JP4506216B2 - 光結合装置及びその製造方法 - Google Patents
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Description
図1〜図4は、本発明の第1の実施の形態を示すものである。
図5〜図7は、本発明の第2の実施の形態を示すものである。
5、35(R)、35(G)、35(B)…入射光、6、36…光導波路、
7…下クラッド、8…上クラッド、9、39…コア、10…光導波路装置、
12…導波路側位置合わせマーカ、13…素子側位置合わせマーカ、
14…凹部(接着剤逃がし溝)、15…接着剤、16…導波路接着領域、18…出射光、
19…電極、20…裏面電極(Ti/Pt/Au)、21…絶縁層、22…電極パッド、
23…端子電極、30…支持板、31…基板、
33LED(R)、33LED(G)、33LED(B)…発光素子、40…凸状部、
41…Si片、44…凹部、49…接着剤
Claims (20)
- 端面に形成された光反射面による反射で外部光を内部に導入又は内部光を外部へ導出するように構成された光導波部と、前記光反射面とは反対側の位置にて前記光導波部に対向して配置されて前記外部光の出射又は前記内部光の受光を行う発光又は受光素子と、前記光導波部及び前記発光又は受光素子をそれぞれ固定した支持体とを有し、
前記発光又は受光素子を平坦な底面に固定し、これらの発光又は受光素子が実装可能 となるように後記第2凹部よりは幅広であって、前記光導波部のコアの長さ方向におけ る縦断面がほぼ逆台形状の第1凹部が、前記光導波部の前記端面の存在する前記支持体 の一端側に形成され、
前記支持体に対する前記光導波部の接着固定領域からはみ出る接着剤を受け入れ、こ の受け入れが可能となるように前記第1凹部よりは幅狭であって、前記光導波部のコア の長さ方向と直交する方向における縦断面がほぼV字状の第2凹部が、前記第1凹部と 連通し合った連設状態で、前記光導波部のコアの長さ方向に沿って前記光導波部の前記 接着固定領域外の前記支持体の両側部にそれぞれ形成され、
前記第1凹部及び前記第2凹部からなる凹部が前記光導波部の前記接着固定領域をコ 字状に囲むように形成されている、
光結合装置。 - 前記支持体が半導体からなっている、請求項1に記載した光結合装置。
- 前記支持体に対する前記光導波部及び前記発光又は受光素子の固定面とは反対側の支持体面に電極が設けられ、この電極と前記発光又は受光素子の電極とが前記支持体を通して電気的に導通されている、請求項2に記載した光結合装置。
- 前記支持体が比抵抗0.05Ω-cm以下の低抵抗基板である、請求項3に記載した光結合装置。
- 前記光反射面がほぼ45度に傾斜した光学ミラー面であり、この光学ミラー面とは反対側の位置にて前記光導波部に対向して面型の前記発光又は受光素子が配置されている、請求項1に記載した光結合装置。
- 前記光導波部と前記発光又は受光素子とにそれぞれ、位置合わせ用のマーカが設けられている、請求項1に記載した光結合装置。
- 前記光導波部が複数のコアを有し、これらのコアのそれぞれの前記光反射面とは反対側の位置にて前記光導波部に対向して前記発光又は受光素子の発光又は受光部が配置されている、請求項1に記載した光結合装置。
- 前記光導波部の光導波面積が前記端面で拡大されていて光出射端へ向けて徐々に縮小されており、これによって面積拡大された前記光反射面とは反対側の位置にて前記光導波部に対向して前記発光又は受光素子の複数の発光又は受光部が配置されている、請求項1に記載した光結合装置。
- 光通信用又はディスプレイ用として構成された、請求項1に記載した光結合装置。
- 請求項1に記載した光結合装置の製造方法であって、異方性エッチングによって前記支持体に前記第1凹部及び前記第2凹部を形成する工程と、前記第1凹部の底面に前記発光又は受光素子を固定する工程と、前記光導波部を、前記光反射面とは反対側の位置にて前記発光又は受光素子が対向して配置されるように、前記支持体に接着固定する工程とを有する、光結合装置の製造方法。
- 共通のマスクを用いて前記第1凹部と前記第2凹部とを同時に形成する、請求項10に記載した光結合装置の製造方法。
- 前記共通のマスクにおいて、前記第1凹部用の開口部の幅よりも前記第2凹部用の開口部の幅を小さくする、請求項11に記載した光結合装置の製造方法。
- 前記支持体を半導体で形成する、請求項10に記載した光結合装置の製造方法。
- 前記支持体に対する前記光導波部及び前記発光又は受光素子の固定面とは反対側の支持体面に電極を設け、この電極と前記発光又は受光素子の電極とを前記支持体を通して電気的に導通する、請求項10に記載した光結合装置の製造方法。
- 前記支持体として比抵抗0.05Ω-cm以下の低抵抗基板を用いる、請求項14に記載した光結合装置の製造方法。
- 前記光反射面をほぼ45度に傾斜した光学ミラー面に形成し、この光学ミラー面とは反対側の位置にて前記光導波部に対向して面型の前記発光又は受光素子を配置する、請求項10に記載した光結合装置の製造方法。
- 前記光導波部と前記発光又は受光素子とにそれぞれ、位置合わせ用のマーカを設ける、請求項10に記載した光結合装置の製造方法。
- 前記光導波部に複数のコアを形成し、これらのコアのそれぞれの前記光反射面とは反対側の位置にて前記光導波部に対向して前記発光又は受光素子の発光又は受光部を配置する、請求項10に記載した光結合装置の製造方法。
- 前記光導波部の光導波面積を前記端面で拡大させて光出射端へ向けて徐々に縮小させ、これによって面積拡大された前記光反射面とは反対側の位置にて前記光導波部に対向して前記発光又は受光素子の複数の発光又は受光部を配置する、請求項10に記載した光結合装置の製造方法。
- 光通信又はディスプレイ用として構成された光結合装置を製造する、請求項10に記載した光結合装置の製造方法。
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