JP5046639B2 - カラーフィルタの製造方法 - Google Patents
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Description
近年では、シェーディング低減による画質向上の観点から、カラーフィルタに対しては更なる薄膜化が求められている。また、受光素子や表示素子の微細化により、より微細なパターンを矩形に形成する要求もある。例えば、液晶表示装置や固体撮像素子において画素サイズの縮小化が進んでおり、カラーフィルタも縮小する必要が出てきている。特に固体撮像素子の微細化は顕著であり、2.0μmサイズを下回る高解像技術が必要となっており、従来のフォトリソ法では解像力の限界になりつつある。
一方、ドライエッチング法では、エッチング終了後に非エッチング領域を被覆するためのマスクとして設けられるフォトレジストを剥離除去する工程が不可避である。
<1> (a)支持体上に、着色層を形成する着色層形成工程と、(b)前記着色層上に、フォトレジスト層を形成するフォトレジスト層形成工程と、(c)前記フォトレジスト層をパターン様に除去することにより、前記着色層上に画像を形成する画像形成工程と、(d)前記画像形成工程によって形成されたパターン様に、前記着色層をフッ素系ガスとO2との混合比率(フッ素系ガス/O2)が流量比で2/1〜8/1である混合ガスを用い、チャンバーの内部圧力を2.0〜6.0Paとしてドライエッチング法により除去するエッチング工程と、(e)前記エッチング工程後に残存する前記フォトレジスト層を除去するフォトレジスト層除去工程と、を含むカラーフィルタの製造方法である。
<2> 前記フッ素系ガスがCF4、C4F8、C2F6及びCHF3の群から選ばれる少なくとも一種のガスであることを特徴とする<1>に記載のカラーフィルタの製造方法である。
<3> 前記混合ガスが、さらにAr、He、Kr、N2、及びXeの群から選ばれる少なくとも一種のガスを含み、流量比でO2を1としたときのAr、He、Kr、N2及びXeの群から選ばれる少なくとも一種のガスの混合比率が0より大きく25以下であることを特徴とする<1>又は<2>に記載のカラーフィルタの製造方法である。
<4> 前記着色層は、顔料と熱硬化性樹脂とを含む着色熱硬化性組成物を用いてなり、該着色熱硬化性組成物は、該着色熱硬化性組成物の固形分中の前記熱硬化性樹脂の濃度が0質量%より大きく50質量%以下であり、前記熱硬化性樹脂を含む溶液に顔料を分散した顔料分散液を、該着色熱硬化性組成物の全固形分中の顔料濃度が50質量%以上100質量%未満となるような範囲で含むことを特徴とする<1>〜<3>のいずれか1つに記載のカラーフィルタの製造方法である。
<5> 前記顔料分散液が、前記顔料に前記熱硬化性樹脂を被分散物に対する溶剤の比率が0〜20質量%の範囲となるように混練分散して、混練分散した後の粘度が50,000mPa・s以上になるように調製されるとともに、混練分散後の分散物に更にバインダーを添加し、被分散物に対する溶剤の比率が20〜90質量%の範囲となるように微分散処理して、微分散処理後の粘度が1000mPa・s以下になるように調製される<4>に記載のカラーフィルタの製造方法である。
<6> 前記フッ素系ガスとO 2 との混合比率を流量比で3/1〜5/1とする<1>〜<5>のいずれか1つに記載のカラーフィルタの製造方法である。
<7> 前記フッ素系ガスがCF 4 であることを特徴とする<2>〜<6>のいずれか1つに記載のカラーフィルタの製造方法である。
<8> 前記(d)工程において、前記着色層からなるアイランドパターンをベイヤー配列のパターンに形成する<1>〜<7>のいずれか1つに記載のカラーフィルタの製造方法である。
本発明のカラーフィルタの製造方法は、(a)支持体上に、着色層を形成する着色層形成工程を有する。
<支持体>
本発明における前記支持体としては、例えば、液晶表示素子等に用いられるソーダガラス、ホウケイ酸ガラス、石英ガラス及びこれらに透明導電膜を付着させたものや、撮像素子等に用いられる光電変換素子基板、例えばシリコン基板等や、相補性金属酸化膜半導体(CMOS)等が挙げられる。これらの支持体には、各画素を隔離するブラックストライプが形成されている場合もある。
また、これらの支持体上には、必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止あるいは基板表面の平坦化のために下塗り層を設けてもよい。
本発明における着色層は、着色剤を含有する硬化性組成物によって形成されることが好ましい。前記硬化性組成物としては、非感光性の着色熱硬化性組成物と着色光硬化性組成物とを挙げることができる。
前記着色層は、本発明におけるカラーフィルタの画素の少なくとも1種を構成することができる。また本発明における着色層は、分光特性の観点から、非感光性の着色熱硬化性組成物を用いて、形成されることが好ましい。
本発明においては、非感光性の着色熱硬化性組成物を用いて着色層を形成することが好ましい。本発明における非感光性の着色熱硬化性組成物は、着色剤と、熱硬化性化合物と、を含み、全固形分中の前記着色剤濃度が50質量%以上100質量%未満であることが好ましい。
本発明に用いることができる着色剤は、特に限定されず、従来公知の種々の染料や顔料を1種又は2種以上混合して用いることができる。
上記無機顔料としては、金属酸化物、金属錯塩等で示される金属化合物を挙げることができ、具体的には、鉄、コバルト、アルミニウム、カドミウム、鉛、銅、チタン、マグネシウム、クロム、亜鉛、アンチモン等の金属酸化物、および前記金属の複合酸化物を挙げることができる。
C.I.ピグメント・イエロー11,24,31,53,83,93,99,108,109,110,138,139,147,150,151,154,155,167,180,185,199;
C.I.ピグメント・オレンジ36,38,43,71;
C.I.ピグメント・レッド81,105,122,149,150,155,171,175,176,177,209,220,224,242,254,255,264,270;
C.I.ピグメント・バイオレット19,23,32,39;
C.I.ピグメント・ブルー1,2,15,15:1,15:3,15:6,16,22,60,66;
C.I.ピグメント・グリーン7,36,37;
C.I.ピグメント・ブラウン25,28;
C.I.ピグメント・ブラック1,7;
カーボンブラック等を挙げることができる。
C.I.ピグメント・オレンジ36,71;
C.I.ピグメント・レッド122,150,171,175,177,209,224,242,254,255,264;
C.I.ピグメント・バイオレット19,23,32;
C.I.ピグメント・ブルー15:1,15:3,15:6,16,22,60,66;
C.I.ピグメント・ブラック1
その他、直接染料、塩基性染料、媒染染料、酸性媒染染料、アゾイック染料、分散染料、油溶染料、食品染料、および/または、これらの誘導体等も有用に使用することができる。
以下に上記酸性染料の具体例を挙げるが、これらに限定されるものではない。例えば、
acid alizarin violet N;acid black 1,2,24,48;acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,45,62,70,74,80,83,86,87,90,92,103,112,113,120,129,138,147,158,171,182,192,243,324:1;acid chrome violet K;acid Fuchsin;acid green 1,3,5,9,16,25,27,50;acid orange 6,7,8,10,12,50,51,52,56,63,74,95;acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,183,198,211,215,216,217,249,252,257,260,266,274;acid violet 6B,7,9,17,19;acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,42,54,72,73,76,79,98,99,111,112,114,116,184,243;Food Yellow 3;およびこれらの染料の誘導体が挙げられる。
また、上記以外の、アゾ系、キサンテン系、フタロシアニン系の酸性染料も好ましく、C.I.Solvent Blue 44、38;C.I.Solvent orange 45;Rhodamine B、Rhodamine 110等の酸性染料およびこれらの染料の誘導体も好ましく用いられる。
本発明に使用可能な熱硬化性化合物としては、加熱により膜硬化を行えるものであれば特に限定はなく、例えば、熱硬化性官能基を有する化合物を用いることができる。前記熱硬化性化合物としては、例えば、エポキシ基、メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれる少なくとも1つの基を有するものが好ましい。
以下、前記(b)のメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物およびウレア化合物を総じて、(b)における(メチロール基、アルコキシメチル基またはアシロキシメチル基含有)化合物という。
前記メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサキス(メトキシメチル)メラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がメトキシメチル化した化合物またはその混合物、ヘキサキス(メトキシエチル)メラミン、ヘキサキス(アシロキシメチル)メラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がアシロキシメチル化した化合物またはその混合物、などが挙げられる。
これら(b)における化合物は、単独で使用してもよく、組み合わせて使用してもよい。
前記ナフトール化合物においても、OH基のオルト位以外は、未置換であっても置換基を有していてもよい。
前記(c)におけるアルコキシメチル基含有化合物は、(c)におけるメチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱することにより得られる。
前記(c)におけるアシロキシメチル基含有化合物は、(c)におけるメチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
これら(c)における化合物は、単独で使用してもよく、組合せて使用してもよい。
本発明における着色熱硬化性組成物には、本発明の効果を損なわない範囲で、必要に応じて、各種添加物、例えば、バインダー、硬化剤、硬化触媒、溶剤、充填剤、前記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤、分散剤、等を配合することができる。
前記バインダーは、顔料分散液調製時に添加する場合が多く、アルカリ可溶性を必要とせず、有機溶剤に可溶であればよい。
また、親水性を有するモノマーを共重合してもよく、この例としては、アルコキシアルキル(メタ)アクリレート、ヒドロキシアルキル(メタ)アクリレート、グリセロール(メタ)アクリレート、(メタ)アクリルアミド、N−メチロールアクリルアミド、2級または3級のアルキルアクリルアミド、ジアルキルアミノアルキル(メタ)アクリレート、モルホリン(メタ)アクリレート、N−ビニルピロリドン、N−ビニルカプロラクタム、ビニルイミダゾール、ビニルトリアゾール、メチル(メタ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、分岐または直鎖のプロピル(メタ)アクリレート、分岐または直鎖のブチル(メタ)アクリレート、フェノキシヒドロキシプロピル(メタ)アクリレート、等が挙げられる。
これらのバインダー中に前記着色剤を高濃度に分散させることで、下層等との密着性を付与でき、これらはスピンコート、スリットコート時の塗布面状にも寄与している。
本発明において、熱硬化性化合物として、エポキシ樹脂を使用する場合、硬化剤を添加することが好ましい。エポキシ樹脂の硬化剤は種類が非常に多く、性質、樹脂と硬化剤の混合物との可使時間、粘度、硬化温度、硬化時間、発熱などが使用する硬化剤の種類によって非常に異なるため、硬化剤の使用目的、使用条件、作業条件などによって適当な硬化剤を選ばねばならない。前記硬化剤に関しては垣内弘編「エポキシ樹脂(昇晃堂)」第5章に詳しく解説されている。前記硬化剤の例を挙げると以下のようになる。
触媒的に作用するものとしては、第三級アミン類、三フッ化ホウ素−アミンコンプレックス、エポキシ樹脂の官能基と化学量論的に反応するものとして、ポリアミン、酸無水物等;また、常温硬化のものとして、ジエチレントリアミン、ポリアミド樹脂、中温硬化のものの例としてジエチルアミノプロピルアミン、トリス(ジメチルアミノメチル)フェノール;高温硬化の例として、無水フタル酸、メタフェニレンジアミン等がある。また化学構造別に見るとアミン類では、脂肪族ポリアミンとしてはジエチレントリアミン;芳香族ポリアミンとしてはメタフェニレンジアミン;第三アミンとしてはトリス(ジメチルアミノメチル)フェノール;酸無水物としては無水フタル酸、ポリアミド樹脂、ポリスルフィド樹脂、三フッ化ホウ素−モノエチルアミンコンプレックス;合成樹脂初期縮合物としてはフェノール樹脂、その他ジシアンジアミド等が挙げられる。
本発明において高い着色剤濃度を実現するためには、前記硬化剤との反応による硬化の他、主としてエポキシ基同士の反応による硬化が有効である。このため、硬化剤は用いず、硬化触媒を使用することもできる。前記硬化触媒の添加量としてはエポキシ当量が150〜200程度のエポキシ樹脂に対して、質量基準で1/10〜1/1000程度、好ましくは1/20〜1/500程度さらに好ましくは1/30〜1/250程度のわずかな量で硬化させることが可能である。
本発明に用いる非感光性の着色熱硬化性組成物において必要に応じて使用される溶剤は、組成物の溶解性、塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、特に染料、バインダー(アルカリ可溶性樹脂)の溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ぶことが好ましい。
光硬化性組成物を調製する際に使用することができる溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、
また、前記分散剤は顔料の分散性を向上させるために添加することができる。前記分散剤としては、公知のものを適宜選定して用いることができ、例えば、カチオン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、高分子分散剤等が挙げられる。
本発明における非感光性の着色熱硬化性組成物には、必要に応じて各種添加物、例えば充填剤、上記以外の高分子化合物、界面活性剤、密着促進剤、酸化防止剤、紫外線吸収剤、凝集防止剤等を配合することかできる。
本発明において好ましい着色熱硬化性組成物の調製方法について説明する。但し、本発明はこれに限定されるものではない。
顔料の粒子サイズ分布を上述の範囲に調整するためには、顔料の分散方法が特に重要となる。そのような分散方法としては、例えば、ニーダーや二本ロールなどのロールミルを用いて高粘度状態で分散する乾式分散(混練分散処理)と三本ロールやビーズミル等を用いて比較的低粘度状態で分散する湿式分散(微分散処理)とを組み合わせた分散方法が挙げられる。また、前記分散方法においては、2種以上の顔料を共分散したり、混練分散処理時には、溶剤を使用しないか若しくは使用量をできるだけ少なくしたり、各種分散剤を用いるのも好ましい。更に、ソルベントショックを和らげるために樹脂成分を前記混練分散処理時と微分散処理時とに分けて添加(2分割使用)したりすることが好ましく、また、混練分散処理から微分散処理に移行する際に顔料粒子が再凝集するのを防止するために溶解性に優れた樹脂成分を用いるのが好ましい。更に、微分散処理時に使用するビーズミルのビーズに高硬度のセラミックスを使用したり、粒径の小さいビーズを使用したりする手段も有効である。尚、前記樹脂成分としては、例えば、上述のアルカリ可溶性樹脂を用いることができる。
一般に、これら顔料は合成後、種々の方法で乾燥を経て供給される。通常は水媒体から乾燥させて粉末体として供給されるが、水が乾燥するには大きな蒸発潜熱を必要とするため、乾燥して粉末とさせるには大きな熱エネルギーを与える。そのため、顔料は一次粒子が集合した凝集体(二次粒子)を形成しているのが普通である。
具体的には、例えば、溶剤を含んだ本発明における着色熱硬化性組成物を、直接または他の層を介して支持体上に回転塗布、スリット塗布、流延塗布、ロール塗布等の塗布方法により塗布して形成することができる。
着色層の具体的な厚さとしては、0.005μm〜0.9μmが好ましく、0.01μm〜0.7μmが好ましく、0.02μm〜0.65μmで作製されることが更に好ましい。
本発明で用いる着色光硬化性組成物は、着色剤、光硬化性成分を少なくとも含むものである。この内「光硬化性成分」としては、フォトリソ法に通常用いられる光硬化性組成物であり、バインダー樹脂(アルカリ可溶性樹脂等)、感光性重合成分(光重合成モノマー等)、光重合開始剤等を少なくとも含む組成物を用いることができる。
前記着色剤は、上記の非感光性の着色熱硬化性組成物において説明した着色剤と同じものを好適に用いることができる。
「光硬化性成分」は、フォトリソ法に通常用いられる光硬化性組成物であり、バインダー樹脂(アルカリ可溶性樹脂等)、感光性重合成分(光重合性モノマー等)、光重合開始剤等からなる組成物を用いることができる。
バインダー樹脂としては、アルカリ可溶性樹脂が好ましい。
アルカリ可溶性樹脂としては、分子中にポリアルキレンオキサイド鎖及び/又はヒドロキシエチルメタクリレート(HEMA)を有するアクリル系樹脂が、上記の塗布膜の露光強度に対する現像後の線幅の変化率を、7.5×10-5μm・m2/J以下にするために好ましい。
該アクリル系樹脂は、ポリスチレン換算質量平均分子量が5,000〜50,000のものが好ましく、6,000〜30,000のものが更に好ましく、8,000〜20,000のものが最も好ましい。
また、1分子中の前記ポリアルキレンオキサイド鎖の含有比は、モル比で0.5〜18モル%であるものが好ましく、0.8〜15モル%がさらに好ましく、1〜10モル%が最も好ましい。
ポリアルキレンオキサイド鎖の内、ポリエチレンオキサイド鎖が好ましく、その付加モル数n((EO)n)は、2〜25が好ましく、更に2〜15が好ましく、5〜12が最も好ましい。
また、1分子中の前記ヒドロキシエチルメタクリレートの含有比は、モル比で10〜30モル%であるものが好ましく、更に15〜25モル%であるものが好ましい。
アルカリ可溶性樹脂Aは、少なくとも(i)無水マレイン酸(MAA)、アクリル酸(AA)、メタクリル酸(MA)、及びフマル酸(FA)から選ばれた少なくとも一種の酸成分モノマー、(ii)アルキルポリオキシエチレン(メタ)アクリレート、及び(iii)ベンジル(メタ)アクリレートからなる共重合体である。
(ii)アルキルポリオキシエチレン(メタ)アクリレート(Acr(EO)n:例えば、CH3(OC2H4)nOCOC(R)=CH2(R=H、CH3))の組成質量比が上記範囲の下限値以上であることにより、感光性着色樹脂組成物塗布液の基板上への液の広がり方が充分になり、本発明を有効に達成することができる傾向がある。また上記範囲の上限値以下であることにより、着色剤の分散性が向上する傾向があり、好ましい。
(iii)ベンジル(メタ)アクリレート(BzMA)の組成質量比が上記範囲の下限値以上であることにより、着色剤の分散安定性や組成物中への溶解性が向上する傾向があり、好ましい。また上記範囲の上限値以下であることにより、塗布膜のアルカリ現像適性が向上するので好ましい。
分子中にポリアルキレンオキサイド鎖およびヒドロキシエチルメタクリレート(HEMA)を有するアクリル系樹脂としては、アルカリ可溶性樹脂Aに更にヒドロキシエチルメタクリレート(HEMA)を共重合させたものが挙げられる。
本発明に用いる感光性重合成分としては、重合性モノマーが一般的である。該重合性モノマーとしては、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン性不飽和基を有する、常圧下で100℃以上の沸点を示す化合物が好ましく、その例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリス(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリス(アクリロイルオキシエチル)イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの、特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートおよびこれらの混合物をあげることができる。更に、日本接着協会誌Vol.20、No.7、300〜308頁に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。
上記光重合開始剤は、上記重合性モノマー(および場合により上記アルカリ可溶性樹脂)を重合可能なものであれば特に限定されないが、重合特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点でハロメチル−s−トリアジン系化合物、オキシム系化合物、α−アミノケトン系化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種の化合物を含むことが好ましい。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−エトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンザルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(またはミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭51−48516号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン1130、同400等が挙げられる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物等を挙げることができる。
上記光重合開始剤としては、ハロメチルオキサジアゾール化合物、ハロメチル−s−トリアジン化合物から選択された少なくとも一つの活性ハロゲン化合物、3−アリール置換クマリン化合物、ロフィン2量体、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、上記以外のオキシム系化合物等が挙げられる。
また、上記光重合開始剤としてはPANCHIM社製Tシリーズも有効に使用することが可能で、これらの例としては、T−OMS、T−BMP、T−R、T−B等が挙げられる。
さらに、上記光重合開始剤としてはチバ・スペシャルディ・ケミカルズ社製イルガキュアシリーズも有効に使用することが可能であり、これらの例としては、イルガキュア651、イルガキュア184、イルガキュア500、イルガキュア1000、イルガキュア149、イルガキュア819、イルガキュア261、ダロキュアシリーズ、ダロキュア1173等が挙げられる。
その他、上記光重合開始剤としては4,4’−ビス(ジエチルアミノ)−ベンゾフェノン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モルホリノブチロフェノン、2,2−ジメトキシ−2−フェニルアセトフェノン、2−(o−クロルフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−フルオロフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(o−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(2,4−ジメトキシフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、2−(p−メチルメルカプトフェニル)−4,5−ジフェニルイミダゾリル二量体、ベンゾインイソプロピルエーテル等も有用である。
本発明における着色光硬化性組成物は各種溶剤に溶解された溶液として用いることができる。本発明における着色光硬化性組成物に用いられるそれぞれの溶剤は、各成分の溶解性や着色光硬化性組成物の塗布性を満足すれば基本的に特に限定されない
具体的には、上記の着色熱硬化性組成物において説明した溶剤と同じものを好適に用いることができる。
本発明における着色光硬化性組成物には、必要に応じて各種添加剤を更に添加することができる。各種添加物の具体例としては、上記の非感光性の着色熱硬化性組成物において説明した各種添加剤を挙げることができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法は、(b)前記着色層上に、フォトレジスト層を形成するフォトレジスト層形成工程を含む。
上述のように、支持体上に(a)工程で着色層が形成された後、この(a)工程で形成された着色層上にフォトレジスト層(感光性樹脂層)が形成される。具体的には、前記着色層上にポジ又はネガ型の感光性樹脂組成物を塗布し、これを乾燥させてフォトレジスト層が形成される。本発明のフォトレジスト層の形成においては、更にプリベーク処理を行うことが好ましい。
前記感光性樹脂層の具体的な厚さとしては、0.01μm〜3μmが好ましく、0.1μm〜2.5μmが好ましく、0.15μm〜2μmで作製されることが更に好ましい。
本発明のカラーフィルタの製造方法は、(c)前記フォトレジスト層をパターン様に除去することにより、前記着色層上に画像を形成する画像形成工程を含む。ここで前記着色層は、単一の着色層から構成されるものであっても、2種以上の着色層から構成されるものであってもよい。
前記画像形成工程においては、前記フォトレジスト層を、前記(a)工程で形成された着色層とは異なる着色層(以下、適宜、「第2の着色層」と称する)を支持体上に形成する領域に対応するパターン様に露光し、現像してドライエッチング用マスク(パターン画像)を形成することができる。
前記露光により第2の着色層を形成しようとする領域のフォトレジストが下記現像液により現像除去され、支持体上の既設の着色層以外の領域に第2の着色層が形成される。
本発明のカラーフィルタの製造方法は、(d)前記画像形成工程によって形成されたパターン様に、前記着色層をフッ素系ガスとO2との混合比率(フッ素系ガス/O2)が流量比で2/1〜8/1である混合ガスを用いたドライエッチング法により除去するエッチング工程を含む。
以下に、本発明におけるフッ素系ガス、該フッ素系ガスと酸素との混合比率、その他混合してもよいガス、ドライエッチングを行うチャンバーの内部圧力について詳述する。
CnHmFl 式(I)
〔式中、nは、1〜6、mは、0〜13、lは、1〜14を表わす。〕
また、本発明におけるフッ素系ガスは、上記群の中から一種のガスを選択することができ、2種以上を混合ガスに含んでもよい。
また、その他混合してもよいガスとして、上記群の中から一種のガスを選択することができ、2種以上を混合ガスに含んでもよい。
その他混合してもよいガスの混合比率は、流量比でO2を1としたとき、0より大きく25以下であることが好ましく、10以上20以下であることが好ましく、16であることが特に好ましい。
本発明における(d)エッチング工程で、ドライエッチングを行なうチャンバーの内部圧力は、2.0〜6.0Paであることが好ましく、4〜5Paであることがより好ましい。
上記混合ガスの混合比率、及びチャンバーの内部圧力を満たす条件において、フォトレジスト側壁にエッチング生成物が付着せず、フォトレジスト剥離を容易にすることができる。
本発明における混合ガスのガス流量としては、1000sccm以下が好ましく、500sccm以下がより好ましい。
高周波としては、400kHz、60MHz、13.56MHz、2.45GHz等から選択可能であり、50〜2000W好ましくは100〜1000WのRFパワーで処理できる。
処理時間としては、5分以内で一色のエッチングを行なう事が好ましく、更に好ましくは3分以内で処理できるのが好ましい。
本発明のカラーフィルタの製造方法は、(e)前記エッチング工程後に残存するフォトレジスト層を除去するフォトレジスト層除去工程を含む。上記エッチングガスを用いてエッチングすることにより、フォトレジスト側壁にエッチング生成物が付着せず、下記の剥離剤等でフォトレジスト層を容易に剥離することができる。
本発明におけるフォトレジスト層除去工程は、(1)フォトレジスト層上に、剥離液または溶剤を付与して、フォトレジスト層を除去可能な状態にする工程と、(2)前記フォトレジスト層を、洗浄水を用いて除去する工程と、を含むことが好ましい。
フォトレジスト層上に、剥離液または溶剤を付与して、除去可能な状態にする工程としては、例えば、剥離液または溶剤を、少なくともフォトレジスト層上に付与し、所定の時間停滞させるパドル現像工程を挙げることができる。剥離液または溶剤を停滞させる時間としては、特に制限はないが、数十秒から数分であることが好ましい。
洗浄水としては、純水を好ましく用いることができる。
また、噴射ノズルとしては、その噴射範囲内に支持体全体が包含される噴射ノズルや、可動式の噴射ノズルであってその可動範囲が支持体全体を包含する噴射ノズルを挙げることができる。噴射ノズルが可動式の場合、フォトレジスト層を除去する工程中に支持体中心部から支持体端部までを2回以上移動して洗浄水を噴射することで、より効果的にフォトレジスト層を除去することができる。
前記剥離液は一般的には有機溶剤を含有するが、無機溶媒を更に含有してもよい。有機溶剤としては、例えば、1)炭化水素系化合物、2)ハロゲン化炭化水素系化合物、3)アルコール系化合物、4)エーテルまたはアセタール系化合物、5)ケトンまたはアルデヒド系化合物、6)エステル系化合物、7)多価アルコール系化合物、8)カルボン酸またはその酸無水物系化合物、9)フェノール系化合物、10)含窒素化合物、11)含硫黄化合物、12)含フッ素化合物が挙げられる。
本発明における剥離液としては、含窒素化合物を含有することが好ましく、非環状含窒素化合物と環状含窒素化合物とを含むことがより好ましい。
また本発明における剥離液は、非環状含窒素化合物と環状含窒素化合物の混合物を純水で希釈したものであることが好ましい。
本発明のカラーフィルタの製造方法は、上記(e)工程の後、(f)少なくとも(a)工程で形成された着色層が除去された前記領域(第2の着色層を形成する支持体上の領域)に、(a)工程で形成された着色層とは異なる第2の着色層を形成する第2の着色層形成工程を含むことが好ましい。
ここで第2の着色層は、(a)工程で形成された着色層に含有される着色剤とは異なる着色剤を少なくとも含有することが好ましい。
本発明においては、前記着色熱硬化性組成物は(a)工程で形成された着色層が除去された領域のみではなく、(a)工程で形成された着色層が残存している領域にも併せて付与することができる。これにより、(a)工程で形成された着色層が除去された領域に、より確実に着色熱硬化性組成物を付与することができる。
本発明のカラーフィルタの製造方法は、上記のように、少なくとも2色目以降の着色層を、既存の着色層に形成した凹部へ、着色剤を含有する硬化性組成物を埋め込みで形成することを特徴とするものである。
尚、上記着色光硬化性組成物及び着色熱硬化性組成物については、前記(a)工程で形成された着色層形成工程で説明したものを好適に用いることができる。
また、(a)工程で形成された着色層が着色光硬化性組成物を用いて形成されたものである場合、前記着色熱硬化性組成物は、前記着色光硬化性組成物に含有される着色剤とは異なる着色剤を、少なくとも含有する着色熱硬化性組成物であることが好ましい。
上記工程群を1回さらに実施することにより、既に形成された2種(例えば2色)の着色層とは異なる着色層をさらに1種(例えば前記2色以外の他の色)形成することができる。したがって本発明においては、前記工程群を2群含むことで少なくとも3種(例えば3色)の着色層からなるカラーフィルタを製造できることになる。
本発明において、第2の着色層が、(a)工程で形成された着色層が除去された支持体上と(a)工程で形成された着色層上の両方に形成される場合、(a)工程で形成された着色層上に積層形成された第2の着色層を除去することが好ましい。これによって(a)工程で形成された着色層からなる画素の色純度を高いものとすることができる。また、本発明において、第3の着色層が更に形成される場合には、(a)工程で形成された着色層上に積層形成された第2及び第3の着色層と第2の着色層上に積層形成された第3の着色層とを、除去することが好ましい。これによって(a)工程で形成された着色層及び第2の着色層からなる画素の色純度を高いものとすることができる。
着色層上に積層形成された着色層を上記の方法で除去することによって、所望の色相を有し平坦性に優れるカラーフィルタを得ることができる。
(a)着色層形成工程
図1中の1は支持体を表し、この支持体表面に所定の色成分に対応付けられる着色熱硬化性組成物を所望の膜厚で塗布し、ポストベーク処理を行い、着色層2を形成する。
図2に示すように、着色層2上にポジ又はネガ型フォトレジスト組成物を塗布、プリベーク処理を実施し所望の膜厚を有するフォトレジスト層3を形成する。
図3に示すように、第2の着色層で構成される所定のフィルタアレイ(画素群)に対応する開口領域を有するフォトマスクを介しフォトレジスト層3に露光処理を実施し、潜像領域4を形成する。図4は図3を上面から見た平面図である。
除去すべき潜像領域4のフォトレジスト層部分を現像処理により除去した後の状態を図5に示す。支持体上にはフォトレジスト層が除去された着色層露出部5が形成されており、この着色層露出部5は、着色層2を除去すべき領域に対応しており、第2の着色層を形成する領域のみフォトレジスト層が除去され、着色層2上と第3以降の着色層が形成される着色層上のフォトレジスト層3は残される。
次に図6に示すように、フォトレジスト層3をマスクとしてエッチング処理し、着色層2を除去して第2の着色層を形成する領域(支持体露出部7)を形成する。このとき、フォトレジスト層3の側壁には、エッチング生成物の堆積によりデポ部17が付着したものの、その付着の程度は、従来フォトレジスト層の側壁全体に付着していたのに対し、フォトレジスト層の側壁への付着は抑えられ、フォトレジスト層の側壁上部は露出した状態になっている。図7は、図6を上面からみた平面のSEM写真である。
エッチング処理を実施した後、フォトレジスト層3を剥離液などで溶解除去を実施する。フォトレジスト層除去工程終了後は図8に示すように、第2の着色層を形成する支持体露出部7のみ着色層2が除去された形状となる。図9は図8を上面から見た平面図である。図10は、図9を上面からみた平面のSEM写真である。
図11に示すように、着色層2が形成された支持体1上に、第2の着色層9の色成分に対応付けられる着色熱硬化性組成物を、第2の着色層9形成部である領域8が埋め込まれる膜厚で塗布し、ポストベーク処理を行い、第2の着色層9を形成する。
図には示さないが、第2の着色層9上にポジ又はネガ型フォトレジストを塗布、プリベーク処理して再びフォトレジスト層を形成する。
図12に示すようにフォトレジスト層10に、第3の着色層を形成する所定のフィルタアレイ(画素部)に対応する領域を有するフォトマスクを介し露光処理を実施し、潜像領域11を形成する。そして除去すべき潜像領域11のフォトレジスト層部分を現像処理により除去する。
図13に示すように、フォトレジスト層が除去された着色層露出部12は、着色層2及び第2の着色層9を除去すべき領域に対応しており、第3の着色層を形成する領域のみフォトレジスト層が除去される。
現像処理後のフォトレジスト層10をマスクとし、図14に示すように第3の着色層を形成する領域13のみエッチング処理を実施する。このとき、エッチング処理は第2の着色層9のみではなく、着色層2も同時に除去し、第3の着色層を形成するための領域(支持体露出部13)の支持体表面が露出するようにする。
エッチング処理を実施した後、フォトレジスト層を剥離液などで溶解除去を実施する。剥離工程終了後は図15に示すように第3の着色層を形成する支持体露出部13のみ着色層2及び第2の着色層9が除去された形状となる。また、着色層2の領域上に第2の着色層9が積層形成された状態となる。図16は図15を上面から見た平面図である。
図17に示すように着色層2、第2の着色層9が形成された支持体上に第3の着色層の色成分に対応付けられる着色熱硬化性組成物を、第3の着色層形成部である領域13が埋め込まれる膜厚で塗布し、ポストベーク処理を行い、第3の着色層14を形成する。
第3の着色層14まで形成された後、エッチバック処理又はCMP処理によって、着色層2の表面が露出するまでエッチング又はポリッシングする。これにより図18に示すように、着色層2と、第2の着色層15と、第3の着色層16とからなるカラーフィルタを製造することができる。図19は図18を上面から見た平面図である。
−パターン形成−
[(a)着色層形成工程]
顔料含有熱硬化性組成物(富士フィルムエレクトロニクスマテリアルズ社製 SG−5000L)をシリコン基板上にスピンコーターにて、膜厚が0.8μmの塗布膜となるように塗布した後、ホットプレートを使用して、220℃で5分間の加熱を行い、塗布膜の硬化を行なった。前記顔料含有熱硬化性組成物により形成された着色層の膜厚は0.65μmであった。
次に、前記着色層上に、ポジ型フォトレジスト「FHi622BC」(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製)をスピンコーターにて塗布し、100℃で2分間の加熱処理を行い、膜厚が0.8μmになるようにフォトレジスト層を形成した。
次にREDのフィルタアレイに対応する領域を、i線ステッパー(キャノン(株)製、FPA3000i5+)にて350mJ/cm2のパターン露光を行い、110℃で1分間の加熱処理を実施した後、現像液「FHD−5」(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製)で1分間の現像処理後、120℃で2分間のポストベーク処理を実施して、REDのフィルタアレイを形成すべき領域のフォトレジストを除去し、1.5μm×1.5μmサイズのアイランドパターンを形成した。
次いで、ドライエッチング装置(日立ハイテクノロジーズ社製、U−621)にて、RFパワー:800W、アンテナバイアス:400W、チャンバーの内部圧力:(4.0Pa)、基板温度:50℃、混合ガスのガス種及び流量をCF4:80mL/min.、O2:40mL/min.、Ar:800mL/min.(CF4/O2/Ar=2/1/20)とし、オーバーエッチング率を10%としてエッチング処理を実施した。
次にフォトレジスト剥離液「MS−230C」(富士フイルムエレクトロニクスマテリアルズ社製)を使用して、120秒の剥離処理を実施して、フォトレジストの除去を行った。
以上のようにして、単色のカラーフィルタパターンを形成した。
実施例1の(d)エッチング工程において、アイランドパターンをベイヤー配列のパターンに形成するとともに、混合ガスの流量を、CF4:200mL/min.、O2:50mL/min.、Ar:800mL/min.(CF4/O2/Ar=4/1/16)とした以外は、実施例1と同様の方法でカラーフィルタパターンを形成した。
実施例1の(d)エッチング工程において、混合ガスの流量を、CF4:250mL/min.、O2:50mL/min.、Ar:800mL/min.(CF4/O2/Ar=5/1/16)とした以外は、実施例1と同様の方法でカラーフィルタパターンを形成した。
実施例1の(d)エッチング工程において、混合ガスの流量を、CF4:320mL/min.、O2:40mL/min.、Ar:1000mL/min.(CF4/O2/Ar=8/1/25)とした以外は、実施例1と同様の方法でカラーフィルタパターンを形成した。
実施例2において、CF4をC2F6に変更した以外は実施例2と同様の方法でカラーフィルタパターンを形成した。
実施例2の(d)エッチング工程において、チャンバーの内部圧力を、1.0、2.0、5.0、6.0、7.0Paにした以外は、実施例2と同様の方法でカラーフィルタパターンを形成した。
実施例1の(d)エッチング工程において、混合ガスの流量を、CF4:50mL/min.、O2:50mL/min.、Ar:800mL/min.(CF4/O2/Ar=1/1/16)とした以外は、実施例1と同様の方法でカラーフィルタパターンを形成した。
実施例1の(d)エッチング工程において、混合ガスの流量を、CF4:450mL/min.、O2:50mL/min.、Ar:800mL/min.(CF4/O2/Ar=9/1/16)とした以外は、実施例1と同様の方法でカラーフィルタパターンを形成した。
実施例1の(d)エッチング工程において、混合ガスのガス種及び流量を、O2:25mL/min.、N2:250mL/min.(O2/N2=1/10)とした以外は実施例1と同様の方法でカラーフィルタパターンを形成した。
(剥離性)
実施例1〜5、実施例7〜9、参考例1、2及び比較例1〜3で形成したカラーフィルタパターンについて、顕微鏡による表面観察、SEMによる表面及び側壁観察により評価した。評価は以下の評価基準に従って行った。評価結果を表1に示す。
〜評価基準〜
○:フォトレジストの剥離残りは見られず、剥離性は極めて良好であった。
△:フォトレジストの剥離残りが僅かに見られたが、実用上許容できる範囲であった。
×:フォトレジストの剥離残りが全面に見られ、剥離性は悪かった。
実施例1〜5、実施例7〜9、参考例1、2及び比較例1〜3で形成したカラーフィルタパターンについて、走査型電子顕微鏡(SEM)によって観察し(倍率:10万倍)、下記判定基準に従って評価した。評価結果を表1に示す。
〜評価基準〜
○:断面が矩形状であり、レジスト側壁の全体にデポ物は堆積していなかった。
△:断面の矩形性がやや損なわれていたが、レジスト側壁の全体にデポ物の堆積はなく、実用上の許容範囲内であった。
×:テーパー状になる等、断面の矩形性が顕著に損なわれ、レジスト側壁の全体にデポ物が堆積しており、実用上の許容範囲を超えていた。
また、本発明の製造方法で作製した実施例1〜5及び実施例7〜9のカラーフィルタパターンは、図10に示すように、矩形性が高く、フォトレジスト層の側壁部へのデポ物の付着が抑制されたカラーフィルタパターンであった。
これに対し、比較例3では、図20に示すように、ベイヤー配列のカラーフィルタパターンに加工が可能であったが、デポ物が認められ、矩形のパターンが得られなかった。
2 着色層
3,10 フォトレジスト層
4,11 未硬化の潜像領域
5,12 着色層露出部
7,13 支持体露出部
8 第2の着色層形成部
9 第2の着色層
14 第3の着色層
15 第2の着色層
16 第3の着色層
17 デポ物
Claims (8)
- (a)支持体上に、着色層を形成する着色層形成工程と、
(b)前記着色層上に、フォトレジスト層を形成するフォトレジスト層形成工程と、
(c)前記フォトレジスト層をパターン様に除去することにより、前記着色層上に画像を形成する画像形成工程と、
(d)前記画像形成工程によって形成されたパターン様に、前記着色層をフッ素系ガスとO2との混合比率(フッ素系ガス/O2)が流量比で2/1〜8/1である混合ガスを用い、チャンバーの内部圧力を2.0〜6.0Paとしてドライエッチング法により除去するエッチング工程と、
(e)前記エッチング工程後に残存する前記フォトレジスト層を除去するフォトレジスト層除去工程と、
を含むカラーフィルタの製造方法。 - 前記フッ素系ガスがCF4、C4F8、C2F6及びCHF3の群から選ばれる少なくとも一種のガスであることを特徴とする請求項1に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記混合ガスが、さらにAr、He、Kr、N2、及びXeの群から選ばれる少なくとも一種のガスを含み、流量比でO2を1としたときのAr、He、Kr、N2及びXeの群から選ばれる少なくとも一種のガスの混合比率が0より大きく25以下であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記着色層は、顔料と熱硬化性樹脂とを含む着色熱硬化性組成物を用いてなり、該着色熱硬化性組成物は、該着色熱硬化性組成物の固形分中の前記熱硬化性樹脂の濃度が0質量%より大きく50質量%以下であり、前記熱硬化性樹脂を含む溶液に顔料を分散した顔料分散液を、該着色熱硬化性組成物の全固形分中の顔料濃度が50質量%以上100質量%未満となるような範囲で含むことを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記顔料分散液が、被分散物に対する溶剤の比率が0〜20質量%の範囲となるように前記顔料を前記熱硬化性樹脂に混練分散処理して、混練分散処理後の粘度が50,000mPa・s以上になるように調製されるとともに、混練分散処理後の分散物に更に前記熱硬化性樹脂を添加し、被分散物に対する溶剤の比率が20〜90質量%の範囲となるように微分散処理して、微分散処理後の粘度が1000mPa・s以下になるように調製される請求項4に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記フッ素系ガスとO 2 との混合比率を流量比で3/1〜5/1とする請求項1〜請求項5のいずれか1項に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記フッ素系ガスがCF 4 であることを特徴とする請求項2〜請求項6のいずれか1項に記載のカラーフィルタの製造方法。
- 前記(d)工程において、前記着色層からなるアイランドパターンをベイヤー配列のパターンに形成する請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載のカラーフィルタの製造方法。
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