JP5251506B2 - 抵抗記憶素子 - Google Patents
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Description
2 素体
3,4 対向電極
5,6 端子電極
抵抗変化率={(直列抵抗成分+高抵抗状態での素子の抵抗)−(直列抵抗成分+低抵抗状態での素子の抵抗)}/(直列抵抗成分+低抵抗状態での素子の抵抗)
の式で表される。
素体を構成するチタン酸ストロンチウム系半導体セラミックの出発原料として、炭酸ストロンチウム(SrCO3)、酸化チタン(TiO2)、ならびに、ドナーとしての酸化ランタン(La2O3)、酸化ネオジム(Nd2O3)、酸化サマリウム(Sm2O3)、酸化ガドリニウム(Gd2O3)、酸化ディスプロシウム(Dy2O3)、酸化ホルミウム(Ho2O3)、酸化イットリウム(Y2O3)、ならびに酸化ニオブ(Nb2O5)および酸化タンタル(Ta2O5)の各粉末を用いた。
実験例2では、素体を構成するチタン酸ストロンチウム系半導体セラミックの組成として、実験例1における試料8と同じ組成となるように出発原料を調合し、実験例1の場合と同様の工程を採用しながらも、グリーンシートの厚みおよび焼成温度を種々に変えて、表6に示すような評価用試料を作製した。表6には、グリーンシートの厚みによって調整される対向電極間の厚みおよび焼成温度が示されている。なお、焼成温度およびグリーンシートの厚み(対向電極間の厚み)によって最適な還元条件が異なるため、焼成後の還元処理温度については、各試料ごとに600〜1200℃の範囲で最適な温度を選択した。
実験例3では、素体を構成するチタン酸ストロンチウム系半導体セラミックの組成に関して、
(1)(Sr1−xAx)vTiwO3において、表7〜表13にそれぞれ示すように、Srに対するドナーである「A」としてのLa、Nd、Sm、Gd、Dy、HoおよびYの各置換量xならびにいわゆるSrサイトとTiサイトとの比率v/wを種々に変えたもの、
(2)Srv(Ti1−yBy)wO3において、表14および表15にそれぞれ示すように、Tiに対するドナーである「B」としてのNbおよびTaの各置換量yならびにSrサイトとTiサイトとの比率v/wを種々に変えたもの、ならびに、
(3)(Sr1−xAx)v(Ti1−yNby)wO3において、表16〜表20に示すように、Srに対するドナーである「A」としてのLa、Sm、Gd、DyおよびYの各置換量xとNb置換量yとの和x+yならびにSrサイトとTiサイトとの比率v/wを種々に変えたもの
をそれぞれ用意し、これらチタン酸ストロンチウム系半導体セラミックをもって素体を構成した。なお、上記(1)の組成では、y=0であるので、xの値はx+yの値と同等である。上記(2)の組成では、x=0であるので、yの値はx+yの値と同等である。
Claims (5)
- 素体と、前記素体の少なくとも一部を介して対向する少なくとも1対の電極とを備え、前記1対の電極間に第1方向のスイッチング電圧を印加したとき、前記素体の、前記1対の電極間に位置する部分が低抵抗化し、その後、前記第1方向のスイッチング電圧を除去しても、前記素体の低抵抗状態が保持され、他方、前記1対の電極間に前記第1方向とは逆の第2方向のスイッチング電圧を印加したとき、前記素体の、前記1対の電極間に位置する部分が高抵抗化し、その後、前記第2方向のスイッチング電圧を除去しても、前記素体の高抵抗状態が保持される、抵抗記憶素子であって、
前記素体は、一般式:(Sr 1−x A x ) v (Ti 1−y B y ) w O 3 (ただし、Aは、Yおよび希土類元素から選ばれる少なくとも1種の元素であり、Bは、NbおよびTaの少なくとも一方である。)で表され、かつ、0.001≦x+y≦0.02(ただし、0≦x≦0.02、および0≦y≦0.02)の条件、ならびに0.87≦v/w≦1.030の条件を満足する、チタン酸ストロンチウム系半導体セラミックからなり、
前記素体の、前記1対の電極の間に存在する粒界数の平均値が0.5以上かつ44.5以下の範囲にある、
抵抗記憶素子。 - 前記チタン酸ストロンチウム系半導体セラミックは、0.005≦x+y≦0.01の条件を満足する、請求項1に記載の抵抗記憶素子。
- 前記チタン酸ストロンチウム系半導体セラミックは、0.950≦v/w≦1.010の条件を満足する、請求項1に記載の抵抗記憶素子。
- 前記電極は、前記素体と同時焼成により形成されたものである、請求項1に記載の抵抗記憶素子。
- 前記電極は、Pd、Pt、Ag−Pd、Au、RuおよびIrから選ばれる1種の金属を含む、請求項1に記載の抵抗記憶素子。
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US8637413B2 (en) | 2011-12-02 | 2014-01-28 | Sandisk 3D Llc | Nonvolatile resistive memory element with a passivated switching layer |
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WO2013125421A1 (ja) * | 2012-02-21 | 2013-08-29 | 株式会社村田製作所 | 抵抗スイッチングデバイスおよびその製造方法 |
US20140241031A1 (en) | 2013-02-28 | 2014-08-28 | Sandisk 3D Llc | Dielectric-based memory cells having multi-level one-time programmable and bi-level rewriteable operating modes and methods of forming the same |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000236100A (ja) * | 1999-02-17 | 2000-08-29 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体素子 |
JP2005167064A (ja) * | 2003-12-04 | 2005-06-23 | Sharp Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2005311356A (ja) * | 2004-04-16 | 2005-11-04 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 不揮発性抵抗切替メモリのための堆積方法 |
JP2006324447A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Sharp Corp | 不揮発性記憶素子及びその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5075818A (en) | 1989-02-16 | 1991-12-24 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Semiconductor-type laminated ceramic capacitor with a grain boundary-insulated structure and a method for producing the same |
JPH0536931A (ja) | 1991-07-26 | 1993-02-12 | Olympus Optical Co Ltd | メモリ素子及びその製造方法 |
JP2001210817A (ja) | 2000-01-27 | 2001-08-03 | Seiko Epson Corp | スイッチング素子 |
JP4187148B2 (ja) | 2002-12-03 | 2008-11-26 | シャープ株式会社 | 半導体記憶装置のデータ書き込み制御方法 |
US7291878B2 (en) * | 2003-06-03 | 2007-11-06 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands B.V. | Ultra low-cost solid-state memory |
US6992369B2 (en) * | 2003-10-08 | 2006-01-31 | Ovonyx, Inc. | Programmable resistance memory element with threshold switching material |
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Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000236100A (ja) * | 1999-02-17 | 2000-08-29 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体素子 |
JP2005167064A (ja) * | 2003-12-04 | 2005-06-23 | Sharp Corp | 不揮発性半導体記憶装置 |
JP2005311356A (ja) * | 2004-04-16 | 2005-11-04 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 不揮発性抵抗切替メモリのための堆積方法 |
JP2006324447A (ja) * | 2005-05-19 | 2006-11-30 | Sharp Corp | 不揮発性記憶素子及びその製造方法 |
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