JP4006537B2 - P型の窒化物半導体の作製方法 - Google Patents
P型の窒化物半導体の作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4006537B2 JP4006537B2 JP29609999A JP29609999A JP4006537B2 JP 4006537 B2 JP4006537 B2 JP 4006537B2 JP 29609999 A JP29609999 A JP 29609999A JP 29609999 A JP29609999 A JP 29609999A JP 4006537 B2 JP4006537 B2 JP 4006537B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- nitride semiconductor
- concentration
- atoms
- ingan
- gas
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Images
Landscapes
- Led Devices (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、青色発光デバイスや高出力電子デバイスに利用される窒化物半導体に関し、特に室温において1×1018cm−3以上の高い正孔キャリア濃度を持つ低抵抗のp型の窒化物半導体の作製方法に関する。
【0002】
【従来の技術】
窒化物半導体においては、p型の不純物としてMg原子やZn原子が用いられる。しかしながら、従来の単一の窒化物半導体では1×1018cm−3以上の高い正孔キャリア濃度(正孔濃度)を持つp型層を得ることができないという欠点があった。例えば、GaNにおける室温での正孔濃度の最大値は3×1017cm−3程度である。また、AlGaNにおいては、Al組成が増加するのに伴なって、正孔濃度の最大値が減少する。このため、従来技術での室温における正孔濃度の最大値は、3×1017cm−3程度以下であった。
【0003】
このような窒化物半導体では、これらのGaNやAlGaNの他にInGaNの成長も行われている。本発明では、InをIII 族の組成比で3%以上含むことから、InGaNを形成していることになるので、InGaNあるいはInNに関する従来の報告例について述べる。
【0004】
このInGaNは発光デバイスの発光層に利用されているため(例えば、S.Nakamura et al. Japanese journal of Applied Physics,38(1999)L226)、InGaNの特性に関しては、フォトルミネッセンスなどの光学特性に関しての報告が大多数である。InGaNに関連する電気的特性に関しての報告としては、「In原子を10%含むInGaNでは、何も不純物をドーピングしなくても4×1018cm−3のn型を示す。」ことが報告されている(Cheul-Ro Lee et al. J.Crystal Growth 197(1999)78)。
【0005】
さらに、「何も不純物をドーピングしないInN層は1×1020cm−3以上の高い濃度のn型を示す。」ことが報告されていた。これらのことから、「Inを3%以上含むInGaN層では、1×1018cm−3から1×1020cm−3程度の高いキャリア濃度のn型を示す。」ことが容易に予想される。そして、従来得られているGaNにおける室温での正孔濃度の最大値は3×1017cm−3程度であることから、InGaNヘp型不純物をドーピングしても、p型のInGaNを形成することは困難であると考えられていた。
【0006】
事実、InNへMg原子を1×1020cm−3以上ドーピングしてもp型を示さず、1×1019cm−3以上のn型を示すことが報告されている(V.V.Mamutin et al. Mo-P013,Third International Conference on Nitride Semiconductors;ICNS3,Montpellier France,July 4-9,1999)。以上のことから、InGaNにはn型のドーピングは行なわれているものの、p型不純物のドーピングはほとんど行われていなかった。
【0007】
このような単一のp型窒化物半導体ではなく、GaNおよびAlGaNといった複数のp型窒化物半導体から形成される超格子構造を採用すれば、単一のp型窒化物半導体よりも正孔濃度を1桁高くすることが可能であり、1×1018cm−3以上の高い正孔濃度を持つp型層を得ることができる(熊倉他、平成11年度春季応用物理学会子稿集 31a-N-11(1999))。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、この構造では2種類以上の窒化物半導体が必要である。さらに、このAlGaN/GaN超格子によって1×1018cm−3以上の高い正孔濃度を持つ構造を作製した場合には、超格子に垂直な方向の抵抗が高いという欠点がある。
以上のように、単一のp型窒化物半導体では、室温において1×1018cm−3以上の高い正孔濃度を得ることができない、という問題があった。
【0009】
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、室温において1×1018cm−3以上の高い正孔濃度を持つp型の窒化物半導体を形成することが困難であった点を解決し、室温において高い正孔濃度を持つp型の窒化物半導体の作製方法を提供することにある。
【0010】
本発明は、室温において1×1018cm−3以上の高い正孔濃度を持つp型の窒化物半導体、および、その作製方法を提供することを最も主要な特徴とする。従来の技術とは、Mg原子を1×1019cm−3程度ドーピングしたGaN層にIII 族原子の組成比で3%以上のIn原子を混入させることにより、Mg原子に束縛された正孔キャリアの活性化エネルギーを低下させ、室温において1×1018cm−3以上の高い正孔濃度を持つ窒化物半導体、および、その作製方法を示した点が異なる。
【0011】
【課題を解決するための手段】
GaNにAl原子を混入させAlGaNを形成するとMg原子に束縛された正孔キャリアの活性化エネルギーが大きくなる。このため、Mg原子濃度が1×1019cm−3程度であるのにもかかわらず、室温における正孔濃度は3×1017cm−3以下となってしまう。これに対して、GaNにInを混入させてInGaNを形成するとMg原子に束縛された正孔キャリアの活性化エネルギーが小さくなる。このため、室温において1×1018cm−3以上の高い正孔濃度を持つ窒化物半導体を作製することができるようになる。
【0012】
【発明の実施の形態】
上記課題を解決するために本発明によるp型の窒化物半導体の作製方法は、室温における正孔キャリア濃度が1×1018cm−3以上となるp型の窒化物半導体の作製方法であって、In,Ga,Mgをそれぞれ含んだ有機金属とアンモニアガスを原料ガスとし、窒素ガスをキャリアガスとした有機金属気相成長法を用い、その成長温度を780℃とし、前記原料ガスにおけるMgを含む有機金属の流量を前記窒化物半導体にMg原子濃度が5×1018cm−3以上含まれる値とし、前記原料ガスにおけるInおよびGaを含んだ有機金属の流量を前記窒化物半導体にIII 族原子の組成比で3%以上50%以下のIn原子が含まれる値とし、前記窒化物半導体の成長速度が0.01nm/秒以上0.6nm/秒以下となる値とし、さらに、アンモニアガスおよび水素ガスの無い雰囲気で、500℃以上での熱処理を行うことに特徴を有している。
【0013】
【実施例】
先ず、室温において高い正孔濃度を持つp型の窒化物半導体について諸特性や特徴を概説する。GaNやAlGaNなどの窒化物半導体では、バンドギヤップが大きくなるのにつれて活性化エネルギーが減少する傾向がある。InGaNのバンドギヤップは、GaNやAlGaNよりも小さくなり、In組成の増加と共にバンドギヤッブが小さくなる。本発明における活性化エネルギーの関係は、このバンドギヤップの関係と相関があることが判明した。このように、バンドギヤップの大きさによって活性化エネルギーが決定される、と考えられる。
【0014】
活性化エネルギーが小さくなると室温における正孔濃度が高くなる理由は以下の通りである。
正孔濃度は、活性化エネルギー(E)と測定温度(T)を用いると、
(正孔濃度)=a・exp(−qE/kT) (1)
に比例する。aは比例定数である。ここで、qは電荷素量(1.6×10−19クーロン)、kはボルツマン定数(1.38×10−23ジュール/ケルビン)である。
例えば、E=200meVの場合、T=296K(摂氏23℃室温)では(1)式の値は4×10−4aである。
これに対して、活性化エネルギーE=100meVと小さくなった場合には、T=296K(摂氏23℃室温)では2×10−2aとなる。
従って、活性化エネルギーEが200meVから100meVへ減少すると、室温における正孔濃度は50倍も高くなる。このように、活性化エネルギーが減少すると、室温における正孔濃度が高くなる。
【0015】
Mg原子は、p型にするのに寄与しており、In組成比は室温における正孔キャリア濃度に寄与している。
Mg原子濃度と正孔濃度の関係は、
(Mg原子濃度)≧(Mgアクセプタ濃度)≧(正孔キャリア濃度)
となる。本発明では、正孔キャリア濃度が1×1018cm−3以上であり、Mg原子濃度は、少なくともこの値以上である必要がある。
1個のMgアクセプタは1個の正孔を放出し、この放出のしやすさが活性化エネルギーで決まる。つまり、活性化エネルギーが非常に小さいときには、(Mgアクセプタ濃度)=(正孔キャリア濃度)となる。活性化エネルギーが大きくなるのにつれて、Mgアクセプタは正孔を放出しにくくなるので、正孔キャリア濃度が小さくなる。この場合、結晶に取りこまれたMg原子の濃度、および、Mgアクセプタ濃度は変化しない。
【0016】
(Mg原子濃度)≧(Mgアクセプタ濃度)というのは、InGaN中へMg原子をドーピング(不純物を結晶中へ入れること)しても、必ずしも、すべてのMg原子はMgアクセプタとはならない、という意味である。窒化物半導体へMg原子をドーピングすると、通常、Mg原子は窒化物半導体のIII 族原子の位置(GaあるいはInの位置)を占有する。Mg原子は周期律表のII族の原子であり、Ga(あるいはIn)はIII 族の原子であるから、Ga(あるいはIn)原子がMg原子に置き換わると、差し引き+1の電荷が発生する。これが1個の正孔である。しかしながら、Mg原子がきちんとしたGa原子の位置に入らない場合は、+1の電荷を発生することができない。本発明のように1×1018cm−3以上の高濃度のドーピングの場合には、いくつかのMg原子はきちんとしたGa原子の位置に入らないことがある。例えば、1×1019cm−3付近では、約半分のMg原子しかアクセプタになることができない。
【0017】
以下、本発明の一実施例を図面に基づいて説明する。図1は、本発明の実施例における窒化物半導体のMgドープInGaN層の構造図である。1はサファイア基板であり、2はサファイア基板1上に成長した20nmのAlNバッファー層であり、3はAlNバッファー層2上に成長した1100nmのGaNバッファー層であり、4はGaNバッファー層3上に成長したMgドープInGaN層でP型の窒化物半導体である。
【0018】
図2は、本発明の実施例における窒化物半導体の作製方法のフローチャート図である。図1におけるMgドープInGaN層4の作製には、有機金属気相成長法を用いた。In,Ga,MgおよびN原子の原料ガスには、それぞれ、トリメチルインジウム(12から200cc/分(1気圧、30℃でバブリング)),トリエチルガリウム(6から50cc/分(0.5気圧、20℃でバブリング)),シクロペンタジマグネシウム(7から100cc/分(1気圧、30℃バブリング))および、アンモニアガス(10リットル/分(標準状態換算))を用い、キャリアガスには窒素ガス(2リットル/分(標準状態換算))を用いた。成長する際の成長圧力は300トールとした。基板には、サファイア基板1を使用したが、SiC基板なども使用できる。
S1:有機金属気相成長法により、サファイア基板1上に550℃にてAlNを成長させ,20nmのAlNバッファー層2を成長させた。
S2:続いて、AlNバッファー層2上に1000℃にてGaNを成長させ(通常の2段階成長法)、1100nmのGaNバッファー層3を成長させた。
S3:その後、GaNバッファー層3上に成長温度を780℃として、700nmのMgドープInGaN層4を成長させた。
S4:窒素雰囲気において700℃10分間の熱処理を行った。この熱処理によって、成長中にInGaN内に取りこまれた水素原子を取り出し、Mg原子を活性化してMgアクセプタにすることができる。
【0019】
図3は、Mg原子を2×1019cm−3ドーピングしたInGaN中のIn組成と室温における正孔濃度の関係を示す図である。なお、成長温度は780℃である。図でのInGaNの成長速度は0.1および0.2nm/秒である。キャリア濃度の判定には、ホール測定(van der Paw 法)を用い、電極金属はNi/Auを用いた。図からわかるようにMgドープGaNでは、室温における正孔濃度が2.8×1017cm−3である。これに対して、In原子を3%以上混入させることにより、1×1018cm−3以上の高い正孔濃度を持つInGaNを作製することができた。図から、In組成は好ましくは3%から50%、さらに好ましくは5%から30%である。
【0020】
図4は、MgドープInGaNのIn組成とMg原子に束縛された正孔キャリアの活性化エネルギーの関係を示す図である。図3のサンプルに対して、室温付近の温度にて正孔濃度の温度特性を測定した。測定温度が上昇するのに伴って、正孔濃度が上昇する。この室温付近における正孔濃度の上昇率から、正孔濃度の活性化エネルギーを求め、この結果をMgドープInGaNのIn組成とMg原子に束縛された正孔キャリアの活性化エネルギーの関係としてまとめた。MgドープGaNの活性化エネルギーは160meVであるのに対して、MgドープGaNヘIn原子を混入させることにより、つまり、InGaN中のIn原子の組成比を高くすることにより、活性化エネルギーが減少していることが分かる。
【0021】
図5は、MgドープInGaNの成長速度と正孔濃度の関係を示す図である。なお、成長温度は780℃である。Mg原子のドーピング濃度は2×1019cm−3に、InGaN中のIn組成比を約20%に固定した。成長速度が0.6nm/秒以下で1×1018cm−3以上の高い正孔濃度を得ることができた。図から、成長速度は、好ましくは0.01nm/秒から0.6nm/秒、さらに好ましくは0.05nm/秒から0.3nm/秒である。
窒化物半導体を成長させる時に流すガスは、ほとんどがアンモニアガスである。そこで、本実施例では、アンモニア濃度を一定にしている。成長速度が高くなった場合に正孔濃度が減少する原因は、III 族窒素原子が不足する状態となり、InGaN層の結晶性が悪くなり、n型のキャリアを生み出す欠陥(つまり、p型キャリアを減少させる欠陥)が増加するためである。
【0022】
図6は、成長温度とInGaN中のIn組成の最大値の関係を示す図であり、成長温度とInGaN中のIn組成の最大値を示している。なお、成長速度は0.05nm/秒、Mgはドーピングしていない。In濃度が3%以上である温度領域は820℃以下であることが分かる。図の結果からわかるように、In組成の最大値を決定する最大の要因は成長温度である。成長温度が高い場合には、Inの原料ガスを多く供給しても、In原子がどんどん表面から蒸発してしまうからである。ここでは、成長温度で決定されるIn組成の最大値以下で、In組成を制御することができる。図から、成長温度は、好ましくは500℃から820℃,さらに好ましくは750℃から800℃である。
【0023】
なお、前述の図3ではIn組成の最大値は28%であるのに対して、この図6における成長温度780℃ではIn組成の最大値は20%である。この誤差は、成長温度のばらつきや成長速度にも影響されていると考えられ、Mg濃度はIn組成には影響を及ぼさない。
【0024】
図7は、InGaN中へのMg原子濃度を変化させた場合の室温における正孔濃度の変化を示す図であり、InGaN中へのMg原子濃度を変化させた場合の室温における正孔濃度の変化を示している。なお、成長速度は0.2nm/秒、成長温度は780℃である。図は、InGaN中のIn原子の組成比は、約20%である。少なくとも5×1018cm−3以上のMg原子をドーピングすることにより、1×1018cm−3以上の高い正孔濃度を得ることができる。図から、Mg原子濃度は、好ましくは5×1018cm−3以上、さらに好ましくは1×1019cm−3以上である。
【0025】
【発明の効果】
以上説明したように、本発明では、室温における正孔キャリア濃度が1×1018cm−3以上となるp型の窒化物半導体の作製方法であって、In,Ga,Mgをそれぞれ含んだ有機金属とアンモニアガスを原料ガスとし、窒素ガスをキャリアガスとした有機金属気相成長法を用い、その成長温度を780℃とし、前記原料ガスにおけるMgを含む有機金属の流量を前記窒化物半導体にMg原子濃度が5×1018cm−3以上含まれる値とし、前記原料ガスにおけるInおよびGaを含んだ有機金属の流量を前記窒化物半導体にIII 族原子の組成比で3%以上50%以下のIn原子が含まれる値とし、前記窒化物半導体の成長速度が0.01nm/秒以上0.6nm/秒以下となる値とし、さらに、アンモニアガスおよび水素ガスの無い雰囲気で、500℃以上での熱処理を行ってp型の窒化物半導体を作製することにより、室温における正孔キャリア濃度が1×1018cm−3以上のp型の窒化物半導体を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明の実施例における窒化物半導体のMgドープInGaN層の構造図である。
【図2】 本発明の実施例における窒化物半導体の作製方法のフローチャート図である。
【図3】 Mg原子を2×1019cm−3ドーピングしたInGaN中のIn組成と室温における正孔濃度の関係を示す図である。
【図4】 MgドープInGaNのIn組成とMg原子に束縛された正孔キャリアの活性化エネルギーの関係を示す図である。
【図5】 MgドープInGaNの成長速度と正孔濃度の関係を示す図である。
【図6】 成長温度とInGaN中のIn組成の最大値の関係を示す図である。
【図7】 InGaN中へのMg原子濃度を変化させた場合の室温における正孔濃度の変化を示す図である。
【符号の説明】
1 サファイア基板
2 AlNバッファー層
3 GaNバッファー層
4 MgドープInGaN層
Claims (1)
- 室温における正孔キャリア濃度が1×1018cm−3以上となるp型の窒化物半導体の作製方法であって、
In,Ga,Mgをそれぞれ含んだ有機金属とアンモニアガスを原料ガスとし、
窒素ガスをキャリアガスとした有機金属気相成長法を用い、
その成長温度を780℃とし、
前記原料ガスにおけるMgを含む有機金属の流量を前記窒化物半導体にMg原子濃度が5×1018cm−3以上含まれる値とし、
前記原料ガスにおけるInおよびGaを含んだ有機金属の流量を前記窒化物半導体にIII 族原子の組成比で3%以上50%以下のIn原子が含まれる値とし、
前記窒化物半導体の成長速度が0.01nm/秒以上0.6nm/秒以下となる値とし、
さらに、アンモニアガスおよび水素ガスの無い雰囲気で、500℃以上での熱処理を行うことを特徴とするp型の窒化物半導体の作製方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29609999A JP4006537B2 (ja) | 1999-10-19 | 1999-10-19 | P型の窒化物半導体の作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP29609999A JP4006537B2 (ja) | 1999-10-19 | 1999-10-19 | P型の窒化物半導体の作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2001119013A JP2001119013A (ja) | 2001-04-27 |
JP4006537B2 true JP4006537B2 (ja) | 2007-11-14 |
Family
ID=17829129
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP29609999A Expired - Lifetime JP4006537B2 (ja) | 1999-10-19 | 1999-10-19 | P型の窒化物半導体の作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4006537B2 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR100472260B1 (ko) * | 2002-08-09 | 2005-03-10 | 한국과학기술연구원 | 질화갈륨 박막의 품질을 향상시키는 방법 |
KR100583163B1 (ko) * | 2002-08-19 | 2006-05-23 | 엘지이노텍 주식회사 | 질화물 반도체 및 그 제조방법 |
JP2006040964A (ja) * | 2004-07-22 | 2006-02-09 | Matsushita Electric Works Ltd | 半導体発光素子 |
KR101416838B1 (ko) | 2006-02-10 | 2014-07-08 | 더 리전츠 오브 더 유니버시티 오브 캘리포니아 | (Al,In,Ga,B)N의 전도도 제어 방법 |
JP5053362B2 (ja) | 2007-03-23 | 2012-10-17 | 株式会社トクヤマ | P型iii族窒化物半導体およびiii族窒化物半導体素子 |
JP2011204959A (ja) * | 2010-03-26 | 2011-10-13 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | 窒化物半導体発光素子 |
US20130032810A1 (en) * | 2011-08-03 | 2013-02-07 | Bridgelux, Inc. | Led on silicon substrate using zinc-sulfide as buffer layer |
CN116978997B (zh) * | 2023-09-25 | 2023-12-15 | 江西兆驰半导体有限公司 | 发光二极管外延片及其制备方法、发光二极管 |
-
1999
- 1999-10-19 JP JP29609999A patent/JP4006537B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2001119013A (ja) | 2001-04-27 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US6218269B1 (en) | Process for producing III-V nitride pn junctions and p-i-n junctions | |
US7858419B2 (en) | Gallium nitride-based compound semiconductor multilayer structure and production method thereof | |
JPH04242985A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体レーザダイオード | |
JP2011222728A (ja) | 窒素化合物半導体発光素子およびその製造方法 | |
CN108767055B (zh) | 一种p型AlGaN外延薄膜及其制备方法和应用 | |
US20060183260A1 (en) | P-type nitride semiconductor and method of manufacturing the same | |
JP3509260B2 (ja) | 3−5族化合物半導体と発光素子 | |
JP3285341B2 (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体の製造方法 | |
US7601979B2 (en) | Gallium nitride-based compound semiconductor multilayer structure and production method thereof | |
US6531716B2 (en) | Group-III nitride semiconductor light-emitting device and manufacturing method for the same | |
JP4006537B2 (ja) | P型の窒化物半導体の作製方法 | |
JP2773597B2 (ja) | 半導体発光装置及びその製造方法 | |
JP3522610B2 (ja) | p型窒化物半導体の製造方法 | |
JP2713094B2 (ja) | 半導体発光素子およびその製造方法 | |
JP3605906B2 (ja) | コンタクト抵抗低減層を有する半導体装置 | |
JP4439400B2 (ja) | リン化硼素系半導体発光素子、その製造方法及び発光ダイオード | |
JPH05243613A (ja) | 発光素子およびその製造方法 | |
JPH0997921A (ja) | 3−5族化合物半導体の製造方法 | |
JP2014222691A (ja) | 窒化物半導体テンプレートおよびその製造方法、並びに窒化物半導体発光素子 | |
JP2004363401A (ja) | 半導体素子の製造方法 | |
JP3561243B2 (ja) | 化合物半導体の成長方法及び化合物半導体発光素子 | |
JPH07249821A (ja) | 半導体発光素子 | |
JPH05198841A (ja) | 窒化ガリウム系化合物半導体のp型化方法 | |
JPH09129920A (ja) | 発光素子用3−5族化合物半導体及び発光素子 | |
JP2006310886A (ja) | 3−5族化合物半導体発光素子 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 19991020 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20011016 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20051018 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051214 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20051214 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070515 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070710 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20070807 |
|
RD01 | Notification of change of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7426 Effective date: 20070808 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070808 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100907 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Ref document number: 4006537 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100907 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110907 Year of fee payment: 4 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120907 Year of fee payment: 5 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130907 Year of fee payment: 6 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |