JP5089643B2 - 光接続要素の製造方法、光伝送基板、光接続部品、接続方法および光伝送システム - Google Patents
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Description
厚み約70μm、4インチの直径を有するシリコンウエハ(エナテック社製)の表面に1500ÅのAu/Crの金属膜を蒸着した。
図12(A)に示す静電力ピンセット装置を用いて、得られたシリコン・ミラーを顕微鏡下でハンドリングして、ダミーとして準備したシリコン基板上の100μm厚の樹脂層に形成したトレンチ内にシリコン・ミラーを落とし込んだ。図12(A)は、シリコン・ミラーのハンドリングに用いた静電力ピンセット装置の概略を示す図である。図12(A)に示すように、絶縁体(ポリイミド)で被膜された2つの金属板電極を保持板410a,410bとして、保持板410a,410bの電極間に高電圧を印加し、保持板410a,410bの先端部において、静電吸引力により接触的にシリコン・ミラー400を保持した。図12(B)は、静電力ピンセットの先端に静電吸着されたシリコン・ミラーを示す写真である。
以上説明したように、本実施例によれば、金属層が形成されたウエハ表面を鏡面として、ウエハから切り出されたシリコン・ミラーを光反射部材として用い、光が伝播する層に設けられたトレンチ内に配置することにより、外部とインタフェース接続する光接続構造が構成可能であることが示された。
Claims (6)
- 光伝送基板を製造する方法であって、前記方法は、
無機固体材料で形成されるウエハの表面をエッチングして凹曲面部を形成するステップと、
前記凹曲面部が前記表面に形成された前記ウエハをマウントするステップと、
先端角を有するダイシングブレードにより、前記ウエハの裏面を、前記表面に形成された凹曲面部に対応させて略山形形状に切削するステップと、
前記略山形形状の谷で分離して、光接続要素として前記ウエハの表面にあたる鏡面を有する3次元多面体の光反射部材を得るステップと、
光伝送基板が備える光導波路に略直交して前記光伝送基板の基板主面に開口するトレンチ内に、前記光反射部材の前記鏡面が前記光導波路の光軸に対し斜交するように挿入し、前記光伝送基板に対し外部との光接続構造を与えるステップと、
を含み、前記凹曲面部は、前記光導波路に対応した位置に形成されて凹面鏡として働くことを特徴とする、製造方法。 - 光信号を伝送する光伝送基板であって、前記光伝送基板は、
光導波路と、前記光導波路に略直交して基板主面に開口するトレンチ内に設けられ、前記光導波路の端面が近接する光接続部とを含み、
前記光接続部は、前記光導波路の光軸に対し斜交する鏡面を有し、無機固体材料で形成される3次元多面体の光反射部材を含み、前記光伝送基板に対し外部との光接続構造を与え、
前記3次元多面体の光反射部材は、前記無機固体材料で形成されるウエハの表面がエッチングされ前記光導波路に対応した位置に凹面鏡として働く凹曲面部が形成された前記鏡面となる面と、先端角を有するダイシングブレードにより前記凹曲面部に対応して前記ウエハの裏面が略山形形状に切削され形成された複数の面とを含むことを特徴とする、光伝送基板。 - 光伝送基板が備える光導波路に略直交して前記光伝送基板の基板主面に開口するトレンチ内に挿入される光接続部品であって、
前記光接続部品は、前記光接続部品に端面を近接させる前記光導波路の光軸に対し斜交するよう構成された鏡面を有し、無機固体材料で形成される、3次元多面体の光反射部材を含み、前記光伝送基板に対し外部との光接続構造を与え、
前記3次元多面体の光反射部材は、前記無機固体材料で形成されるウエハの表面がエッチングされ前記光導波路に対応した位置に凹面鏡として働く凹曲面部が形成された前記鏡面となる面と、先端角を有するダイシングブレードにより前記凹曲面部に対応して前記ウエハの裏面が略山形形状に切削され形成された複数の面とを含むことを特徴とする、光接続部品。 - 光信号を伝送する光伝送基板が備える光導波路を、外部と光インタフェース接続させる、光伝送基板の製造方法であって、前記方法は、
前記光導波路に略直交して前記光伝送基板の基板主面にトレンチを開口するステップと、
前記トレンチ内に、前記光導波路の光軸に対し斜交する鏡面を有し、無機固体材料で形成される3次元多面体の光反射部材を含む光接続部を、前記光導波路の端面に近接させて設けて、前記光伝送基板に対し外部との光接続構造を与えるステップと
を含み、前記3次元多面体の光反射部材は、前記無機固体材料で形成されるウエハの表面がエッチングされ前記光導波路に対応した位置に凹面鏡として働く凹曲面部が形成された前記鏡面となる面と、先端角を有するダイシングブレードにより前記凹曲面部に対応して前記ウエハの裏面が略山形形状に切削され形成された複数の面とを含むことを特徴とする、光伝送基板の製造方法。 - 光信号を伝送する光伝送基板と、前記光伝送基板上に配置される光デバイスとを含む光伝送システムであって、前記光伝送基板は、
光導波路と、前記光導波路に略直交して基板主面に開口するトレンチ内に設けられ、前記光導波路の端面が近接する光接続部とを含み、
前記光接続部は、前記光導波路の光軸に対し斜交する鏡面を有し、無機固体材料で形成される3次元多面体の光反射部材を含み、前記光デバイスと前記光導波路とは、前記光接続部により与えられる光接続構造の前記鏡面を介して結合され、
前記3次元多面体の光反射部材は、前記無機固体材料で形成されるウエハの表面がエッチングされ前記光導波路に対応した位置に凹面鏡として働く凹曲面部が形成された前記鏡面となる面と、先端角を有するダイシングブレードにより前記凹曲面部に対応して前記ウエハの裏面が略山形形状に切削され形成された複数の面とを含むことを特徴とする、光伝送システム。 - 光信号を伝送する光伝送基板であって、前記光伝送基板は、
光導波路と、前記光導波路に略直交して基板主面に開口し、前記基板主面に対し略垂直な内壁面を有するトレンチ内に設けられ、前記光導波路の端面が近接する光接続部とを含み、前記光接続部は、
前記トレンチに嵌合する形状に成形された光接続部品が前記トレンチに挿入されることにより形成され、前記光導波路の光軸に対し斜交する鏡面を有し無機固体材料で形成される3次元多面体の形状の光反射部材を含み、前記光伝送基板に対し外部との光接続構造を与え、
前記光反射部材は、前記3次元多面体が三角柱であり、ウエハの表面を前記鏡面として前記ウエハから切り出されたものであり、前記鏡面を除く複数の面が前記トレンチの内壁面に面接触し、
前記鏡面は、前記3次元多面体の面として提供され、前記無機固体材料で形成されるウエハの表面がエッチングされ前記光導波路のチャネルに対応した位置に形成された凹面鏡として働く凹曲面部を有し、前記光導波路の端面から射出される光線を前記基板主面に対し交差する方向、または前記基板主面を横断して入射した光線を前記光導波路の端面へ向けて反射するものであり、
前記複数の面は、先端角を有するダイシングブレードにより前記凹曲面部に対応して前記ウエハの裏面が略山形形状に切削され形成されたものであることを特徴とする、光伝送基板。
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