JP2009239518A - デジタル・スピーカー - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板上に設けられたビット桁に対応する個数の音波発生素子(1)をアレイ化した音波発生装置と、アレイ化した各音波発生素子(1)にそのビット桁に対応した大きさの音圧信号を発生させるように駆動電力を付与する駆動制御部を備え、各音波発生素子(1)は、熱伝導性の基板(2)と、該基板(1)の一方の面上に形成されたナノ結晶シリコン層からなる断熱層(3)と、断熱層(3)上に形成され、交流成分を含む電流が印加されて電気的に駆動される導電性膜からなる発熱体薄膜(4)とからなり、各音波発生素子(1)の出力する音圧信号を重畳させたデジタル信号を出力とすることを特徴とするデジタル・スピーカー。
【選択図】図2
Description
また、本発明のデジタル・スピーカーは、周波数特性が理論的に1GHzオーダーまで平坦であるため、理想的なインパルス音響出力が得られ、量子化の際のサンプリング周波数を原音スペクトルの最高周波数に対応して、任意の周波数に設定できる。したがって、オーディオ信号はもちろん、自然環境音や小動物音声などのように超音波成分を含む音響信号の量子化サンプリング化も可能となる。
さらに、本発明のデジタル・スピーカーによれば、パルス駆動時の出力音圧は瞬時投入電力に比例することから投入電力を一定とすると、出力音圧はパルス幅に反比例して増大する。つまり、投入電力の時間的集中によって出力音圧が向上することからもデジタル駆動は本発明のデジタル・スピーカーに適した駆動法であると考えられる。
本発明のデジタル・スピーカーは、基板上に設けられたビット桁に対応する個数の音波発生素子をアレイ化した音波発生装置と、アレイ化した各音波発生素子にそのビット桁に対応した大きさの音圧信号を発生させるように駆動電力を付与する駆動制御部を備えている。各音波発生素子は、熱伝導性の基板と、該基板上の一方の面に形成されたナノ結晶シリコン層からなる断熱層と、断熱層上に形成され、交流成分を含む電流が印加されて電気的に駆動される導電性膜からなる発熱体薄膜とからなる。そして、本発明のデジタル・スピーカーは、各音波発生素子の出力する音圧信号を重畳させたデジタル信号を、直接出力する。
先ず、p型Si(100)3〜5Ω・cm基板を用いて、陽極酸化によりナノ結晶シリコン層を25μm厚に形成する。次に発熱体薄膜としてW薄膜(厚さ:50nm)をRFスパッタリングで成膜し、最後に電力投入用パッドとしてAl薄膜(厚さ:300nm)を蒸着する。
本発明のデジタル・スピーカーは、音波発生装置の上記の特性を利用することで、20kHの可聴周波数域以上の高いサンプリング周波数によるデジタル化にも対応可能で、かつ高出力であり、デジタル信号のままで直接、音波を出力できる、広帯域・高出力デジタル・スピーカーを実現したものである。そのための典型的な駆動法の2例を以下に述べる。
まず、16ビットデジタル信号から、本発明のデジタル・スピーカーにより直接、音波出力を観測した実施例を以下に示す。
図5に示したように、任意のアナログ信号を関数発生器(FG)、AD変換器、増幅器、16個の音波発生素子よりなる音波発生装置、マイクロフォン、増幅器、オシロスコープからなるシステムを構成し、音波のデジタル再生の測定を行った。関数発生器(FG)からの信号はAD変換器において16ビット量子化、サンプリング周波数200kHz、パルス幅2.5μsのTTLレベルのPCM信号に変換され、その各ビットの出力はアンプにて増幅し、各音波発生素子の電極に駆動電力として入力した。音波発生素子の構成、材料は図3で示したものと同様で、形状は一辺が3mmの正方形、素子ピッチは10mmである。各音波発生素子からのPCM信号をマイクロフォン上において干渉させ、デジタル信号の検出を行った。その際、入力信号はAD変換器において極性の変化が起きないように、常に0V以上の入力とした。
上位3ビット(16ビット目、15ビット目、14ビット目)の駆動回路の出力(それぞれのビット桁に対応したアレイ音波発生素子の入力)の一例を図9に示す。また、上位4ビット(16ビット目、15ビット目、14ビット目、13ビット目)それぞれの音波出力波形の一例を図10に示す。この場合、AD変換器からの上位4ビットの信号が、それぞれピーク電力64W、32W、16W、8Wの信号に増幅されデバイスへ投入された。
さらに、図12、図13に示すように、周波数5kHzの正弦波と三角波を入力信号とした場合においても、アナログ信号を忠実に再生した音響出力波形が得られた。
2 基板
3 断熱層
4 発熱体薄膜
5 信号源
6 音波
Claims (4)
- 基板上に設けられた、ビット桁に対応する個数の音波発生素子をアレイ化した音波発生装置と、アレイ化した各音波発生素子にそのビット桁に対応した大きさの音圧信号を発生させるように駆動電力を付与する駆動制御部を備え、
各音波発生素子は、熱伝導性の基板と、該基板上の一方の面に形成されたナノ結晶シリコン層からなる断熱層と、断熱層上に形成され、交流成分を含む電流が印加されて電気的に駆動される導電性膜からなる発熱体薄膜とからなり、
各音波発生素子の出力する音圧信号を重畳させたデジタル信号を出力とすることを特徴とするデジタル・スピーカー。 - 前記出力が、パルス振幅変調、パルス幅変調、パルス密度変調、パルス位相変調又はパルス符号変調による信号であることを特徴とする請求項1に記載のデジタル・スピーカー。
- アレイ化した各音波発生素子の発熱体薄膜の面積は同じであり、駆動制御部は、各音波発生素子のビット桁の重みに対応した大きさの駆動電力を付与することを特徴とする請求項1又は2に記載のデジタル・スピーカー。
- アレイ化した各音波発生素子の発熱体薄膜の面積を、各音波発生素子のビット桁の重みに対応する大きさの面積とすることを特徴とする請求項1又は2に記載のデジタル・スピーカー。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008081600A JP2009239518A (ja) | 2008-03-26 | 2008-03-26 | デジタル・スピーカー |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2008081600A JP2009239518A (ja) | 2008-03-26 | 2008-03-26 | デジタル・スピーカー |
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JP2009239518A true JP2009239518A (ja) | 2009-10-15 |
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ID=41252966
Family Applications (1)
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JP2008081600A Pending JP2009239518A (ja) | 2008-03-26 | 2008-03-26 | デジタル・スピーカー |
Country Status (1)
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JP (1) | JP2009239518A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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2008
- 2008-03-26 JP JP2008081600A patent/JP2009239518A/ja active Pending
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