JP5262322B2 - 静電潜像評価装置、静電潜像評価方法、電子写真感光体および画像形成装置 - Google Patents
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Description
また、LSIチップの評価として、電子ビームを用い、1ミクロンオーダーの電位を計測する方法が従来から知られている。しかし、その評価は、LSIの電気が流れる導電部に対する評価であり、電位は高々+5V程度の低電位に限定され、本発明が対象としている電子写真用感光体のような誘電体表面における数百〜数千Vの負電荷に対応することはできない。
特許文献2記載の発明は、本発明が採用しようとしている静電潜像評価装置および評価方法とは、使用するビームの波長が全く異なる上に、任意のラインパターンや、所望のビーム径およびビームプロファイルの潜像を形成することは不可能であり、本発明の目的と同様の目的を達成することはできない。
上記静電潜像計測手段は、潜像面積より潜像円相当径を算出するようにしてもよい。
上記静電潜像計測手段は、潜像円相当径から空間周波数を計測する手段と、露光エネルギー密度を基準に対して一定量変化させたときの潜像面積変動比率を評価値として算出する手段と、上記空間周波数毎の潜像面積変動比率を計測する手段と、を有するものであってもよい。
P2=(1−α)×P1
P3=(1+α)×P1
0.03<=α<=0.3
の条件に設定するとよい。
上記静電潜像評価装置において、試料表面の電位ポテンシャルを変えるための電圧印加手段と、潜像深さを計測する潜像深さ計測手段と、を有し、潜像深さ計測手段は、試料に入射する荷電粒子の試料に対する垂直方向の速度ベクトルが反転するような領域が存在する条件下で計測することができ、レーザーパワーを変えたときの潜像深さ変動比率により静電潜像を評価するようにするとよい。
静電潜像の大きさを計測する手段が、潜像面積を算出するものによれば、潜像形成能力を定量的に評価する装置を提供することが可能となる。
静電潜像の大きさを計測する手段が、潜像面積より潜像円相当径を算出するものによれば、静電潜像が、縦長や横長あるいは異型など形状が異なっていても、同じ空間周波数として、定量評価することが可能となる。
P2=(1−α)×P1
P3=(1+α)×P1
0.03<=α<=0.3
の条件に設定すれば、SN比(信号対雑音比)が高く、精度の良い静電潜像の評価が可能となる。
上記静電潜像評価装置において、試料表面の電位ポテンシャルを変えるための電圧印加手段と、潜像深さを計測する潜像深さ計測手段と、を有し、潜像深さ計測手段は、試料に入射する荷電粒子の試料に対する垂直方向の速度ベクトルが反転するような領域が存在する条件下で計測することができ、レーザーパワーを変えたときの潜像深さ変動比率により静電潜像を評価するようにすれば、潜像の電位深さを定量化して計測することが可能となるため、潜像深さ変動比率を評価することができ、より詳細な潜像形成能力評価が可能となる。
図1は、静電潜像計測装置の例を示している。この静電潜像計測装置は、荷電粒子ビームを照射する荷電粒子照射部1と、露光光学系を構成する光走査装置30と、試料設置部と、1次反転荷電粒子や2次電子などの検出部40を備えている。ここでいう「荷電粒子」とは、電子ビームあるいはイオンビームなど電界や磁界の影響を受ける粒子を指す。
なお、電子ビームに変えてイオンビームを用いる場合は、電子銃11の代わりに液体金属イオン銃などを用いる。
光走査装置30は、感光体試料25に関して感度を持つ波長のLD(レーザーダイオード)などからなる光源31、コリーメートレンズ32、アパーチャ33、集光レンズ34などを有してなる。さらに、後述の光偏向器、結像走査レンズなどを経て試料25上に所望のビーム径、ビームプロファイルを生成することが可能となっている。また、LDパワー駆動制御部46により、適切な露光時間、露光エネルギーで光ビームを照射できるようになっている。図1に示す例では、平板状の試料載置台26上に平板状の感光体試料25が載置され、この試料25の上面に光ビームを照射し、試料25の面に静電潜像を形成するようになっている。
真空チャンバ2内には、前述のとおり試料載置台26が設けられ、試料載置台26に感光体試料25が載置されるようになっている。真空チャンバ2を貫いて、上記感光体試料25から放出される電子を検出する検出器40が配置され、検出器40からはチャンバ2の外側において検出信号を取り出すことができるようになっている。
また、感光体試料25面の所定の位置に潜像パターンを形成するために、光偏向手段からの走査ビームを検知する前記同期検知器45の検知信号を活用すると良い。
感光体試料25の形状は、平面であっても曲面であっても良い。
従って、試料SPにおける「負極性に均一帯電している部分」である図のQ1点やQ2点で発生した2次電子el1、el2は、荷電粒子捕獲器24の正電位に引かれ、矢印G1や矢印G2で示すように変位し、荷電粒子捕獲器24に捕獲される。
換言すれば、荷電粒子捕獲器24により検出される2次電子の強度(2次電子数)は、強度の大きい部分が静電潜像の地の部分すなわち均一に負帯電している部分(図6(a)の点Q1やQ2に代表される部分)に対応し、強度の小さい部分が静電潜像の画像部すなわち光照射された部分(図6(a)の点Q3に代表される部分)に対応することになる。
例えば、捕獲される2次電子の強度を「明るさの強弱」で表現すれば、静電潜像の画像部分は暗く、地の部分は明るくコントラストがつき、表面電荷分布に応じた明暗像として表現(出力)することができる。勿論、表面電位分布を知ることができれば、表面電荷分布も知ることができる。
感光体試料に狙いの潜像を形成したときにレーザーパワーを変えても静電潜像の潜像面積が変化しにくいこと、すなわちロバスト性が高く、理想的な潜像が形成されていることを見出した。この着眼点に基づいて、静電潜像形成能力を評価するという発想に至った。
図7は、試料25に形成された1ドットの孤立パターンにおける露光エネルギー密度と、潜像面積の関係を示す。露光エネルギーの増加と共に、潜像径、したがって線像面積は増加し、ほぼ直線的に変化することがわかった。そして、直線の傾きは、潜像面積やビームスポット径などの露光条件、感光体条件によって変化する。傾きが小さいほど良好な潜像が形成することがわかった。従って、図8に示すように、露光量を変えて最低2水準計測し、この2水準間の傾きを算出することで、潜像形成システムの潜像形成能力を定量的に評価することができる。
従って、感光体試料25に照射される露光エネルギー密度の違いで生じた複数の静電潜像の大きさの変動量を比較することによる評価値を新たに導入とすることで、潜像形成能力を定量的に評価できることがわかる。
まず、電子写真プロセスに用いる400〜800nmの光に感度を有する有機感光体に対して、電子ビームをその加速電圧を2次電子より高い加速電圧に設定して照射することにより、帯電電位を設定することができる。電子写真装置の実機では、コロナ帯電、スコロトロン帯電などを用いるが、図4(b)に示すにように、電子ビームの加速電圧と感光体上の帯電電位には直線関係が成立するので、真空中であっても、実機環境を再現するために、狙った帯電電位を設定する。
tan(α)=(S2−S1)/(P2−P1) ・・・・(1)
まず、基準光量として、像面光量がP1の条件にて、静電潜像パターンを形成し、上述の手段を用いて、潜像面積S1を算出する。同様に像面光量P2,P3にて潜像面積S2,S3を算出する。P2,P3は以下の条件に設定する(図11参照)。
P2=(1−α)×P1
P3=(1+α)×P1
αは、0から1の間で適切な値を設定すると良い。αの値が1になると、潜像が形成されない条件が生じ、αの値が0に近くなるにしたがって潜像面積の変化が小さく、計測のSN比が低下する。
従って、0.03<=α<=0.3の範囲が好適である。
上記評価方法によれば、潜像面積を計測することができるので、主走査方向及び副走査方向の潜像の径を計測することは容易である。
D=2×(S/π)^0.5 ・・・(2)
で表すことができる。(2)式より、基準光量P1における円相当径D1を算出することができる。また、「光量P2の潜像面積S2/光量P3の潜像面積S3」を演算させることにより、潜像面積が変動した比率を表す潜像面積比率を出すことができる。従って、露光エネルギー密度を3回計測することで、円相当径D1における潜像面積比率Mを、
M=S2/S3
によって求めることができ、これによって定量的な評価値を導出することができる。
また、解析のタイミングは、複数の計測データを先に取得した後であっても良い。
上記iの値は任意で、静電潜像データを2回以上n回繰り返して取り込み、その平均をとることで、SN比を向上させることもできる。
空間周波数は円相当径の逆数すなわち、
空間周波数=1/円相当径
とみなして評価している。
このように、潜像相当径を変えて、潜像面積比率Mを計測し、各空間周波数帯域で評価することによりさらに詳細な潜像状態を評価し、システムの違いによる潜像形成能力を定量的に評価することができる。
円相当径128μmのときM=0.87
円相当径65μmのときM=0.74
円相当径44μmのときM=0.41
であった。
ビームスポット径が主走査方向60μm,副走査方向80μmのとき、M=0.74であり、
ビームスポット径が主走査方向45μm,副走査方向60μmのとき、M=0.87であり、
ビームスポット径が小径の方がMの値が大きく、潜像形成能力が高いことを定量的に評価できることがわかった。
(m×v0^2)÷2=e×|Vacc|
で表される。真空中ではエネルギー保存の法則により、加速電圧の働かない領域では等速で運動し、試料面に接近するに従い、電位が高くなり、試料電荷のクーロン反発の影響を受けて速度が遅くなる。したがって、一般的に以下のような現象が起こる。
同図(a)において、|Vacc|≧|Vp|なので、電子は、その速度が減速されるものの、試料に到達する。
同図(b)において、|Vacc|<|Vp|場合には、入射電子の速度は試料の電位ポテンシャルの影響を受けて徐々に減速し、試料に到達する前に速度が0となって、反対方向に進む。
これに対して、1次反転電子は、試料表面の電位分布の影響を受け、試料表面に到達する前に反転する電子のことで有り、全く異なる現象である。
図20からわかるように、加速電圧Vaccまたは印加電圧Vsubを変えながら、試料表面を電子で走査させ、Vth分布を計測することにより、試料の表面電位情報を計測することが可能となる。
光量P2のときの潜像深さをVp2
光量P3のときの潜像深さをVp3
とすれは、潜像深さ比率をMvとしたとき、
Mv=Vp2/Vp3
で表すことができる。空間周波数については、例えば潜像電位プロファイルの半値全幅で設定することができる。
上記評価方法を用いて得られた結果が、図17に示す感光体処方2のような場合は、静電潜像形成能力がNGすなわち不可であるとみなすことができる。この場合は、CTL膜厚を薄膜化することで、静電潜像形成能力を向上させることができる。厚膜の方が高耐久な感光体であるため、高耐久性の要求には相反することになるが、上記評価方法を採用することにより、高画質と高耐久性を両立する最適な膜厚を有する感光体を設計することが可能となる。
特にVCSELなどのマルチビーム走査光学系を搭載した画像形成装置に適する。
2 真空チャンバ
11 電子銃
20 偏向電極
21 対物レンズ
25 感光体試料
30 光走査装置
40 検出器
54 光学ハウジング
65 感光体試料
Claims (10)
- 表面電荷分布あるいは表面電位分布を有する感光体試料に対して荷電粒子ビームを照射し、荷電粒子ビームの照射で得られる検出信号により試料の静電潜像を計測する静電潜像評価装置において、
上記試料に波長400〜800nmのレーザー光を照射して静電潜像を形成する光走査装置と、
上記静電潜像の大きさを計測するとともに感光体試料に照射される露光エネルギー密度を変えて複数回計測する静電潜像計測手段と、
上記計測手段による複数回の計測結果から感光体試料に照射される露光エネルギー密度の違いで生じる複数の静電潜像の大きさの変動量を比較して静電潜像を評価する比較手段と、を有することを特徴とする静電潜像評価装置。 - 静電潜像計測手段は、静電潜像の面積を算出することを特徴とする請求項1記載の静電潜像評価装置。
- 静電潜像計測手段は、潜像面積より潜像円相当径を算出することを特徴とする請求項2記載の静電潜像評価装置。
- 静電潜像計測手段は、潜像円相当径から空間周波数を計測する手段と、露光エネルギー密度を基準に対して一定量変化させたときの潜像面積変動比率を評価値として算出する手段と、上記空間周波数毎の潜像面積変動比率を計測する手段と、を有することを特徴とする請求項3記載の静電潜像評価装置。
- 基準光量P1に対して、潜像面積変動比率を計測するときの光量をP2,P3としたとき、P2,P3の露光量は、
P2=(1−α)×P1
P3=(1+α)×P1
0.03<=α<=0.3
の条件であることを特徴とする請求項4記載の静電潜像評価装置。 - 露光エネルギー密度を変化させる手段は、光源のレーザーパワーを変えるものであることを特徴とする請求項1記載の静電潜像評価装置。
- 試料表面の電位ポテンシャルを変えるための電圧印加手段と、潜像深さを計測する潜像深さ計測手段と、を有し、潜像深さ計測手段は、試料に入射する荷電粒子の試料に対する垂直方向の速度ベクトルが反転するような領域が存在する条件下で計測することができ、レーザーパワーを変えたときの潜像深さ変動比率により静電潜像を評価することを特徴とする請求項1記載の静電潜像評価装置。
- 表面電荷分布あるいは表面電位分布を有する感光体試料に対して荷電粒子ビームを照射し、荷電粒子ビームの照射で得られる検出信号により試料の静電潜像を計測する静電潜像評価方法において、
上記試料に波長400〜800nmのレーザー光を照射して静電潜像を形成する工程と、
上記静電潜像の大きさを計測するとともに感光体試料に照射される露光エネルギー密度を変えて複数回計測する静電潜像計測工程と、
上記複数回の計測結果から感光体試料に照射される露光エネルギー密度の違いで生じる複数の静電潜像の大きさの変動量を比較して静電潜像を評価する工程と、を有してなる静電潜像評価方法。 - 請求項1乃至7のいずれかに記載の静電潜像評価装置を用いて評価した電子写真感光体であって、
電子ビームの加速電圧を2次電子より高い加速電圧に設定して狙いの帯電電位を設定する手段と、光源からの光束を光偏向器により等角速度的に偏向させ走査結像光学系により偏向光束を被走査面上に光スポットとして集光して感光体試料面に等速度的な光走査を行なう光走査装置と、を用い、
上記光走査装置で、電子写真装置における帯電電位、露光量、ビームスポット径の条件と同じ条件下で既知の潜像パターンを真空内で形成し、形成された潜像を取り込んだデータから、書き込み光源波長が780nm以下であり、かつ、平均ビームスポット径が65μm以上の条件において、基準光量に対して潜像円相当径が平均ビームスポット径以上であり、基準光量に対して+10%と基準光量に対して−10%の光量を照射させて潜像面積を計測したときの潜像面積変動比率が60%以上であることを特徴とする電子写真感光体。 - 感光体に対して電子写真プロセスを実行することにより画像を形成する画像形成装置であって、上記感光体は請求項9記載の電子写真感光体であることを特徴とする画像形成装置。
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