JP5234718B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
に形成してトレンチの内表面に下地層を積層し、下地層によって覆われるトレンチの内部に銅材料を埋め込んで銅配線を形成する。あるいは、トレンチとビアホール(Via-Hole
)の双方を予め形成してトレンチとビアホールの内表面に下地層を積層し、下地層によって覆われるトレンチとビアホールの内部に銅材料を埋め込んで銅配線とビアプラグを同時に形成する。
メチル−3,5−ヘプタンジオナト)(1,5−ヘキサジエン)ルテニウム錯体)を10〜10,000にすること、を要旨とする。
−ヘプタンジオナト)(1,5−ヘキサジエン)ルテニウム錯体)が10以下、10,000以上であると安定したルテニウム膜の成膜ができない。
であって、前記還元性ガスが水素であることを特徴とする。
請求項5に記載の発明によれば、安定なルテニウム膜を成膜できる。
請求項7に記載の発明は、請求項1〜6のいずれか一つに記載の半導体装置の製造方法であって、前記ルテニウム膜を加熱する工程が、前記還元性ガス雰囲気の圧力を102Pa〜105Paにすること、を要旨とする。
請求項9に記載の発明によれば、ルテニウム膜の低抵抗化をさらに促進させることができる。
(半導体装置の製造装置)
図1は、半導体装置の製造装置10を模式的に示す平面図である。図1において、製造装置10は、ロードロックチャンバFL(以下単に、LLチャンバFLという。)と、LLチャンバFLに連結される搬送チャンバFTと、搬送チャンバFTに連結されるRuチャンバF1、熱処理チャンバF2を有する。
ローラMFC2に接続されている。第一ポートP1は、マスフローコントローラMFC2が所定量のキャリアガスを導入するとき、各第一供給孔K1を通じて基板Sの略全面にわたりキャリアガスを均一に供給する。この際、第一ポートP1は、マスフローコントロー
ラMFC1が所定量の還元性ガスGrを導入するとき、キャリアガスに搬送される還元性ガスGrを、各第一供給孔K1を通じて基板Sの略全面にわたり均一に供給する。なお、還元性ガスGrの流量が十分に大きく安定供給を可能とする場合には、キャリアガス、すなわち、マスフローコントローラMFC2を有しない構成であってもよい。
、貯留する原料SCを所定の圧力で導出する。液体マスフローコントローラLMFCは、原料タンク25が導出する原料SCを所定の供給量に調整して気化装置IUに導入する。気化装置IUは、液体マスフローコントローラLMFCからの原料SCを気化させるとともに、キャリアガス(例えば、He,Ar,N2 などの不活性ガス)のマスフローコントローラ
MFC3に接続されて原料SCをキャリアガスとともに第二ポートP2へ導出する。第二ポートP2は、各第二供給孔K2を介して、気化装置IUからの原料SCを基板Sの略全面にわたり均一に供給する。
料SCの熱分解反応によって基板Sの上にRu膜を堆積させる。これによって、RuチャンバF1は、基板Sの表面が下層導電体を露出させる場合であっても、処理空間Faの還元性ガス雰囲気によって下層導電体の酸化を回避させることができ、Ru膜と下層導電体との間に酸化膜を生成させることなく、下層導電体とRu膜とを接続させることができる。
次に、上記半導体装置の製造装置10に関する電気的構成について以下に説明する。図3は、製造装置10の電気的構成を示す電気ブロック回路図である。
成膜条件(例えば、基板温度、還元性ガスGrの流量、原料SCの供給量、成膜圧力、成膜時間など)に関するデータを制御装置30に入力する。また、入力部31Aは、Ru膜の熱処理を実行するための熱処理条件(例えば、基板温度、還元性ガスGrの流量、処理圧力、処理時間など)に関するデータを制御装置30に入力する。
LLチャンバ検出部32Aは、LLチャンバFLの状態、例えば、収容室FLaの実圧力、収容する基板Sの枚数などを検出し、その検出結果を制御装置30に入力する。搬送チャンバ検出部33Aは、搬送チャンバFTの状態、例えば、搬送ロボットRBのアーム位置などを検出し、その検出結果を制御装置30に入力する。
制御装置30は、LLチャンバ検出部32Aから入力される検出信号を利用して、LLチャンバ駆動部32Bに対応する駆動制御信号をLLチャンバ駆動部32Bに出力する。LLチャンバ駆動部32Bは、制御装置30からの駆動制御信号に応答し、収容室FLaを減圧あるいは大気開放して基板Sの搬入あるいは搬出を可能にする。
まず、制御装置30は、LLチャンバFLに基板Sがセットされて、入力部31Aから
各種のデータを受信する。次いで、制御装置30は、LLチャンバFLの状態と搬送チャンバFTの状態を検出し、入力部31Aから入力される処理順序に従って基板Sの搬送処理を開始させる。
次に、上記半導体装置の製造装置10を用いて形成するRu膜について実施例を挙げて以下に説明する。図4は、それぞれ上記半導体装置の製造装置10を用いて形成したRu膜のTEM(Transmission Electron Microscope )断面像である。
・原料SC:n−オクタンを溶媒とする0.5(mol/L )のビス(2−メトキシ−6−メチル−3,5−ヘプタンジオナト)(1,5−ヘキサジエン)ルテニウム錯体
・原料SCの供給量:0.4(g/min )
・還元性ガスGr:水素
・還元性ガスGrの流量:3(L/min )
・基板温度:270(℃)
・成膜圧力:2500(Pa )
・成膜時間:720(秒)
図4において、Ru膜42は、濃色領域で示され、絶縁層41の上部およびホールVHの内壁の全体にわたり約20nmの膜厚で略均一に形成されていることが分かる。これによって、上記Ru膜の成膜処理、すなわち、ビス(2−メトキシ−6−メチル−3,5−ヘプタンジオナト)(1,5−ヘキサジエン)ルテニウム錯体を還元性ガス雰囲気下で熱分解する成膜処理によれば、下地が絶縁層41の場合であっても、高い膜厚均一性と高い段差被覆性を有するRu膜42を得られることが分かる。
次に、上記半導体装置の製造装置10を用いて形成するRu膜の抵抗値について実施例を挙げて以下に説明する。図5と図6は、それぞれ抵抗値評価用のRu膜を示すTEM断面像と、各種の熱処理条件によるRu膜の抵抗値を示す図である。
・原料SC:n−オクタンを溶媒とする0.5(mol/L )のビス(2−メトキシ−6−メチル−3,5−ヘプタンジオナト)(1,5−ヘキサジエン)ルテニウム錯体
・原料SCの供給量:0.4(g/min )
・還元性ガスGr:水素
・還元性ガスGrの流量:3(L/min )
・基板温度:310(℃)
・成膜圧力:3500(Pa )
・成膜時間:720(秒)
(Ru膜の熱処理条件)
・基板温度:350(℃)
・熱処理ガス:還元性ガスGr(水素)
・熱処理圧力:3500(Pa )
・熱処理時間Ta:300(秒)、600(秒)、1800(秒)
また、Ru膜の熱処理条件において熱処理ガスを不活性ガス(N2)に変更するとともに、熱処理圧力を500(Pa )、熱処理時間Taを1800(秒)に変更し、その他の
条件を実施例2の条件と同じくして実施例3を得た。
処理時間Taを600(秒)に変更し、その他の条件を実施例2の条件と同じくして実施例4を得た。
理時間をTaを600(秒)に変更し、その他の条件を実施例2の条件と同じくして実施例5を得た。
て比較例を得た。そして、上記実施例2〜実施例5および比較例の各々のRu膜の抵抗値を計測した。実施例2〜実施例5および比較例の抵抗値を図6に示す。
次に、上記ルテニウム膜を用いる半導体装置について以下に説明する。図7は、半導体装置を示す要部断面図である。
(1)上記実施形態において、RuチャンバF1は、基板Sを還元性ガス雰囲気の下で加熱するとともに、還元性ガス雰囲気にビス(2−メトキシ−6−メチル−3,5−ヘプタンジオナト)(1,5ヘキサジエン)ルテニウム錯体を含む原料SCを供給して基板SにRu膜42を形成する。そして、熱処理チャンバF2は、RuチャンバF1から搬送されてRu膜42を有する基板Sをさらに加熱する。
・上記実施形態において、半導体装置の製造装置10は、Ru膜に熱処理を施す熱処理チャンバF2を搭載し、熱処理チャンバ検出部35Aと熱処理チャンバ駆動部35Bを有する。これに限らず、例えば、半導体装置の製造装置10は、熱処理チャンバF2を搭載しない構成であって、熱処理チャンバ検出部35Aと熱処理チャンバ駆動部35Bを有しない構成であってもよい。すなわち、半導体装置の製造装置10は、成膜室をRuチャンバF1の処理空間Faのみによって構成し、RuチャンバF1にRu膜の熱処理を実行させる構成であってもよい。
Claims (9)
- ルテニウム膜を有する半導体装置の製造方法であって、
還元性ガス雰囲気の下で基板を加熱するとともに前記還元性ガス雰囲気にビス(2−メトキシ−6−メチル−3,5−ヘプタンジオナト)(1,5−ヘキサジエン)ルテニウム錯体を供給して前記基板にルテニウム膜を形成する工程と、
前記基板上に形成された前記ルテニウム膜を前記ビス(2−メトキシ−6−メチル−3,5−ヘプタンジオナト)(1,5−ヘキサジエン)ルテニウム錯体を前記基板に対して供給しない状態でさらに加熱する工程と、を備えること、
を特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記還元性ガスとビス(2−メトキシ−6−メチル−3,5−ヘプタンジオナト)(1,5−ヘキサジエン)ルテニウム錯体の供給量のモル比(還元性ガス/ビス(2−メトキ
シ−6−メチル−3,5−ヘプタンジオナト)(1,5ヘキサジエン)ルテニウム錯体)を10〜10,000にすること、
を特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ルテニウム膜を形成する工程は、
前記還元性ガス雰囲気の圧力を102Pa〜105Paにすることを、
を特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜3のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ルテニウム膜を形成する工程は、
前記基板の温度を150℃〜500℃にすること、
を特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記還元性ガスが水素であることを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ルテニウム膜を加熱する工程は、
前記ルテニウム膜を還元性ガス雰囲気の下で加熱すること、
を特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜6のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ルテニウム膜を加熱する工程は、
前記還元性ガス雰囲気の圧力を102Pa〜105Paにすること、
を特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ルテニウム膜を加熱する工程は、
前記基板の温度を150℃〜500℃にすること、
を特徴とする半導体装置の製造方法。 - 請求項1〜8のいずれか1つに記載の半導体装置の製造方法であって、
前記ルテニウム膜を水素雰囲気の下で加熱すること、
を特徴とする半導体装置の製造方法。
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JP3371328B2 (ja) * | 1997-07-17 | 2003-01-27 | 株式会社高純度化学研究所 | ビス(アルキルシクロペンタジエニル)ルテニウム錯 体の製造方法およびそれを用いたルテニウム含有薄膜 の製造方法 |
JP4152028B2 (ja) * | 1999-01-25 | 2008-09-17 | 株式会社Adeka | ルテニウム系薄膜の製造方法 |
JP2002212112A (ja) * | 2001-01-22 | 2002-07-31 | Tanaka Kikinzoku Kogyo Kk | 化学気相蒸着用のルテニウム化合物並びにルテニウム薄膜及びルテニウム化合物薄膜の化学気相蒸着方法。 |
JP4517565B2 (ja) * | 2001-09-12 | 2010-08-04 | 東ソー株式会社 | ルテニウム錯体、その製造方法、及び薄膜の製造方法 |
JP4097979B2 (ja) * | 2002-04-18 | 2008-06-11 | 田中貴金属工業株式会社 | Cvd用原料化合物及びルテニウム又はルテニウム化合物薄膜の化学気相蒸着方法 |
JP2005087697A (ja) * | 2003-09-17 | 2005-04-07 | Morio Takayama | 収納式ペーパーホルダー |
JP4771516B2 (ja) * | 2005-03-04 | 2011-09-14 | Jsr株式会社 | 化学気相成長材料及び化学気相成長方法 |
JP2006324363A (ja) * | 2005-05-17 | 2006-11-30 | Elpida Memory Inc | キャパシタおよびその製造方法 |
US7632351B2 (en) * | 2005-08-08 | 2009-12-15 | E. I. Du Pont De Nemours And Company | Atomic layer deposition processes for the formation of ruthenium films, and ruthenium precursors useful in such processes |
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JP2008031541A (ja) * | 2006-07-31 | 2008-02-14 | Tokyo Electron Ltd | Cvd成膜方法およびcvd成膜装置 |
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