分Ｎ１にまで延長して第１線分Ｎ１と第２延長線分Ｎ２´との交点を求め、その交点における相対湿度を加湿ユニット１２の下流側の第１相対湿度ＲＨ１とする。

水量調節手段では、図２２に示すように、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値内にある場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量をそのまま維持し、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とがそれらの目標値未満である場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を増加させる。さらに、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過している場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を減少させる。

図２３は、コントローラ１５によって実行されるシステム運転の他の一例を説明するフローチャートであり、図２４は、図２３から続くフローチャートである。図２３，２４を参照しつつ、給気システム１０Ｅの運転を説明すると以下のとおりである。給気システム１０Ｅを起動すると、加湿ユニット１２、乾球温度測定第１センサ１３、相対湿度測定第２センサ３３、乾球温度測定第３センサ３０、相対湿度測定第１センサ３１、乾球温度測定第４センサ３４、相対湿度測定第２センサ３５、コントローラ１５、ファンが稼動する。コントローラ１５は、システム１０Ｅの起動時に初期運転を行う（Ｓ−１０）。初期運転においてコントローラ１５は、あらかじめ設定された第１乾球温度目標値および第１相対湿度目標値をメモリから抽出し、第１乾球温度ＤＢ１や第１相対湿度ＲＨ１がそれらの目標値に合致するように、フィードバック制御を実行する。

システム１０Ｅが起動すると、ファンによって給気対象室１６からの還気１７が送気ダクト１１に流入し、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から水が噴霧され、還気１８が加湿空気１８となってミキシングチャンバーに向かう。外気ダクト２４からの外気２５がミキシングチャンバーに流入し、ミキシングチャンバーにおいて加湿空気１８と外気２５とが混合され、混合空気２６となって送気ダクト１１から給気対象室１６に給気される。システム１０Ｅの起動時では、加湿ユニット１２につながる電磁弁２２の開個数が初期設定の個数で運転される。

システム１０Ｅの運転中、乾球温度測定第１センサ１３が計測した混合空気２６の乾球温度がコントローラ１５に入力され、相対湿度測定第２センサ３３が計測した混合空気２６の相対湿度がコントローラ１５に入力される。乾球温度測定第３センサ３０が計測した還気１７の乾球温度がコントローラ１５に入力され、相対湿度測定第１センサ３１が計測した還気１７の相対湿度がコントローラ１５に入力される。さらに、乾球温度測定第４センサ３４が計測した外気２５の乾球温度がコントローラ１５に入力され、相対湿度測定第２センサ３５が計測した外気２５の相対湿度がコントローラ１５に入力される。

コントローラ１５は、乾球温度の移動平均を算出して第１乾球温度ＤＢ１を求め、相対湿度の移動平均を算出して第４相対湿度ＲＨ４を求めるとともに、乾球温度の移動平均を算出して第３乾球温度ＤＢ３を求める。さらに、相対湿度の移動平均を算出して第３相対湿度ＲＨ３を求め、乾球温度の移動平均を算出して第４乾球温度ＤＢ４を求めるとともに、相対湿度の移動平均を算出して第５相対湿度ＲＨ５を求める（Ｓ−１１）。コントローラ１５は、第１乾球温度ＤＢ１、第４相対湿度ＲＨ４、第３乾球温度ＤＢ３、第３相対湿度ＲＨ３、第４乾球温度ＤＢ４、第５相対湿度ＲＨ５を空気線図に当て嵌めて第１相対湿度ＲＨ１を求める（第５需要手段）（Ｓ−１２）。

コントローラ１５は、第１乾球温度ＤＢ１と第１乾球温度目標値とを比較し、第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較する。コントローラ１５は、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあると判断すると、コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更することなく現状維持し、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量をそのまま維持する（水量調節手段）（Ｓ−１４）。

コントローラ１５は、水量を維持した後、システム１０ＡのＯＮ／ＯＦＦスイッチによって運転を継続するかを判断する（Ｓ−１５）。システム１０ＡのスイッチがＯＮであるかぎり運転を継続し、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。システム１０ＡのスイッチがＯＦＦになると、コントローラ１５はシステム１０Ａの運転を停止する。

コントローラ１５は、ステップ１３（Ｓ−１３）において第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にないと判断すると、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満であるかを判断する（Ｓ−１６）。コントローラ１５は、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満であると判断すると、待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−１７）、待ち時間が経過していると判断すると、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を増加させる（水量調節手段）（Ｓ−１８）。コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を初期設定のそれよりも増やし、ノズル３６から噴霧される水量を増加させる。ノズル３６から噴霧される水量が増えると、還気１７に混入される水分の量が多くなり、加湿空気１８の湿度が運転当初よりも上昇する。

ステップ１７（Ｓ−１７）において待ち時間が経過していないと判断すると、コントローラ１５は、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。具体的には、先に求めた第１乾球温度ＤＢ１と第１乾球温度目標値とを比較するとともに、先に求めた第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較し、その第１乾球温度ＤＢ１とその第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ノズル３６から噴霧する水量を増加させた後、コントローラ１５は、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。具体的には、湿度が上昇した混合空気２６の乾球温度が乾球温度測定第１センサ１３によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力され、湿度が上昇した混合空気２６の相対湿度が相対湿度測定第２センサ３３によって計測され、その相対湿度がコントローラ１５に入力される。湿度が上昇した還気１７の乾球温度が乾球温度測定第３センサ３０によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力され、湿度が上昇した還気１７の相対湿度が相対湿度測定第１センサ３１によって計測され、その相対湿度がコントローラ１５に入力される。さらに、外気２５の乾球温度が乾球温度測定第４センサ３４によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力され、計測した外気２５の相対湿度が相対湿度測定第２センサ３５によって計測され、その相対湿度がコントローラ１５に入力される。

コントローラ１５は、乾球温度の移動平均を算出して第１乾球温度ＤＢ１を求め、相対湿度の移動平均を算出して第４相対湿度ＲＨ４を求めるとともに、乾球温度の移動平均を算出して第３乾球温度ＤＢ３を求める。さらに、相対湿度の移動平均を算出して第３相対湿度ＲＨ３を求め、乾球温度の移動平均を算出して第４乾球温度ＤＢ４を求めるとともに、相対湿度の移動平均を算出して第５相対湿度ＲＨ５を求める（Ｓ−１１）。コントローラ１５は、第１乾球温度ＤＢ１、第４相対湿度ＲＨ４、第３乾球温度ＤＢ３、第３相対湿度ＲＨ３、第４乾球温度ＤＢ４、第５相対湿度ＲＨ５を空気線図に当て嵌めて第１相対湿度ＲＨ１を求める（第５需要手段）（Ｓ−１２）。次に、第１乾球温度ＤＢ１と第１乾球温度目標値とを比較するとともに、第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較し、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ノズル３６から噴霧する水量を増加させた後、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満であると判断すると、コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更後のそれよりもさらに増やし、ノズル３６から噴霧される水量を一層増加させる（水量調節手段）。この場合、コントローラ１５は、水量の増加を実施してから設定された待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−１７）、待ち時間が経過していない場合、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。待ち時間が経過している場合は直ちに水量の再増加を実施する（Ｓ−１８）。コントローラ１５は、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内に入るまで、電磁弁１９の開個数を増やし、ノズル３６から噴霧する水量を増加させる。

ステップ１６（Ｓ−１６）においてコントローラ１５は、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満でないと判断すると、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過しているかを判断する（Ｓ−１９）。第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過していると判断すると、コントローラ１５は、待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−２０）、待ち時間が経過していると判断すると、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を減少させる（水量調節手段）（Ｓ−２１）。コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更後のそれよりも少なくし、ノズル３６から噴霧される水量を減少させる。ノズル３６から噴霧される水量が減ると、還気１７に混入される水分の量が少なくなり、加湿空気１８の湿度が下降する。

ステップ２０（Ｓ−２０）において待ち時間が経過していないと判断すると、コントローラ１５は、ノズル３６から噴霧する水量を減少させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。具体的には、先に求めた第１乾球温度ＤＢ１と第１露点温度目標値とを比較するとともに、先に求めた第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較し、その第１乾球温度ＤＢ１とその第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

ノズル３６から噴霧する水量を減少させた後、コントローラ１５は、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。具体的には、湿度が下降した混合空気２６の乾球温度が乾球温度測定第１センサ１３によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力され、湿度が下降した混合空気２６の相対湿度が相対湿度測定第２センサ３３によって計測され、その相対湿度がコントローラ１５に入力される。湿度が下降した還気１７の乾球温度が乾球温度測定第３センサ３０によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力され、湿度が下降した還気１７の相対湿度が相対湿度測定第１センサ３１によって計測され、その相対湿度がコントローラ１５に入力される。さらに、外気２５の乾球温度が乾球温度測定第４センサ３４によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力され、計測した外気２５の相対湿度が相対湿度測定第２センサ３５によって計測され、その相対湿度がコントローラ１５に入力される。

ノズル３６から噴霧する水量を減少させた後、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満であると判断すると、コントローラ１５は、電磁弁１９の開個数を変更後のそれよりも増やし、ノズル３６から噴霧される水量を増加させる（水量調節手段）。この場合、コントローラ１５は、水量の減少を実施してから設定された待ち時間が経過しているかを判断し（Ｓ−１７）、待ち時間が経過していない場合、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることなく、ステップ１３（Ｓ−１３）からの手順を繰り返す。待ち時間が経過している場合は直ちに水量の再増加を実施する（Ｓ−１８）。コントローラ１５は、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内に入るまで、電磁弁１９の開個数を増やし、ノズル３６から噴霧する水量を増加させる。

給気システム１０Ｅおよび給気方法は、加湿ユニット１２の下流側に相対湿度を測定するための相対湿度センサを配置することなく、空気線図を利用して加湿ユニット１２の下流側における第１相対湿度ＲＨ１を求めることができるから、水分に弱い相対湿度センサを加湿ユニット１２の下流側に設置することによるその測定誤差をなくし、加湿目標値（第１乾球温度目標値）に応じて加湿ユニット１２から噴霧する水量を調節しつつ、加湿ユニット１２の下流側における第１相対湿度ＲＨ１があらかじめ設定された第１相対湿度目標値（制限値）を超えないように加湿ユニット１２から噴霧する水量を調節することができる。

給気システム１０Ｅおよび給気方法は、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値内にある場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量をそのまま維持し、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方が目標値未満であったとしても、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることはないから、目標湿度の加湿空気１８を給気対象室１６に給気しつつ、ノズル３６から噴霧する水量の供給過多を防ぐことができ、送気ダクト１１の内周面の濡れや内周面における結露の発生を防ぐことができる。

給気システム１０Ｅおよび給気方法は、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満である場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を増加させるから、目標湿度よりも低い状態にある加湿空気１８を直ちに目標湿度の加湿空気１８に変更することができ、目標湿度の加湿空気１８を給気対象室１６に確実に給気することができる。給気システム１０Ｅおよび給気方法は、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過している場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を減少させるから、ノズル３６から噴霧する水量の供給過多を直ちに修正することができ、送気ダクト１１の内周面の濡れや内周面における結露の発生を確実に防ぐことができる。

給気システム１０Ｅおよび給気方法は、加湿ユニット１２において水量の増減を実施してから所定の待ち時間経過後に、加湿ユニット１２において水量の再増減を実施するから、加湿空気１８の湿度が安定し、加湿空気１８を目標湿度の加湿空気１８に確実に変更することができる。給気システム１０Ｅおよび給気方法は、目標の湿度を有する加湿空気１８を給気対象室１６に給気することができるから、給気対象室１６における乾燥を防止することができ、給気対象室１６の作業性が向上する。また、給気対象室１６における静電気の発生を抑制することができるから、引火、回路の静電破壊、ゴミの付着による回路破壊等を予防することができる。

図２５は、他の一例として示す給気システム１０Ｆの構成図であり、図２６は、空気線図を利用して相対湿度ＲＨ１を求める需求手段の他の一例を説明する図である。なお、コントローラ１５によって実行される水量変更の規則は図２０のシステム１０Ｅのそれと同一であるから、図２２を援用し、その図示は省略する。この給気システム１０Ｆおよび給気方法が図１のそれと異なるのは、送気ダクト１１に露点温度測定第１センサ１４が取り付けられておらず、露点温度測定第１センサ１４の替わりに相対湿度測定第４センサ３３が取り付けられている点、さらに、外気ダクト２４が含まれ、その外気ダクト２４に乾球温度測定第４センサ３４と相対湿度測定第２センサ３５とが取り付けられている点にあり、その他の構成は図１の給気システム１０Ａと同一であるから、図１と同一の符号を付すことで、この給気システム１０Ｆにおけるその他の構成の説明は省略する。

給気システム１０Ｆは、送気ダクト１１、加湿ユニット１２、外気ダクト２４、乾球温度測定第１センサ１３、相対湿度測定第４センサ３３、乾球温度測定第４センサ３４、相対湿度測定第２センサ３５、コントローラ１５から形成されている。送気ダクト１１は、給気対象室１６から流出する還気１７を引き取り、加湿空気１８に外気２５を混合した混合空気２６を再び給気対象室１６に給気する。送気ダクト１１では、還気１８が加湿空気１９に変わり、加湿空気１９と外気２０とが混合されて加湿空気１９が混合空気２１に変わる。送気ダクト１１には、図示はしていないが、還気１７や加湿空気１８、混合空気２６を矢印Ｌ１で示す方向へ給気するファンが取り付けられている。

乾球温度測定第４センサ３４と相対湿度測定第２センサ３５とは、外気ダクト２４に設置されている。乾球温度測定第４センサ３４と相対湿度測定第２センサ３５とは、インターフェイス３６を介してコントローラ１５に接続されている。乾球温度測定第４センサ３４は、外気２５の乾球温度を時系列に計測し、計測した乾球温度をコントローラ１５に出力する。相対湿度測定第２センサ３５は、外気２５の相対湿度を時系列に計測し、計測した相対湿度をコントローラ１５に出力する。なお、乾球温度測定第４センサ３４に替えて、露点温度測定第４センサを使用することもできる。この場合、露点温度測定第４センサは、外気２５の露点温度を時系列に計測し、計測した露点温度をコントローラ１５に出力する。

コントローラ１５の中央処理部は、乾球温度測定第１センサ１３から出力された乾球温度［℃］、相対湿度測定第２センサ３３から出力された相対湿度［％］、乾球温度測定第４センサ３４から出力された乾球温度［℃］、相対湿度測定第２センサ３５から出力された相対湿度［％］、加湿ユニット１２の上流側に延びる送気ダクト１１を通過する風量［ｍ^３／ｈ］、外気ダクト２４を通過する風量［ｍ^３／ｈ］に基づいて、加湿ユニット下流側の加湿空気１８の第１相対湿度ＲＨ１を求める第６需求手段（需求手段）を実行する。中央処理部は、第１乾球温度ＤＢ１と第６需求手段によって求めた第１相対湿度ＲＨ１とに基づいて、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を調節する水量調節手段を実行する。なお、コントローラ１５は、送気ダクト１１や外気ダクト２４を通過する風量が固定ならば、その風量を使用し、送気ダクト１１や外気ダクト２４を通過する風量が可変ならば、たとえばファンのインバータの回転数からその風量を求める。

図１，１９のシステム１０Ａ，１０Ｅと同様に、第６需求手段では、乾球温度測定第１センサ１３が所定の時間間隔で計測した複数の乾球温度の移動平均を算出し、それら乾球温度の移動平均を第１乾球温度ＤＢ１とし、相対湿度測定第２センサ３３が所定の時間間隔で計測した複数の相対湿度の移動平均を算出し、それら相対湿度の移動平均を第４相対湿度ＲＨ４としている。さらに、第６需求手段では、乾球温度測定第４センサ３４が所定の時間間隔で計測した複数の乾球温度の移動平均を算出し、それら乾球温度の移動平均を第４乾球温度ＤＢ４とし、相対湿度測定第２センサ３５が所定の時間間隔で計測した複数の相対湿度の移動平均を算出し、それら相対湿度の移動平均を第５相対湿度ＲＨ５としている。

第６需求手段では、算出した第１乾球温度ＤＢ１、第４相対湿度ＲＨ４、第４乾球温度ＤＢ４、第５相対湿度ＲＨ５を空気線図に当て嵌めて加湿ユニット１２の下流側の第１相対湿度ＲＨ１１を求める。具体的に、図２６に示すように、算出した第１乾球温度ＤＢ１および第４相対湿度ＲＨ４の交点と算出した第４乾球温度ＤＢ４および第５相対湿度ＲＨ５との交点とを第１線分Ｎ１で結び、加湿ユニット１２の上流側に延びる送気ダクト１１を通過する風量と外気ダクト２４を通過する風量との比を求め、第１線分Ｎ１の長さにその比を乗算して第２線分Ｎ２の長さを求める。次に、求めた長さの第２線分Ｎ２を第１線分Ｎ１の交点（第１乾球温度ＤＢ１と第４相対湿度ＲＨ４との交点）から延長し、第２線分Ｎ２のその延びた先端における点の相対湿度を加湿ユニット１２の下流側の第１相対湿度ＲＨ１とする。たとえば、第１線分Ｎ１の長さを（ｘ）、送気ダクト１１を通過する風量を（ａ）、外気ダクト２４を通過する風量（ｂ）、第２線分Ｎ２の長さを（ｙ）とすると、計算式：（ｙ）＝（ｘ）×（（ｂ）÷（ａ））で算出する。

図２７は、コントローラ１５によって実行されるシステム運転の他の一例を説明するフローチャートであり、図２８は、図２７から続くフローチャートである。図２７，２８を参照しつつ、給気システム１０Ｆの運転を説明すると以下のとおりである。給気システム１０Ｆを起動すると、加湿ユニット１２、乾球温度測定第１センサ１３、相対湿度測定第２センサ３３、乾球温度測定第４センサ３４、相対湿度測定第２センサ３５、コントローラ１５、ファンが稼動する。コントローラ１５は、システム１０Ｆの起動時に初期運転を行う（Ｓ−１０）。初期運転においてコントローラ１５は、あらかじめ設定された第１乾球温度目標値および第１相対湿度目標値をメモリから抽出し、第１乾球温度ＤＢ１や第１相対湿度ＲＨ１がそれらの目標値に合致するように、フィードバック制御を実行する。

システム１０Ｆが起動すると、ファンによって給気対象室１６からの還気１７が送気ダクト１１に流入し、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から水が噴霧され、還気１８が加湿空気１８となってミキシングチャンバーに向かう。外気ダクト２４からの外気２５がミキシングチャンバーに流入し、ミキシングチャンバーにおいて加湿空気１８と外気２５とが混合され、混合空気２６となって送気ダクト１１から給気対象室１６に給気される。システム１０Ｆの起動時では、加湿ユニット１２の電磁弁２２の開個数が初期設定の個数で運転される。

システム１０Ｆの運転中、乾球温度測定第１センサ１３が計測した混合空気２６の乾球温度がコントローラ１５に入力され、相対湿度測定第２センサ３３が計測した混合空気２６の相対湿度がコントローラ１５に入力される。さらに、乾球温度測定第４センサ３４が計測した外気２５の乾球温度がコントローラ１５に入力され、相対湿度測定第２センサ３５が計測した外気２５の相対湿度がコントローラ１５に入力される。

コントローラ１５は、乾球温度の移動平均を算出して第１乾球温度ＤＢ１を求め、相対湿度の移動平均を算出して第４相対湿度ＲＨ４を求める。さらに、乾球温度の移動平均を算出して第４乾球温度ＤＢ４を求め、相対湿度の移動平均を算出して第５相対湿度ＲＨ５を求める（Ｓ−１１）。コントローラ１５は、第１乾球温度ＤＢ１、第４相対湿度ＲＨ４、第４乾球温度ＤＢ４、第５相対湿度ＲＨ５を空気線図に当て嵌めるとともに、計算式：（ｙ）＝（ｘ）×（（ｂ）÷（ａ））によって第２線分Ｎ２の長さを求め、求めた長さの第２線分Ｎ２を第１線分Ｎ１の交点から延長し、第２線分Ｎ２のその延びた先端における点の第１相対湿度ＲＨ１を求める（第６需要手段）（Ｓ−１２）。

ノズル３６から噴霧する水量を増加させた後、コントローラ１５は、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。具体的には、湿度が上昇した混合空気２６の乾球温度が乾球温度測定第１センサ１３によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力され、湿度が上昇した混合空気２６の相対湿度が相対湿度測定第２センサ３３によって計測され、その相対湿度がコントローラ１５に入力される。外気２５の乾球温度が乾球温度測定第４センサ３４によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力され、計測した外気２５の相対湿度が相対湿度測定第２センサ３５によって計測され、その相対湿度がコントローラ１５に入力される。

コントローラ１５は、乾球温度の移動平均を算出して第１乾球温度ＤＢ１を求め、相対湿度の移動平均を算出して第４相対湿度ＲＨ４を求める。さらに、乾球温度の移動平均を算出して第４乾球温度ＤＢ４を求め、相対湿度の移動平均を算出して第５相対湿度ＲＨ５を求める（Ｓ−１１）。コントローラ１５は、第１乾球温度ＤＢ１、第４相対湿度ＲＨ４、第４乾球温度ＤＢ４、第５相対湿度ＲＨ５を空気線図に当て嵌めるとともに、前記計算式によって第２線分Ｎ２の長さを求め、求めた長さの第２線分Ｎ２を第１線分Ｎ１の交点から延長し、第１線分Ｎ１のその延びた先端における点の第１相対湿度ＲＨ１を求める（第６需要手段）（Ｓ−１２）。

ノズル３６から噴霧する水量を減少させた後、コントローラ１５は、ステップ１１（Ｓ−１１）からの手順を繰り返す。具体的には、湿度が下降した混合空気２６の乾球温度が乾球温度測定第１センサ１３によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力され、湿度が下降した混合空気２６の相対湿度が相対湿度測定第２センサ３３によって計測され、その相対湿度がコントローラ１５に入力される。さらに、外気２５の乾球温度が乾球温度測定第４センサ３４によって計測され、その乾球温度がコントローラ１５に入力され、計測した外気２５の相対湿度が相対湿度測定第２センサ３５によって計測され、その相対湿度がコントローラ１５に入力される。

コントローラ１５は、乾球温度の移動平均を算出して第１乾球温度ＤＢ１を求め、相対湿度の移動平均を算出して第４相対湿度ＲＨ４を求める。さらに、乾球温度の移動平均を算出して第４乾球温度ＤＢ４を求め、相対湿度の移動平均を算出して第５相対湿度ＲＨ５を求める（Ｓ−１１）。コントローラ１５は、第１乾球温度ＤＢ１、第４相対湿度ＲＨ４、第４乾球温度ＤＢ４、第５相対湿度ＲＨ５を空気線図に当て嵌めるとともに、前記計算式によって第２線分Ｎ２の長さを求め、求めた長さの第２線分Ｎ２を第１線分Ｎ１の交点から延長し、第２線分Ｎ２のその延びた先端における点の第１相対湿度ＲＨ１を求める（第６需要手段）（Ｓ−１２）。次に、第１乾球温度ＤＢ１と第１乾球温度目標値とを比較するとともに、第１相対湿度ＲＨ１と第１相対湿度目標値とを比較し、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値の範囲内にあるかを判断する（Ｓ−１３）。

給気システム１０Ｆおよび給気方法は、加湿ユニット１２の下流側に相対湿度を測定するための相対湿度センサを配置することなく、空気線図を利用して加湿ユニット１２の下流側における第１相対湿度ＲＨ１を求めることができるから、水分に弱い相対湿度センサを加湿ユニット１２の下流側に設置することによるその測定誤差をなくし、加湿目標値（第１乾球温度目標値）に応じて加湿ユニット１２から噴霧する水量を調節しつつ、加湿ユニット１２の下流側における第１相対湿度ＲＨ１があらかじめ設定された第１相対湿度目標値（制限値）を超えないように加湿ユニット１２から噴霧する水量を調節することができる。

給気システム１０Ｆおよび給気方法は、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値内にある場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量をそのまま維持し、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方が目標値未満であったとしても、ノズル３６から噴霧する水量を増加させることはないから、目標湿度の加湿空気１８を給気対象室１６に給気しつつ、ノズル３６から噴霧する水量の供給過多を防ぐことができ、送気ダクト１１の内周面の濡れや内周面における結露の発生を防ぐことができる。

給気システム１０Ｆおよび給気方法は、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１との双方がそれらの目標値未満である場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を増加させるから、目標湿度よりも低い状態にある加湿空気１８を直ちに目標湿度の加湿空気１８に変更することができ、目標湿度の加湿空気１８を給気対象室１６に確実に給気することができる。給気システム１０Ｆおよび給気方法は、第１乾球温度ＤＢ１と第１相対湿度ＲＨ１とのうちの少なくとも一方がそれらの目標値を超過している場合、加湿ユニット１２の噴射ノズル３６から噴霧する水量を減少させるから、ノズル３６から噴霧する水量の供給過多を直ちに修正することができ、送気ダクト１１の内周面の濡れや内周面における結露の発生を確実に防ぐことができる。

給気システム１０Ｆおよび給気方法は、加湿ユニット１２において水量の増減を実施してから所定の待ち時間経過後に、加湿ユニット１２において水量の再増減を実施するから、加湿空気１８の湿度が安定し、加湿空気１８を目標湿度の加湿空気１８に確実に変更することができる。給気システム１０Ｆおよび給気方法は、目標の湿度を有する加湿空気１８を給気対象室１６に給気することができるから、給気対象室１６における乾燥を防止することができ、給気対象室１６の作業性が向上する。また、給気対象室１６における静電気の発生を抑制することができるから、引火、回路の静電破壊、ゴミの付着による回路破壊等を予防することができる。

一例として示す給気システムの構成図。空気線図を利用して相対湿度を求める需求手段の一例を説明する図。水量変更の規則の一例を説明する図。システム運転の一例を説明するフローチャート。図４から続くフローチャート。他の一例として示す給気システムの構成図。空気線図を利用して相対湿度を求める需求手段の他の一例を説明する図。水量変更の規則の他の一例を説明する図。システム運転の他の一例を説明するフローチャート。図９から続くフローチャート。他の一例として示す給気システムの構成図。空気線図を利用して相対湿度を求める需求手段の一例を説明する図。水量変更の規則の他の一例を説明する図。システム運転の他の一例を説明するフローチャート。図１４から続くフローチャート。他の一例として示す給気システムの構成図。空気線図を利用して相対湿度を求める需求手段の他の一例を説明する図。システム運転の他の一例を説明するフローチャート。図１８から続くフローチャート。他の一例として示す給気システムの構成図。空気線図を利用して相対湿度を求める需求手段の他の一例を説明する図。水量変更の規則の他の一例を説明する図。システム運転の他の一例を説明するフローチャート。図２３から続くフローチャート。他の一例として示す給気システムの構成図。空気線図を利用して相対湿度を求める需求手段の他の一例を説明する図。システム運転の他の一例を説明するフローチャート。図２７から続くフローチャート。

１０Ａ給気システム
１０Ｂ給気システム
１０Ｃ給気システム
１０Ｄ給気システム
１０Ｅ給気システム
１０Ｆ給気システム
１１送気ダクト
１２加湿ユニット
１３乾球温度測定第１センサ
１４露点温度測定第１センサ
１５コントローラ
１６給気対象室
１７還気
１８加湿空気
１９電磁弁
２２乾球温度測定第２センサ
２３露点温度測定第２センサ
２４外気ダクト
２５外気
２６混合空気
２７連結箇所
３０乾球温度測定第３センサ
３１相対湿度測定第１センサ
３３相対湿度測定第２センサ
３４乾球温度測定第４センサ
３５相対湿度測定第３センサ
３６ノズル
ＤＢ１第１乾球温度
ＤＢ２第２乾球温度
ＤＢ３第３乾球温度
ＤＰ１第１露点温度
ＤＰ２第２露点温度
ＲＨ１第１相対湿度
ＲＨ２第２相対湿度
ＲＨ３第３相対湿度
ＲＨ４第４相対湿度
ＲＨ５第５相対湿度

Claims

給気対象室に空気を給気する送気ダクトと、前記送気ダクト内に所定量の水を噴霧する加湿ユニットと、加湿目標値に応じて前記加湿ユニットから噴霧する水量を調節する水量調節手段を有するコントローラとを備えた給気システムにおいて、
前記給気システムが、前記加湿ユニットの下流側に延びる前記送気ダクトに接続されて該送気ダクトに外気を給気する外気ダクトを備え、前記コントローラが、前記加湿ユニットと前記外気ダクトとの間に延びる前記送気ダクト内の相対湿度を求めるとともに、前記外気ダクトの下流側に延びる前記送気ダクト内の相対湿度を求める需求手段を含み、前記水量調節手段では、前記需求手段によって求めたそれら相対湿度があらかじめ設定された制限値を超えないように前記加湿ユニットから噴霧する水量を調節することを特徴とする給気システム。
前記需求手段では、前記外気ダクトから給気される外気の温度、相対湿度と前記外気ダクトの下流側に延びる前記送気ダクト内の温度、相対湿度とを用い、前記外気に対する送気の風量比を利用して前記加湿ユニットの下流側であってかつ前記外気ダクトと前記送気ダクトとの接続部より上流側における相対湿度を求めている請求項１記載の給気システム。
給気対象室に空気を給気する送気ダクトと、前記送気ダクト内に所定量の水を噴霧する加湿ユニットと、加湿目標値に応じて前記加湿ユニットから噴霧する水量を調節する水量調節手段を有するコントローラとを備えた給気システムにおいて、
前記給気システムが、前記加湿ユニットの下流側に延びる前記送気ダクトに接続されて該送気ダクトに外気を給気する外気ダクトを備え、前記コントローラが、前記加湿ユニットの上流側に延びる前記送気ダクト内の温度、相対湿度と前記外気ダクトから給気される外気の温度、相対湿度と前記外気ダクトの下流側に延びる前記送気ダクト内の温度、相対湿度とを用いて前記加湿ユニットの下流側における相対湿度を求める需求手段を含み、前記水量調節手段では、前記需求手段によって求めた相対湿度があらかじめ設定された制限値を超えないように前記加湿ユニットから噴霧する水量を調節することを特徴とする給気システム。
給気対象室に空気を給気する送気ダクトと、前記送気ダクト内に所定量の水を噴霧する加湿ユニットと、加湿目標値に応じて前記加湿ユニットから噴霧する水量を調節するコントローラとを備えた給気方法において、
前記給気方法が、前記加湿ユニットの下流側に延びる前記送気ダクトに接続された外気ダクトを備え、前記コントローラが、前記加湿ユニットと前記外気ダクトとの間に延びる前記送気ダクト内の相対湿度を求めるとともに、前記外気ダクトの下流側に延びる前記送気ダクト内の相対湿度を求め、求めたそれら相対湿度のうちの少なくとも一方が前記制限値を超えないように前記加湿ユニットから噴霧する水量を調節することを特徴とする給気方法。