JP5223840B2 - 光記録媒体用アルミニウム合金反射膜およびこの反射膜を形成するためのスパッタリングターゲット - Google Patents

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US20050112019A1 (en) * 2003-10-30 2005-05-26 Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho(Kobe Steel, Ltd.) Aluminum-alloy reflection film for optical information-recording, optical information-recording medium, and aluminum-alloy sputtering target for formation of the aluminum-alloy reflection film for optical information-recording
JP4117001B2 (ja) * 2005-02-17 2008-07-09 株式会社神戸製鋼所 薄膜トランジスタ基板、表示デバイス、および表示デバイス用のスパッタリングターゲット
JP4621989B2 (ja) * 2005-03-10 2011-02-02 三菱マテリアル株式会社 耐腐食性に優れた反射板用反射膜およびこの耐腐食性に優れた反射板用反射膜を形成するためのスパッタリングターゲット
JP4667427B2 (ja) * 2006-08-01 2011-04-13 株式会社リコー 追記型光記録媒体
JP2010262991A (ja) * 2009-04-30 2010-11-18 Kobe Steel Ltd 現像液耐性に優れた表示装置用Ａｌ合金膜、表示装置およびスパッタリングターゲット

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