JP5288237B2 - 超音波センサの製造法および多結晶アルミニウム成形体の製造法ならびに超音波センサ - Google Patents
超音波センサの製造法および多結晶アルミニウム成形体の製造法ならびに超音波センサ Download PDFInfo
- Publication number
- JP5288237B2 JP5288237B2 JP2007325457A JP2007325457A JP5288237B2 JP 5288237 B2 JP5288237 B2 JP 5288237B2 JP 2007325457 A JP2007325457 A JP 2007325457A JP 2007325457 A JP2007325457 A JP 2007325457A JP 5288237 B2 JP5288237 B2 JP 5288237B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic sensor
- polycrystalline aluminum
- cutting
- product
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 44
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 title claims description 44
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 35
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 49
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims description 48
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 37
- 238000005476 soldering Methods 0.000 claims description 20
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 claims description 18
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 claims description 18
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 11
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 claims description 10
- 239000010432 diamond Substances 0.000 claims description 10
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000007743 anodising Methods 0.000 claims description 4
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 claims 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 23
- MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N Oxalic acid Chemical compound OC(=O)C(O)=O MUBZPKHOEPUJKR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 4
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 4
- 239000000463 material Substances 0.000 description 4
- 235000006408 oxalic acid Nutrition 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N lead(0) Chemical compound [Pb] WABPQHHGFIMREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 2
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
- 238000005266 casting Methods 0.000 description 1
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 1
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 1
- 125000004122 cyclic group Chemical group 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
Description
まず、本発明の実施の形態に係る超音波センサの保持部材として用いられるアルマイト処理品1について、図面を参照しながら説明する。
次に、超音波センサの構成を説明する。本発明の実施の形態に係る超音波センサは、保持部材であるアルマイト処理品1の振動部分としての露出部2Cに接着剤によって接着された圧電素子(図示省略)を有する構成とされている。ここで、圧電素子はセンサ動作用の電気部材であり、かつ超音波発生素子および別部材である。圧電素子は、リード線等のリード部材(電気部材)によって制御部と電気接続されると共にアルマイト処理品1と電気部材とがはんだ付けによって電気接続されている。さらに、超音波センサは、後述する演算部を有している。この演算部は、アルマイト処理品1および圧電素子とは別に設けられている。
次に、アルマイト処理品1の製造法を図面を参照しながら説明する。図2は、アルマイト処理品1を製造する過程を、(A),(B),(C)の順に進行させて示す図である。また、図3は、本発明の実施の形態に係る超音波センサの製造法のフロー図である。
まず、上述のアルマイト処理品1の製造法によって得られるアルマイト処理品1を用意する。次に、アルマイト処理品1の振動部分となる露出部2Cと圧電素子とを接着剤により接着する接着工程を行う(図3のステップS105)。ここで、圧電素子は、センサ動作用の電気部材であり、かつ超音波発生素子および別部材である。その後、リード線等の電気部材をアルマイト処理品1にはんだ付けするはんだ工程(図3のステップS106)を行う。この電気部材は、センサ動作用の電気部材であり、センサの制御部(図示省略)と、圧電素子やアルマイト処理品1とを電気接続するものである。このはんだ工程(固着工程)を行った後に拡大鏡にてアルマイト層3の亀裂の有無を確認したところ、亀裂は全く生じていなかった。以上で本発明の実施の形態に係る超音波センサの製造法および本発明の実施の形態に係る多結晶アルミニウム成形体の製造法が終了する。
制御部の制御によって、超音波センサが有する圧電素子に所定の電圧を印加すると、電圧値に応じた機械的変位が圧電素子に生じる。その機械的変位によってアルマイト処理品1の有底円筒形状の底面が振動し、超音波が発信される。その超音波は、空気を媒体として伝達し対象物にぶつかって反射波(超音波)となる。その反射波が、アルマイト処理品1の有底円筒形状の底面にぶつかって受信されると、その底面が反射波の大きさに応じた機械的な力を圧電素子に伝達する。圧電素子は機械的な力を加えられると、その力の大きさに応じた起電力を発生する。そして、超音波の発信から受信までに要した時間と音速との関係を、演算部(図示省略)が演算する。すると、超音波センサから対象物までの距離が算出される。
本発明の実施の形態では、加熱工程(ステップS102)を行っているため、はんだ工程(ステップS106)の際の加熱によってアルマイト層3への亀裂の形成が抑制できる。なお、加熱工程(ステップS102)を省略する以外は本発明の実施の形態と同一の条件で超音波センサおよび多結晶アルミニウム成形体を製造すると、はんだ工程(ステップS106)の際の加熱によってアルマイト層3への亀裂の形成が多数確認される。よって、加熱工程によるアルマイト層3の亀裂の形成の抑制効果は絶大である。
上述した本発明の実施の形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において以下のように種々変形が可能である。
2 成形品
2C 露出部(底部)
3 アルマイト層
4 酸化品
21 切削前成形品
22 切削後成形品
S101 成形工程
S102 加熱工程
S103 酸化工程
S104 切削工程
S105 接着工程
S106 はんだ工程(固着工程)
Claims (3)
- 超音波発生素子と、その素子を取り付ける保持部材とを有する超音波センサの製造法において、
多結晶アルミニウムを所定形状に成形して成形品とする成形工程と、
上記多結晶アルミニウムを加熱処理する加熱工程と、
上記成形品を陽極酸化する酸化工程と、を行い、
その後、上記酸化工程を経た上記保持部材の一部を切削し超音波振動を行う振動部分となる上記多結晶アルミニウムの露出部を形成する切削工程と、
その後超音波センサとして動作させるための部材と上記保持部材とを電気接続するためのはんだ付けをするはんだ工程と、
を有し、
上記所定形状は、有底筒状の形状であり、
上記切削工程は、上記有底筒状の形状を呈する上記成形品の内側の底面に対して行われると共に上記底面のうち内周面から離れた部分をダイヤモンドバイトによって切削する工程である、
ことを特徴とする超音波センサの製造法。 - 前記加熱工程では、前記はんだ工程での加熱温度以上でかつ前記多結晶アルミニウムの溶融温度未満の温度で20分以上1時間以下の間、加熱することを特徴とする請求項1に記載の超音波センサの製造法。
- 多結晶アルミニウムを所定形状に成形して成形品を形成する成形工程と、
上記多結晶アルミニウムを加熱処理する加熱工程と、
上記成形品を陽極酸化して酸化品を形成する酸化工程と、
上記酸化品の一部を切削し、前記多結晶アルミニウムに超音波振動用の露出部を形成する切削工程と、
上記酸化品を加熱しつつ別部材を上記酸化品の露出部に固着させる固着工程と、
を有し、
上記所定形状は、有底筒状の形状であり、
上記切削工程は、上記有底筒状の形状を呈する上記酸化品の内側の底面に対して行われると共に上記底面のうち内周面から離れた部分をダイヤモンドバイトによって切削する工程である、
ことを特徴とする超音波センサの製造法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007325457A JP5288237B2 (ja) | 2007-12-18 | 2007-12-18 | 超音波センサの製造法および多結晶アルミニウム成形体の製造法ならびに超音波センサ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007325457A JP5288237B2 (ja) | 2007-12-18 | 2007-12-18 | 超音波センサの製造法および多結晶アルミニウム成形体の製造法ならびに超音波センサ |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2009147840A JP2009147840A (ja) | 2009-07-02 |
JP5288237B2 true JP5288237B2 (ja) | 2013-09-11 |
Family
ID=40917888
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007325457A Active JP5288237B2 (ja) | 2007-12-18 | 2007-12-18 | 超音波センサの製造法および多結晶アルミニウム成形体の製造法ならびに超音波センサ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5288237B2 (ja) |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3210703B2 (ja) * | 1991-10-28 | 2001-09-17 | 松下電工株式会社 | 防滴型超音波マイクロホン |
JP3014800U (ja) * | 1995-02-15 | 1995-08-15 | 日本セラミック株式会社 | 超音波センサ |
JP3234762B2 (ja) * | 1996-02-26 | 2001-12-04 | シャープ株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
DE19621400C2 (de) * | 1996-05-28 | 2000-07-06 | Siemens Ag | Herstellverfahren für eine Aluminiumschicht oder Aluminiumleiterbahnen |
JPH1126624A (ja) * | 1997-07-02 | 1999-01-29 | Daido Steel Co Ltd | 電気部品又は電子デバイス用ケースとその製造方法 |
JPH11163233A (ja) * | 1997-11-21 | 1999-06-18 | Dainippon Printing Co Ltd | アルミニウム製放熱板およびその製造方法 |
JPH11164847A (ja) * | 1997-12-02 | 1999-06-22 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 超音波発生装置用振動子及び超音波発生装置 |
JP4248844B2 (ja) * | 2002-10-21 | 2009-04-02 | パナソニック株式会社 | 超音波振動子の製造方法および超音波流量計 |
JP2004236119A (ja) * | 2003-01-31 | 2004-08-19 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波振動子製造用冶具及び超音波振動子の製造方法 |
JP2006135573A (ja) * | 2004-11-05 | 2006-05-25 | Nippon Ceramic Co Ltd | 超音波送受波器 |
JP4831655B2 (ja) * | 2005-03-28 | 2011-12-07 | 日本セラミック株式会社 | 超音波送受波器 |
JP2007126697A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Fujifilm Corp | 複合材料及びその製造方法 |
-
2007
- 2007-12-18 JP JP2007325457A patent/JP5288237B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009147840A (ja) | 2009-07-02 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
WO2016199621A1 (ja) | 電力用半導体装置の製造方法および電力用半導体装置 | |
JPWO2016063744A1 (ja) | パワーモジュール | |
JP2010074422A (ja) | 水晶振動子素子の製造方法、水晶振動子素子、水晶振動子及び水晶発振器 | |
JP2010056232A (ja) | 電子部品パッケージ及びその製造方法 | |
JP2005259880A (ja) | 半導体装置 | |
JP6470311B2 (ja) | Sawデバイスおよびsawデバイスの製造方法 | |
JP5288237B2 (ja) | 超音波センサの製造法および多結晶アルミニウム成形体の製造法ならびに超音波センサ | |
CN111788773A (zh) | 复合基板以及压电元件 | |
JP4706452B2 (ja) | 電子部品モジュール | |
JP2007075686A (ja) | 圧力波発生装置及び圧力波発生装置の駆動方法 | |
JP2005019829A (ja) | 半導体装置 | |
JP2006180169A (ja) | 振動子パッケージの製造方法 | |
JP2005051513A (ja) | 水晶振動子 | |
JP2008219529A (ja) | 圧電薄膜振動子の製造方法及び圧電薄膜振動子 | |
JP4525273B2 (ja) | 圧力波発生装置 | |
JP3992962B2 (ja) | 圧電振動子 | |
JP2006035003A (ja) | 超音波振動子及び超音波振動子の製造方法 | |
JP2011082734A (ja) | 水晶振動片の製造方法、および水晶デバイスの製造方法 | |
RU2271909C2 (ru) | Способ сварки давлением | |
JP2007103447A (ja) | チップコイル | |
JP2005313086A (ja) | 圧力波発生素子 | |
JP2007019135A (ja) | 基板の洗浄方法およびこの洗浄方法を用いた振動体の製造方法 | |
JP2016086233A (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
JP4203719B2 (ja) | コイルの製造方法およびコイルとそのコイルを使用した電子機器 | |
JP6026841B2 (ja) | 圧電ウエハと弾性波装置の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20101216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20120628 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120710 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120907 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130423 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130523 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5288237 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |