JP2011185475A - クリーンルームの水噴霧加湿制御方法及び加湿制御システム - Google Patents

Abstract

【課題】クリーンルームの内部湿度を目標湿度に維持するクリーンルームの水噴霧加湿制御方法及び加湿制御システムを提供する。
【解決手段】この方法は、各制御グループで循環空気の湿度変化を湿度センサーによって検出する段階、前記湿度センサーで検出された湿度を制御部に送り出す段階、送り出された信号を受けて制御部で演算し、加湿可否を判断する段階、加湿の要求によって加湿部を作動させることで微粒化した噴霧水を供給する段階、それぞれの制御グループの湿度に対する情報を中央コンピューターに連結してクリーンルームの湿度情報を受信する段階を含む。
【選択図】図８

Description

本発明はクリーンルームの水噴霧加湿制御方法及び加湿制御システムに係り、より詳しくは水粒子の微細噴霧可能ノズルをクリーンルームの内部に直接設置し、クリーンルームの湿度変化に対する監視／制御を目的とする感知用湿度センサーをクリーンルームに設置し、これらを運営するための制御部を構成して、クリーンルームの内部湿度を目標湿度に維持するクリーンルームの水噴霧加湿制御方法及び加湿制御システムに関する。

まず、クリーンルームとは、一定空間内の空気中に浮遊粒子が規定粒径及び規定数値以下になって清浄度が管理され、その空間で生産される製品に供給される材料、薬品、ガス、水などに対しても供給ユーティリティーに規定された清浄度を維持して、温度、湿度、圧力、気流、騷音、振動などの環境条件などに対しても管理が行われる空間を言う。

このようなクリーンルームの維持管理のために、（１）クリーンルーム内への清浄な空気の送風、（２）クリーンルーム内の必要な温度、湿度及び室内圧力の維持、（３）クリーンルーム内への微粒子流入の防止、（４）クリーンルーム内の微粒子の発生の防止、（５）クリーンルーム内の微粒子累積防止、及び発生の際に迅速な除去を目標として運営されている。

このようなクリーンルームの維持のためにエアコンが使用される。このようなエアコンと呼ばれる装置の役目は大別して二つである。まず、クリーンルームの内部圧力を外部圧力より高く維持して異物の流入を防止する正圧維持の役目と、外部温度、湿度の変化（四季、乾季、雨季）にもいつも一定したクリーンルームの温度と湿度を維持するために、クリーンルームの内部に供給される空気がいつも一定の温度と湿度を維持するように供給する役目とを果たす。

一般に、加湿とは空気中に水蒸気などを加えて湿度を高める作用をするもので、加湿方式には大別して蒸気加湿、蒸発加湿、水分加湿方式などに分類される。

蒸気加湿方式は、水に熱を加えて蒸気相に相変化させた後、空気中に噴霧して加湿の効果を作り出す方式であり、高エンタルピーによって空気中に易しく吸収される利点を持っているので、設置空間の制約が少なく、大規模の加湿設備施設に多く利用されているが、高エネルギー費用が発生する欠点を持っている。

蒸発加湿方式は、流動する空気流内に吸水性の高い纎維や充填材を水で濡らすことで、空気が通過するにつれて水分が蒸発する方式で、回転体の一部が水に接した状態で回転しながら水を蒸発させる回転式、毛細管現象を用いる毛細管式、加湿用充填材の上部から水を振り撤いて空気を通過させる積荷方式などがあり、エアコンの内部に設置して活用するが、大規模の加湿制御に不利であり、加熱エネルギーが必要になるため、廃熱がある場合に限って活用可能である。

水分加湿方式は水を空気中に直接噴霧することで、水を微粒化して空気中に噴霧して加湿効果及び断熱冷却効果を得る方式で、電動機の高速回転を用いる遠心方式、ノズルを用いて噴霧する方式、水晶発振子を使用する超音波発生器を用いて空気中に水微粒子を放出させる超音波方式などがある。水分加湿方式は水粒子を微細噴霧するとはするが、空気中に吸収されるためには相当な気化熱が必要であり、吸収時間が蒸気加湿に比べて長いという欠点があるため、クリーンルームの内部に適用する場合、気化しない水粒子による天井フィルターの濡れが発生するなどの汚染が問題となる。また、経済的な活用面で家庭用のような小規模加湿に多く活用されている。

このような加湿方式のうち、クリーンルームに用いられる加湿方式は、大容量の加湿量確保、維持、補修の便利性、及び加湿の信頼性などを考慮して、エアコンの内部での蒸気加湿方式が一般的である。蒸気加湿に使用されるエアコン３０は、図１に示すように、エアコンの入口と出口に、空気中の異物除去のための多様な種類のフィルター３３、３８がそれぞれ設置され、冬期に暖房と加湿のために、ボイラー３２に連結された暖房コイル３５と加湿のための加湿器３６が設置され、夏期の冷房と減湿のために、冷凍機３１に連結された冷却コイル３４が設置され、送風機３７が設置されているので、冬期にはボイラー３２が稼動して暖房コイル３５による熱交換を行い、加湿器３６の稼動によってクリーンルーム内に加湿された空気を供給する構造であるが、燃料費の上昇によって加湿器のボイラー３２に対する加熱負荷に莫大な運転費用が必要となる。

このような蒸気加湿方式は、スチームを生産するのにあって高エネルギー費用を負担するしかない問題点を持っている。

また、エアコン３０の内部で集中的に制御する方式を使用するため、クリーンルームの内部の地域別に均等な湿度分布を維持するのに不利であり、クリーンルームの内部の地域別湿度制御が均等でないという問題点を持っている。

したがって、本発明はこのような問題点を解決するためになされたもので、その目的は、クリーンルームの内部で流動する循環空気に、微細噴霧の容易な加湿用ノズルを制御グループ別に設置し、制御グループ別に必要な水分を正確に噴霧することで、安定した水噴霧方式加湿制御を提供し、水噴霧加湿部をクリーンルームの風道区間に設置することで、十分な吸収距離を確保して水粒子による天井フィルターの濡れを防止し、制御グループ別加湿部のそれぞれの湿度を制御することができるように加湿部をそれぞれ細分化し、各加湿部の制御グループ別目標湿度制御を可能にするクリーンルームの水噴霧加湿制御方法及び加湿制御システムを提供することにある。

本発明の他の目的は、精密温湿度制御を要求するクリーンルームで水を直接噴霧することで空気の冷却と加湿効果を同時に満足させ、優れた目標制御性能で高い効果を提供することを可能にするクリーンルームの水噴霧加湿制御方法及び加湿制御システムを提供することにある。

このような本発明の目的は、クリーンルーム内の制御グループ別に所要水分量を正確に把握するための湿度感知センサー、所要水分量を正確にクリーンルーム内に気化させて加湿するように微粒子状の水を噴霧するためにクリーンルーム内に設置された水噴霧加湿部、水噴霧加湿部に水と空気を供給する給水配管及び圧縮空気配管、及び前記湿度感知センサーの信号に基づくマイクロプロセッサーの演算によって以後の湿度変化を計算して、目標湿度に早く接近するようにする制御部でなるクリーンルームの水噴霧加湿制御システムによって達成される。

また、このような本発明の目的は、クリーンルーム内の制御グループに流入する循環空気の湿度変化を各制御グループ内に設置された湿度センサーによって検出する段階、前記湿度センサーで検出された湿度を各制御グループの制御部に送り出す段階、送り出された信号を検出して制御部で演算を行って制御グループの加湿可否を判断する段階、加湿要求によって加湿部を作動して微粒化した噴霧水を供給する段階、このような制御グループ別湿度に対する情報を中央コンピューターで受信して制御する段階を含んでなるクリーンルームの水噴霧加湿制御方法によって達成される。

本発明によるクリーンルームの水噴霧加湿制御方法及び加湿制御システムは、クリーンルームの湿度を感知し、クリーンルーム内の湿度が低くなって加湿が必要な場合、所要加湿量をクリーンルームで直接加湿ノズルを通じて微細噴霧することでクリーンルーム内の湿度を直接的に制御可能にすることにより、クリーンルームの内部湿度制御を既存のスチーム加湿方式より迅速で安定的に運営することができ、水噴霧による加湿の効果と同時に冷却効果をさらに得ることができるので、加湿に必要なボイラーの運営に必要なエネルギー費用を節減し、冷凍機の負荷を低めることができる効果がある。

従来のスチーム加湿方式のクリーンルームの概略図である。 本発明の水噴霧加湿方式のクリーンルームの概略図である。 本発明のクリーンルームの水噴霧加湿制御システムが設置された工場のクリーンルームの概略平面図である。 本発明のクリーンルームの水噴霧加湿制御システムの制御構成図である。 本発明の水噴霧方式加湿部の全体組立図である。 本発明の水噴霧方式加湿部の分解斜視図である。 本発明の水噴霧方式ベンチュリ系加湿ノズルの概略的な作動断面図である。 本発明の水噴霧方式加湿部の押出し成形されたマニホールドの断面図である。 本発明の水噴霧方式加湿部の静水位貯蔵槽の断面図である。 本発明の第２実施例による加圧式ノズル適用加湿部の斜視図、及びノズルの閉鎖時と水噴霧時のノズルの縦断面図である。 本発明の第２実施例による加圧式ノズル適用加湿部の斜視図、及びノズルの閉鎖時と水噴霧時のノズルの縦断面図である。 従来のクリーンルーム内の湿度変化グラフと本発明の実施例によるクリーンルーム内の湿度変化グラフである。 従来のクリーンルーム内の湿度変化グラフと本発明の実施例によるクリーンルーム内の湿度変化グラフである。 本発明のクリーンルーム内の水噴霧加湿制御の制御方法の流れを示すフローチャートである。

以下、添付図面に基づいて本発明のクリーンルームの水噴霧加湿制御方法及び加湿制御システムをより詳細に説明する。

本発明の説明に先立ち、本明細書及び請求範囲に使用される用語や単語は通常の意味または辞書的な意味に限定して解釈されてはいけなく、発明者が自分の発明を最善の方法で説明するために用語の概念を適切に定義することができるという原則に従って本発明の技術的思想に適合した意味と概念に解釈されなければならない。

したがって、本明細書に開示する一実施例と図面に示す構成は本発明の好ましい一実施例に過ぎないもので、本発明の技術的思想を全く表すものではないので、本出願の時点においてこれらを取り替えることができる多様な均等物と変形例があり得ることを理解しなければならない。

クリーンルームは、クリーンルームの内部に配置される生産装備の発熱量または種々の装置の配置による気流の変化によって、クリーンルームの内部で循環する空気の温度が区域別に偏差を持つことになる。このような温度不均衡を、風道区間に設置される乾燥冷却コイル４０で制御することになる。この乾燥冷却コイル４０は、風道区間に一定間隔で制御グループを細分化して制御管理され、この乾燥冷却コイル４０は一般的にフィン−チューブ状の熱交換器であり、乾燥冷却コイルを通る空気と接触して空気を顕熱冷却させる役目をする。

本発明のクリーンルームの水噴霧加湿制御装置及び加湿制御システムは、前記乾燥冷却コイルの温度制御グループのような制御グループを構成することにより、クリーンルーム内の制御グループ別に乾燥冷却コイルによる目標温度の制御、本発明による目標湿度の制御を完成し、このような小規模制御グループを拡大してすべてのクリーンルームに対して統合的に目標の温度と湿度を一定に維持管理することができることになる。

本発明のクリーンルームの水噴霧加湿制御方法は、クリーンルーム内の個別制御グループに流入する循環空気の湿度変化を各制御グループ内に設置された湿度センサーによって検出する段階、前記湿度センサーで検出された湿度を各制御グループの制御部に送り出す段階、送り出された信号を検出して制御部で演算を行い、制御グループの加湿可否を判断する段階、加湿要求によって加湿部を作動させて微粒化した噴霧水を供給する段階、このような制御グループ別湿度に対する情報を中央コンピューターで受信及び制御する段階を含む。

以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する。

本発明の第１実施例による水噴霧加湿制御システムＡは、図２〜図４に示すように、クリーンルーム５０内の循環空気の湿度を制御し、前記クリーンルーム５０は、複数の小制御グループＣからなっている。その大きさに差があるが、本実施例においてそれぞれの制御グループＣの風道の長さは約１０ｍであり、このような制御グループＣはクリーンルームの全体規模によって小さくは数個、多くは数十個が延設されて一つの全体クリーンルーム５０をなす。

各制御グループＣ別に、制御グループＣ内のクリーンルームに流入する循環空気の湿度変化を湿度センサー２２によって検出した後、検出された湿度量を制御部２１に送り出し、前記制御部２１で検出湿度の変化に基づいて最適の目標湿度条件に容易に到達できるように演算結果を出力し、制御グループＣ内の不足な水分を加湿部１０を通じて正確に供給することができる制御部２１の構成と加湿部１０にその核心がある。

図４に示すように、前記制御グループＣの制御部２１は隣接の制御グループＣの制御部２１と制御信号を交換するように連結されており、各制御部２１は中央コンピューターＢに接続され、前記中央コンピューターＢでは各制御グループＣの実時間湿度変化を把握することができ、各制御部を個別に管理することができるように構成されるものである。

本発明の第１実施例による水噴霧加湿制御システムＡは、風道区間４１に設置された加湿部１０、クリーンルームの湿度変化を監視するための湿度センサー２２、及び湿度センサー２２の出力信号を受信してクリーンルーム５０内の加湿部１０の加湿作動可否を指示する制御部２１が設置された複数の制御グループＣと、前記制御グループＣの各制御部２１と接続された中央コンピューターＢとを含む。

前記加湿部１０は、クリーンルームの内部で直接ノズルを通じて水を微粒化して噴霧することで完全気化するように、構造物の影響による凝縮発生を最小化し、気化距離を最大に確保することができる各制御グループＣの風道区間４１に設置されて制御される。

前記加湿部１０は、水の微粒化噴霧のためのノズル１８、ノズルが装着され、圧縮空気と水を供給するマニホールド１１、水が一定の高さを維持するようにする静水位貯蔵槽１３、制御部２１の信号によって開閉作用を繰り返すソレノイドバルブ１４、及び噴霧水供給管及び圧縮空気供給管１６、１７からなっている。

本実施例においては、各加湿部１０に五つのノズル１８が設置されている。前記ノズルは、圧縮空気によって噴霧水が吸上されて噴霧される二流体混合方式のノズル１８が使用された。また、マニホールド１１の一側には噴霧水が貯蔵される静水位貯蔵槽１３が設置されている。前記複数のノズル１８が設置されるマニホールド１１は、アルミニウムから押出し成形されて所要長に切断されて使用できる構造になっている。前記マニホールド１１は、図５ｄに示すような断面図から分かるように、噴霧水供給孔１１ｃと圧縮空気を供給する圧縮空気供給孔１１ｄが一体的に形成され、本体１１ａとカバー１１ｂからなり、その組立ては側面に沿ってカバー１１ｂを押し入れることでなされる。本体とカバー間の空間１１ｅはソレノイドバルブに電源を供給するための電気ケーブルを収容する用途に使用される。

図５ｅは本発明に使用される静水位貯蔵槽１３を示している。貯蔵槽は、大別して貯蔵槽蓋１３ａ、フロート１３ｂ、及び貯蔵槽本体１３ｃからなっている。貯蔵槽蓋１３ａの上部には水が供給される給水管１３ｈが連結され、供給された水が流動する流水孔１３gが下方に形成され、前記流水孔１３gの下端には柔軟なゴム材の出水孔１３ｉが形成されている。ニードルバルブガイド１３ｅがニードルバルブ１３ｆを取り囲んでニードルバルブ１３ｆの上下運動を案内する。フロート１３ｂは前記貯蔵槽蓋１３ａ及び貯蔵槽本体１３ｃの内部に設置され、空気が入っているフロート１３ｂとニードルバルブ１３ｆが接触している。前記貯蔵槽１３は、ノズルを通じた噴霧がない場合には、ニードルバルブ１３ｆがフロート１３ｂの浮力によって押し上げられて出水孔１３ｉを塞ぐことにより水の供給ができないようにし、水がノズルを通じて噴霧されるときには、フロート１３ｂとニードルバルブ１３ｆが下がって出水孔１３ｉを開放し、その出水孔を通じて水が供給される。このような原理でいつも一定の水位を維持するとともに噴霧された水量に相当する水を一様に供給する役目をする。前記加湿部１０は、噴霧水が微細に噴霧された後にまったく気化するのに必要な最小４ｍ以上の距離確保が容易な風道区間４１に設置される。

図６ａ及び図６ｂに示すように、本発明の第２実施例は、加圧方式の加湿ノズルを適用した。この方式のノズルは水配管をノズルに直接連結して加湿部１０’を構成することができるので、第１実施例に適用されたノズル方式とは異なり、静水位貯蔵槽の役目が不要になって加湿部１０’の構造を簡単にすることができる。

前記第２実施例に適用された加圧方式ノズル５０は、スプリング５１によって上下に駆動されるニードル５２が中央に設置され、一側にはソレノイドバルブ１４’が設置された圧縮空気管１７’が連結され、他側には給水管１６’が連結される。ここで、ソレノイドバルブ１４’が圧縮空気を遮断するときには、ニードル５２がスプリング５１によって前方に弾支されて開口５６を閉鎖しているが、ソレノイドバルブ１４’が圧縮空気管を開放させれば、圧縮空気がノズルの空洞部５７に流入してニードル５２を後退させて開口５６を開放させることにより水が噴射されることになるとともに圧縮空気が噴射されることにより水が小液滴状態で噴霧されるようにする構造である。前記加圧部１０’は、ベンチュリ系方式のノズルの必須役目を果たす静水位調節貯蔵槽１３がなくても構成できるので、加湿装置の構成が簡素化して、より経済的な装置の構成ができる。第１実施例の構成部と同一または類似の前記第２実施例の構成部は第１実施例の構成部の符号にプライム符号を付け加えた。

図５ａは本発明の一実施例によるクリーンルーム内水噴霧加湿制御装置の概略図を示す。本発明の一実施例による加湿制御装置１０は、マイクロプロセッサー及び各種の入出力端子からなる制御パネルを備えた制御部２１と、前記クリーンルーム内に設置された湿度センサー２２と、前記制御部２１の命令によって水を噴射する加湿部１０とを含む。制御部２１のマイクロプロセッサー２１ａは、湿度センサー２２から入力された湿度値を示す電気信号を比例、積分、微分のＰ、Ｉ、Ｄ制御のために演算を行う。ＰＩＤ制御とは比例制御、積分制御、微分制御をいうもので、目標値に制御結果がより早くて安定に到逹するように制御する方式のもので、一般的に広く使用される。そして、このマイクロプロセッサー２１ａに、演算機能とともに、演算結果値を５段階に細分化して駆動装置のソレノイドバルブ１４に電気出力を送り出すことができる出力制御機能も含んでいる。本実施例においては演算結果を５段階で実施したが、さらに細分化して数十段階ないし数百段階に細分化するほど湿度制御の性能は向上することができる。

湿度センサー２２は、電気的に湿度を測定するセンサー素子である相対湿度センサーまたは露点温度センサーが使用され、電気抵抗式または電気容量式湿度センサーのいずれでも構わなく、商業的に入手可能な製品を使用する。

周知のように、ソレノイドバルブ１４は電気的に作動する装置で、流体や気体の流れを完全に閉鎖または開放する方式で調節するのに使用され、さらに通常手動バルブの代わりにまたはリモートコントロールが要求されるところに使用される。電源を印加すれば、ソレノイドコイルの強磁力が発生してスチールプランジャーを押し上げて、普段は閉まっているバルブの開口を開けることで、液体や気体の流動ができるようにする。

図８は本発明の一実施例による水噴霧加湿制御方法の流れを示すフローチャートである。同図に示すように、湿度センサー２２によってクリーンルームの現在湿度を検出して電気的な信号として提供する。ついで、前記現在湿度値と前もって設定された目標値に基づいて、制御部２１のマイクロプロセッサー２１ａで目標湿度に短時間に安定に到逹するための比例、積分、微分のＰＩＤ演算を行って演算値を算出する。その後、前記演算結果の出力範囲によって５段階に分けられてソレノイドバルブに電気信号が出力される。湿度調節が必要な場合は、演算結果の出力の大きさによってソレノイドバルブ１４を開放して加湿ノズルを作動することで水分の供給を開始し、湿度調節が不要である場合は、ソレノイドバルブ１４を閉鎖して加湿ノズルの作動を停止させることで水分の供給を遮断するものである。このように、究極にクリーンルームの内部に設置された加湿部１０の加湿ノズル１８を通じた水分供給を制御することにより、クリーンルームの所望の湿度条件に維持することができる。このような制御演算はマイクロプロセッサーの性能によって１秒に数回ないし数十回繰り返される。

このような過程に基づき、実際にクリーンルームに本発明のテスト装備を設置して約１ヶ月性能評価を実施し、その結果を図７ａ及び図７ｂに湿度変化として示した。前記テストは、目標湿度を５０％にして制御される環境のクリーンルームで実施した。図７ａ及び図７ｂに示す相対湿度を測定するセンサーは同じ相対湿度センサーで、センサーの位置変化なしに加湿方式の転換による相対湿度の変化を示すグラフである。

図７ａは従来のスチーム加湿方式の湿度変化を示すグラフで、横軸は時間単位（１２月１５日から１２月２２日まで）、縦軸は相対湿度を示す。このように、従来の相対湿度の変化は５０％〜５５％の範囲で、約５％内の偏差をもって制御される変化グラフを示す。

図７ｂは本発明によるクリーンルームの水噴霧加湿方式を適用したクリーンルーム内の相対湿度の変化を示すグラフで、１２月２２日から翌年１月１４日まで測定した。グラフのように、相対湿度が５０％〜５１％の約１％の範囲内で安定した湿度変化を示すものである。よって、本発明による水噴霧加湿方式が従来の方式に比べて湿度の変化を安定に制御することはもちろんのこと、直接水分霧による省エネルギーと顕熱の冷却効果も得ることができることが分かる。

したがって、本発明によるクリーンルームの水噴霧加湿制御方法及び加湿制御システムは、クリーンルームの内部環境または区域偏差によって相対湿度の目標を多様に変化させることができるので、所望の相対湿度に制御することができる。

本発明によるクリーンルームの水噴霧加湿制御方法及び加湿制御システムは、一般の製造工場で同一製品を繰り返し製造することができ、製造された製品で制御方法を繰り返し実施することができるので、産業上利用可能性がある発明であるといえる。

１０、１０’ 加湿部
１１ マニホールド
１１ａ 本体
１１ｂ カバー
１１ｃ 噴霧水供給孔
１１ｄ 圧縮空気供給孔
１１ｅ 空間
１３ 静水位貯蔵槽
１３ａ 貯蔵槽蓋
１３ｂ フロート
１３ｃ 貯蔵槽本体
１３ｅ ニードルバルブガイド
１３ｆ ニードルバルブ
１３ｇ 流水孔
１３ｈ 給水管
１３ｉ 出水孔
１４、１４’ ソレノイドバルブ
１６ 噴霧水供給管
１７、１７’ 圧縮空気供給管
１８ 加湿ノズル
２１ 制御部
２１ａ マイクロプロセッサー
２２ 湿度センサー
４０ 乾燥冷却コイル
４１ 風道区間
５０ クリーンルーム
Ａ 水噴霧加湿制御システム
Ｂ 中央コンピュータ
Ｃ 制御グループ

Claims (6)

1. クリーンルームの水噴霧加湿制御方法において、
   各制御グループで循環空気の湿度変化を湿度センサーによって検出する段階、
   前記湿度センサーで検出された湿度を制御部に送り出す段階、
   送り出された信号を受けて制御部で演算し、加湿可否を判断する段階、
   加湿の要求によって加湿部を作動させることで微粒化した噴霧水を供給する段階、
   それぞれの制御グループの湿度に対する情報を中央コンピューターに連結してクリーンルームの湿度情報を受信する段階、
   を含むことを特徴とする、クリーンルームの水噴霧加湿制御方法
2. 水分加湿制御システムＡにおいて、
   前記水噴霧加湿制御システムＡは、風道区間４１に設置された加湿部１０、クリーンルームの湿度変化を監視するための湿度センサー２２、及び湿度センサー２２の出力信号を受信してクリーンルーム５０内の加湿部１０の加湿作動可否を指示する制御部２１が設置された複数の制御グループＣと、前記制御グループＣの各制御部２１と接続された中央コンピューターＢとを含み、
   前記加湿部１０は、水の微粒化噴霧のためのベンチュリ系方式の加湿ノズル１８、ノズルが装着され、圧縮空気と水を供給するマニホールド１１、水の高さを一定に維持する静水位貯蔵槽１３、制御部の信号によって開閉作用を繰り返すソレノイドバルブ１４、及び噴霧水供給管と圧縮空気供給管１６、１７でなることを特徴とする、水噴霧加湿制御システム。
3. 前記加湿部１０’は、水の微粒化噴霧のための加圧方式加湿ノズル１９、ノズルが装着され、圧縮空気と水を供給するマニホールド１１、制御部信号によって開閉作用を繰り返すソレノイドバルブ１４、及び噴霧水供給管と圧縮空気供給管１６、１７でなることを特徴とする、請求項２に記載の水噴霧加湿制御システム。
4. 前記マニホールド１１は押出し成形されて所要長に切断されて使用でき、前記マニホールド１１は、噴霧水供給孔１１ｃと圧縮空気供給孔１１ｄが一体的に形成されている本体１１ａ、及び前記本体１１ａと組み立てられるカバー１１ｂでなることを特徴とする、請求項２に記載の水噴霧加湿制御システム。
5. 前記貯蔵槽１３は、上部に水が供給される給水管１３ｈが連結され、供給された水が供給される流水孔１３gが形成され、前記流水孔１３gの下端には出水孔１３ｉが形成され、ニードルバルブガイド１３ｅとニードルバルブ１３ｆを含む貯蔵槽蓋１３ａ、フロート１３ｂ、及び貯蔵槽本体１３ｃでなることを特徴とする、請求項２に記載の水噴霧加湿制御システム。
6. 加湿ノズルの個別制御を容易にするために、加湿ノズルの圧縮空気供給管に制御用ソレノイドバルブ１４が設置されていることを特徴とする、請求項２に記載のクリーンルーム内の水噴霧加湿制御システム。

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