JP2007133036A - 光合分波素子 - Google Patents
光合分波素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2007133036A JP2007133036A JP2005324020A JP2005324020A JP2007133036A JP 2007133036 A JP2007133036 A JP 2007133036A JP 2005324020 A JP2005324020 A JP 2005324020A JP 2005324020 A JP2005324020 A JP 2005324020A JP 2007133036 A JP2007133036 A JP 2007133036A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical
- light incident
- light
- optical waveguide
- optical multiplexing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Optical Integrated Circuits (AREA)
Abstract
【課題】安価なプロセスにより作製可能で、かつより設計が容易な光合分波素子を提供することにある。
【解決手段】平板の光導波路の上面から見た外形が多角形で構成され、第一辺が反射面あるいは光入出射部13であり、該第一辺に対して斜めでかつ直線状である第二辺を有し、少なくとも2つ以上の該光入出射部12は該第二辺に近接して設けられているか、または光導波路内部に設けられていることにより、部品の容易な位置合わせを実現できることを特徴とする光合分波素子である。
【選択図】 図1
Description
すなわち本発明は、平板状の光合分波素子であり、少なくとも3つ以上の光入出射部を有し、少なくとも2つ以上の各光入出射部は素子面に設けられた穴に位置し、穴の中に光路変換のための傾斜した反射面を備えたことを特徴とする光合分波素子である。
光入出射部は、光入射部として用いてもよいし、光出射部として用いてもよい。
また図4(b)は45度傾斜した穴を設け、穴の壁面を反射面としている。反射面には反射率を高くするための金属層を設けてもよい。
光導波路板の一端面を光入出射部として用いる場合は、板面に対して垂直に光路変換するために端部に図5(a)のように微小ミラー14を設けてもよいし、図5(b)のように斜めに切断した傾斜端面を反射面としてもよいし、また水平に光の入出力を行うように図5(c)のように垂直な端面としてしてもよい。またこの一端面を反射面として用いる場合は、端面を粗面化することにより拡散反射が可能となる。
5インチシリコンウェハ上に2,2-ビス(3,4-ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物(6FDA)と2,2-ビス(トリフルオロメチル)-4, 4' -ジアミノビフェニル(TFDB)から形成されるポリイミドを上下のクラッド層として、6FDAと4, 4' -オキシジアニリン(ODA)から形成されるポリイミドをコア層として、公知のフォトリソグラフィとドライエッチング技術によりフィルム状光導波路を形成する。ここで長さ方向が互いに平行な複数のコア層が形成されておりマルチアレイの光導波路となっている。その後、この光導波路が形成されたシリコンウエハを5wt%のフッ酸水溶液中に浸漬させ、シリコンウェハから光導波路を剥し、光導波路板であるフィルム状光導波路を作製した。フィルム状光導波路の厚みは80μmとした。
光入出射部12のひとつに光導波路面に垂直方向から光源である面発光レーザーを微小ミラー14に照射したところ、他の光入出射部12および光入出射部となる一端面13から光出力が観測できた。また、一端面13から光を入射したところ、すべての光入出射部12から光出力を観測できた。なお、この際の光源と受光素子の実装は、四角形状の光入出射部12の輪郭となる4辺のうち3辺が光導波路部11に囲まれており、容易に位置合わせができた。
光導波路板は実施例1と同様に作成した図1のタイプの光合分波素子であり、光入出射部12の穴を台形の傾斜線に近接して4個設けたものを用いた。光入出射部12の穴は傾斜して設け、穴の傾斜壁面を反射面とした。一端部13に光ファイバーの出射端部を当てて光ファイバーからの光を光合分波素子に入射した。そうすると光入出射部12の各穴から出射光が観察された。
光導波路板は実施例1と同様に作成した図2のタイプの光合分波素子であり、光入出射部12の穴を一端部13に対して傾斜した線に沿って4個設けたものを用いた。光入出射部12の穴は傾斜して設け、穴の傾斜壁面を反射面とした。一端部13に光ファイバーの出射端部を当てて光ファイバーからの光を光合分波素子に入射した。そうすると光入出射部12の各穴から出射光が観察された。
用できる。
14:微小ミラー、 15:光のパス、 16:内角、
21:コア、 22:クラッド
Claims (4)
- 平板状の光合分波素子であり、少なくとも3つ以上の光入出射部を有し、少なくとも2つ以上の各光入出射部は素子面に設けられた穴に位置し、穴の中に光路変換のための傾斜した反射面を備えたことを特徴とする光合分波素子。
- 穴が平板に対して傾斜して形成されており、傾斜した穴の壁面が反射面となる請求項1に記載の光合分波素子。
- 穴が平板に対して垂直に形成されており、穴の中に傾斜した反射面が備えられた請求項1に記載の光合分波素子
- 平板の第一辺が反射面あるいは光入出射部であり、該第一辺に対して斜めでかつ直線状である第二辺を有し、少なくとも2つ以上の該光入出射部は該第二辺に近接して設けられている請求項1乃至請求項3に記載の光合分波素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005324020A JP2007133036A (ja) | 2005-11-08 | 2005-11-08 | 光合分波素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005324020A JP2007133036A (ja) | 2005-11-08 | 2005-11-08 | 光合分波素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007133036A true JP2007133036A (ja) | 2007-05-31 |
Family
ID=38154771
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005324020A Pending JP2007133036A (ja) | 2005-11-08 | 2005-11-08 | 光合分波素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2007133036A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010261990A (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-18 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 光接続要素の製造方法、光伝送基板、光接続部品、接続方法および光伝送システム |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001507476A (ja) * | 1996-12-20 | 2001-06-05 | コーニング インコーポレイテッド | 光導波路用反射結合器 |
JP2002062457A (ja) * | 1999-09-08 | 2002-02-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 光信号伝達装置、光データバスシステム、及び信号処理装置 |
JP2002131573A (ja) * | 2000-10-23 | 2002-05-09 | Fuji Xerox Co Ltd | 光信号伝達装置、光データバスシステム、及び信号処理装置 |
JP2003035836A (ja) * | 2001-07-23 | 2003-02-07 | Fuji Xerox Co Ltd | 光伝送装置及び光データバス |
JP2003057468A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-02-26 | Canon Inc | 光素子、光導波装置、それらの製造方法、およびそれらを用いた光電気混載基板 |
JP2004004190A (ja) * | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Fuji Xerox Co Ltd | 光伝送装置 |
JP2005284248A (ja) * | 2003-10-06 | 2005-10-13 | Mitsui Chemicals Inc | レーザ加工によるマイクロミラーが形成された光導波路 |
-
2005
- 2005-11-08 JP JP2005324020A patent/JP2007133036A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001507476A (ja) * | 1996-12-20 | 2001-06-05 | コーニング インコーポレイテッド | 光導波路用反射結合器 |
JP2002062457A (ja) * | 1999-09-08 | 2002-02-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 光信号伝達装置、光データバスシステム、及び信号処理装置 |
JP2002131573A (ja) * | 2000-10-23 | 2002-05-09 | Fuji Xerox Co Ltd | 光信号伝達装置、光データバスシステム、及び信号処理装置 |
JP2003035836A (ja) * | 2001-07-23 | 2003-02-07 | Fuji Xerox Co Ltd | 光伝送装置及び光データバス |
JP2003057468A (ja) * | 2001-08-21 | 2003-02-26 | Canon Inc | 光素子、光導波装置、それらの製造方法、およびそれらを用いた光電気混載基板 |
JP2004004190A (ja) * | 2002-05-30 | 2004-01-08 | Fuji Xerox Co Ltd | 光伝送装置 |
JP2005284248A (ja) * | 2003-10-06 | 2005-10-13 | Mitsui Chemicals Inc | レーザ加工によるマイクロミラーが形成された光導波路 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010261990A (ja) * | 2009-04-30 | 2010-11-18 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | 光接続要素の製造方法、光伝送基板、光接続部品、接続方法および光伝送システム |
US8442362B2 (en) | 2009-04-30 | 2013-05-14 | International Business Machines Corporation | Method for manufacturing optical coupling element, optical transmission substrate, optical coupling component, coupling method, and optical interconnect system |
US8542963B2 (en) | 2009-04-30 | 2013-09-24 | International Business Machines Corporation | Method for manufacturing optical coupling element, optical transmission substrate, optical coupling component, coupling method, and optical interconnect system |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100702978B1 (ko) | 레이저 가공에 의해 형성된 경면을 구비한 광도파로 | |
JP4153007B2 (ja) | 光配線基板および光電気混載基板 | |
JP2008216905A (ja) | 光モジュール及び光導波路の製造方法 | |
JP4659422B2 (ja) | 光導波路の製造方法 | |
Glebov et al. | Integration technologies for pluggable backplane optical interconnect systems | |
JP2007025382A (ja) | 光導波路、光導波路の製造方法及び光導波路モジュール | |
JP2009069359A (ja) | 光導波路デバイス、及び、光出力モジュール | |
JP2007183467A (ja) | ミラー付光導波路及びその製造方法 | |
JP2003322740A (ja) | 光配線部品及び光・電子混載実装基板 | |
JP2007133036A (ja) | 光合分波素子 | |
JP2006047764A (ja) | 突起状光導波路,その製造方法およびそれを用いた光電気混載基板 | |
JP2010204324A (ja) | 光導波路、光伝送装置および電子機器 | |
JP2010085564A (ja) | 光導波路回路及び光回路装置 | |
JPH10300956A (ja) | 光分岐導波路および光導波路回路 | |
JP4703441B2 (ja) | 光導波路素子および光電気混載素子 | |
JP2014194473A (ja) | 光導波路及び光導波路の検査方法 | |
JP2006259009A (ja) | 光導波路フィルムおよび電子機器 | |
JP2009103860A (ja) | 光導波路および光導波路製造方法 | |
JP2009300617A (ja) | 導光板および光モジュール | |
JP4119809B2 (ja) | 光電気混載基板 | |
JP2003172836A (ja) | 光路変換機能付光導波路素子 | |
JP2007094303A (ja) | 光導波路デバイス及び光導波路デバイスの製造方法 | |
JP2006184758A (ja) | 光導波路及び光導波路モジュール | |
JP2003302544A (ja) | 光路変換機能付高分子光導波路素子およびその製造方法 | |
JP2006215289A (ja) | 光回路用基板およびこれを用いた光回路基板の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080708 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20090216 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20090216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100209 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100216 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20100706 |