JP5227360B2 - リソグラフィ装置、デバイス製造方法および制御システム - Google Patents
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Description
Claims (19)
- 流れ方向に沿って液体を除去するよう配置された除去コンジットを含み、前記除去コンジットが、複数の表面を有するとともに該表面上に複数の電極を有する毛細管路を含み、
前記電極が疎液性材料の層で覆われている、液浸リソグラフィ装置。 - 基板ホルダを含み、前記除去コンジットが前記基板ホルダの外側に配置されている、請求項1に記載の装置。
- 前記除去コンジットが液体の排出先であるチャンバをさらに含む、請求項1又は請求項2のいずれかに記載の装置。
- 前記チャンバが低圧下である、請求項3に記載の装置。
- 前記毛細管路が500ミクロン未満の寸法を有する、請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載の装置。
- 前記複数の電極が前記流れ方向に連続して配置されている、請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の装置。
- 各電極の中心間の距離が約0.5mmである、請求項6に記載の装置。
- 前記複数の電極の間に、電極が置かれていないスペースがある、請求項1乃至請求項7のいずれか一項に記載の装置。
- 前記電極が、前記流れ方向に実質的に垂直な第2の方向に配置されている、請求項1乃至請求項5のいずれか一項に記載の装置。
- 投影システムを含み、各電極が前記投影システムの直径にほぼ等しい長さを有する、請求項9に記載の装置。
- 前記毛細管路が環状に形成されており、液体が該環の内側から外側に向かう方向に流れる、請求項9又は請求項10に記載の装置。
- 前記毛細管路が環状に形成されており、液体が該環に沿った接線方向に流れる、請求項9乃至請求項11のいずれか一項に記載の装置。
- 前記疎液性材料がテフロン(登録商標)である、請求項1乃至請求項12に記載の装置。
- 各電極に印加される電圧がそれぞれコントローラにより制御されている、請求項1乃至請求項13のいずれか一項に記載の装置。
- 液体と接触するように構成されている表面に配置された複数の電極を備え、前記電極が疎液性材料の層で覆われている、液浸リソグラフィ装置。
- 基板ホルダを備え、除去コンジットが前記基板ホルダの外側に配置されている、請求項15に記載の装置。
- 投影システムと基板との間のスペースに液体を供給すること、
複数の表面により形成されかつ該表面に複数の電極を有する毛細管路を備える除去コンジットを介して、流れ方向に沿って液体を除去することであって、前記電極の少なくとも1つに電圧を印加することを含むこと、および、
投影システムを使用して、放射線の投影ビームを液体を介して基板上に投影すること、
を含み、前記電極が疎液性材料の層で覆われている、デバイス製造方法。 - 前記除去コンジットが基板を保持する基板ホルダの外側に配置されている、請求項17に記載の方法。
- 液浸リソグラフィ装置に配置された複数の電極を制御するよう構成されている制御システムであって、前記電極が前記液浸リソグラフィ装置の液体に接触または近接するように構成され、かつ疎液性材料の層で覆われている、制御システム。
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