JP6648266B2 - 基板ホルダ、リソグラフィ装置、及びデバイスを製造する方法 - Google Patents
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Description
[0001] 本出願は、2015年12月15日に出願された欧州特許出願第15200143.4号の優先権を主張する。この出願は援用によりその全体が本願に含まれる。
本体表面を有する本体と、
本体表面から突出して、本体表面から離間させて基板を支持する複数のバールと、
本体表面の周辺領域に提供され、本体表面の周辺部の方へ優先的に液体を流すように構成された液体制御構造と、
を備える基板ホルダが提供される。
本体表面を有する本体と、
本体表面から突出して、本体表面から離間させて基板を支持する複数のバールと、
本体表面の周辺領域に提供され、周辺領域を横切って本体表面の中央へ向かう液体の移動を妨害するが、周辺領域を横切るガスの移動は妨害しないように構成された液体制御構造と、
を備える基板ホルダが提供される。
基板ホルダに基板をロードすることと、
クランプシステムを係合することと、
基板上にパターンを露光することと、
クランプシステムを解放することと、
基板ホルダから基板を持ち上げることと、
を含む方法が提供される。
− 放射ビームB(例えばUV放射又はDUV放射)を調節するように構成された照明システム(イルミネータ)ILと、
− パターニングデバイス(例えばマスク)MAを支持するように構成され、特定のパラメータに従ってパターニングデバイスMAを正確に位置決めするように構成された第1のポジショナPMに接続された支持構造(例えばマスクテーブル)MTと、
−例えば1つ以上のセンサを支持するセンサテーブル又は基板(例えばレジストコート製品基板(production substrate))Wを保持するように構成された基板支持装置60のような、特定のパラメータに従って例えば基板W等のテーブルの表面を正確に位置決めするように構成された第2のポジショナPWに接続された支持テーブルと、
− パターニングデバイスMAによって放射ビームBに付与されたパターンを基板Wのターゲット部分C(例えば1つ以上のダイを含む)に投影するように構成された投影システム(例えば屈折投影レンズシステム)PSと、を備える。
本体表面を有する本体と、
本体表面から突出して、本体から離間させて基板を支持する複数のバールと、
本体表面の周辺領域に提供され、本体表面の周辺部の方へ優先的に液体を流すように構成された液体制御構造と、
を備える。
本体表面を有する本体と、
本体表面から突出して、本体表面から離間させて基板を支持する複数のバールと、
本体表面の周辺領域に提供され、周辺領域を横切って本体表面の中央へ向かう液体の移動を妨害するが、周辺領域を横切るガスの移動は妨害しないように構成された液体制御構造と、
を備える。
Claims (15)
- リソグラフィ装置において使用するための、基板を保持するように構成された基板ホルダであって、
本体表面を有する本体と、
前記本体表面から突出して、前記本体表面から離間させて前記基板を支持する複数のバールと、
前記基板ホルダによって支持されたときの前記基板の少なくとも部分的に下方において前記本体表面の周辺領域に提供され、前記本体表面の周辺部の方へ優先的に液体を流すように構成された液体制御構造と、を備え、
前記液体制御構造は、前記周辺領域の内側から前記周辺領域の外側へ延出する複数のチャネルを備える、基板ホルダ。 - 前記液体制御構造は、前記チャネルの側壁から突出すると共に前記周辺領域の前記内側へ向かう角度の付いた複数のフィンを更に備える、請求項1に記載の基板ホルダ。
- 前記液体制御構造は、前記本体表面の前記周辺部の方へ優先的に液体を流す毛管力を生成する、請求項1又は2に記載の基板ホルダ。
- リソグラフィ装置において使用するための、基板を保持するように構成された基板ホルダであって、
本体表面を有する本体と、
前記本体表面から突出して、前記本体表面から離間させて前記基板を支持する複数のバールと、
前記本体表面の周辺領域に提供され、前記本体表面の周辺部の方へ優先的に液体を流すように構成された液体制御構造と、を備え、
前記液体制御構造は、前記周辺領域の内側から前記周辺領域の外側へ延出する複数のチャネルと、前記チャネルの側壁から突出すると共に前記周辺領域の前記内側へ向かう角度の付いた複数のフィンと、を備える、基板ホルダ。 - リソグラフィ装置において使用するための、基板を保持するように構成された基板ホルダであって、
本体表面を有する本体と、
前記本体表面から突出して、前記本体表面から離間させて前記基板を支持する複数のバールと、
前記本体表面の周辺領域に提供され、前記本体表面の周辺部の方へ優先的に液体を流すように構成された液体制御構造と、を備え、
前記液体制御構造は、前記周辺領域の内側から前記周辺領域の外側へ延出する複数のチャネルを備え、
前記複数のチャネルの幅は、前記周辺領域の前記外側にいくにつれて狭くなる、基板ホルダ。 - リソグラフィ装置において使用するための、基板を保持するように構成された基板ホルダであって、
本体表面を有する本体と、
前記本体表面から突出して、前記本体表面から離間させて前記基板を支持する複数のバールと、
前記本体表面の周辺領域に提供され、前記本体表面の周辺部の方へ優先的に液体を流すように構成された液体制御構造と、を備え、
前記液体制御構造は、前記周辺領域の内側から前記周辺領域の外側へ延出する複数のチャネルを備え、
前記複数のチャネルの深さは、前記周辺領域の前記外側にいくにつれて大きくなる、基板ホルダ。 - リソグラフィ装置において使用するための、基板を保持するように構成された基板ホルダであって、
本体表面を有する本体と、
前記本体表面から突出して、前記本体表面から離間させて前記基板を支持する複数のバールと、
前記本体表面の周辺領域に提供され、前記本体表面の周辺部の方へ優先的に液体を流すように構成された液体制御構造と、を備え、
前記液体制御構造は、前記周辺領域の内側から前記周辺領域の外側へ延出する複数のチャネルを備え、
前記液体制御構造は、前記本体表面の前記周辺部の方へ優先的に液体を流す毛管力を生成する、基板ホルダ。 - 前記液体制御構造は、前記周辺領域の前記内側に沿って延出する溝を更に含む、請求項1から7のいずれか一項に記載の基板ホルダ。
- リソグラフィ装置において使用するための、基板を保持するように構成された基板ホルダであって、
本体表面を有する本体と、
前記本体表面から突出して、前記本体表面から離間させて前記基板を支持する複数のバールと、
前記本体表面の周辺領域に提供され、前記周辺領域を横切って前記本体表面の中央へ向かう液体の移動を妨害するが、前記周辺領域を横切るガスの移動は妨害しないように構成された液体制御構造と、を備え、
前記液体制御構造は、液体に対して第1の接触角を有する複数の第1の領域と、前記液体に対して前記第1の接触角とは異なる第2の接触角を有する複数の第2の領域と、を備え、
前記第1及び第2の領域は、前記基板ホルダの周辺部に対して平行に延出し、半径方向で交互に配置されている、基板ホルダ。 - 前記液体制御構造は、前記基板ホルダの周辺部に対して平行に延出する複数の溝を備える、請求項9に記載の基板ホルダ。
- リソグラフィ装置において使用するための、基板を保持するように構成された基板ホルダであって、
本体表面を有する本体と、
前記本体表面から突出して、前記本体表面から離間させて前記基板を支持する複数のバールと、
前記本体表面の周辺領域に提供され、前記本体表面の周辺部の方へ優先的に液体を流すように構成された液体制御構造と、を備え、
前記液体制御構造は、前記周辺領域の内側から前記周辺領域の外側へ延出する複数のチャネルを備え、
前記液体制御構造は、前記本体表面に接着された液体制御部材上に提供されている、基板ホルダ。 - リソグラフィ装置において使用するための、基板を保持するように構成された基板ホルダであって、
本体表面を有する本体と、
前記本体表面から突出して、前記本体表面から離間させて前記基板を支持する複数のバールと、
前記本体表面の周辺領域に提供され、前記周辺領域を横切って前記本体表面の中央へ向かう液体の移動を妨害するが、前記周辺領域を横切るガスの移動は妨害しないように構成された液体制御構造と、を備え、
前記液体制御構造は、液体に対して第1の接触角を有する複数の第1の領域と、前記液体に対して前記第1の接触角とは異なる第2の接触角を有する複数の第2の領域と、を備えるとともに、前記本体表面に接着された液体制御部材上に提供されており、
前記第1及び第2の領域は、前記基板ホルダの周辺部に対して平行に延出し、半径方向で交互に配置されている、基板ホルダ。 - 前記液体制御構造は、実質的に前記本体表面の周辺部全体を一周するように延出する、請求項1から12のいずれか一項に記載の基板ホルダ。
- 前記液体制御構造の内側は、前記基板が前記基板ホルダによって支持された場合に前記基板によって覆われた前記本体表面のエリア内に位置している、請求項1から13のいずれか一項に記載の基板ホルダ。
- 基板上に像を投影するためのリソグラフィ装置であって、
請求項1から14のいずれか一項に記載の基板ホルダと、
前記基板ホルダに基板をクランプするためのクランプシステムと、
を備える、リソグラフィ装置。
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