JP5053362B2 - P型iii族窒化物半導体およびiii族窒化物半導体素子 - Google Patents
P型iii族窒化物半導体およびiii族窒化物半導体素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5053362B2 JP5053362B2 JP2009506322A JP2009506322A JP5053362B2 JP 5053362 B2 JP5053362 B2 JP 5053362B2 JP 2009506322 A JP2009506322 A JP 2009506322A JP 2009506322 A JP2009506322 A JP 2009506322A JP 5053362 B2 JP5053362 B2 JP 5053362B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- group iii
- iii nitride
- nitride semiconductor
- type group
- concentration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/025—Physical imperfections, e.g. particular concentration or distribution of impurities
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02367—Substrates
- H01L21/0237—Materials
- H01L21/0242—Crystalline insulating materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02436—Intermediate layers between substrates and deposited layers
- H01L21/02439—Materials
- H01L21/02455—Group 13/15 materials
- H01L21/02458—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/02521—Materials
- H01L21/02538—Group 13/15 materials
- H01L21/0254—Nitrides
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02518—Deposited layers
- H01L21/0257—Doping during depositing
- H01L21/02573—Conductivity type
- H01L21/02579—P-type
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/02104—Forming layers
- H01L21/02365—Forming inorganic semiconducting materials on a substrate
- H01L21/02612—Formation types
- H01L21/02617—Deposition types
- H01L21/0262—Reduction or decomposition of gaseous compounds, e.g. CVD
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S2301/00—Functional characteristics
- H01S2301/17—Semiconductor lasers comprising special layers
- H01S2301/173—The laser chip comprising special buffer layers, e.g. dislocation prevention or reduction
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S2304/00—Special growth methods for semiconductor lasers
- H01S2304/04—MOCVD or MOVPE
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/305—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region characterised by the doping materials used in the laser structure
- H01S5/3054—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region characterised by the doping materials used in the laser structure p-doping
- H01S5/3063—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region characterised by the doping materials used in the laser structure p-doping using Mg
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
- H01S5/3211—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures characterised by special cladding layers, e.g. details on band-discontinuities
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
- H01S5/323—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
- H01S5/32308—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser emitting light at a wavelength less than 900 nm
- H01S5/32341—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser emitting light at a wavelength less than 900 nm blue laser based on GaN or GaP
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Led Devices (AREA)
- Semiconductor Lasers (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Description
【0001】
本発明は、紫外線発光素子(発光ダイオードやレーザーダイオード)、紫外線センサーなどに利用可能なAl含有量が高い(III族元素の50原子%以上がAlである)P型III族窒化物半導体およびそれを用いた半導体素子に関する。
【背景技術】
【0002】
窒化ガリウム(GaN)に代表されるIII族窒化物半導体は可視領域から紫外領域に相当するエネルギー帯の全領域で直接遷移型のバンド構造を持ち、高効率な発光デバイスの作製が可能である。そのため発光ダイオード及びレーザーダイオードの研究が活発に行われ、現在では、可視領域から近紫外領域までの発光ダイオード、青色レーザーダイオードなどが製品化されている。そのようなデバイスの作製にはP型GaN作製技術が非常に重要であり、GaNについてはホール濃度1018cm−3という良好なP型伝導特性が実現されている。
【0003】
一方、300nm以下の深紫外領域で発光する発光ダイオードおよびレーザーダイオードを実現するためには、Al含有率が高いIII族窒化物半導体、例えばAlXGaYInZN(但し、X、Y、およびZはX+Y+Z=1を満足する有理数である。)で示される組成のIII族窒化物半導体であって、1.0>X≧0.5であるIII族窒化物半導体のP型伝導を実現する必要がある。しかしながら、Al含有量が増えることによって、P型伝導を実現することは非常に困難となる。
【0004】
その原因は、Al含有量の増加に伴ってアクセプター不純物原子の活性化エネルギー(アクセプターレベル)が増加し、また結晶中にドナー性欠陥が多く導入されるためキャリアが補償されてしまうからである。例えばGaNの場合はMgのアクセプターレベルは150meV程度であるのに対して、AlNでは500meV程度となる(非特許文献1および2参照)。また、非特許文献3ではIII族元素に占めるAlの割合(以下Al組成ともいう)が70%(前記式においてX=0.7、Z=0)のAlGaNにおけるMgの活性化エネルギー(EA)は400meV程度と見積もられ、比抵抗値(ρ)は、温度の関数として下記式に従うとされている。
ρ(T)=ρ0exp(EA/kT)
【0005】
非特許文献3では、上記試料の800Kにおける比抵抗値は40Ωcmであるが、温度低下に伴って比抵抗値は上記式に従って指数関数的に増加し、室温付近では105Ωcmの半絶縁状態になると報告されている。
【非特許文献1】
J.Crystal Growth189(1998)528
【非特許文献2】
Appl.Phys.Lett.89(2006)152120
【非特許文献3】
Appl.Phys.Lett.86(2005)092108
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【0006】
非特許文献3に示されている推定に従えば、例えばAl組成が70%(X=0.7)のAlXGaYInZNにおいて1016cm−3以上のホール濃度を得ようとした場合、1021cm−3以上の高濃度のアクセプター不純物原子のドーピングが必要となる。しかしながら、1021cm−3以上の高濃度のドーピングを行った場合は、ドーピングに伴って多くの結晶欠陥がAlXGaYInZN結晶中に導入され、ドナー性の補償中心が形成される結果、高いホール濃度を実現することが困難となる。
【0007】
高い電流密度を必要とする発光ダイオードやレーザーダイオードなどの半導体デバイスにおいては、キャリア濃度は高い方が望ましい。しかしながら、上述のような理由によりAl組成50%以上では明確なP型特性を実現させることすら難しく、そのため高効率なデバイス作製が極めて困難な状況となっている。そして、このことが、Al組成の高いP型AlXGaYInZNを必要とする半導体デバイス、例えば300nm以下の短波長発光素子の効率を高めることを非常に困難にしている。
【0008】
そこで、本発明は、Al組成が50%以上(X≧0.5)のAlXGaYInZNにアクセプター不純物原子をドーピングしたP型III族窒化物半導体であって、良好なP型特性を示すP型III族窒化物半導体を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【0009】
本発明者は、上記課題を解決すべく、有機金属気相成長法(MOCVD法)を用いてアクセプター不純物原子濃度およびAl組成の異なるP型III族窒化物半導体を多数製造し、それらの特性について詳細に検討を行った。その結果、非特許文献3に開示されている試料のアクセプター不純物原子濃度(約1.5×1020cm−3)よりも低い特定のアクセプター不純物原子濃度の範囲においては電気特性が非特許文献3に示される関係式に従わず、アクセプター不純物原子によるホール生成効率が高くなり、良好なP型特性を示すことがあることを見出し、本発明を完成するに到った。
[0010]
即ち、第一の本発明は、AlXGaYInZN(但し、X、Y、およびZは、それぞれ、1.0>X≧0.5、0.5≧Y≧0.0、0.5≧Z≧0.0を満足する有理数であり、X+Y+Z=1.0である。)で示される組成を有するIII族窒化物半導体にアクセプター不純物原子が5×1018〜1×1020cm−3の濃度でドーピングされたP型III族窒化物半導体であって、アクセプター不純物原子濃度に対する30℃におけるホール濃度の割合が0.001以上であることを特徴とするP型III族窒化物半導体である。
[0011]
前記したように非特許文献3には、高いAl含有量のIII族窒化物半導体にアクセプター不純物原子をドープしてP型半導体とした場合における比抵抗値(ρ)はアレニウスの式に従うことが記載されている。そして、この実験的に求められた活性化エネルギーから室温付近で低い比抵抗値を実現することは実質的に不可能であると考えられていた。本発明のP型III族窒化物半導体では、このような常識を覆し、アクセプター不純物原子濃度を特定の範囲とすることにより、アクセプター不純物原子によるホール生成効率を高くし、結果として良好なP型特性を得ることに成功している。
[0012]
このような優れた効果が得られる機構は必ずしも明確ではないが、本発明者等は、アクセプター不純物原子濃度が特定の範囲の場合には結晶構造において緩和が起こり、アモルファス半導体に見られるようなホッピング伝導が可能になったためではないかと推定している。アクセプター不純物原子がドープされることによって引き起こされる結晶格子の変形度合い(緩和度合い)とは良好な相関関係が見られるからである。なお、後述する実施例および比較例の結果に示されるように、比抵抗値やホール濃度は必ずしもアクセプター不純物原子濃度に対して正又は負のどちらか一方向に相関するわけではなく、場合によっては逆転することもある。
[0013]
しかしながら、比抵抗値やホール濃度などのP型半導体特性は上記緩和度合いのみによって一義的に決定されるものではなく、アクセプター不純物原子濃度自体の影響を受けることは勿論、転位や空孔といった構造的欠陥や不純物原子の混入によって形成される「ドナー性の補償中心」などの影響も受ける。このことは、結晶格子の変形度合い(緩和度合い)の主要決定要因であるアクセプター不純物原子濃度を一定にしても、結晶成長条件の違いによって比抵抗が大きく異なる場合があるという実験事実からも支持される。
【0014】
本発明のP型III族窒化物半導体は、本来このような諸因子によって特定されるべきものであるが、残念ながら、現在のところ上記「ドナー性の補償中心」の量や存在形態を定量的に把握する技術は確立されていない。また、それらを決定する因子とその影響、更には「ドナー性の補償中心」以外の“P型半導体特性に悪影響を与える様々な因子”とその影響についても定量的に把握することは実質的に不可能である。P型半導体特性に悪影響を与える因子は、理想的な結晶においてアクセプター不純物原子のドープにより形成されるホールを消滅させるような働きをすると考えられる。そこで、本発明では、ホールの形成に直接関係すると共に上記「緩和」を発生させる主要因である“アクセプター不純物原子”の濃度と、上記悪影響を総合的に反映する「アクセプター不純物原子濃度に対するホール濃度の割合」という2つの特性によってP型III族窒化物半導体を特定している。
【0015】
なお、前記本発明のP型III族窒化物半導体としては、30℃における比抵抗値が5×103Ωcm以下であるもの、また、30℃におけるホール濃度が5×1015cm−3以上であるものが好適である。さらに、本発明のP型III族窒化物半導体のa軸格子定数およびc軸格子定数をそれぞれA1およびC1とし、アクセプター不純物原子を含まない同一組成のIII族窒化物半導体のa軸格子定数およびc軸格子定数をそれぞれA2およびC2としたときに、A1がA2に比べて0.10%以上大きいか又はC1がC2に比べて0.05%以上小さいものであることが好ましい。また、第一本発明のP型III族窒化物半導体は、有機金属気相成長法により製造されることが好ましい。
【0016】
また、第二の本発明は、上記第一本発明のP型III族窒化物半導体からなる層を少なくとも1層含むことを特徴とする半導体素子である。
【発明の効果】
【0017】
本発明によれば、式AlXGaYInZNで示され、X≧0.5となるような高いAl含有量のIII族窒化物半導体をベースとしたP型III族窒化物半導体であって、例えば30℃における比抵抗値が5×103Ωcm以下、30℃におけるホール濃度が5×1015cm−3以上といった良好なP型特性を示すP型III族窒化物半導体が提供される。本発明のP型III族窒化物半導体を発光ダイオードやレーザーダイオードなどの半導体デバイスに用いることにより、半導体デバイスの効率を向上させることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
[0018]
図1は、サファイア基板上にIII族窒化物膜の積層構造からなるバッファ層をMOCVD法により形成し、さらにその上にMOCVD法により本発明のP型III族窒化物半導体を形成することにより得られた積層体の断面を模式的に示した図である。
図2は、実施例及び比較例のP型III族窒化物半導体のホール濃度と温度の逆数との関係を示したグラフである。
図3は、実施例及び比較例のP型III族窒化物半導体の比抵抗と温度の逆数との関係を示したグラフである。
図4は、Mg濃度と、“a軸結晶格子定数の変化率”および“c軸結晶格子定数の変化率”と、の関係を示したグラフである。
図5は、実施例及び比較例のP型III族窒化物半導体の{(A1−A2)/A1}×100(横軸)と比抵抗(縦軸)の関係を示したグラフである。
図6は、実施例及び比較例のP型III族窒化物半導体の{(C1−C2)/C1}×100(横軸)と比抵抗(縦軸)の関係を示したグラフである。
発明を実施するための最良の形態
[0019]
以下、本発明を、図面に示す実施形態に基づき説明する。
本発明のP型III族窒化物半導体は、AlXGaYInZN(但し、X、Y、およびZは、それぞれ、1.0>X≧0.5、0.5≧Y≧0.0、0.5≧Z≧0.0を満足する有理数であり、X+Y+Z=1.0である。)で示される組成を有するIII族窒化物半導体にアクセプター不純物原子が5×1018〜1×1020cm−3の濃度でドーピングされたP型III族窒化物半導体であって、アクセプター不純物原子濃度に対する30℃におけるホール濃度の割合が0.001以上であることを特徴とする。Alの含有量が上記組成式におけるXで表して0.5以上と高濃度であるIII族窒化物半導体にアクセプター不純物原子をドーピングしたP型III族窒化物半導体について、30℃におけるホール濃度がアクセプター不純物原子濃度の0.001倍以上と高濃度であるものはこれまで知られていない。
【0020】
本発明のP型III族窒化物半導体のベースとなるIII族窒化物半導体は、前記組成で示されるものであればよいが、結晶質、特に単結晶であることが好ましい。また、組成に関しては、製造上の容易さから、前記組成式におけるX、Y、およびZは、0.9>X≧0.5、0.5≧Y≧0.1、0.1≧Z≧0であることが好ましく、0.8>X≧0.6、0.4≧Y≧0.2、0.05≧Z≧0であることが特に好ましい。
【0021】
なお、Al、In、Ga、およびNの含有量は、2次イオン質量分析法などにより測定することができる。
【0022】
本発明のP型III族窒化物半導体は、5×1018〜1×1020cm−3の濃度のアクセプター不純物原子を含む。アクセプター不純物原子濃度が上記範囲外である場合には、ホッピング伝導を起こすような結晶格子の変形が起こらず、結晶成長条件を最適化して理想的な結晶状態としても良好なP型半導体特性を得ることができない。本発明のP型III族窒化物半導体では、例えば30℃付近において5×103Ωcm以下という低い比抵抗値を実現することができる。ところが、従来、このような比抵抗値を得るために必要なホールを形成するためには、理論上アクセプター不純物原子を1×1021cm−3以上の高濃度でドーピングする必要があるとされていた。すなわち、本発明では、1桁以上も低いアクセプター不純物原子濃度で、従来では得られない高い導電性を実現している。
【0023】
本発明のP型III族窒化物半導体に含まれるアクセプター不純物原子としては、Mg、Zn、Ca、Cd、Be等が使用できる。この中では、アクセプター不純物原子のイオン化エネルギーが小さく、また濃度の制御が比較的容易であるという理由からMgを使用するのが好ましい。アクセプター不純物原子濃度は5×1018〜1×1020cm−3の範囲であればよいが、高濃度のホール濃度を安定して実現するためには、1.6×1019〜7×1019cm−3、特に2×1019〜5×1019cm−3であることが好ましい。アクセプター不純物原子濃度が5×1018〜1.5×1019cm−3の範囲である場合には、アクセプター不純物原子の導入に伴う結晶格子の変形が比較的小さく、また、結晶成長条件の僅かな違いによる影響が相対的に大きくなる。このため、同様な操作によってP型III族窒化物半導体を形成した場合でも変形量がバラツキ、所期の変形が得られないことがある。
【0024】
本発明のP型III族窒化物半導体の30℃におけるホール濃度は、アクセプター不純物原子濃度の0.001倍以上、好ましくは0.0015倍以上、最も好ましくは0.002倍以上である。30℃におけるホール濃度は、比抵抗値およびホール起電圧からホール濃度を算出する、公知のホール効果測定により測定することができる。
【0025】
前記したようにホール濃度は、アクセプター不純物原子の濃度および様々な構造的因子の影響を受けて決定されるものと思われるが、その機構は明確ではない。そのため、本発明では「アクセプター不純物原子濃度に対する30℃におけるホール濃度の割合」でこのような構造的な特徴を間接的に特定している。
【0026】
本発明のP型III族窒化物半導体においては、「ドナー性の補償中心」の発生を抑制するという観点から、転位密度は1010cm−2以下、特に109cm−2以下であることが好ましく、酸素濃度は1018cm−3以下、特に1017cm−3以下であることが好ましい。なお、転位密度は透過電子顕微鏡の平断面観察によって測定することができる。また、酸素濃度は2次イオン質量分析法によって測定することができる。
【0027】
MOCVD法により実際に製造した本発明のP型III族窒化物半導体の結晶構造についてX線回折により分析を行ったところ、a軸格子定数およびc軸格子定数が、アクセプター不純物原子を含まない同一組成のIII族窒化物半導体(アクセプター不純物原子をドーピングしない他は全く同様にして製造したIII族窒化物半導体)のa軸格子定数およびc軸格子定数と比べて変化していることが確認された。即ち、本発明のP型III族窒化物半導体のa軸格子定数およびc軸格子定数をそれぞれA1およびC1とし、アクセプター不純物原子を含まない同一組成のIII族窒化物半導体のa軸格子定数およびc軸格子定数をそれぞれA2およびC2としたときに、A1がA2に比べて0.10%以上大きいか又はC1がC2に比べて0.05%以上小さいことが確認された。このことから、本発明のP型III族窒化物半導体においては、30℃付近において、アモルファス半導体に見られるようなホッピング伝導が可能になっているのではないかと思われる。
【0028】
すなわち、従来、P型III族窒化物半導体においては、III族窒化物の組成によって決定される一定のアクセプターレベルからの熱的励起によりホール伝導が起こるとされていた。これに対し、本発明のP型III族窒化物半導体においては、(1)200℃以上の範囲では上記従来の熱的励起による伝導が支配的となるが、(2)30℃付近から200℃以下の範囲では、アクセプター不純物原子の活性化エネルギーが上記従来の機構から予想される活性化エネルギーに比べて著しく低くなり、たとえば200meV以下という非常に低い値となる。その結果、アクセプターとして有効に機能するアクセプター不純物原子濃度が増加すると考えられる。
【0029】
上記(2)の温度領域における伝導機構では、P型III族窒化物半導体中にアクセプター不純物原子によるエネルギーバンド(不純物帯)が形成され、不純物帯における局在状態を介してホール伝導がおこる伝導機構が支配的になるものと考えられる(御子柴宣夫著,半導体の物理(改訂版))。そして、本発明では、MOCVD法においてアクセプター不純物原子濃度を特定の範囲とすると共に種々の結晶成長条件を最適化することにより、このようなメカニズムが働く状態を意図的に作り出すことに成功したものである。そして、その結果として30℃付近における活性化エネルギーが大幅に低減され、Mg濃度(アクセプター不純物原子濃度)に対して0.001以上という高い活性化率でたとえば5×1015cm−3以上という高濃度でホールが形成され、たとえば5×103Ωcm以下という低い比抵抗値が実現されたものである。
【0030】
なお、本発明のP型III族窒化物半導体においては、上記(2)の機構が起こりやすいという理由から、{(A1−A2)/A1}×100で定義される“a軸結晶格子定数の変化率”は、0.10%〜1.0%、特に0.2〜0.5%であることが好ましく、また、{(C1−C2)/C1}×100で定義される“c軸結晶格子定数の変化率”は、−0.05%〜−0.5%、特に−0.10〜−0.3%であることが好ましい。
【0031】
本発明のP型III族窒化物半導体は、MOCVD法により好適に製造することができる。しかしながら、MOCVD法を用い、アクセプター不純物原子濃度を所定の範囲に制御した場合でも、製造条件によっては本発明のP型III族窒化物半導体を得ることができない場合もある。そのため、製造に際しては結晶中にアクセプター不純物原子以外の不純物原子が混入したり、転位が形成されたりしないように注意して製造条件を選定する必要がある。
【0032】
MOCVD法により本発明のP型III族窒化物半導体を製造する場合には、結晶成長用基板の表面に所定の組成を有する本発明のP型III族窒化物半導体を成長させる。このとき、結晶成長用基板としては、例えばサファイア、SiC、Si、GaN、AlN、AlGaN、ZnO、ZrB2などの成膜工程での温度履歴に耐える耐熱性材料、具体的には少なくとも1000℃以上の融点もしくは分解温度を持つ耐熱性材料を使用するのが好ましい。
【0033】
また、上記基板上には予めバッファ層を形成しておくことが好ましい。バッファ層の材料や層構造は、バッファ層上に成長させる本発明のP型III族窒化物半導体のアクセプター不純物原子の補償中心となるN欠陥の発生を抑制できるような構造であれば特に限定されない。また、本発明のP型III族窒化物半導体を発光素子などのデバイスを構成するP型層として用いる場合は、N型層もしくは量子井戸構造などの発光層上に形成しても良い。
【0034】
MOCVD法で使用するIII族原料、V族原料、アクセプター不純物原料は、P型AlXGaYInZNの組成に応じてP型III族窒化物半導体の形成に使用できることが知られている原料が特に制限なく使用できる。III族原料としてはトリメチルアルミニウム又はトリエチルアルミニウム、及びトリメチルガリウム、トリエチルガリウム、又はトリメチルインジウムを使用することが好ましい。また、V族原料としてはアンモニアを、アクセプター不純物原料としてはビスシクロペンタジエニルマグネシウムを使用することが好ましい。
【0035】
以下、図1を参照して、サファイア基板上にIII族窒化物膜の積層構造からなるバッファ層をMOCVD法により形成し、さらにその上にMOCVD法により本発明のP型III族窒化物半導体を形成する例について詳しく説明する。
【0036】
上記例においては、まず、サファイア基板1をMOCVD装置内に設置した後、基板を1050℃以上、さらに好ましくは1150℃以上に加熱し、水素雰囲気中で保持することにより基板表面のクリーニングを行う。その後、1050℃以上、さらに好ましくは1150℃以上で、トリメチルアルミニウム、トリメチルガリウム、アンモニア、および原料ガスのキャリアガスとして水素,窒素などをMOCVD装置内に導入し、III族窒化物バッファ層2を形成する。
【0037】
III族窒化物バッファ層2は、バッファ層上に積層される本発明のP型III族窒化物半導体層3の特性を損なわない程度の結晶性を有していれば良いが、好ましくはX線ロッキングカーブ測定における(002)および(102)面半値幅がそれぞれ500arcsec、2000arcsec以下とし、さらにフォトルミネッセンス(PL)測定などにおいてIII族もしくはV族欠陥、不純物などに起因する発光強度を極力低減させることが好ましい。
【0038】
次いで、上記のIIIおよびV族原料、キャリアガスに加え、ビスシクロペンタジエニルマグネシウムをMOCVD装置内に導入しアクセプター不純物原子としてMgをドーピングしたAlXGaYInZN層3を形成する。この時、ビスシクロペンタジエニルマグネシウム流量は、AlXGaYInZN層に含まれるMg濃度が5.0×1018〜1.0×1020cm−3の範囲、さらに好ましくは2.0×1019〜5.0×1019cm−3の範囲になるように制御する。
【0039】
ここで、Mgドーピング層を形成する際の、成長温度、V/III比および成長速度は、成長後のPL測定において、不純物に起因する発光が最小になるように制御することが望ましい。具体的には、成長温度は1050〜1150℃、V/III比は1000〜4000、成長速度は0.5〜1.5μm/hrの範囲で設定することが好ましい。このような条件から外れる場合には、アクセプター不純物原子濃度を所定の範囲に制御した場合でも、高いP型半導体特性を得られないことがある。
【0040】
このような方法により得られる本発明のP型III族窒化物半導体は、良好なP型半導体特性を有するため、III族窒化物半導体系発光素子のP型クラッド層として好適に使用することができ、本発明のP型III族窒化物半導体を用いることにより、300nm以下の深紫外領域で発光する発光ダイオードおよびレーザーダイオードを製造することも可能となる。
【実施例】
【0041】
以下、実施例および比較例をあげて本発明について詳しく説明するが、本発明はこれら実施例に限定されるものではない。
【0042】
実施例1
結晶成長用基板にはサファイアC面単結晶基板を用いた。これをMOCVD装置内のサセプタ−上に設置した後、水素を13slmの流量で流しながら、サファイア基板を1150℃まで加熱し、10分間保持することで表面クリーニングを行った。次いで、サファイア基板の温度が1150℃、トリメチルアルミニウム流量が15μmol/min、アンモニア流量が1slm、全流量が10slm、圧力が50Torrの条件でAlN膜を厚さ0.45μm形成した。
【0043】
次いで、サファイア基板の温度が1120℃、トリメチルガリウム流量が10μmol/min、トリメチルアルミニウムが15μmol/min、アンモニア流量が1.5slm、全流量が10slm、圧力が50Torrの条件でAl0.7Ga0.3Nバッファ層を0.4μm形成した。
【0044】
次いで、ビスシクロペンタジエニルマグネシウムを0.8μmol/minの条件で同時に供給した以外はバッファ層と同条件で、MgドーピングAl0.7Ga0.3N層を0.5μm形成した。
【0045】
この基板をMOCVD装置から取り出し、高分解能X線回折装置(スペクトリス社パナリティカル事業部製X‘Pert)により、加速電圧45kV,加速電流40mAの条件で(204)面におけるX線逆格子マッピング測定を行った。その後、基板を複数個の7mm角程度の正方形に切断し、窒素雰囲気中,20分間,800℃の条件で熱処理を行った。
【0046】
任意の熱処理後の基板の一つについてはセシウムイオンを1次イオンに用いた2次イオン質量分析法によりMgの定量分析を行った。Mg濃度は、GaN標準試料の窒素2次イオン強度に基づき定量した。次いで、真空蒸着法によりNi(20nm)/Au(100nm)電極を形成し、窒素雰囲気中,5分間,500℃の条件で熱処理を行った。電極形成後、ホール効果測定装置(東陽テクニカ製Resitest8300)により、電流値1×10−7〜1×10−4A,周波数50〜100mHz,磁場0.38T,測定温度30〜525℃の条件でホール測定を行った。
【0047】
ホール測定によって得られたMgの活性化エネルギーおよびMgの活性化率(Mg濃度に対するホール濃度の割合)、ホール濃度および比抵抗値を測定温度に対してプロットしたものをそれぞれ表1および図2、3に示す。
【0048】
また、X線逆格子マッピング測定から得られたノンドープバッファ層とMgドーピング層の格子定数差から算出した“a軸結晶格子定数の変化率”及び“c軸結晶格子定数の変化率”、並びに2次イオン質量分析法(SIMS測定)によって得られたMg濃度を表2に示す。ホール濃度および比抵抗値を上記格子定数差に対してプロットしたものを図5、6に示す。
【0049】
【表1】
【0050】
【表2】
【0051】
実施例2
実施例1のビスシクロペンタジエニルマグネシウム流量を0.6μmol/minにした以外は同様の条件でP型AlGaNを作製した。得られた結果を表1〜2および図3〜6に示す。
【0052】
実施例3
実施例1のビスシクロペンタジエニルマグネシウム流量を0.4μmol/minにした以外は同様の条件でP型AlGaNを作製した。得られた結果を表1〜2および図3〜6に示す。
【0053】
比較例1
実施例1のビスシクロペンタジエニルマグネシウム流量を0.2μmol/minにした以外は同様の条件でP型AlGaNを作製した。得られた結果を表1〜2および図3〜6に示す。
【0054】
実施例4
実施例1のビスシクロペンタジエニルマグネシウム流量を0.1μmol/minにした以外は同様の条件でP型AlGaNを作製した。得られた結果を表1〜2および図3〜6に示す。
【0055】
比較例2
実施例1のMgドーピングAl0.7Ga0.3N層の成長温度を1200℃にした以外は同様の条件でP型AlGaNを作製した。得られた結果を表1〜2に示す。
【0056】
比較例3
実施例1のMgドーピングAl0.7Ga0.3N層の成長温度を1000℃にした以外は同様の条件でP型AlGaNを作製した。得られた結果を表1〜2に示す。
【0057】
表1より、実施例1、2、3および4では、後述するT1領域における活性化エネルギーは200meV以下と低い値が得られており、活性化率も0.001以上と高い値が得られている。
【0058】
図2および3には、各実施例および比較例におけるホール濃度および比抵抗値の温度依存性を示す。図2から明らかなように、比較例1のホール濃度の直線的な変化とは異なり、実施例1、2、3および4では、1000/Tが2.0〜3.3(30〜230℃に相当,T1領域)の範囲における傾きと、1000/Tが1.25〜2.0(230〜525℃に相当,T2領域)の範囲における傾きが大きく異なっており、30〜230℃の範囲において、比較例1とは異なった伝導機構が支配的であると推測できる。
【0059】
なお、表1に示すT1およびT2領域におけるMgの活性化エネルギー、Mgの活性化率(Mg濃度に対するホール濃度の割合)は、以下の計算式から算出した。
【0060】
計算式:p=A×exp{Ea/(kbT)}
p:ホール濃度[cm−3],A:任意定数,Ea:活性化エネルギー[meV]
kb:ボルツマン係数,T:温度[K]
【0061】
また図3から実施例4の30℃付近における比抵抗値は5×103Ωcm以下、さらに実施例1、2および3では150Ωcm以下と、従来技術に比べ1〜2桁程度低い値が得られている。
【0062】
<実施例1と比較例2および3との対比>
表1に示すように、実施例1に比べて、比較例2および3では活性化エネルギーは400meV以上の高い値となり、その結果、Mgの活性化率も実施例1に比べて2桁以上低い値となっている。このように、P型半導体特性において著しい違いが発生したのは、結晶成長温度が適切範囲を外れたことによって、Mgドーピング層中に、酸素不純物やN欠陥などが導入され、「ドナー性の補償中心」が多く形成されたためだと考えられる。
【0063】
<実施例1〜4と比較例1との対比>
表2の結果を図4にまとめた。図4に示されるように、MgをドーピングすることによってMgドーピング層は何れの場合も、ドーピングしない場合に比べて、a軸方向へ広がる、もしくはc軸方向へ縮む傾向がある。そして、その変化量、即ち“a軸結晶格子定数の変化率”及び“c軸結晶格子定数の変化率”は、多少のバラツキはあるものの、Mg濃度の増加に伴って増加する傾向にある。しかし、比較例1では、Mgのドーピング量が1.5×1019cm−3であり、前記したように、このような量をドーピングした場合には結晶格子の変形が比較的小さく、結晶成長条件の僅かな違いによる影響を相対的に強く受ける。このため、実施例4よりもドーピング量は多く、それ以外の結晶成長条件は同じとしたつもりであるにも拘わらず、制御不能な僅かな成長条件の違いにより、結晶格子の変形の変形量は逆転し、ホール濃度/Mg濃度比が本発明の範囲外となってしまっている。
【0064】
なお、表2より、ビスシクロペンタジエニルマグネシウムの流量条件が同一である実施例1と比較例2および3では、結晶中のMg濃度はほぼ同じであり、また、Mgドーピング層の格子定数も大きくは異なっていないことがわかる。
【0065】
上記の“a軸結晶格子定数の変化率”及び“c軸結晶格子定数の変化率”に対して、30℃におけるホール測定より求めた、ホール濃度および比抵抗値をプロットしたものを図5および6に示す。これら図から明らかなように、実施例1、2、3および4では“a軸結晶格子定数の変化率”が0.1%以上となり、“c軸結晶格子定数の変化率”が−0.05%以下となっている。そして、このような変化率となることにより比抵抗値は急激に減少し、同時にホール濃度は急激に増加している。比抵抗値およびホール濃度は“a軸結晶格子定数の変化率”および“c軸結晶格子定数の変化率”がそれぞれ0.2%以上および−0.1%以下でほぼ一定の値が得られている。一方、比較例1では“a軸結晶格子定数の変化率”が0.01%未満の値、“c軸結晶格子定数の変化率”が−0.05%を越える値であり、比抵抗値は、約6.5×104Ωcmと極めて高く、ホール濃度は約2.4×1014cm−3と低くなっている。
Claims (6)
- AlXGaYInZN (但し、X、Y、およびZは、それぞれ、1.0>X≧0.5、0.5≧Y≧0.0、0.5≧Z≧0.0を満足する有理数であり、X+Y+Z=1.0である。) で示される組成を有するIII族窒化物半導体にMg原子が5×1018〜1×1020cm−3の濃度でドーピングされたP型III族窒化物半導体であって、Mg原子濃度に対する30℃におけるホール濃度の割合が0.001以上であり、
T1領域(30〜230℃)における前記P型III族窒化物半導体にドーピングされた前記Mg原子の活性化エネルギーが、T2領域(230℃〜525℃)における該P型III族窒化物半導体にドーピングされた該Mg原子の活性化エネルギーよりも小さく、
前記T1領域における前記P型III族窒化物半導体にドーピングされた前記Mg原子の活性化エネルギーが200meV以下であることを特徴とするP型III族窒化物半導体。 - 30℃における比抵抗値が5×103Ωcm以下である請求項1に記載のP型III族窒化物半導体。
- 30℃におけるホール濃度が5×1015cm−3以上である請求項1又は2に記載のP型III族窒化物半導体。
- 請求項1乃至3の何れかに記載のP型III族窒化物半導体であって、該P型III族窒化物半導体のa軸格子定数およびc軸格子定数をそれぞれA1およびC1とし、Mgを含まない同一組成のIII族窒化物半導体のa軸格子定数およびc軸格子定数をそれぞれA2およびC2としたときに、A1がA2に比べて0.10%以上大きいか又はC1がC2に比べて0.05%以上小さいことを特徴とするP型III族窒化物半導体。
- 有機金属気相成長法により製造される請求項1乃至4のいずれかに記載のP型III族窒化物半導体。
- 請求項1乃至5のいずれかに記載されたP型III族窒化物半導体からなる層を少なくとも1層含むことを特徴とする半導体素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009506322A JP5053362B2 (ja) | 2007-03-23 | 2008-03-21 | P型iii族窒化物半導体およびiii族窒化物半導体素子 |
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007077449 | 2007-03-23 | ||
JP2007077449 | 2007-03-23 | ||
JP2009506322A JP5053362B2 (ja) | 2007-03-23 | 2008-03-21 | P型iii族窒化物半導体およびiii族窒化物半導体素子 |
PCT/JP2008/055277 WO2008117750A1 (ja) | 2007-03-23 | 2008-03-21 | P型iii族窒化物半導体およびiii族窒化物半導体素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2008117750A1 JPWO2008117750A1 (ja) | 2010-07-15 |
JP5053362B2 true JP5053362B2 (ja) | 2012-10-17 |
Family
ID=39788485
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009506322A Active JP5053362B2 (ja) | 2007-03-23 | 2008-03-21 | P型iii族窒化物半導体およびiii族窒化物半導体素子 |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8238391B2 (ja) |
EP (1) | EP2131403A4 (ja) |
JP (1) | JP5053362B2 (ja) |
KR (1) | KR101193573B1 (ja) |
CN (1) | CN101636853B (ja) |
CA (1) | CA2681711C (ja) |
WO (1) | WO2008117750A1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101903361B1 (ko) | 2012-03-07 | 2018-10-04 | 삼성전자주식회사 | 질화물 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
GB2585526A (en) * | 2018-02-01 | 2021-01-13 | Ogrands Innovation Inc | High-low frequency multi-core sensor system |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5842324B2 (ja) * | 2010-11-05 | 2016-01-13 | 住友電気工業株式会社 | Iii族窒化物半導体素子、iii族窒化物半導体素子を作製する方法、及びエピタキシャル基板 |
JP6342703B2 (ja) * | 2014-05-09 | 2018-06-13 | 古河機械金属株式会社 | 自立基板の製造方法及び自立基板 |
CN105513951B (zh) * | 2015-12-25 | 2018-06-19 | 中国科学院半导体研究所 | 低电阻率p型氮化镓材料及其制备方法 |
JP6573076B2 (ja) | 2016-02-01 | 2019-09-11 | パナソニック株式会社 | 紫外線発光素子 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004228489A (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Institute Of Physical & Chemical Research | p型半導体を用いた紫外発光素子 |
JP2006269773A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Univ Meijo | p型AlGaN半導体層、AlGaN系半導体発光素子、AlGaN系半導体受光素子、及びp型AlGaN半導体層の形成方法 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3168574B2 (ja) | 1990-03-30 | 2001-05-21 | 富士通株式会社 | 高濃度化合物半導体の結晶成長方法 |
JP3181171B2 (ja) * | 1994-05-20 | 2001-07-03 | シャープ株式会社 | 気相成長装置および気相成長方法 |
JPH1012922A (ja) | 1996-06-19 | 1998-01-16 | Toyoda Gosei Co Ltd | 3族窒化物半導体発光素子 |
US5812576A (en) * | 1996-08-26 | 1998-09-22 | Xerox Corporation | Loss-guided semiconductor lasers |
EP0902487A3 (en) | 1997-09-05 | 2000-10-25 | Honnavalli R. Vydyanath | A semiconductor device and method of fabrication thereof |
JP2000164927A (ja) | 1998-11-24 | 2000-06-16 | Sony Corp | 窒化ガリウム系化合物半導体、窒化ガリウム系化合物半導体発光素子、およびこれらの製造方法 |
JP2001011901A (ja) | 1999-06-30 | 2001-01-16 | Kobe Steel Ltd | ハイブリッド建設機械の作業情報処理装置 |
JP4006537B2 (ja) | 1999-10-19 | 2007-11-14 | 日本電信電話株式会社 | P型の窒化物半導体の作製方法 |
JP2007019277A (ja) * | 2005-07-07 | 2007-01-25 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子 |
-
2008
- 2008-03-21 CA CA2681711A patent/CA2681711C/en not_active Expired - Fee Related
- 2008-03-21 EP EP08738700A patent/EP2131403A4/en not_active Ceased
- 2008-03-21 WO PCT/JP2008/055277 patent/WO2008117750A1/ja active Application Filing
- 2008-03-21 CN CN2008800075848A patent/CN101636853B/zh not_active Expired - Fee Related
- 2008-03-21 KR KR1020097019344A patent/KR101193573B1/ko active IP Right Grant
- 2008-03-21 JP JP2009506322A patent/JP5053362B2/ja active Active
- 2008-03-21 US US12/532,564 patent/US8238391B2/en active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004228489A (ja) * | 2003-01-27 | 2004-08-12 | Institute Of Physical & Chemical Research | p型半導体を用いた紫外発光素子 |
JP2006269773A (ja) * | 2005-03-24 | 2006-10-05 | Univ Meijo | p型AlGaN半導体層、AlGaN系半導体発光素子、AlGaN系半導体受光素子、及びp型AlGaN半導体層の形成方法 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101903361B1 (ko) | 2012-03-07 | 2018-10-04 | 삼성전자주식회사 | 질화물 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
GB2585526A (en) * | 2018-02-01 | 2021-01-13 | Ogrands Innovation Inc | High-low frequency multi-core sensor system |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008117750A1 (ja) | 2008-10-02 |
CA2681711A1 (en) | 2008-10-02 |
EP2131403A4 (en) | 2012-08-08 |
US8238391B2 (en) | 2012-08-07 |
KR20090117895A (ko) | 2009-11-13 |
CN101636853B (zh) | 2012-07-18 |
JPWO2008117750A1 (ja) | 2010-07-15 |
KR101193573B1 (ko) | 2012-10-23 |
CA2681711C (en) | 2014-02-18 |
EP2131403A1 (en) | 2009-12-09 |
US20110128981A1 (en) | 2011-06-02 |
CN101636853A (zh) | 2010-01-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5818853B2 (ja) | n型窒化アルミニウム単結晶基板を用いた縦型窒化物半導体デバイス | |
TWI381072B (zh) | Iii-v族化合物半導體之製造方法、肖特基能障二極體、發光二極體、雷射二極體及該等之製造方法 | |
KR101238459B1 (ko) | 질화물 반도체 발광 소자 | |
JP6099346B2 (ja) | N型iii族窒化物半導体層を有する積層体及びその製造方法 | |
JP2011238971A (ja) | 窒化物半導体発光素子の製造方法 | |
JP5053362B2 (ja) | P型iii族窒化物半導体およびiii族窒化物半導体素子 | |
JP2010258096A (ja) | 窒化物半導体発光素子 | |
JP2007518266A (ja) | 半絶縁iii族窒化物においてフェルミ準位を制御するための同時ドーピング | |
JPH07302929A (ja) | 3−5族化合物半導体と発光素子 | |
US20020098607A1 (en) | Nitride semiconductor and a method thereof, a nitride semiconductor device and a method thereof | |
CN110610849B (zh) | 一种InGaN半导体材料及其外延制备方法和应用 | |
JP2007103955A (ja) | 窒化物半導体素子および窒化物半導体結晶層の成長方法 | |
KR101622097B1 (ko) | 질화물계 반도체 발광소자 및 이의 제조 방법 | |
JP6934473B2 (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子 | |
TWI275136B (en) | Germanium-adding source for compound semiconductor, production method of compound semiconductor using the same and compound semiconductor | |
JP4829273B2 (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法 | |
JP5629884B2 (ja) | 半導体製造方法 | |
JP2006093681A (ja) | 化合物半導体用ゲルマニウム添加源、それを用いた化合物半導体の製造方法、および化合物半導体 | |
JP2006310886A (ja) | 3−5族化合物半導体発光素子 | |
JP2002064250A (ja) | 化合物半導体の成長方法及び化合物半導体発光素子 | |
JP2002064249A (ja) | 化合物半導体及びその製造方法並びに化合物半導体発光素子 | |
JPWO2014136749A1 (ja) | 窒化物半導体結晶の作製方法 | |
JP2002203798A (ja) | p型窒化物半導体及びその製造方法 | |
JP2009529230A5 (ja) | ||
JP2004266285A (ja) | 化合物半導体の成長方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20120229 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20120308 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20120321 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120518 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20120518 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120703 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120725 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5053362 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150803 Year of fee payment: 3 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |