JP2007075686A - 圧力波発生装置及び圧力波発生装置の駆動方法 - Google Patents
圧力波発生装置及び圧力波発生装置の駆動方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007075686A JP2007075686A JP2005264334A JP2005264334A JP2007075686A JP 2007075686 A JP2007075686 A JP 2007075686A JP 2005264334 A JP2005264334 A JP 2005264334A JP 2005264334 A JP2005264334 A JP 2005264334A JP 2007075686 A JP2007075686 A JP 2007075686A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure wave
- wave generator
- pulse train
- heating element
- modulated
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Electrostatic, Electromagnetic, Magneto- Strictive, And Variable-Resistance Transducers (AREA)
- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
耐久性の高い高品質の圧力波発生装置及び圧力波発生装置の駆動方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
本発明に係る圧力波発生装置は、圧力波を発生させる圧力波発生装置1であって、シリコン基板11と、当該シリコン基板11上に配設された熱絶縁層13と、当該熱絶縁層13上に形成された発熱体薄膜14と、当該発熱体薄膜14に接続され、発熱体薄膜14に駆動電流を供給する駆動部17とを備え、駆動電流は、振幅やパルスの間隔、あるいはパルス幅が変調されたパルス列から構成されたものである。そして、本発明に係る圧力波発生装置は、当該変調されたパルス列に応じた圧力波を発生させて出力する。
【選択図】 図1
Description
本発明は、このような問題を解決するためになされたものであり、耐久性の高い高品質な圧力波発生装置及び圧力波発生装置の駆動方法を提供することを目的とする。
以下、本発明を実施するための最良の形態について図面を参照して説明する。
発明の実施の形態1においては、パルス状の駆動電流の振幅が変調される場合について説明する。
まず、図1を用いて、本発明に係る圧力波発生装置の構成について説明する。図1は、本発明に係る圧力波発生装置の一構成例を示す模式図であり、図1(a)は断面図、図1(b)は上面図である。また、図1においては、本発明に係る圧力波発生装置の主たる構成が示されている。
シリコン基板11は、ウェハをダイシングすることにより形成される。
マスク層12は、高抵抗の材料が用いられた層であり、パッド間の電気的絶縁の役割を果たす。このマスク層12の直下は多孔質の熱絶縁層ではなく、シリコン基板となるので、ワイヤボンド時の超音波の逃げによる接着不良を防止するチップ構造となる。これにより信頼性の高いワイヤの接続が可能となる。マスク層12は、例えば、SiCやシリコンナイトライド(窒化シリコン)等から構成されている。マスク層12は、シリコン基板11上に配設され、詳細には、シリコン基板12の4辺の周辺部に配設されている。このマスク層12は、ウェハ上では、ダイシング領域も兼ね、ダイシングによる多孔質層の破壊を防ぐ役割も果たす。
発熱体薄膜14は、Al等の金属材料から構成され、発熱電極として機能する。発熱体薄膜14は、熱絶縁層13上に配設され、一例として帯状に形成されている。詳細には、発熱体薄膜14は、熱絶縁層13に比べて比較的薄く、例えば、30nmの厚さを有する。発熱体薄膜14は、熱絶縁層13がマスク層12の窪み部分に形成されているので、マスク層12に熱絶縁層13に密着した状態で架設されている。
圧力波発生装置1の駆動部17は、図1には図示しない信号入力部から入力された入力信号にAD変換等の信号処理を施して駆動電流を生成する。より具体的には、駆動部17は、入力信号によって変調したパルス列を生成する。後述するように、駆動電流は、例えば振幅が変調されたパルス列から構成されている。
図2に示すように、この駆動電流は、パルス状の駆動電流であり、詳細には、振幅が変調されたパルス列から構成されている。従って、駆動部17は、両パッド151,152にパルス状の駆動電流を供給することによって、ワイヤ161,162を介して発熱体薄膜14に電流を流す。パルス幅を十分に短くすることによって、発熱電極である発熱体薄膜14に大きな負荷を与えることなく、所望の信号を出力することができる。
図3のグラフに、本発明に係る圧力波発生装置1にある周波数領域に渡って同じレベルの入力を与えたときに発生する超音波の周波数と音圧レベルの一例が示されている。図3において、横軸が入力の周波数、縦軸が超音波の音圧レベルである。図3は30kHz〜80kHzの領域に関してフラットな周波数特性を示しており、本発明に係る圧力波発生装置1は、各周波数に対してほぼ同じ大きさで超音波を発生させることができることを意味している。
図4(a),(b)に示すように、本発明に係る圧力波発生装置1では、入力周波数が40kHzの場合にも、50kHzの場合にも、ほぼ同じ程度に70dBの音圧レベルで出力されている。
図5のグラフに、ある周波数領域に渡って同じレベルの入力を与えたときの一般的な圧電素子が発生させる超音波の周波数に対する音圧レベルが示されている。図3とは異なり、周波数特性には共振点が見られ、音圧レベルは周波数により大きく変化している。
図6に、この圧電素子に、本発明に係る駆動方法を適用した結果が示されている。ここで、圧電素子においては、線形システムであるので、直流成分と正弦波状の交流成分とから構成された駆動電流ではなく、交流成分に対応する振幅が変調されたパルスが印加されている。図6(a)は交流成分の周波数が50kHzである場合の結果、図6(b)は交流成分の周波数が40kHzである場合の結果である。
発明の実施の形態2においては、駆動電流のパルスの間隔が変調される場合について説明する。なお、本実施形態においても、圧力波発生装置1が用いられるが、発明の実施の形態1と同様であるため、ここではその説明を省略する。
図7に、本実施形態におけるパルス状の駆動電流の一例が示されている。図7に示すように、本実施形態におけるパルス状の駆動電流は、各パルス間の間隔が変調されたパルス列から構成されている。換言すれば、パルス列のパルスの密度が変調され、このパルス列の密度によって、大気圧に対する空気の振動から生じる縦波である圧力波自体の粗密が再現されている。従って、パルス列のパルス間隔が狭い箇所は、大きな振幅の縦波に対応し、逆にパルス間隔が広いところは、小さな振幅に対応している。このとき、駆動電流の振幅は変調されず、一定の振幅でパルス状の駆動電流が印加される。また、本実施形態においても、パルス幅を十分に短くすれば、発熱電極である発熱体薄膜14へ大きな負荷を与えることなく、所望の信号を出力することができる。
発明の実施の形態3においては、駆動電流のパルス幅が変調される場合について説明する。なお、本実施形態においても、圧力波発生装置1が用いられるが、発明の実施の形態1と同様であるため、ここではその説明を省略する。
図8に、本実施形態におけるパルス状の駆動電流の一例が示されている。図8に示すように、本実施形態におけるパルス状の駆動電流は、各パルスのパルス幅が変調されたパルス列から構成されている。換言すれば、パルス列のパルス幅が変調され、大気圧に対する空気の振動から生じる縦波である圧力波自体の粗密がパルス幅の大小によって再現されている。従って、パルス列のパルス幅が大きい箇所は、大きな振幅の縦波に対応し、逆にパルス幅が小さいところは、小さな振幅に対応している。このとき、駆動電流の振幅は変調されず、一定の振幅でパルス状の駆動電流が供給される。
151,152…パッド、161,162…ワイヤ、17…駆動部
Claims (9)
- 圧力波を発生させる圧力波発生装置であって、
基板と、
当該基板上に配設された熱絶縁層と、
当該熱絶縁層上に配設された発熱電極と、
当該発熱電極に接続され、変調されたパルス列から構成された駆動電流を生成する駆動部とを備えた圧力波発生装置。 - 前記変調は、前記パルス列の振幅変調であることを特徴とする請求項1記載の圧力波発生装置。
- 前記変調は、前記パルス列の間隔変調であることを特徴とする請求項1記載の圧力波発生装置。
- 前記変調は、前記パルス列のパルス幅変調であることを特徴とする請求項1記載の圧力波発生装置。
- 前記熱絶縁層は、ナノ結晶シリコン層であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の圧力波発生装置。
- 圧力波を発生させる圧力波発生装置を駆動する方法であって、
変調されたパルス列を生成するステップと、
当該生成したパルス列を印加するステップとを備えた圧力波発生装置の駆動方法。 - 前記パルス列を生成するステップでは、前記パルス列の振幅変調を行うことを特徴とする請求項6記載の圧力波発生装置の駆動方法。
- 前記パルス列を生成するステップでは、前記パルス列の間隔の変調を行うことを特徴とする請求項6記載の圧力波発生装置の駆動方法。
- 前記パルス列を生成するステップでは、前記パルス列のパルス幅変調を行うことを特徴とする請求項6記載の圧力波発生装置の駆動方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005264334A JP4931389B2 (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | 圧力波発生装置及び圧力波発生装置の駆動方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005264334A JP4931389B2 (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | 圧力波発生装置及び圧力波発生装置の駆動方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007075686A true JP2007075686A (ja) | 2007-03-29 |
JP4931389B2 JP4931389B2 (ja) | 2012-05-16 |
Family
ID=37936514
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005264334A Expired - Fee Related JP4931389B2 (ja) | 2005-09-12 | 2005-09-12 | 圧力波発生装置及び圧力波発生装置の駆動方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4931389B2 (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013098843A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | スピーカ駆動装置およびスピーカ駆動方法 |
JP2013128323A (ja) * | 2009-02-27 | 2013-06-27 | Qinghua Univ | 熱音響装置 |
JP2013157996A (ja) * | 2009-06-09 | 2013-08-15 | Qinghua Univ | 加熱・音響装置 |
JP2013187845A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | スピーカー素子 |
WO2024057603A1 (ja) * | 2022-09-12 | 2024-03-21 | 株式会社村田製作所 | 圧力波発生素子 |
Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3638087A (en) * | 1970-08-17 | 1972-01-25 | Bendix Corp | Gated power supply for sonic cleaners |
JPS6220691A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-29 | Matsushita Seiko Co Ltd | 扇風機の底板 |
JPH0232219A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-02 | Japan Steel Works Ltd:The | 磁気検出器を用いた液位計 |
JPH0263580A (ja) * | 1987-01-09 | 1990-03-02 | William L Puskas | 超音波周波数ジェネレータ |
JPH11300274A (ja) * | 1998-04-23 | 1999-11-02 | Japan Science & Technology Corp | 圧力波発生装置 |
JP2001099689A (ja) * | 1999-08-20 | 2001-04-13 | Krohne Ag | 流体用のコリオリ流量測定装置のコリオリ管路に作用する振動発生器の制御方法、コリオリの原理により作動する、流体用の流量測定装置の振動発生器の給電回路 |
JP2002000684A (ja) * | 2000-06-26 | 2002-01-08 | World Beautic:Kk | 超音波美容器 |
JP2003154312A (ja) * | 2001-11-20 | 2003-05-27 | Japan Science & Technology Corp | 熱誘起圧力波発生装置 |
JP2004153797A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-05-27 | Matsushita Electric Works Ltd | 超音波発生装置および照明器具 |
JP2005073197A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-17 | Nokodai Tlo Kk | 音波発生装置とその製造方法 |
-
2005
- 2005-09-12 JP JP2005264334A patent/JP4931389B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3638087A (en) * | 1970-08-17 | 1972-01-25 | Bendix Corp | Gated power supply for sonic cleaners |
JPS6220691A (ja) * | 1985-07-19 | 1987-01-29 | Matsushita Seiko Co Ltd | 扇風機の底板 |
JPH0263580A (ja) * | 1987-01-09 | 1990-03-02 | William L Puskas | 超音波周波数ジェネレータ |
JPH0232219A (ja) * | 1988-07-22 | 1990-02-02 | Japan Steel Works Ltd:The | 磁気検出器を用いた液位計 |
JPH11300274A (ja) * | 1998-04-23 | 1999-11-02 | Japan Science & Technology Corp | 圧力波発生装置 |
JP2001099689A (ja) * | 1999-08-20 | 2001-04-13 | Krohne Ag | 流体用のコリオリ流量測定装置のコリオリ管路に作用する振動発生器の制御方法、コリオリの原理により作動する、流体用の流量測定装置の振動発生器の給電回路 |
JP2002000684A (ja) * | 2000-06-26 | 2002-01-08 | World Beautic:Kk | 超音波美容器 |
JP2003154312A (ja) * | 2001-11-20 | 2003-05-27 | Japan Science & Technology Corp | 熱誘起圧力波発生装置 |
JP2004153797A (ja) * | 2002-09-30 | 2004-05-27 | Matsushita Electric Works Ltd | 超音波発生装置および照明器具 |
JP2005073197A (ja) * | 2003-08-28 | 2005-03-17 | Nokodai Tlo Kk | 音波発生装置とその製造方法 |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013128323A (ja) * | 2009-02-27 | 2013-06-27 | Qinghua Univ | 熱音響装置 |
JP2013157996A (ja) * | 2009-06-09 | 2013-08-15 | Qinghua Univ | 加熱・音響装置 |
JP2013098843A (ja) * | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | スピーカ駆動装置およびスピーカ駆動方法 |
JP2013187845A (ja) * | 2012-03-09 | 2013-09-19 | Nippon Hoso Kyokai <Nhk> | スピーカー素子 |
WO2024057603A1 (ja) * | 2022-09-12 | 2024-03-21 | 株式会社村田製作所 | 圧力波発生素子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4931389B2 (ja) | 2012-05-16 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4625145B2 (ja) | 音響振動子及び画像生成装置 | |
JP4931389B2 (ja) | 圧力波発生装置及び圧力波発生装置の駆動方法 | |
JP3798302B2 (ja) | 熱誘起圧力波発生装置 | |
JP5583179B2 (ja) | ボンディング装置 | |
JP2007067514A (ja) | スピーカー装置 | |
WO2010032463A1 (ja) | 音響再生装置 | |
JP2006005625A (ja) | 音響振動発生装置 | |
JP3865736B2 (ja) | 超音波音源および超音波センサ | |
JP2009239518A (ja) | デジタル・スピーカー | |
JP4222169B2 (ja) | 超音波スピーカ及び超音波スピーカの信号音再生制御方法 | |
JP2006093636A (ja) | 半導体チップの接合方法および接合装置 | |
JP2004165895A (ja) | 電気音響変換装置 | |
JP2003153371A (ja) | 超音波再生方法・超音波再生装置 | |
JP2008113194A (ja) | 超音波素子および超指向性スピーカ | |
JP2012114780A (ja) | パラメトリックスピーカ | |
JP2013519328A (ja) | 後面音響整合層を利用した超音波プローブ | |
JP5958463B2 (ja) | 発振装置 | |
JP2007228472A (ja) | 静電型超音波トランスデューサ、静電型超音波トランスデューサの構成方法、および超音波スピーカ | |
JP4687446B2 (ja) | データ伝送装置 | |
JP6108753B2 (ja) | 超音波処置装置 | |
JP4277653B2 (ja) | 熱誘起型音波放射素子の駆動方法 | |
JP2020068482A (ja) | 超音波スピーカ及びパラメトリックスピーカ | |
ATE447258T1 (de) | Akustische oberflächenwellenvorrichtung und verfahren zur herstellung derselben | |
JP2009055644A (ja) | 超音波トランスデューサ | |
JP2005039437A (ja) | 超音波スピーカ及び超音波スピーカの信号音再生方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080318 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110127 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110208 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110406 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111011 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20111207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120207 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120214 |
|
R150 | Certificate of patent (=grant) or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (prs date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150224 Year of fee payment: 3 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |